JPH04284647A - ウエハの中心位置検出方法及びその装置 - Google Patents

ウエハの中心位置検出方法及びその装置

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JPH04284647A
JPH04284647A JP3072058A JP7205891A JPH04284647A JP H04284647 A JPH04284647 A JP H04284647A JP 3072058 A JP3072058 A JP 3072058A JP 7205891 A JP7205891 A JP 7205891A JP H04284647 A JPH04284647 A JP H04284647A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はウエハの中心位置検出
方法及びその装置に関するもので、更に詳細には、ウエ
ハを回転自在に保持する保持手段の回転中心からのウエ
ハの中心位置の偏心状態を検出するウエハの中心位置検
出方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プローブ装置、エッチング装置、
アッシング装置等の各種の半導体製造装置では、ウエハ
の位置合せが行われている。このうち、例えばウエハに
設けられたチップの電気的特性を検査するプローブ装置
では、精密位置合せの前にプリアライメント装置によっ
てやや粗い位置合せ（プリアライメント）がなされてい
る。
【０００３】このプリアライメントは、ウエハを回転自
在に保持するウエハチャックの回転中心にウエハの中心
位置を合せると共に、ウエハの一部を切欠したオリエン
テーションフラット（以下にオリフラという）の位置合
せを行う。
【０００４】プリアライメントを光学的に非接触で行う
装置としては、図１３に示すものが知られている。同図
において、１は半導体のウエハであり、ウエハ１はウエ
ハチャック２上に回転自在に保持されている。ウエハ１
の周縁部にはこれを挟むように光源１００　と受光素子
１０１　とが対向配置されており、ウエハチャック２に
よりウエハ１を回転させながら受光素子１０１　に入射
する光量の測定を行う。なお、１ａはオリフラである。
【０００５】ウエハ１がウエハチャック２に対して偏心
していると、ウエハ１の回転位置によってウエハ１が光
源１００　からの光を遮る面積が変り、受光素子１０１
　に入射する光量が変化する。このため、受光素子１０
１　の受光出力よりウエハチャック２上のウエハ１の外
形情報が得られ、ウエハ１の偏心状態が検出される。そ
して、この検出結果よりウエハ１の位置合せがなされて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のプリアライメント装置では、測定有効長さが約数セ
ンチの特殊な線状の受光素子１０１　が必要であり、ま
た、光源１００　にも数センチ程度に亘って均一な光強
度を有するものが必要となる。また、受光素子１０１　
からのアナログ出力を数多くのデジタル量に変換する必
要があり、更には、受光素子１０１　、光源１００　の
劣化等によって測定結果が変動し易いという問題もあっ
た。
【０００７】ところで、最近ではシリコン等の不透明な
ウエハばかりではなく、石英ガラス、水晶あるいはガリ
ウムヒ素等の検査光を透過するウエハもある。しかし、
このような検査光を透過するウエハに対して上記の従来
装置を適用しても、光源１００からの照射光はウエハを
透過してしまって光量変化を検出することができない。
【０００８】この発明は上記事情に鑑みなされたもので
、ウエハを回転自在に保持する保持手段の回転中心から
のウエハの中心位置の偏心状態を簡単な構成にて迅速か
つ高い信頼性をもって検出することができるウエハの中
心位置検出方法及びその装置を提供することを目的とす
るものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第１のウエハの中心位置検出方法は、保
持手段により回転自在に保持されるウエハの実際の外周
とウエハの中心位置が保持手段の回転中心に一致してい
るときにウエハの外周が描く仮想ウエハ外周軌跡との２
つの交点を光学的に検出し、上記保持手段の回転中心に
対して検出された上記交点間のなす中心角と予め知られ
ている上記ウエハの半径とに基いて、保持手段の回転中
心からウエハの中心位置が偏心している偏心方向及び偏
心量を求めるものである。
【００１０】また、この発明の第２のウエハの中心位置
検出装置は、第１の発明の方法を実施するための装置で
あって、ウエハを回転自在に保持する保持手段と、上記
ウエハの中心位置が上記保持手段の回転中心に一致して
いるときにウエハの外周が描く仮想ウエハ外周軌跡に臨
ませて設けられ、ウエハの外周位置を光学的に検出する
ためのセンサと、上記保持手段の回転角を検出する回転
角度検出手段と、上記センサが上記保持手段により回転
されるウエハの外周位置を検出した２つの検出点におけ
る上記回転角度検出手段の検出回転角度と予め知られて
いる上記ウエハの半径とに基いて上記保持手段の回転中
心からウエハの中心位置が偏心している偏心方向及び偏
心量を演算する演算手段とを具備するものである。
【００１１】更に、この発明の第３のウエハの中心位置
検出方法は、ウエハの中心位置がウエハを回転自在に保
持する保持手段の回転中心に一致しているときに、ウエ
ハの外周が描く仮想ウエハ外周軌跡に対して保持手段の
回転方向に僅かに内側及び外側の２点においてウエハの
有無を光学的に検出し、上記ウエハを上記保持手段の１
つの回転半径方向に順次移動量を減衰させつつかつ交互
に逆方向に移動させて、各移動ごとに保持手段によりウ
エハを回転したときに上記２点におけるウエハの有無の
情報により、上記保持手段の回転中心からのウエハの中
心位置の偏心量を求めるものである。
【００１２】また、この発明の第４のウエハの中心位置
検出装置は、第３の発明の方法を実施するために用いら
れるものであって、ウエハを回転自在に保持する保持手
段と、上記ウエハの中心位置が上記保持手段の回転中心
に一致しているときにウエハの外周が描く仮想ウエハ外
周軌跡に対して上記保持手段の回転半径方向に僅かに内
側及び外側に位置させて設けられ、ウエハの有無を光学
的に検出するセンサと、上記保持手段により上記ウエハ
を回転したときに上記センサから得られる出力に基き保
持手段の回転中心からのウエハの中心位置の偏心量を判
定する判定手段とを具備するものである。
【００１３】この発明において、上記保持手段は、ウエ
ハを回転自在に保持できるものであれば真空チャック等
のようなものでよい。
【００１４】上記センサは、ウエハを挾むように対向配
置される光源と受光素子とからなる透過型センサでも、
あるいは、光源と光源から発せられウエハで反射された
反射光を受光する受光素子とからなる反射型センサでも
よい。この場合、反射型センサでは、ウエハが透明材質
でも不透明材質でも材質に影響されることなく検知でき
るのでより好ましい。一方、透過型センサでは、ウエハ
の端部においては光源からの照射光が拡散ないし散乱さ
れて受光量が低下することを利用することにより、ウエ
ハの端部（外周位置）を検出することが可能である。
【００１５】上記回転角度検出手段は、電気的、光学的
等のような手段で検出するものでよく、例えばロータリ
エンコーダを用いたり、あるいは、ステッピングモータ
を用いて保持手段の回転駆動をも兼用させるようにして
もよい。
【００１６】上記演算手段、判定手段は、例えば中央演
算処理装置（ＣＰＵ）にて形成できる。
【００１７】
【作用】この発明の第１の方法並びに第２の装置にあっ
ては、ウエハの実際の外周と仮想ウエハ外周軌跡との同
径の２つの円を考えて、２つの円が交わる交点より幾何
学的にウエハの偏心状態を決定している。この場合、保
持手段の回転中心に対して２つの交点間のなす中心角を
θとすると、偏心方向は中心角θの二等分線（θ／２方
向）上にあり、またウエハの半径をｒとすると、偏心量
は２ｒｃｏｓ（θ／２）である。
【００１８】また、この発明の第３の方法並びに第４の
装置にあっては、仮想ウエハ外周軌跡に対して保持手段
の回転半径に僅かに内側及び外側の２点でウエハの有無
を光学的に検出しているので、ウエハが偏心している場
合には、ウエハを１回転すると、２点のいずれでもウエ
ハを検知できるときがあるが、ウエハが偏心していない
場合（あるいは、ウエハの中心位置が保持手段の回転中
心に近接した場合）には、ウエハを１回転しても内側の
点では常にウエハを検知できるが、外側の点では全くウ
エハを検知できない。このことから、ウエハの偏心量が
わかる。特に第３の方法では、ウエハを保持手段の１つ
の回転半径方向に順次移動量を減衰させつつかつ交互に
逆方向に移動させてウエハの中心位置を保持手段の回転
中心に接近させるようにしているので、少ない回数でか
つ確実に位置合せができる。
【００１９】
【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細
に説明する。
【００２０】図１において、１は半径ｒの円形状をなし
その外周のー部にオリフラ１ａを有するウエハである。 ウエハ１はこれを回転自在に保持する保持手段としてウ
エハチャック２上に真空吸着されている。ウエハチャッ
ク２の回転中心０とウエハ１の中心位置Ｃとが一致して
いるとしたときにウエハ１の外周が描く仮想ウエハ外周
軌跡はＳであり、仮想ウエハ外周軌跡Ｓ上にはこれに臨
ませてウエハ１の外周位置（端部）を光学的に検出する
ための反射型センサ３が設けられている。また、ウエハ
チャック２にはその回転角度を検出するロータリエンコ
ーダ、ステッピングモータ等の回転角度検出手段４が設
けられる。反射型センサ３、回転角度検出手段４の検出
出力は、図２に示すように、ＣＰＵ等の演算手段５に入
力されるようになっている。
【００２１】反射型センサ３は、図３及び図４に示すよ
うに、その下面の中央に設けられた受光素子６と、その
外周部に等間隔に複数（図面では４個の場合を示す）設
けられた光源７とを有している。図示のように、１つの
光源７のみがウエハ１に対向したときでも、光源７から
の光はウエハ１で反射されて受光素子６に入射され、ウ
エハ１がセンサ３の下方に存在することが検知される。 反射型センサ３では、ウエハ１が透明な材質のもの、例
えば石英ガラス、水晶、あるいは検査光を透過するガリ
ウムヒ素などの検知もできる。なお、図３、図４では、
説明の都合上、ウエハ１に対して反射型センサ３を拡大
して示したが、反射型センサ３の実際の外形寸法は数ｍ
ｍ程度のものである。
【００２２】ウエハ１は、後述する搬入手段９により、
図１のようにウエハチャック２上に搬入されるが、通常
、ウエハ１の中心位置Ｃとウエハチャック２の回転中心
Ｏとは図示のように位置ずれした状態で置かれる。そこ
でこの場合のウエハの中心位置Ｃの検出方法を次に述べ
る。
【００２３】ウエハ１を保持した状態でウエハチャック
２を回転しながら、センサ３でウエハ１の有無の検出を
行う。これは、ウエハチャック２を止めてセンサ３を仮
想ウエハ外周軌跡Ｓを回転走査するのと同等である。し
たがって、ウエハチャック２を１回転するとき、センサ
３は実際のウエハ１の外周と仮想ウエハ外周軌跡Ｓとの
交点Ｐ，Ｑに対向することになる。交点Ｐ，Ｑがセンサ
３を通過するときには、ウエハ１に対してセンサ３が対
向する状態から対向しない状態に、あるいはその逆の変
化が起こる。センサ３とウエハ１が対向状態にあるとき
は、センサ３の受光出力は有するが、非対向状態ではセ
ンサ３の受光出力は無い。このため、センサ３から得ら
れる受光出力は、図６の符号Ｅで示すように、１か０の
デジタル信号となり、この信号が変化するところを回転
角度検出手段４から、演算手段５に入力される回転角度
信号と対応づけることで、交点Ｐ，Ｑの回転角度位置が
わかる。
【００２４】交点Ｐ，Ｑがわかると、ウエハ１の外周と
仮想ウエハ外周軌跡Ｓとは円であるので、図５に示すよ
うに、これら２つの円の幾何学的な関係から、ウエハチ
ャック２の回転中心Ｏよりウエハ１の中心位置Ｃが偏心
している偏心方向および偏心量が求まる。偏心方向は回
転中心Ｏに対して交点Ｐ，Ｑがなす角である中心角θを
二等分する直線上ないしは交点Ｐ，Ｑの垂直二等分線上
、つまり交点ＰまたはＱの方向からθ／２回転した方向
にある。また、回転中心Ｏと中心位置Ｃとは線分ＰＱに
対して対称な位置にあるので、遍心量ＯＣ＝Ｌ＝２ｒｃ
ｏｓ（θ／２）として求まる。
【００２５】次に、上記の中心位置検出方法を用いてウ
エハの位置合わせ（プリアラインメント）を行う具体例
を図７以降の図面に従って説明する。
【００２６】図７及び図８において、１０はウエハ１を
多数収納するカットであり、９はカセット１０のウエハ
１を位置合わせ用のウエハチャック２まで搬送する搬送
手段としてのベルトコンベヤである。カセット１０内の
ウエハ１は、移動手段（図示せず）によりローリング等
されてベルトコンベヤ９上の一端部に移載させ後、ベル
トコンベヤ９によりその他端部に設けられたウエハチャ
ック２の上方へと移送される（図７参照）。そして、ウ
エハ１がウエハチャック２の直上に送られてきたときに
ベルトコンベア９を停止し、その後、ウエハチャック２
を上昇させてウエハチャック２上にウエハ１を載置して
吸着保持する（図８参照）。これにより、ウエハ１とセ
ンサ３とは近接状態となる。なお、符号８も反射型セン
サであるが、後述の中心位置検出において用いるもので
ある。ウエハチャック２上のウエハ１は、ベルトコンベ
ア９への移載時の位置ずれやベルトコンベア９による停
止誤差等によって偏心状態にある。
【００２７】次いで、図示省略のステッピングモータに
よりウエハチャック２を適宜回転角ずつ回転させながら
センサ３の検出出力をサンプリングし、上述のようにし
て、交点Ｐ，Ｑ、偏心方向及び偏心量を求める。ベルト
コンベア９の搬送方向をＸ軸とし、Ｘ軸に垂直な水平軸
をＹ軸とすると、図９（ａ）に示すように、ウエハ１は
その中心位置Ｃがウエハチャック２の回転中心ＯからΔ
Ｘ，ΔＹだけ位置ずれしていたとする。この位置ずれ量
ΔＸ，ΔＹは上記で得られた偏心方向及び偏心量より演
算できる。また、Ｘ軸と偏心方向ＯＣとのなす角φも求
めることができる。
【００２８】したがって、図９（ａ）の状態よりウエハ
チャック２を時計方向にφだけ回転させると、図９（ｂ
）に示すように、偏心方向ＯＣとＸ軸とが一致し、Ｙ軸
方向のずれ量ΔＹはなくなり、Ｘ軸方向のずれ量ΔＸ１
　だけとなる。
【００２９】次に、このＸ軸方向の偏心量ないし位置ず
れ量を補正するための中心位置検出及び位置合せを図１
０及び図１１を参照して説明する。
【００３０】図１０において、Ｓ１　，Ｓ２　，Ｓ３　
はそれぞれ例えば３インチ、４インチ、５インチのウエ
ハ１に対応した仮想ウエハ外周軌跡であり、各軌跡Ｓ１
　，Ｓ２　，Ｓ３　に対して１組のセンサ（３１　，８
１　）、（３２　，８２　）、（３３　，８３　）がそ
れぞれ設けられている。そして、一方のセンサ３（３１
　，３２　，３３）は軌跡Ｓ（Ｓ１　，Ｓ２　，Ｓ３　
）よりＸ軸方向に僅かに内側（例えば１ｍｍ程度）に設
置され、他方のセンサ８（８１　，８２　，８３　）は
軌跡Ｓ（Ｓ１　，Ｓ２　，Ｓ３　）より僅かに外側に設
置されている。したがって、ウエハ１の中心位置Ｃとウ
エハチャック２の回転中心Ｏとが一致しているとき、あ
るいは極めて近接しているときには、軌跡Ｓの内側のセ
ンサ３の受光素子６は常に受光状態にあり、一方、軌跡
Ｓの外側のセンサ８の受光素子６は全く受光状態にない
ことになる。このことから、ウエハ１の中心位置Ｃとウ
エハチャック２の回転中心Ｏとの偏心量を判定すること
ができる。
【００３１】図１１はこのような中心検知に基いて位置
合せを行う方法の例を示すものである。図１１（ａ）は
図９（ｂ）と同様にＸ軸方向のみにウエハ１が偏心して
いる状態を示している。この状態よりウエハ１をＸ軸方
向に移動させるが、移動方法はＸ軸方向に沿って順次移
動量をｔ，ｔ／２，ｔ／４…と半減させかつ交互に左右
に移動させるようにする（図１１（ａ），（ｂ），（ｃ
），（ｄ）参照）。移動させる際には、ウエハチャック
２を下降させてチャックを解除してベルトコンベア９上
にウエハ１を載せてベルトコンベア９で移動させる。一
旦、移動させた後はウエハ１をウエハチャック２に再び
載置し、ウエハチャック２を回転させ、ウエハチャック
２を回転させてもセンサ３が常にウエハ１に対向し受光
素子６が受光状態に保たれるようになるまで上記動作（
図１１（ｄ）の状態）を続ける。なお、最初の移動量ｔ
は、ウエハ１の偏心量の実際上の上限値等から定められ
る。また、移動量の減衰比は上記のように１／２に限る
ものではない。
【００３２】上記の移動によってウエハ１の中心位置Ｃ
とウエハチャック２の回転中心Ｏとを位置合せできたら
、最後に、オリフラ１ａの位置を基準位置に合せる。 これには、例えばウエハチャック２を回転したときに仮
想ウエハ外周軌跡Ｓの内側にあるセンサ３の受光出力が
オリフラ１ａの両側端部で変化することから、オリフラ
１ａの垂直二等分線を求めて、これが基準線、例えばＸ
軸と一致するようにウエハチャック２を回転させればよ
い。
【００３３】なお、上記実施例ではウエハ１の光学的検
出を反射型センサ３，８で行ったが、図１２に示すよう
に、光源１１と受光素子１２とを対向させた透過型セン
サ１３を用いるようにしてもよい。この場合、ウエハ１
が石英ガラスのような透明なものであるときには、図６
に示すように、ウエハ１の端部では光源１１からの光は
拡散されて受光素子１２の受光量が低下し、その受光出
力Ｆが落ち込むことを利用すれば、ウエハ１の端部を検
出することができる。
【００３４】また、図１１で示したように、ベルトコン
ベア９によって移動するのではなく、精度のよいロボッ
トハンド等のようなＸＹ移動手段等を別途設けてこれを
用いれば、図９（ａ）又は（ｂ）の状態より一回で中心
位置合せを行うことができる。
【００３５】また、図１０では、センサ３とセンサ８と
を同一のＸ軸上に配置したが、センサ３に対してセンサ
８をＹ軸上に配置したり、近接させて配置したりしても
よい。なお、図１０に示すように仮想ウエハ外周軌跡Ｓ
よりも内側あるいは外側に位置するセンサ３，８によっ
ても、図１で求める偏心方向ＯＣの測定には誤差は生じ
ないので問題はない。
【００３６】
【発明の効果】以上に説明したように、請求項１又は２
記載の発明によれば、実際のウエハの外周と仮想ウエハ
外周軌跡との２つの交点よりウエハの偏心方向及び偏心
量を求めることができるので、従来のようなライン状の
長い受光素子及び光源は不要となり、簡単な構成で迅速
にしかも信頼性よくウエハの中心位置検出ができる。
【００３７】また、請求項３又は４記載の発明によれば
、仮想ウエハ外周軌跡の僅かに内側及び外側の２点でウ
エハの有無をセンサにより光学的に検出することができ
るので、中心の位置合せができているときには、内側の
センサは常にウエハ有りの状態で、一方、外側のセンサ
は全くウエハ無しの状態となることから、中心位置検出
の決定が極めて容易となる。
【００３８】更に、請求項３記載の発明によれば、中心
位置合せのために、移動量を順次減衰させかつ交互に逆
方向に移動させているので、一方向に一定の移動量で移
動させる場合よりも少ない移動回数で迅速に中心位置合
せが可能となる。
【００３９】また、請求項５記載の発明によれば、反射
型センサを用いているので、ウエハの材質の透明、不透
明に拘らず同様に検出可能であり、汎用性がある。特に
、請求項１ないし４記載の発明ではウエハの有無を点状
でデジタル的に検知できるセンサでよく、これら発明に
好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係るウエハの中心位置検出装置の一
実施例を示す斜視図である。
【図２】この発明における回路構成を示す回路図である
。
【図３】この発明における反射型センサを拡大して示す
側面図である。
【図４】図３の底面図である。
【図５】図１に示す装置による中心位置検出の説明図で
ある。
【図６】この発明における保持手段の回転による受光素
子の受光出力の変化を示す波形図である。
【図７】プリアライメントを行うための装置のプリアラ
イメント前の状態を示す説明図である。
【図８】プリアライメントを行うための装置のプリアラ
イメント時の状態を示す説明図である。
【図９】ウエハの偏心状態の説明図である。
【図１０】この発明のウエハの中心位置検出装置の実施
例を示す概略構成図である。
【図１１】図１０の装置を用いた中心位置検出及び位置
合せの説明図である。
【図１２】透過型センサを用いた中心位置検出装置の概
略構成図である。
【図１３】従来のプリアライメント装置を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
１　　ウエハ ２　　ウエハチャック（保持手段） ３　　反射型センサ ４　　回転角度検出手段 ５　　演算手段（ＣＰＵ） ６　　受光素子 ７　　光源 ８　　反射型センサ １１　　光源 １２　　受光素子 １３　　透過型センサ Ｃ　　中心位置 Ｏ　　回転中心 Ｓ　　仮想ウエハ外周軌跡 Ｐ　　交点 Ｑ　　交点 θ　　中心角 ｒ　　半径

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　保持手段により回転自在に保持される
    ウエハの実際の外周とウエハの中心位置が保持手段の回
    転中心に一致しているときにウエハの外周が描く仮想ウ
    エハ外周軌跡との２つの交点を光学的に検出し、上記保
    持手段の回転中心に対して検出された上記交点間のなす
    中心角と予め知られている上記ウエハの半径とに基いて
    、保持手段の回転中心からウエハの中心位置が偏心して
    いる偏心方向及び偏心量を求めることを特徴とするウエ
    ハの中心位置検出方法。
  2. 【請求項２】　　ウエハを回転自在に保持する保持手段
    と、上記ウエハの中心位置が上記保持手段の回転中心に
    一致しているときにウエハの外周が描く仮想ウエハ外周
    軌跡に臨ませて設けられ、ウエハの外周位置を光学的に
    検出するためのセンサと、上記保持手段の回転角を検出
    する回転角度検出手段と、上記センサが上記保持手段に
    より回転されるウエハの外周位置を検出した２つの検出
    点における上記回転角度検出手段の検出回転角度と、予
    め知られている上記ウエハの半径とに基いて上記保持手
    段の回転中心からウエハの中心位置が偏心している偏心
    方向及び偏心量を演算する演算手段とを具備することを
    特徴とするウエハの中心位置検出装置。
  3. 【請求項３】　　ウエハの中心位置がウエハを回転自在
    に保持する保持手段の回転中心に一致しているときに、
    ウエハの外周が描く仮想ウエハ外周軌跡に対して保持手
    段の回転方向に僅かに内側及び外側の２点においてウエ
    ハの有無を光学的に検出し、上記ウエハを上記保持手段
    の１つの回転半径方向に順次移動量を減衰させつつかつ
    交互に逆方向に移動させて、各移動ごとに保持手段によ
    りウエハを回転したときに上記２点におけるウエハの有
    無の情報により、上記保持手段の回転中心からのウエハ
    の中心位置の偏心量を求めることを特徴とするウエハの
    中心位置検出方法。
  4. 【請求項４】　　ウエハを回転自在に保持する保持手段
    と、上記ウエハの中心位置が上記保持手段の回転中心に
    一致しているときにウエハの外周が描く仮想ウエハ外周
    軌跡に対して上記保持手段の回転半径方向に僅かに内側
    及び外側に位置させて設けられ、ウエハの有無を光学的
    に検出するセンサと、上記保持手段により上記ウエハを
    回転したときに上記センサから得られる出力に基き保持
    手段の回転中心からのウエハの中心位置の偏心量を判定
    する判定手段とを具備することを特徴とするウエハの中
    心位置検出装置。
  5. 【請求項５】　　請求項２又は４記載のウエハの中心位
    置検出装置において、センサが光源と光源から発せられ
    ウエハで反射された反射光を受光する受光素子とを備え
    た反射型センサであることを特徴とするウエハの中心位
    置検出装置。
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