JP2882482B1 - インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法 - Google Patents
インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法Info
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- JP2882482B1 JP2882482B1 JP13059398A JP13059398A JP2882482B1 JP 2882482 B1 JP2882482 B1 JP 2882482B1 JP 13059398 A JP13059398 A JP 13059398A JP 13059398 A JP13059398 A JP 13059398A JP 2882482 B1 JP2882482 B1 JP 2882482B1
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Abstract
【要約】
【課題】インゴットに形成されたオリフラ又はノッチの
位置の検出を簡単に行うことができるインゴットのオリ
フラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法の提供。 【解決手段】インゴットＩｎをインゴット軸回りに回転
する。オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出
センサの検出点Ｐを通過してから他方側のエッジＥ2 が
前記検出点Ｐに到達するまでに要するインゴットの回転
角度θ°を検出する。そして、その他方側のエッジＥ2
が前記検出点Ｐに到達したところでインゴットＩｎの回
転を停止する。このとき、検出点ＰからインゴットＩｎ
を回転させた方向にθ°／２の位置がオリフラＯＦの位
置として取得される。
位置の検出を簡単に行うことができるインゴットのオリ
フラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法の提供。 【解決手段】インゴットＩｎをインゴット軸回りに回転
する。オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出
センサの検出点Ｐを通過してから他方側のエッジＥ2 が
前記検出点Ｐに到達するまでに要するインゴットの回転
角度θ°を検出する。そして、その他方側のエッジＥ2
が前記検出点Ｐに到達したところでインゴットＩｎの回
転を停止する。このとき、検出点ＰからインゴットＩｎ
を回転させた方向にθ°／２の位置がオリフラＯＦの位
置として取得される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインゴットのオリフ
ラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法に係り、特にイン
ゴットに形成されたオリフラ又はノッチの位置を検出す
るインゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め
方法に関する。
ラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法に係り、特にイン
ゴットに形成されたオリフラ又はノッチの位置を検出す
るインゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ等の半導体素子の原料となるシリコ
ン等のウェーハをインゴットからスライスする場合、そ
のスライスされたウェーハが所定の結晶方位となるよう
に、インゴット軸を所定角度傾けてスライスしている。
しかし、インゴットのインゴット軸は、必ずしも結晶軸
とは一致していない。そこで、ウェーハのスライスに先
立って、インゴット軸に対する結晶軸の方位を知る必要
がある。
ン等のウェーハをインゴットからスライスする場合、そ
のスライスされたウェーハが所定の結晶方位となるよう
に、インゴット軸を所定角度傾けてスライスしている。
しかし、インゴットのインゴット軸は、必ずしも結晶軸
とは一致していない。そこで、ウェーハのスライスに先
立って、インゴット軸に対する結晶軸の方位を知る必要
がある。
【０００３】このインゴット軸に対する結晶軸の方位
は、インゴット軸に対する結晶軸の最大傾き角度ＺM と
傾き方向θM で表されるが、一般には、インゴットに形
成されたオリフラに平行な方向の傾き角度αと、オリフ
ラに垂直な方向の傾き角度βをＸ線方位測定器で測定
し、そのα、βから最大傾き角度ＺM と傾き方向θM を
計算するようにしている。したがって、Ｘ線方位測定器
でインゴットの結晶方位を測定する場合は、インゴット
に形成されたオリフラを所定位置に位置決めして測定し
なければならない。
は、インゴット軸に対する結晶軸の最大傾き角度ＺM と
傾き方向θM で表されるが、一般には、インゴットに形
成されたオリフラに平行な方向の傾き角度αと、オリフ
ラに垂直な方向の傾き角度βをＸ線方位測定器で測定
し、そのα、βから最大傾き角度ＺM と傾き方向θM を
計算するようにしている。したがって、Ｘ線方位測定器
でインゴットの結晶方位を測定する場合は、インゴット
に形成されたオリフラを所定位置に位置決めして測定し
なければならない。
【０００４】従来、このインゴットの位置決めは、イン
ゴットの端面をＣＣＤカメラ等で撮影し、その画像を見
ながらインゴットに形成されたオリフラの位置を検出し
て、所定の位置に位置決めするようにしていた。
ゴットの端面をＣＣＤカメラ等で撮影し、その画像を見
ながらインゴットに形成されたオリフラの位置を検出し
て、所定の位置に位置決めするようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法でオリフラの検出を行うと、装置が大掛かりとな
り、コストアップにつながるという欠点があった。本発
明は、このような事情に鑑みてなされたもので、インゴ
ットに形成されたオリフラ又はノッチの位置の検出及び
その位置決めを簡単に行うことができるインゴットのオ
リフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法を提供するこ
とを目的とする。
方法でオリフラの検出を行うと、装置が大掛かりとな
り、コストアップにつながるという欠点があった。本発
明は、このような事情に鑑みてなされたもので、インゴ
ットに形成されたオリフラ又はノッチの位置の検出及び
その位置決めを簡単に行うことができるインゴットのオ
リフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、インゴットに形成されたオ
リフラ又はノッチの位置を検出するインゴットのオリフ
ラ・ノッチ検出方法において、インゴットをインゴット
軸回りに回転し、前記オリフラ又はノッチの一方側のエ
ッジがエッジ検出センサの検出点を通過してから他方側
のエッジが前記検出点に到達するまでに要するインゴッ
トの回転角度θ°を検出するとともに、その他方側のエ
ッジが前記検出点に到達したところで前記インゴットの
回転を停止し、前記検出点から前記インゴットを回転さ
せた方向にθ°／２の位置を前記オリフラ又はノッチの
位置として取得することを特徴とする。
前記目的を達成するために、インゴットに形成されたオ
リフラ又はノッチの位置を検出するインゴットのオリフ
ラ・ノッチ検出方法において、インゴットをインゴット
軸回りに回転し、前記オリフラ又はノッチの一方側のエ
ッジがエッジ検出センサの検出点を通過してから他方側
のエッジが前記検出点に到達するまでに要するインゴッ
トの回転角度θ°を検出するとともに、その他方側のエ
ッジが前記検出点に到達したところで前記インゴットの
回転を停止し、前記検出点から前記インゴットを回転さ
せた方向にθ°／２の位置を前記オリフラ又はノッチの
位置として取得することを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、インゴットをインゴット
軸回りに回転し、オリフラ又はノッチの一方側のエッジ
がエッジ検出センサの検出点を通過してから他方側のエ
ッジが前記検出点に到達するまでに要するインゴットの
回転角度θ°を検出する。そして、その他方側のエッジ
が前記検出点に到達したところで前記インゴットの回転
を停止する。このとき、検出点からインゴットを回転さ
せた方向にθ°／２の位置が、オリフラ又はノッチの位
置として取得される。
軸回りに回転し、オリフラ又はノッチの一方側のエッジ
がエッジ検出センサの検出点を通過してから他方側のエ
ッジが前記検出点に到達するまでに要するインゴットの
回転角度θ°を検出する。そして、その他方側のエッジ
が前記検出点に到達したところで前記インゴットの回転
を停止する。このとき、検出点からインゴットを回転さ
せた方向にθ°／２の位置が、オリフラ又はノッチの位
置として取得される。
【０００８】また、請求項２に係る発明は、前記目的を
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチの位置を検出するインゴットのオリフラ・ノッチ
検出方法において、インゴットに形成されたオリフラ又
はノッチの両エッジが前記インゴットのインゴット軸と
なす角θ°を予め取得し、インゴットをインゴット軸回
りに回転し、前記オリフラ又はノッチの一方側のエッジ
がエッジ検出センサの検出点に到達したところで前記イ
ンゴットの回転を停止し、前記検出点から前記インゴッ
トを回転させた方向と逆方向にθ°／２の位置を前記オ
リフラ又はノッチの位置として取得することを特徴とす
る。
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチの位置を検出するインゴットのオリフラ・ノッチ
検出方法において、インゴットに形成されたオリフラ又
はノッチの両エッジが前記インゴットのインゴット軸と
なす角θ°を予め取得し、インゴットをインゴット軸回
りに回転し、前記オリフラ又はノッチの一方側のエッジ
がエッジ検出センサの検出点に到達したところで前記イ
ンゴットの回転を停止し、前記検出点から前記インゴッ
トを回転させた方向と逆方向にθ°／２の位置を前記オ
リフラ又はノッチの位置として取得することを特徴とす
る。
【０００９】本発明によれば、まず、インゴットに形成
されたオリフラ又はノッチの両エッジが前記インゴット
のインゴット軸となす角θ°を予め取得しておく。そし
て、インゴットをインゴット軸回りに回転し、前記オリ
フラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出センサの
検出点に到達したところで前記インゴットの回転を停止
する。このとき、検出点からインゴットを回転させた方
向と逆方向にθ°／２の位置がオリフラ又はノッチの位
置として取得される。
されたオリフラ又はノッチの両エッジが前記インゴット
のインゴット軸となす角θ°を予め取得しておく。そし
て、インゴットをインゴット軸回りに回転し、前記オリ
フラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出センサの
検出点に到達したところで前記インゴットの回転を停止
する。このとき、検出点からインゴットを回転させた方
向と逆方向にθ°／２の位置がオリフラ又はノッチの位
置として取得される。
【００１０】また、請求項５に係る発明は、前記目的を
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回
転した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイ
ンゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、イ
ンゴットをインゴット軸回りに正方向に回転させて、前
記オリフラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点を
通過してから他方側のエッジが前記検出点に到達するま
でに要するインゴットの回転角度θ°を検出するととも
に、その他方側のエッジが前記検出点に到達したところ
で前記インゴットの回転を停止し、前記インゴットを逆
方向に（θ＋δ）°回転させて停止し、前記インゴット
を正方向に回転させて、前記オリフラ又はノッチの一方
側のエッジが前記検出点に到達したことを検出し、検出
後、さらに前記インゴットをインゴット軸回りに正方向
に（γ＋θ／２）°回転させて停止することにより、前
記オリフラ又はノッチを前記基準位置に位置決めするこ
とを特徴とする。
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回
転した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイ
ンゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、イ
ンゴットをインゴット軸回りに正方向に回転させて、前
記オリフラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点を
通過してから他方側のエッジが前記検出点に到達するま
でに要するインゴットの回転角度θ°を検出するととも
に、その他方側のエッジが前記検出点に到達したところ
で前記インゴットの回転を停止し、前記インゴットを逆
方向に（θ＋δ）°回転させて停止し、前記インゴット
を正方向に回転させて、前記オリフラ又はノッチの一方
側のエッジが前記検出点に到達したことを検出し、検出
後、さらに前記インゴットをインゴット軸回りに正方向
に（γ＋θ／２）°回転させて停止することにより、前
記オリフラ又はノッチを前記基準位置に位置決めするこ
とを特徴とする。
【００１１】本発明によれば、まず、インゴットをイン
ゴット軸回りに正方向に回転させて、オリフラ又はノッ
チの一方側のエッジがエッジ検出センサの検出点を通過
してから他方側のエッジが検出点に到達するまでに要す
るインゴットの回転角度θ°を検出する。これと同時
に、他方側のエッジが前記検出点に到達したところでイ
ンゴットの回転を停止する。次いで、インゴットをイン
ゴット軸回りに逆方向に（θ＋δ）°回転させて停止す
る（δは正の任意の角度）。次いで、再びインゴットを
インゴット軸回りに正方向に回転させて、オリフラ又は
ノッチの一方側のエッジがエッジ検出センサの検出点に
到達したことを検出する。そして、その検出後、さらに
インゴットをインゴット軸回りに正方向に（γ＋θ／
２）°回転させてインゴットの回転を停止する。これに
より、エッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回転
した点に設定された基準位置にオリフラ又はノッチを位
置決めすることができる（γは０を含む正の任意の角
度）。
ゴット軸回りに正方向に回転させて、オリフラ又はノッ
チの一方側のエッジがエッジ検出センサの検出点を通過
してから他方側のエッジが検出点に到達するまでに要す
るインゴットの回転角度θ°を検出する。これと同時
に、他方側のエッジが前記検出点に到達したところでイ
ンゴットの回転を停止する。次いで、インゴットをイン
ゴット軸回りに逆方向に（θ＋δ）°回転させて停止す
る（δは正の任意の角度）。次いで、再びインゴットを
インゴット軸回りに正方向に回転させて、オリフラ又は
ノッチの一方側のエッジがエッジ検出センサの検出点に
到達したことを検出する。そして、その検出後、さらに
インゴットをインゴット軸回りに正方向に（γ＋θ／
２）°回転させてインゴットの回転を停止する。これに
より、エッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回転
した点に設定された基準位置にオリフラ又はノッチを位
置決めすることができる（γは０を含む正の任意の角
度）。
【００１２】また、請求項６に係る発明は、前記目的を
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回
転した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイ
ンゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、イ
ンゴットに形成されたオリフラ又はノッチの両エッジが
前記インゴットのインゴット軸となす角θ°を予め取得
し、インゴットをインゴット軸回りに回転させて、前記
オリフラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点に到
達したことを検出し、検出後、さらに前記インゴットを
前記回転方向と同方向に（γ＋θ／２）°回転させて停
止することにより、前記オリフラ又はノッチを前記基準
位置に位置決めすることを特徴とする。
達成するために、インゴットに形成されたオリフラ又は
ノッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回
転した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイ
ンゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、イ
ンゴットに形成されたオリフラ又はノッチの両エッジが
前記インゴットのインゴット軸となす角θ°を予め取得
し、インゴットをインゴット軸回りに回転させて、前記
オリフラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点に到
達したことを検出し、検出後、さらに前記インゴットを
前記回転方向と同方向に（γ＋θ／２）°回転させて停
止することにより、前記オリフラ又はノッチを前記基準
位置に位置決めすることを特徴とする。
【００１３】本発明によれば、まず、インゴットに形成
されたオリフラ又はノッチの両エッジが前記インゴット
のインゴット軸となす角θ°を予め取得しておく。次い
で、インゴットをインゴット軸回りに正方向に回転させ
て、オリフラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出
センサの検出点に到達したことを検出する。そして、そ
の検出後、さらにインゴットをインゴット軸回りに正方
向に（γ＋θ／２）°回転させてインゴットの回転を停
止する。これにより、エッジ検出センサの検出点から正
方向にγ°回転した点に設定された基準位置にオリフラ
又はノッチを位置決めすることができる（γは０を含む
正の任意の角度）。
されたオリフラ又はノッチの両エッジが前記インゴット
のインゴット軸となす角θ°を予め取得しておく。次い
で、インゴットをインゴット軸回りに正方向に回転させ
て、オリフラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出
センサの検出点に到達したことを検出する。そして、そ
の検出後、さらにインゴットをインゴット軸回りに正方
向に（γ＋θ／２）°回転させてインゴットの回転を停
止する。これにより、エッジ検出センサの検出点から正
方向にγ°回転した点に設定された基準位置にオリフラ
又はノッチを位置決めすることができる（γは０を含む
正の任意の角度）。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るインゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め
方法の好ましい実施の形態について詳説する。なお、以
下の実施の形態では、本発明に係るインゴットのオリフ
ラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法をＸ線方位測定装
置に適用した例で説明する。
るインゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め
方法の好ましい実施の形態について詳説する。なお、以
下の実施の形態では、本発明に係るインゴットのオリフ
ラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法をＸ線方位測定装
置に適用した例で説明する。
【００１５】図１、図２は、それぞれ本発明に係るイン
ゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法が
適用されたＸ線方位測定装置１０の正面図と平面図であ
る。同図に示すように、Ｘ線方位測定装置１０は、主と
してＸ線方位測定器１２、インゴット搬送装置１４及び
エッジ検出センサ１６から構成されている。まず、Ｘ線
方位測定器１２について説明する。Ｘ線方位測定器１２
は、所定の結晶方位測定位置に搬送されてきたインゴッ
トＩｎの結晶方位を測定する。ここで、インゴットＩｎ
の結晶方位は、一般にインゴット軸Ｏに対する結晶軸の
最大傾き角度ＺM と傾き方向θM で表されるが、Ｘ線方
位測定器１２では、インゴットのオリフラに平行な方向
の結晶軸の傾き角度αと、オリフラに垂直な方向の結晶
軸の傾き角度βを測定し、その測定結果α、βからイン
ゴット軸Ｏに対する結晶軸の最大傾き角度ＺM と傾き方
向θM を算出する。
ゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法が
適用されたＸ線方位測定装置１０の正面図と平面図であ
る。同図に示すように、Ｘ線方位測定装置１０は、主と
してＸ線方位測定器１２、インゴット搬送装置１４及び
エッジ検出センサ１６から構成されている。まず、Ｘ線
方位測定器１２について説明する。Ｘ線方位測定器１２
は、所定の結晶方位測定位置に搬送されてきたインゴッ
トＩｎの結晶方位を測定する。ここで、インゴットＩｎ
の結晶方位は、一般にインゴット軸Ｏに対する結晶軸の
最大傾き角度ＺM と傾き方向θM で表されるが、Ｘ線方
位測定器１２では、インゴットのオリフラに平行な方向
の結晶軸の傾き角度αと、オリフラに垂直な方向の結晶
軸の傾き角度βを測定し、その測定結果α、βからイン
ゴット軸Ｏに対する結晶軸の最大傾き角度ＺM と傾き方
向θM を算出する。
【００１６】次に、インゴット搬送装置１４について説
明する。インゴット搬送装置１４は、インゴットＩｎを
Ｘ線方位測定器１２の所定の結晶方位測定位置に搬送す
るとともに、そのインゴットＩｎに形成されたオリフラ
を所定位置に位置決めする。このインゴット搬送装置１
４の具体的な構成は、以下の通りである。図３及び図４
は、それぞれインゴット搬送装置１４の構成を示す側面
図と平面図である。
明する。インゴット搬送装置１４は、インゴットＩｎを
Ｘ線方位測定器１２の所定の結晶方位測定位置に搬送す
るとともに、そのインゴットＩｎに形成されたオリフラ
を所定位置に位置決めする。このインゴット搬送装置１
４の具体的な構成は、以下の通りである。図３及び図４
は、それぞれインゴット搬送装置１４の構成を示す側面
図と平面図である。
【００１７】架台２０上には、一対のガイドレール２
２、２２が敷設されており、該ガイドレール２２、２２
上には、スライダ２４、２４、…を介して門型に形成さ
れたスライドテーブル２６がスライド自在に支持されて
いる。また、前記架台２０上にはガイドレール２２、２
２に沿ってネジ棒２８が配設されており、該ネジ棒２８
は、その両端部を前記架台２２上に設けられた軸受部材
３０、３０に回動自在に支持されている。このネジ棒２
８の一方端には、前記架台２０上に設置された送りモー
タ３２の出力軸が連結されており、この送りモータ３２
を駆動することにより、ネジ棒２８が回転する。
２、２２が敷設されており、該ガイドレール２２、２２
上には、スライダ２４、２４、…を介して門型に形成さ
れたスライドテーブル２６がスライド自在に支持されて
いる。また、前記架台２０上にはガイドレール２２、２
２に沿ってネジ棒２８が配設されており、該ネジ棒２８
は、その両端部を前記架台２２上に設けられた軸受部材
３０、３０に回動自在に支持されている。このネジ棒２
８の一方端には、前記架台２０上に設置された送りモー
タ３２の出力軸が連結されており、この送りモータ３２
を駆動することにより、ネジ棒２８が回転する。
【００１８】前記ネジ棒２８には、ナット部材３４が螺
合されており、該ナット部材３４は連結部材３４ａを介
してスライドテーブル２６に連結されている。したがっ
て、スライドテーブル２６は、前記送りモータ３２を駆
動することによりガイドレール２２、２２上を水平に移
動する。前記スライドテーブル２６は、図４に示すよう
に、その上面中央に開口部２６Ａが形成されており、こ
の開口部２６Ａの両側には、それぞれ支持ローラ３６
Ａ、３６Ｂが３本づつ直列して配置されている。各支持
ローラ３６Ａ、３６Ｂは、それぞれ一本の回転軸３６
ａ、３６ｂに固着されており、該回転軸３６ａ、３６ｂ
は、前記スライドテーブル２６上に設置された軸受部材
３８Ａ、３８Ｂに回動自在に支持されている。インゴッ
トＩｎは、この支持ローラ３６Ａ、３６Ｂ上に載置され
る。
合されており、該ナット部材３４は連結部材３４ａを介
してスライドテーブル２６に連結されている。したがっ
て、スライドテーブル２６は、前記送りモータ３２を駆
動することによりガイドレール２２、２２上を水平に移
動する。前記スライドテーブル２６は、図４に示すよう
に、その上面中央に開口部２６Ａが形成されており、こ
の開口部２６Ａの両側には、それぞれ支持ローラ３６
Ａ、３６Ｂが３本づつ直列して配置されている。各支持
ローラ３６Ａ、３６Ｂは、それぞれ一本の回転軸３６
ａ、３６ｂに固着されており、該回転軸３６ａ、３６ｂ
は、前記スライドテーブル２６上に設置された軸受部材
３８Ａ、３８Ｂに回動自在に支持されている。インゴッ
トＩｎは、この支持ローラ３６Ａ、３６Ｂ上に載置され
る。
【００１９】また、前記支持ローラ３６Ａ、３６Ｂのう
ち一方側の支持ローラ３６Ａの回転軸３６ａには、支持
ローラ回転用モータ４０の出力軸が連結されている。支
持ローラ３６Ａは、この支持ローラ回転用モータ４０を
駆動することにより回転する。そして、この支持ローラ
３６Ａが回転することにより、支持ローラ３６Ａ、３６
Ｂ上に載置されたインゴットＩｎが、そのインゴット軸
Ｏを中心に回転する。
ち一方側の支持ローラ３６Ａの回転軸３６ａには、支持
ローラ回転用モータ４０の出力軸が連結されている。支
持ローラ３６Ａは、この支持ローラ回転用モータ４０を
駆動することにより回転する。そして、この支持ローラ
３６Ａが回転することにより、支持ローラ３６Ａ、３６
Ｂ上に載置されたインゴットＩｎが、そのインゴット軸
Ｏを中心に回転する。
【００２０】また、他方側の支持ローラ３６Ｂの回転軸
３６ｂには、エンコーダ４２が連結されており、このエ
ンコーダ４２によって支持ローラ３６Ｂの回転量が検出
される。このエンコーダ４２の検出値は、制御装置４４
に出力され、制御装置４４は、この支持ローラ３６Ｂの
回転量からインゴットＩｎの回転量を算出する。次に、
エッジ検出センサ１６について説明する。エッジ検出セ
ンサ１６は、前記インゴット搬送装置１４によって所定
の結晶方位測定位置に搬送されてきたインゴットＩｎの
オリフラのエッジを検出する。
３６ｂには、エンコーダ４２が連結されており、このエ
ンコーダ４２によって支持ローラ３６Ｂの回転量が検出
される。このエンコーダ４２の検出値は、制御装置４４
に出力され、制御装置４４は、この支持ローラ３６Ｂの
回転量からインゴットＩｎの回転量を算出する。次に、
エッジ検出センサ１６について説明する。エッジ検出セ
ンサ１６は、前記インゴット搬送装置１４によって所定
の結晶方位測定位置に搬送されてきたインゴットＩｎの
オリフラのエッジを検出する。
【００２１】図５、図６は、それぞれエッジ検出センサ
１６の正面図と平面図である。同図に示すように、エッ
ジ検出センサ１６は、架台２０上に垂直に立設された支
柱４６の頂部に設けられており、レーザー光を投光する
レーザー投光ユニット１６ａと、そのレーザー光を受光
するレーザー受光ユニット１６ｂから構成されている。
レーザー投光ユニット１６ａとレーザー受光ユニット１
６ｂは、前記結晶方位測定位置に搬送されたインゴット
Ｉｎの端面周縁部を挟んで互いに対向するように設置さ
れており、その間（検出点Ｐ）を通過するオリフラのエ
ッジを検出する。具体的な検出法は、次の通りである。
１６の正面図と平面図である。同図に示すように、エッ
ジ検出センサ１６は、架台２０上に垂直に立設された支
柱４６の頂部に設けられており、レーザー光を投光する
レーザー投光ユニット１６ａと、そのレーザー光を受光
するレーザー受光ユニット１６ｂから構成されている。
レーザー投光ユニット１６ａとレーザー受光ユニット１
６ｂは、前記結晶方位測定位置に搬送されたインゴット
Ｉｎの端面周縁部を挟んで互いに対向するように設置さ
れており、その間（検出点Ｐ）を通過するオリフラのエ
ッジを検出する。具体的な検出法は、次の通りである。
【００２２】まず、インゴットＩｎを所定の結晶方位測
定位置に搬送する。この結晶方位測定位置にインゴット
Ｉｎが搬送されると、インゴットＩｎの端面周縁の円形
部にレーザー投光ユニット１６ａから投光されたレーザ
ー光が当たり、そのレーザー光の通過が遮られる。この
結果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受光
されなくなる。
定位置に搬送する。この結晶方位測定位置にインゴット
Ｉｎが搬送されると、インゴットＩｎの端面周縁の円形
部にレーザー投光ユニット１６ａから投光されたレーザ
ー光が当たり、そのレーザー光の通過が遮られる。この
結果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受光
されなくなる。
【００２３】次に、前記結晶方位測定位置に搬送された
インゴットＩｎを、そのインゴット軸回りに回転させ
る。ここで、前記インゴットＩｎの端面周縁の円形部
が、前記検出点Ｐを通過している間は、インゴットＩｎ
の端面周縁の円形部にレーザー光が当たるので、レーザ
ー受光ユニット１６ｂでレーザー光は受光されない。
インゴットＩｎを、そのインゴット軸回りに回転させ
る。ここで、前記インゴットＩｎの端面周縁の円形部
が、前記検出点Ｐを通過している間は、インゴットＩｎ
の端面周縁の円形部にレーザー光が当たるので、レーザ
ー受光ユニット１６ｂでレーザー光は受光されない。
【００２４】しかし、インゴットＩｎに形成されたオリ
フラのエッジが、前記検出点Ｐを通過すると、レーザー
光はそのまま直進することができるようになり、この結
果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受光さ
れるようになる。制御装置４４は、このレーザー受光ユ
ニット１６ｂによるレーザー光の受光を検出することに
より、オリフラの一方側のエッジが前記検出点Ｐを通過
したことを検出する。
フラのエッジが、前記検出点Ｐを通過すると、レーザー
光はそのまま直進することができるようになり、この結
果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受光さ
れるようになる。制御装置４４は、このレーザー受光ユ
ニット１６ｂによるレーザー光の受光を検出することに
より、オリフラの一方側のエッジが前記検出点Ｐを通過
したことを検出する。
【００２５】また、インゴットＩｎに形成されたオリフ
ラが、前記検出点Ｐを通過している間は、レーザー光が
レーザー受光ユニット１６ｂで受光され続けるが、オリ
フラの他方側のエッジが検出点Ｐを通過すると、再びレ
ーザー光はインゴットＩｎの端面周縁の円形部に当たる
ため、レーザー受光ユニット１６ｂでは、レーザー光は
受光されなくなる。
ラが、前記検出点Ｐを通過している間は、レーザー光が
レーザー受光ユニット１６ｂで受光され続けるが、オリ
フラの他方側のエッジが検出点Ｐを通過すると、再びレ
ーザー光はインゴットＩｎの端面周縁の円形部に当たる
ため、レーザー受光ユニット１６ｂでは、レーザー光は
受光されなくなる。
【００２６】制御装置４４は、このレーザー受光ユニッ
ト１６ｂでレーザー光が受光されなくなったことを検出
することにより、オリフラの他方側のエッジが検出点Ｐ
を通過したことを検出する。すなわち、制御装置４４
は、レーザー受光ユニット１６ｂでのレーザー光の受光
の開始点を検出することにより、オリフラの一方側のエ
ッジを検出し、レーザー光の受光の終了点を検出するこ
とにより、オリフラの他方側のエッジを検出する。
ト１６ｂでレーザー光が受光されなくなったことを検出
することにより、オリフラの他方側のエッジが検出点Ｐ
を通過したことを検出する。すなわち、制御装置４４
は、レーザー受光ユニット１６ｂでのレーザー光の受光
の開始点を検出することにより、オリフラの一方側のエ
ッジを検出し、レーザー光の受光の終了点を検出するこ
とにより、オリフラの他方側のエッジを検出する。
【００２７】次に、前記のごとく構成されたＸ線方位測
定装置１０の作用について説明する。まず、インゴット
搬送装置１４の支持ローラ３６Ａ、３６Ｂ上にインゴッ
トＩｎを載置する。この際、図７（ａ）に示すように、
インゴットＩｎに形成されたオリフラＯＦがエッジ検出
センサ１６の検出点Ｐよりも上方に位置するようにイン
ゴットＩｎを載置する。
定装置１０の作用について説明する。まず、インゴット
搬送装置１４の支持ローラ３６Ａ、３６Ｂ上にインゴッ
トＩｎを載置する。この際、図７（ａ）に示すように、
インゴットＩｎに形成されたオリフラＯＦがエッジ検出
センサ１６の検出点Ｐよりも上方に位置するようにイン
ゴットＩｎを載置する。
【００２８】次に、送りモータ３２を駆動して、スライ
ドテーブル２６をＸ線方位測定器１２に向けて移動させ
る。そして、所定の結晶方位測定位置で停止させる。一
方、前記送りモータ３２の駆動と同時に、エッジ検出セ
ンサ１６を作動させる。すなわち、レーザー投光ユニッ
ト１６ａからレーザー光を投光し、そのレーザー光をレ
ーザー受光ユニット１６ｂで受光する。
ドテーブル２６をＸ線方位測定器１２に向けて移動させ
る。そして、所定の結晶方位測定位置で停止させる。一
方、前記送りモータ３２の駆動と同時に、エッジ検出セ
ンサ１６を作動させる。すなわち、レーザー投光ユニッ
ト１６ａからレーザー光を投光し、そのレーザー光をレ
ーザー受光ユニット１６ｂで受光する。
【００２９】ここで、前記スライドテーブル２６が結晶
方位測定位置で停止すると、インゴットＩｎの端面周縁
の円形部にレーザー投光ユニット１６ａから投光された
レーザー光が当たり、そのレーザー光の通過が遮られ
る。この結果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー
光が受光されなくなる。次に、支持ローラ回転用モータ
４０を駆動して、支持ローラ３６Ａを時計回りの方向に
回転させる。この結果、インゴットＩｎが、そのインゴ
ット軸Ｏを中心として反時計回りの方向（正方向）に回
転する。
方位測定位置で停止すると、インゴットＩｎの端面周縁
の円形部にレーザー投光ユニット１６ａから投光された
レーザー光が当たり、そのレーザー光の通過が遮られ
る。この結果、レーザー受光ユニット１６ｂでレーザー
光が受光されなくなる。次に、支持ローラ回転用モータ
４０を駆動して、支持ローラ３６Ａを時計回りの方向に
回転させる。この結果、インゴットＩｎが、そのインゴ
ット軸Ｏを中心として反時計回りの方向（正方向）に回
転する。
【００３０】インゴットＩｎが回転すると、そのインゴ
ットＩｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向
（正方向）に回転する。そして、図７（ｂ）に示すよう
に、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッジ
検出センサ１６の検出点Ｐを通過する。ここで、前記オ
リフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐを通過する
と、レーザー投光ユニット１６ａから投光されたレーザ
ー光が、レーザー受光ユニット１６ｂで受光される。制
御装置４４は、このレーザー受光ユニット１６ｂによる
レーザー光の受光を検出することにより、オリフラＯＦ
の一方側のエッジＥ1 がエッジ検出センサ１６の検出点
Ｐを通過したことを検出する。制御装置４４は、このオ
リフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐを通過した
ことを検出すると、エンコーダ４２を作動させて支持ロ
ーラ３６Ｂの回転量の検出を開始する。
ットＩｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向
（正方向）に回転する。そして、図７（ｂ）に示すよう
に、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッジ
検出センサ１６の検出点Ｐを通過する。ここで、前記オ
リフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐを通過する
と、レーザー投光ユニット１６ａから投光されたレーザ
ー光が、レーザー受光ユニット１６ｂで受光される。制
御装置４４は、このレーザー受光ユニット１６ｂによる
レーザー光の受光を検出することにより、オリフラＯＦ
の一方側のエッジＥ1 がエッジ検出センサ１６の検出点
Ｐを通過したことを検出する。制御装置４４は、このオ
リフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐを通過した
ことを検出すると、エンコーダ４２を作動させて支持ロ
ーラ３６Ｂの回転量の検出を開始する。
【００３１】オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出
点Ｐを通過した後もインゴットＩｎを回転し続けると、
次いで、図７（ｃ）に示すように、オリフラＯＦの他方
側のエッジＥ2 が、エッジ検出センサ１６の検出点Ｐに
到達する。ここで、前記オリフラＯＦの他方側のエッジ
Ｅ2 が前記検出点Ｐに到達すると、レーザー投光ユニッ
ト１６ａから投光されたレーザー光が、再びレーザー受
光ユニット１６ｂで受光されなくなる。制御装置４４
は、このレーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受
光されなくなったことを検出することにより、オリフラ
ＯＦの他方側のエッジＥ2 がエッジ検出センサ１６の検
出点Ｐに達したことを検出する。
点Ｐを通過した後もインゴットＩｎを回転し続けると、
次いで、図７（ｃ）に示すように、オリフラＯＦの他方
側のエッジＥ2 が、エッジ検出センサ１６の検出点Ｐに
到達する。ここで、前記オリフラＯＦの他方側のエッジ
Ｅ2 が前記検出点Ｐに到達すると、レーザー投光ユニッ
ト１６ａから投光されたレーザー光が、再びレーザー受
光ユニット１６ｂで受光されなくなる。制御装置４４
は、このレーザー受光ユニット１６ｂでレーザー光が受
光されなくなったことを検出することにより、オリフラ
ＯＦの他方側のエッジＥ2 がエッジ検出センサ１６の検
出点Ｐに達したことを検出する。
【００３２】制御装置４４は、前記オリフラＯＦの他方
側のエッジＥ2 が検出点Ｐに達したことを検出すると、
支持ローラ回転用モータ４０の駆動を停止して、インゴ
ットＩｎの回転を停止させる。そして、エンコーダ４２
の検出値から、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 から
他方側のエッジＥ2 に到達するまでのインゴットＩｎの
回転角度θ°を算出する。そして、この算出結果からオ
リフラＯＦのフラット面の位置を次のように取得する。
側のエッジＥ2 が検出点Ｐに達したことを検出すると、
支持ローラ回転用モータ４０の駆動を停止して、インゴ
ットＩｎの回転を停止させる。そして、エンコーダ４２
の検出値から、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 から
他方側のエッジＥ2 に到達するまでのインゴットＩｎの
回転角度θ°を算出する。そして、この算出結果からオ
リフラＯＦのフラット面の位置を次のように取得する。
【００３３】すなわち、図７（ｃ）に示すように、イン
ゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、両エッジＥ
1 、Ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠Ｅ1 ＯＥ2 （＝θ
°）の１／２のところにある。一方、インゴットＩｎ
は、そのオリフラＯＦの他方側のエッジＥ2 が検出点Ｐ
に位置した状態で停止している。したがって、インゴッ
トＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、検出点Ｐから反
時計回りの方向（正方向）に（θ°／２）回転した位置
にあることが分かる。
ゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、両エッジＥ
1 、Ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠Ｅ1 ＯＥ2 （＝θ
°）の１／２のところにある。一方、インゴットＩｎ
は、そのオリフラＯＦの他方側のエッジＥ2 が検出点Ｐ
に位置した状態で停止している。したがって、インゴッ
トＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、検出点Ｐから反
時計回りの方向（正方向）に（θ°／２）回転した位置
にあることが分かる。
【００３４】ここで、Ｘ線方位測定器１２の結晶方位測
定時におけるオリフラＯＦのフラット面の設定基準位置
が検出点Ｐの位置に設定されているとする（γ＝０）。
この場合、インゴットＩｎを時計回りの方向（逆方向）
にθ°／２回転させれば、オリフラＯＦを基準位置に位
置させることができる。しかしながら、支持ローラ回転
用モータ４０からの動力をギア機構等を介して支持ロー
ラ３６Ａに伝達する機構にあっては、検出時の回転方向
と逆方向にインゴットＩｎを回転させると、ギアのバッ
クラッシによってオリフラＯＦを正確に位置決めできな
いおそれがある。
定時におけるオリフラＯＦのフラット面の設定基準位置
が検出点Ｐの位置に設定されているとする（γ＝０）。
この場合、インゴットＩｎを時計回りの方向（逆方向）
にθ°／２回転させれば、オリフラＯＦを基準位置に位
置させることができる。しかしながら、支持ローラ回転
用モータ４０からの動力をギア機構等を介して支持ロー
ラ３６Ａに伝達する機構にあっては、検出時の回転方向
と逆方向にインゴットＩｎを回転させると、ギアのバッ
クラッシによってオリフラＯＦを正確に位置決めできな
いおそれがある。
【００３５】このため、次の操作によってバックラッシ
を取り除いてオリフラＯＦの位置決めを行う。まず、制
御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０を駆動し
て、インゴットＩｎを時計回りの方向（逆方向）に（θ
＋δ）°回転させる。ここで、このδは任意の正の角度
である。この操作により、オリフラＯＦが検出点Ｐの上
方に位置する。なお、本実施の形態では、δはδ＝９０
−（θ°／２）と設定している。したがって、上記の操
作により、オリフラＯＦは、図７（ｄ）に示すように、
インゴットＩｎの真上の位置に位置する。
を取り除いてオリフラＯＦの位置決めを行う。まず、制
御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０を駆動し
て、インゴットＩｎを時計回りの方向（逆方向）に（θ
＋δ）°回転させる。ここで、このδは任意の正の角度
である。この操作により、オリフラＯＦが検出点Ｐの上
方に位置する。なお、本実施の形態では、δはδ＝９０
−（θ°／２）と設定している。したがって、上記の操
作により、オリフラＯＦは、図７（ｄ）に示すように、
インゴットＩｎの真上の位置に位置する。
【００３６】次に、制御装置４４は支持ローラ回転用モ
ータ４０を駆動して、インゴットＩｎを反時計回りの方
向（正方向）に回転させる。これにより、インゴットＩ
ｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向（正方
向）に回転し、図７（ｅ）に示すように、そのオリフラ
ＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッジ検出センサ１６の
検出点Ｐに到達する。
ータ４０を駆動して、インゴットＩｎを反時計回りの方
向（正方向）に回転させる。これにより、インゴットＩ
ｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向（正方
向）に回転し、図７（ｅ）に示すように、そのオリフラ
ＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッジ検出センサ１６の
検出点Ｐに到達する。
【００３７】このオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が
検出点Ｐに到達すると、レーザー投光ユニット１６ａか
ら投光されたレーザー光が、レーザー受光ユニット１６
ｂで受光される。制御装置４４は、このレーザー受光ユ
ニット１６ｂによるレーザー光の受光を検出することに
より、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出
センサ１６の検出点Ｐに到達したことを検出する。そし
て、支持ローラ回転用モータ４０の駆動を停止して、イ
ンゴットＩｎの回転を停止させる。
検出点Ｐに到達すると、レーザー投光ユニット１６ａか
ら投光されたレーザー光が、レーザー受光ユニット１６
ｂで受光される。制御装置４４は、このレーザー受光ユ
ニット１６ｂによるレーザー光の受光を検出することに
より、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出
センサ１６の検出点Ｐに到達したことを検出する。そし
て、支持ローラ回転用モータ４０の駆動を停止して、イ
ンゴットＩｎの回転を停止させる。
【００３８】ここで、インゴットＩｎのオリフラＯＦの
フラット面は、一方側のエッジＥ1から時計回りの方向
（逆方向）に（θ°／２）回転したところにあるので、
このオリフラＯＦのフラット面を前記基準位置（検出点
Ｐ）に位置させるには、インゴットＩｎを反時計回りの
方向（正方向）に（θ°／２）回転させればよい。制御
装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０の駆動をし
て、インゴットＩｎを更に反時計回りの方向（正方向）
に（θ°／２）回転させる。
フラット面は、一方側のエッジＥ1から時計回りの方向
（逆方向）に（θ°／２）回転したところにあるので、
このオリフラＯＦのフラット面を前記基準位置（検出点
Ｐ）に位置させるには、インゴットＩｎを反時計回りの
方向（正方向）に（θ°／２）回転させればよい。制御
装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０の駆動をし
て、インゴットＩｎを更に反時計回りの方向（正方向）
に（θ°／２）回転させる。
【００３９】この結果、図７（ｆ）に示すように、オリ
フラＯＦのフラット面が検出点Ｐの位置に位置して位置
決めがなされる。なお、このインゴットＩｎを反時計回
りの方向（正方向）に（θ°／２）回転させる際、制御
装置４４は、エンコーダ４２を作動して支持ローラ３６
Ｂの回転量を検出し、インゴットＩｎの回転量を算出す
る。そして、インゴットＩｎが正確に（θ°／２）回転
しているか確認する。これにより、確実にオリフラＯＦ
を基準位置に位置決めすることができる。
フラＯＦのフラット面が検出点Ｐの位置に位置して位置
決めがなされる。なお、このインゴットＩｎを反時計回
りの方向（正方向）に（θ°／２）回転させる際、制御
装置４４は、エンコーダ４２を作動して支持ローラ３６
Ｂの回転量を検出し、インゴットＩｎの回転量を算出す
る。そして、インゴットＩｎが正確に（θ°／２）回転
しているか確認する。これにより、確実にオリフラＯＦ
を基準位置に位置決めすることができる。
【００４０】前記のごとくオリフラＯＦの位置決めが終
了すると、Ｘ線方位測定器１２によってインゴットＩｎ
の結晶方位の測定が行われる。すなわち、Ｘ線方位測定
器１２によって、結晶軸のオリフラに平行な方向の傾き
角度αと、オリフラに垂直な方向の傾き角度βが測定さ
れる。この測定結果α、βは、Ｘ線方位測定器１２に備
えられた図示しない制御装置に出力され、該制御装置
は、その測定値α、βからインゴット軸Ｏに対する結晶
軸の最大傾き角度ＺM と傾き方向θM を算出する。そし
て、その算出結果は、Ｘ線方位測定器１２のモニタ上に
表示される。
了すると、Ｘ線方位測定器１２によってインゴットＩｎ
の結晶方位の測定が行われる。すなわち、Ｘ線方位測定
器１２によって、結晶軸のオリフラに平行な方向の傾き
角度αと、オリフラに垂直な方向の傾き角度βが測定さ
れる。この測定結果α、βは、Ｘ線方位測定器１２に備
えられた図示しない制御装置に出力され、該制御装置
は、その測定値α、βからインゴット軸Ｏに対する結晶
軸の最大傾き角度ＺM と傾き方向θM を算出する。そし
て、その算出結果は、Ｘ線方位測定器１２のモニタ上に
表示される。
【００４１】以上によりインゴットＩｎの結晶方位の測
定は終了し、測定終了後、再び送りモータ３２を駆動し
てスライドテーブル２６を測定開始前の位置に移動させ
る。そして、インゴットＩｎを支持ローラ３６Ａ、３６
Ｂ上から取り上げ、次のスライスベースの接着工程に搬
送する。このように、上述したＸ線方位測定装置１０で
は、極めて簡単な方法でオリフラの位置を検出すること
ができるので、インゴットＩｎの位置決めを容易に行う
ことができる。
定は終了し、測定終了後、再び送りモータ３２を駆動し
てスライドテーブル２６を測定開始前の位置に移動させ
る。そして、インゴットＩｎを支持ローラ３６Ａ、３６
Ｂ上から取り上げ、次のスライスベースの接着工程に搬
送する。このように、上述したＸ線方位測定装置１０で
は、極めて簡単な方法でオリフラの位置を検出すること
ができるので、インゴットＩｎの位置決めを容易に行う
ことができる。
【００４２】また、オリフラの検出に要する機構も、イ
ンゴットＩｎを回転させる手段と、オリフラＯＦのエッ
ジＥ1 、Ｅ2 を検出する手段のみで構成されているた
め、極めて簡単な機構となる。したがって、装置自体の
コンパクト化を図ることができる。また、装置のコスト
ダウンを図ることもできる。さらに、検出時のインゴッ
トＩｎの回転方向と逆方向にインゴットＩｎを回転させ
て位置決めするのではなく、一度逆方向に戻したのち、
検出時の回転方向と同方向にインゴットＩｎを回転させ
て位置決めすることにより、バックラッシの影響を受け
ずに、高精度な位置決めを行うことができる。
ンゴットＩｎを回転させる手段と、オリフラＯＦのエッ
ジＥ1 、Ｅ2 を検出する手段のみで構成されているた
め、極めて簡単な機構となる。したがって、装置自体の
コンパクト化を図ることができる。また、装置のコスト
ダウンを図ることもできる。さらに、検出時のインゴッ
トＩｎの回転方向と逆方向にインゴットＩｎを回転させ
て位置決めするのではなく、一度逆方向に戻したのち、
検出時の回転方向と同方向にインゴットＩｎを回転させ
て位置決めすることにより、バックラッシの影響を受け
ずに、高精度な位置決めを行うことができる。
【００４３】なお、本実施の形態では、オリフラＯＦの
設定基準位置が検出点Ｐの位置に設定されている場合
（γ＝０の場合）について説明したが、基準位置が検出
点Ｐから正方向にγ°回転した位置に設定されている場
合については、次のように位置決めする。すなわち、図
７（ｅ）の状態から、インゴットＩｎを反時計回りの方
向（正方向）に（γ＋θ°／２）回転させる。これによ
り、検出点Ｐから正方向にγ°回転した位置にオリフラ
ＯＦを位置決めすることができる。
設定基準位置が検出点Ｐの位置に設定されている場合
（γ＝０の場合）について説明したが、基準位置が検出
点Ｐから正方向にγ°回転した位置に設定されている場
合については、次のように位置決めする。すなわち、図
７（ｅ）の状態から、インゴットＩｎを反時計回りの方
向（正方向）に（γ＋θ°／２）回転させる。これによ
り、検出点Ｐから正方向にγ°回転した位置にオリフラ
ＯＦを位置決めすることができる。
【００４４】また、オリフラＯＦの設定基準位置が検出
点Ｐから時計回りの方向（逆方向）にε°回転した位置
に設定されている場合については、次のように位置決め
する。なお、ここでは基準位置が検出点Ｐから時計回り
の方向（逆方向）にε＝９０°回転した位置（インゴッ
トＩｎの真上の位置）に設定されている場合について説
明する。この場合、インゴットＩｎは、図８（ａ）に示
すように、そのオリフラＯＦが検出点Ｐの下側で、か
つ、支持ローラ３６Ａ、３６Ｂにかからない位置に載置
する。
点Ｐから時計回りの方向（逆方向）にε°回転した位置
に設定されている場合については、次のように位置決め
する。なお、ここでは基準位置が検出点Ｐから時計回り
の方向（逆方向）にε＝９０°回転した位置（インゴッ
トＩｎの真上の位置）に設定されている場合について説
明する。この場合、インゴットＩｎは、図８（ａ）に示
すように、そのオリフラＯＦが検出点Ｐの下側で、か
つ、支持ローラ３６Ａ、３６Ｂにかからない位置に載置
する。
【００４５】まず、制御装置４４は、支持ローラ回転用
モータ４０を駆動して、インゴットＩｎを時計回りの方
向（逆方向）に回転させる。これにより、図８（ｂ）に
示すように、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ
1 が、エッジ検出センサ１６の検出点Ｐを通過する。制
御装置４４は、このオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1
が検出点Ｐを通過したことを検出すると、エンコーダ４
２を作動させて支持ローラ３６Ｂの回転量の検出を開始
する。そして、制御装置４４は、図８（ｃ）に示すよう
に、オリフラＯＦの他方側のエッジＥ2 が検出点Ｐに達
したことを検出すると、支持ローラ回転用モータ４０の
駆動を停止して、インゴットＩｎの回転を停止させる。
モータ４０を駆動して、インゴットＩｎを時計回りの方
向（逆方向）に回転させる。これにより、図８（ｂ）に
示すように、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ
1 が、エッジ検出センサ１６の検出点Ｐを通過する。制
御装置４４は、このオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1
が検出点Ｐを通過したことを検出すると、エンコーダ４
２を作動させて支持ローラ３６Ｂの回転量の検出を開始
する。そして、制御装置４４は、図８（ｃ）に示すよう
に、オリフラＯＦの他方側のエッジＥ2 が検出点Ｐに達
したことを検出すると、支持ローラ回転用モータ４０の
駆動を停止して、インゴットＩｎの回転を停止させる。
【００４６】次に、制御装置４４は、エンコーダ４２の
検出値から、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 から他
方側のエッジＥ2 に到達するまでのインゴットＩｎの回
転角度θ°を算出する。ここで、図８（ｃ）に示すよう
に、インゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、両
エッジＥ1 、Ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠Ｅ1 ＯＥ
2 （＝θ°）の１／２のところにある。したがって、イ
ンゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、検出点Ｐ
から時計回りの方向にθ°／２回転した位置にあること
が分かる。制御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４
０を駆動して、インゴットＩｎをインゴット軸回りに
（９０°−θ°／２）回転させる。この結果、図８
（ｄ）に示すように、オリフラＯＦのフラット面がイン
ゴットＩｎの真上の位置に位置決めされる。
検出値から、オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 から他
方側のエッジＥ2 に到達するまでのインゴットＩｎの回
転角度θ°を算出する。ここで、図８（ｃ）に示すよう
に、インゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、両
エッジＥ1 、Ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠Ｅ1 ＯＥ
2 （＝θ°）の１／２のところにある。したがって、イ
ンゴットＩｎのオリフラＯＦのフラット面は、検出点Ｐ
から時計回りの方向にθ°／２回転した位置にあること
が分かる。制御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４
０を駆動して、インゴットＩｎをインゴット軸回りに
（９０°−θ°／２）回転させる。この結果、図８
（ｄ）に示すように、オリフラＯＦのフラット面がイン
ゴットＩｎの真上の位置に位置決めされる。
【００４７】また、上記の実施の形態では、オリフラの
位置を検出する方法とその位置決め方法について説明し
たが、ノッチの位置の検出及び位置決めをする場合にも
同様の方法で検出及び位置決めすることができる。すな
わち、図９に示すように、ノッチＮの中心は、ノッチＮ
の両エッジｅ1 、ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠ｅ 1
Ｏｅ2 （＝θ°）の１／２のところにあるので、このノ
ッチＮの両エッジｅ1、ｅ2 を検出することにより、オ
リフラＯＦの場合と同様に、ノッチＮの位置を検出する
ことができる。
位置を検出する方法とその位置決め方法について説明し
たが、ノッチの位置の検出及び位置決めをする場合にも
同様の方法で検出及び位置決めすることができる。すな
わち、図９に示すように、ノッチＮの中心は、ノッチＮ
の両エッジｅ1 、ｅ2 の中間の位置、すなわち、∠ｅ 1
Ｏｅ2 （＝θ°）の１／２のところにあるので、このノ
ッチＮの両エッジｅ1、ｅ2 を検出することにより、オ
リフラＯＦの場合と同様に、ノッチＮの位置を検出する
ことができる。
【００４８】また、図１０（ａ）に示すように、オリフ
ラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ2 のなす角θ°が予め分かっ
ている場合は、一方側のエッジＥ1 の検出のみを行え
ば、オリフラＯＦのフラット面の位置を検出することが
できる。すなわち、まず、支持ローラ回転用モータ４０
を駆動して、支持ローラ３６Ａを時計回りの方向に回転
させる。この結果、インゴットＩｎが、インゴット軸Ｏ
を中心として反時計回りの方向（正方向）に回転する。
ラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ2 のなす角θ°が予め分かっ
ている場合は、一方側のエッジＥ1 の検出のみを行え
ば、オリフラＯＦのフラット面の位置を検出することが
できる。すなわち、まず、支持ローラ回転用モータ４０
を駆動して、支持ローラ３６Ａを時計回りの方向に回転
させる。この結果、インゴットＩｎが、インゴット軸Ｏ
を中心として反時計回りの方向（正方向）に回転する。
【００４９】インゴットＩｎが回転すると、そのインゴ
ットＩｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向
（正方向）に回転する。そして、図１０（ｂ）に示すよ
うに、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッ
ジ検出センサ１６の検出点Ｐに到達する。ここで、前記
オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐに到達す
ると、レーザー投光ユニット１６ａから投光されたレー
ザー光が、レーザー受光ユニット１６ｂで受光される。
制御装置４４は、このレーザー受光ユニット１６ｂによ
るレーザー光の受光を検出することにより、オリフラＯ
Ｆの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出センサ１６の検出
点Ｐに到達したことを検出する。制御装置４４は、この
オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐに到達し
たことを検出すると、支持ローラ回転用モータ４０の駆
動を停止して、インゴットＩｎの回転を停止させる。
ットＩｎに形成されたオリフラＯＦが反時計回りの方向
（正方向）に回転する。そして、図１０（ｂ）に示すよ
うに、そのオリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が、エッ
ジ検出センサ１６の検出点Ｐに到達する。ここで、前記
オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐに到達す
ると、レーザー投光ユニット１６ａから投光されたレー
ザー光が、レーザー受光ユニット１６ｂで受光される。
制御装置４４は、このレーザー受光ユニット１６ｂによ
るレーザー光の受光を検出することにより、オリフラＯ
Ｆの一方側のエッジＥ1 がエッジ検出センサ１６の検出
点Ｐに到達したことを検出する。制御装置４４は、この
オリフラＯＦの一方側のエッジＥ1 が検出点Ｐに到達し
たことを検出すると、支持ローラ回転用モータ４０の駆
動を停止して、インゴットＩｎの回転を停止させる。
【００５０】ここで、オリフラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ
2 のなす角θ°は予め分かっているので、このオリフラ
ＯＦの一方側のエッジＥ1 を検出することにより、オリ
フラＯＦのフラット面の位置を知ることができる。すな
わち、オリフラＯＦのフラット面は、一方側のエッジＥ
から時計回りの方向（逆方向）に（θ°／２）回転した
ところにある。
2 のなす角θ°は予め分かっているので、このオリフラ
ＯＦの一方側のエッジＥ1 を検出することにより、オリ
フラＯＦのフラット面の位置を知ることができる。すな
わち、オリフラＯＦのフラット面は、一方側のエッジＥ
から時計回りの方向（逆方向）に（θ°／２）回転した
ところにある。
【００５１】したがって、このオリフラＯＦを前記基準
位置に位置させるためには、インゴットＩｎを反時計回
りの方向（正方向）に（θ°／２）回転させればよい。
制御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０を駆動し
て、インゴットＩｎをインゴット軸回りに（θ°／２）
回転させる。この結果、図１０（ｃ）に示すように、オ
リフラＯＦのフラット面が設定基準位置である検出点Ｐ
の位置に位置決めされる。
位置に位置させるためには、インゴットＩｎを反時計回
りの方向（正方向）に（θ°／２）回転させればよい。
制御装置４４は、支持ローラ回転用モータ４０を駆動し
て、インゴットＩｎをインゴット軸回りに（θ°／２）
回転させる。この結果、図１０（ｃ）に示すように、オ
リフラＯＦのフラット面が設定基準位置である検出点Ｐ
の位置に位置決めされる。
【００５２】この方法では、検出時のインゴットＩｎの
回転方向と位置決め時のインゴットＩｎの回転方向が一
致しているので、バックラッシの影響を受けず高精度な
位置決めを行うことができる。また、上記方法はノッチ
Ｎの両エッジｅ1 、ｅ2 のなす角θ°が予め分かってい
る場合にも同様に適用することができる。
回転方向と位置決め時のインゴットＩｎの回転方向が一
致しているので、バックラッシの影響を受けず高精度な
位置決めを行うことができる。また、上記方法はノッチ
Ｎの両エッジｅ1 、ｅ2 のなす角θ°が予め分かってい
る場合にも同様に適用することができる。
【００５３】なお、上述した実施の形態では、エッジの
検出をレーザーセンサで行っているが、センサはこれに
限定されるものではない。また、オリフラＯＦのエッジ
Ｅ1 、Ｅ2 は、以下の方法で検出することにより、より
高精度な検出を行うことができる。図１１に示すよう
に、エッジ検出センサ１６のレーザー投光ユニット１６
ａからは一定の幅ｗを有するレーザー光が投光される。
インゴットＩｎを回転させて、このレーザー投光ユニッ
ト１６ａとレーザー受光ユニット１６ｂとの間にインゴ
ットＩｎの端面の周縁部を通過させると、図１２のグラ
フに示すように、円形部（ｘ〜ａ，ｉ〜ｋ））では受光
量が一定となるが、オリフラＯＦの部分（ａ〜ｉ）では
受光量が変化する。したがって、このレーザー光の受光
量が変化を開始した点（図１２において点ａ）と変化が
終了した点（同図において点ｉ）とを検出すれば、オリ
フラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ2 を検出することができ
る。
検出をレーザーセンサで行っているが、センサはこれに
限定されるものではない。また、オリフラＯＦのエッジ
Ｅ1 、Ｅ2 は、以下の方法で検出することにより、より
高精度な検出を行うことができる。図１１に示すよう
に、エッジ検出センサ１６のレーザー投光ユニット１６
ａからは一定の幅ｗを有するレーザー光が投光される。
インゴットＩｎを回転させて、このレーザー投光ユニッ
ト１６ａとレーザー受光ユニット１６ｂとの間にインゴ
ットＩｎの端面の周縁部を通過させると、図１２のグラ
フに示すように、円形部（ｘ〜ａ，ｉ〜ｋ））では受光
量が一定となるが、オリフラＯＦの部分（ａ〜ｉ）では
受光量が変化する。したがって、このレーザー光の受光
量が変化を開始した点（図１２において点ａ）と変化が
終了した点（同図において点ｉ）とを検出すれば、オリ
フラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ2 を検出することができ
る。
【００５４】しかしながら、実際にはインゴットＩｎに
は形状誤差（真円度、欠け等）があるので、図１３
（ａ）に示すように、円形部においても受光量は安定し
ていない。このため、オリフラＯＦのエッジでない部分
を誤ってエッジであると認識してしまうおそれがある。
そこで、エッジ検出センサ１６の出力レベルの上下に予
め幅ζを持たせ、これによってインゴットＩｎの形状誤
差を吸収するようにする。これにより、オリフラＯＦの
エッジＥ1 、Ｅ2 の誤認識を防止することができる。
は形状誤差（真円度、欠け等）があるので、図１３
（ａ）に示すように、円形部においても受光量は安定し
ていない。このため、オリフラＯＦのエッジでない部分
を誤ってエッジであると認識してしまうおそれがある。
そこで、エッジ検出センサ１６の出力レベルの上下に予
め幅ζを持たせ、これによってインゴットＩｎの形状誤
差を吸収するようにする。これにより、オリフラＯＦの
エッジＥ1 、Ｅ2 の誤認識を防止することができる。
【００５５】また、オリフラＯＦの両エッジＥ1 、Ｅ2
のなす角θは、予め計算によって求めることができるの
で、この計算で求めたθO を予め制御装置４４に入力し
ておき、この値θO と検出によって求められたθとを比
較することにより、誤検出あるいはエッジに欠け等が生
じていると判断することができる。また、図１３（ｂ）
に示すように、形状誤差のないインゴットＩｎを検出し
た場合に得られるエッジ検出センサ１６の理論上の出力
カーブを制御装置４４に予め入力しておき、検出によっ
て得られたエッジ検出センサ１６の出力カーブ（図１３
（ａ））とを比較することによっても、誤検出あるいは
エッジに欠け等が生じていると判断することができる。
のなす角θは、予め計算によって求めることができるの
で、この計算で求めたθO を予め制御装置４４に入力し
ておき、この値θO と検出によって求められたθとを比
較することにより、誤検出あるいはエッジに欠け等が生
じていると判断することができる。また、図１３（ｂ）
に示すように、形状誤差のないインゴットＩｎを検出し
た場合に得られるエッジ検出センサ１６の理論上の出力
カーブを制御装置４４に予め入力しておき、検出によっ
て得られたエッジ検出センサ１６の出力カーブ（図１３
（ａ））とを比較することによっても、誤検出あるいは
エッジに欠け等が生じていると判断することができる。
【００５６】そして、エッジに欠けが生じている場合
は、オリフラＯＦの中心側の複数の値（ｆ〜ｈ）と円形
部の値（ｊ〜ｌ）とから計算によってエッジを算出す
る。これにより、エッジに欠けが生じている場合であっ
ても、高精度なエッジＥ1 、Ｅ2の検出を行うことがで
きる。以上のような方法でオリフラＯＦのエッジＥ1 、
Ｅ2 を検出することにより、形状誤差（真円度、欠け
等）が生じているインゴットＩｎであっても、精度良く
オリフラＯＦのエッジＥ1 、Ｅ2 を検出することができ
る。
は、オリフラＯＦの中心側の複数の値（ｆ〜ｈ）と円形
部の値（ｊ〜ｌ）とから計算によってエッジを算出す
る。これにより、エッジに欠けが生じている場合であっ
ても、高精度なエッジＥ1 、Ｅ2の検出を行うことがで
きる。以上のような方法でオリフラＯＦのエッジＥ1 、
Ｅ2 を検出することにより、形状誤差（真円度、欠け
等）が生じているインゴットＩｎであっても、精度良く
オリフラＯＦのエッジＥ1 、Ｅ2 を検出することができ
る。
【００５７】なお、上述した実施の形態では、インゴッ
トＩｎに形成されたオリフラ又はノッチの検出及びその
位置決めを行う方法について説明したが、本発明はイン
ゴットだけではなく、インゴット切断後のウェーハに形
成されたオリフラ又はノッチの検出及び位置決めを行う
場合にも同様に適用することができる。
トＩｎに形成されたオリフラ又はノッチの検出及びその
位置決めを行う方法について説明したが、本発明はイン
ゴットだけではなく、インゴット切断後のウェーハに形
成されたオリフラ又はノッチの検出及び位置決めを行う
場合にも同様に適用することができる。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単にインゴットに形成されたオリフラ又はノッチの位
置を検出することができるとともに、簡単に高精度な位
置決めを行うことができる。
簡単にインゴットに形成されたオリフラ又はノッチの位
置を検出することができるとともに、簡単に高精度な位
置決めを行うことができる。
【図１】本発明に係るオリフラ・ノッチ検出方法及び位
置決め方法を適用したＸ線方位測定装置の構成を示す正
面図
置決め方法を適用したＸ線方位測定装置の構成を示す正
面図
【図２】本発明に係るオリフラ・ノッチ検出方法及び位
置決め方法を適用したＸ線方位測定装置の構成を示す平
面図
置決め方法を適用したＸ線方位測定装置の構成を示す平
面図
【図３】インゴット搬送装置の構成を示す側面図
【図４】インゴット搬送装置の構成を示す平面図
【図５】エッジ検出センサの構成を示す正面図
【図６】エッジ検出センサの構成を示す平面図
【図７】オリフラ検出方法及び位置決め方法の説明図
【図８】オリフラ検出方法及び位置決め方法の説明図
【図９】ノッチ検出方法及び位置決め方法の説明図
【図１０】オリフラ検出方法及び位置決め方法の説明図
【図１１】エッジ検出センサの他の実施の形態の構成を
示す平面図
示す平面図
【図１２】他の実施の形態のエッジ検出方法の説明図
【図１３】他の実施の形態のエッジ検出方法の説明図
１０…Ｘ線方位測定装置 １２…Ｘ線方位測定器 １４…インゴット搬送装置 １６…エッジ検出センサ １６ａ…レーザー投光ユニット １６ｂ…レーザー受光ユニット ３６Ａ、３６Ｂ…支持ローラ ４０…支持ローラ回転用モータ ４２…エンコーダ ４４…制御装置 Ｉｎ…インゴット ＯＦ…オリフラ Ｅ1 、Ｅ2 …オリフラのエッジ Ｎ…ノッチ ｅ1 、ｅ2 …ノッチのエッジ Ｐ…検出点
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/304 H01L 21/68 B28D 1/00
Claims (6)
- 【請求項１】 インゴットに形成されたオリフラ又はノ
ッチの位置を検出するインゴットのオリフラ・ノッチ検
出方法において、 インゴットをインゴット軸回りに回転し、 前記オリフラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出
センサの検出点を通過してから他方側のエッジが前記検
出点に到達するまでに要するインゴットの回転角度θ°
を検出するとともに、その他方側のエッジが前記検出点
に到達したところで前記インゴットの回転を停止し、 前記検出点から前記インゴットを回転させた方向にθ°
／２の位置を前記オリフラ又はノッチの位置として取得
することを特徴とするインゴットのオリフラ・ノッチ検
出方法。 - 【請求項２】 インゴットに形成されたオリフラ又はノ
ッチの位置を検出するインゴットのオリフラ・ノッチ検
出方法において、 インゴットに形成されたオリフラ又はノッチの両エッジ
が前記インゴットのインゴット軸となす角θ°を予め取
得し、 インゴットをインゴット軸回りに回転し、 前記オリフラ又はノッチの一方側のエッジがエッジ検出
センサの検出点に到達したところで前記インゴットの回
転を停止し、 前記検出点から前記インゴットを回転させた方向と逆方
向にθ°／２の位置を前記オリフラ又はノッチの位置と
して取得することを特徴とするインゴットのオリフラ・
ノッチ検出方法。 - 【請求項３】 前記エッジ検出センサは、一定幅の光を
投光する投光ユニットと、その投光ユニットから投光さ
れた光を受光する受光ユニットとからなり、前記投光ユ
ニットと前記受光ユニットとの間に前記インゴットの端
面の周縁部を通過させ、前記受光ユニットで受光される
受光量の変化の始点及び／又は終点を検出することによ
り、前記オリフラ又はノッチのエッジを検出することを
特徴とする請求項１又は２記載のインゴットのオリフラ
・ノッチ検出方法。 - 【請求項４】 前記オリフラ又はノッチのエッジの検出
は、 形状誤差のないインゴットに形成されたオリフラ又はノ
ッチのエッジを前記エッジ検出センサで検出した場合に
得られる理論上の出力カーブを予め取得し、 その理論上の出力カーブと、検出によって得られた出力
カーブとを比較して、エッジの欠けの有無を判断し、 エッジに欠けがある場合は、前記理論上の出力カーブに
基づいて計算によってエッジを求めることを特徴とする
請求項１又は２記載のインゴットのオリフラ・ノッチ検
出方法。 - 【請求項５】 インゴットに形成されたオリフラ又はノ
ッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回転
した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイン
ゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、 インゴットをインゴット軸回りに正方向に回転させて、
前記オリフラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点
を通過してから他方側のエッジが前記検出点に到達する
までに要するインゴットの回転角度θ°を検出するとと
もに、その他方側のエッジが前記検出点に到達したとこ
ろで前記インゴットの回転を停止し、 前記インゴットを逆方向に（θ＋δ）°回転させて停止
し、 前記インゴットを正方向に回転させて、前記オリフラ又
はノッチの一方側のエッジが前記検出点に到達したこと
を検出し、検出後、さらに前記インゴットをインゴット
軸回りに正方向に（γ＋θ／２）°回転させて停止する
ことにより、前記オリフラ又はノッチを前記基準位置に
位置決めすることを特徴とするインゴットのオリフラ・
ノッチ位置決め方法。 - 【請求項６】 インゴットに形成されたオリフラ又はノ
ッチをエッジ検出センサの検出点から正方向にγ°回転
した点に設定された所定の基準位置に位置決めするイン
ゴットのオリフラ・ノッチ位置決め方法において、 インゴットに形成されたオリフラ又はノッチの両エッジ
が前記インゴットのインゴット軸となす角θ°を予め取
得し、 インゴットをインゴット軸回りに回転させて、前記オリ
フラ又はノッチの一方側のエッジが前記検出点に到達し
たことを検出し、検出後、さらに前記インゴットを前記
回転方向と同方向に（γ＋θ／２）°回転させて停止す
ることにより、前記オリフラ又はノッチを前記基準位置
に位置決めすることを特徴とするインゴットのオリフラ
・ノッチ位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13059398A JP2882482B1 (ja) | 1997-12-15 | 1998-05-13 | インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34541297 | 1997-12-15 | ||
| JP9-345412 | 1997-12-15 | ||
| JP13059398A JP2882482B1 (ja) | 1997-12-15 | 1998-05-13 | インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2882482B1 true JP2882482B1 (ja) | 1999-04-12 |
| JPH11238707A JPH11238707A (ja) | 1999-08-31 |
Family
ID=26465687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13059398A Expired - Fee Related JP2882482B1 (ja) | 1997-12-15 | 1998-05-13 | インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882482B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4197103B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2008-12-17 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング装置 |
| TWI735315B (zh) * | 2020-08-21 | 2021-08-01 | 上銀科技股份有限公司 | 偵測晶圓位置的方法及設備 |
-
1998
- 1998-05-13 JP JP13059398A patent/JP2882482B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11238707A (ja) | 1999-08-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |