KR970018305A - 와이어 톱의 와이어 탈선 검출장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 와이어릴 사이를 고속으로 주행하는 와이어에 의해 반도체 잉곳등의 워크피스를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 관한 것으로, 탈선된 와이어가 접촉되었을 때 작동하는 스위치 수단이 설치되어 상기 스위치 수단으로부터 전송된 동작신호를 수신하여 제어장치를 주행하는 와이어를 멈추게하며, 또한 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되는 동안의 각 가이드롤러 회전수를 측정하기 위한 수단이 설치되어 상기 수단에 의해 측정된 회전수와 정상적으로 절단되는 동안의 소정기준 회전수를 제어수단을 통해 비교하여 와이어가 탈선되었는지를 결정하게 되므로 전기적으로 와이어 탈선을 검출하는 종래 방법과 달리 오작동의 문제가 없으며 와이어가 씹히는 것이 방지될 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 와이어톱의 전체구성도.
Claims (15)
- 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한쌍의 와이어릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감기고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어열에 프레스되는 와이어톱의 와이어탈선 검출장치에 있어서, 상기 각 홈부롤러의 각 단부 가까이에 설치되며 상기 홈부롤러로부터 탈선된 상기 와이어가 접촉하면 동작신호를 전송하기 위해 작동되는 스위치 수단과, 사익 와이어가 상기 홈부롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위해 상기 스위치 수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신하기 위한 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선검출장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 각 홈부롤러의 각 단부 가까이에 설치된 상기 스위치수단의 어느 스위치수단으로부터 상기 동작신호를 수시하였는지를 결정하는 상기 다수의 홈부롤러의 어느 홈부롤러로부터 상기 와이어가 탈선되었는지를 결정하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스위치수단은 마이크로 스위치인 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한쌍의 와이어릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감기고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어열에 프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 있어서, 상기 워크피스가 절단되는 동안 상기 다수의 가이드롤러의 각 가이드롤러의 회전수를 측정하기 위한 수단과, 회전수를 측정하기 위한 상기 수단에 의해 측정된 상기 가이드롤러의 상기 회전수와 상기 가이드롤러의 소정기준 회전수를 비교하여 상기 와이어가 상기 가이드롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위한 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선된 것을 검출할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선된 것을 검출할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 다수의 가이드롤러의 각 가이드롤러의 회전수를 검출하여 상기 회전수와 상기 기준회전수를 비교함으로써 상기 다수의 가이드롤러의 어느 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선되었는지를 결정하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제6항에 있어서, 상기 회전수를 측정하기 위한 상기 수단은 클로우즈 스위치이며, 상기 클로우즈 스위치는 상기 가이드 롤러의 단부 면에 일정피치로 상기 가이드롤러의 상기 단부 면과 동축으로 형성된 측정구멍이 통과할 때 동작되고 사익 제어수단에 의해 상기 스위치수단의 동작수가 카운트되어 상기 가이드롤러의 회전수를 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한쌍의 와이어릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감기고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어열에 프레스되는 와이어톱의 와이어탈선 검출장치에 있어서, 상기 각 가이드롤러의 가까이에 설치되며 상기 가이드롤러로부터 탈선된 상기 와이어가 접촉하면 동작신호를 전송하기 위해 작동되는 스위치 수단과, 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신하기 위해 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제11항에 있어서, 상기 제어수단은 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
- 제11항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
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- 제11항에 있어서, 상기 스위치수단은 마이크로 스위치인 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
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