JPH1015938A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH1015938A JPH1015938A JP17661596A JP17661596A JPH1015938A JP H1015938 A JPH1015938 A JP H1015938A JP 17661596 A JP17661596 A JP 17661596A JP 17661596 A JP17661596 A JP 17661596A JP H1015938 A JPH1015938 A JP H1015938A
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- JP
- Japan
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- wire
- shape measuring
- grooved roller
- groove
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】溝付ローラを実機から取り外すことなく、ま
た、溝付ローラを洗浄することなく溝付ローラの溝精度
を手間をかけずに測定する。 【解決手段】ワイヤソー１０のワークフィードテーブル
２８に形状測定機４４を設ける。そして、形状測定機４
４の触針６８の先端子６９をワイヤ列２０のワイヤ１４
に当接させ、そして、ワイヤ列２０に直交する方向に移
動させてワイヤ列２０の各ワイヤ１４、１４…の間隔Ｐ
及び基準ブロック７６に対する各ワイヤ１４、１４…の
位置を直接測定し、この測定結果に基づいて溝付ローラ
１８Ａの溝精度を測定する。
た、溝付ローラを洗浄することなく溝付ローラの溝精度
を手間をかけずに測定する。 【解決手段】ワイヤソー１０のワークフィードテーブル
２８に形状測定機４４を設ける。そして、形状測定機４
４の触針６８の先端子６９をワイヤ列２０のワイヤ１４
に当接させ、そして、ワイヤ列２０に直交する方向に移
動させてワイヤ列２０の各ワイヤ１４、１４…の間隔Ｐ
及び基準ブロック７６に対する各ワイヤ１４、１４…の
位置を直接測定し、この測定結果に基づいて溝付ローラ
１８Ａの溝精度を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円柱状の半導体イ
ンゴット、セラミック、ガラス等のワークを走行するワ
イヤで薄板状のウェーハに切断するワイヤソーに関す
る。
ンゴット、セラミック、ガラス等のワークを走行するワ
イヤで薄板状のウェーハに切断するワイヤソーに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワイ
ヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラ
の溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリー
ルに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給してワークを押し当てることにより、その砥粒の
ラッピング作用によって前記ワークを多数のウェーハに
切断する。
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワイ
ヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラ
の溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリー
ルに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給してワークを押し当てることにより、その砥粒の
ラッピング作用によって前記ワークを多数のウェーハに
切断する。
【０００３】ところで、溝付ローラの溝が磨耗していく
と、切断されるウェーハの精度に悪影響を与える。即
ち、前記溝の傾斜面が磨耗した場合には、ワイヤが溝付
ローラの軸線方向に移動してしまい、結果的にウェーハ
の厚さが不均一になる。また、溝が径方向に磨耗して隣
接する溝との溝径が大きく変化するとワイヤが蛇行して
しまい、結果的にウェーハの平坦度が悪化するという現
象が生じる。
と、切断されるウェーハの精度に悪影響を与える。即
ち、前記溝の傾斜面が磨耗した場合には、ワイヤが溝付
ローラの軸線方向に移動してしまい、結果的にウェーハ
の厚さが不均一になる。また、溝が径方向に磨耗して隣
接する溝との溝径が大きく変化するとワイヤが蛇行して
しまい、結果的にウェーハの平坦度が悪化するという現
象が生じる。
【０００４】そこで、従来では、溝付ローラを実機から
一旦取り外して、この溝付ローラの溝形状を形状測定機
を用いて測定し、その結果が許容値を外れた時に溝付ロ
ーラの寿命と判断して溝付ローラを新品のものと交換す
るようにしている。図１０は、溝付ローラ１の測定状況
を示す要部断面図である。同図によれば、形状測定機の
触針先端子２を溝付ローラ１の溝３に当接させると共
に、溝付ローラ１の軸線方向（図中矢印で示す方向）に
走行させて溝３の形状を測定する。図１１は、その測定
結果を示す出力データであり、このデータに基づいて隣
接する溝３、３…同士のピッチ（Ｐ）、及び溝径のバラ
ツキ（α）を算出し溝３、３…の磨耗量を計測してい
る。
一旦取り外して、この溝付ローラの溝形状を形状測定機
を用いて測定し、その結果が許容値を外れた時に溝付ロ
ーラの寿命と判断して溝付ローラを新品のものと交換す
るようにしている。図１０は、溝付ローラ１の測定状況
を示す要部断面図である。同図によれば、形状測定機の
触針先端子２を溝付ローラ１の溝３に当接させると共
に、溝付ローラ１の軸線方向（図中矢印で示す方向）に
走行させて溝３の形状を測定する。図１１は、その測定
結果を示す出力データであり、このデータに基づいて隣
接する溝３、３…同士のピッチ（Ｐ）、及び溝径のバラ
ツキ（α）を算出し溝３、３…の磨耗量を計測してい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
溝形状測定方法では、測定する度に溝付ローラを実機か
ら取り外さなければならず、また、測定終了後に溝付ロ
ーラを実機に再度取り付けなければならないので、非常
に手間がかかるという欠点がある。更に、従来の溝形状
測定方法では、溝形状測定前に溝付ローラの溝を洗浄し
て、溝に付着している切削屑等を除去しなければならな
いので、その測定に手間がかかるという欠点がある。
溝形状測定方法では、測定する度に溝付ローラを実機か
ら取り外さなければならず、また、測定終了後に溝付ロ
ーラを実機に再度取り付けなければならないので、非常
に手間がかかるという欠点がある。更に、従来の溝形状
測定方法では、溝形状測定前に溝付ローラの溝を洗浄し
て、溝に付着している切削屑等を除去しなければならな
いので、その測定に手間がかかるという欠点がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定する
ことができるワイヤソーを提供することを目的とする。
もので、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定する
ことができるワイヤソーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、ワーク送りテーブルにワー
クを取り付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に
向けて送り出すことによりワークをワイヤ列に押し当て
て、ワークを多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、該ワイヤソーに形状測定機を設け、該形状測定機
で前記ワイヤ列の各ワイヤ間隔及び基準位置に対する各
ワイヤの位置を直接測定することにより、前記溝付ロー
ラの溝精度を測定することを特徴としている。
するために、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、ワーク送りテーブルにワー
クを取り付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に
向けて送り出すことによりワークをワイヤ列に押し当て
て、ワークを多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、該ワイヤソーに形状測定機を設け、該形状測定機
で前記ワイヤ列の各ワイヤ間隔及び基準位置に対する各
ワイヤの位置を直接測定することにより、前記溝付ロー
ラの溝精度を測定することを特徴としている。
【０００８】本発明によれば、ワイヤソーに形状測定機
を設け、この形状測定機によって、ワイヤ列の各ワイヤ
間隔及び基準位置に対する各ワイヤの位置を直接測定
し、この測定結果に基づいて溝付ローラの溝精度を測定
するようにした。これにより、本発明では、測定の度に
溝付ローラを脱着して洗浄しなければならない従来方法
と比較して、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定
することができる。
を設け、この形状測定機によって、ワイヤ列の各ワイヤ
間隔及び基準位置に対する各ワイヤの位置を直接測定
し、この測定結果に基づいて溝付ローラの溝精度を測定
するようにした。これにより、本発明では、測定の度に
溝付ローラを脱着して洗浄しなければならない従来方法
と比較して、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定
することができる。
【０００９】また、本発明では、前記形状測定機をワー
ク送りテーブルに設けて、ワークの移動機構と形状測定
機の移動機構とを併用している。したがって、本発明で
は、形状測定機の移動機構を別個に設ける必要がないの
で、ワイヤソーを小型化できる。
ク送りテーブルに設けて、ワークの移動機構と形状測定
機の移動機構とを併用している。したがって、本発明で
は、形状測定機の移動機構を別個に設ける必要がないの
で、ワイヤソーを小型化できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの透視図
である。同図に示すワイヤソー１０によれば、ワイヤリ
ール１２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ
１６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の
溝付きローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、
水平なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成し
たワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成
された他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリ
ールに巻き取られる。
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの透視図
である。同図に示すワイヤソー１０によれば、ワイヤリ
ール１２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ
１６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の
溝付きローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、
水平なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成し
たワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成
された他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリ
ールに巻き取られる。
【００１１】ワイヤ列２０の両側に形成されるワイヤ走
行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサローラ
２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一方側
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール１２
からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、ダン
サローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）が架
設されていて、このウェイトによって、走行するワイヤ
１４に一定の張力が付与されている。ワイヤ洗浄装置２
６は、洗浄液タンク２９から供給される洗浄液をワイヤ
１４に噴射して、ワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ
１４から除去する。
行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサローラ
２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一方側
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール１２
からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、ダン
サローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）が架
設されていて、このウェイトによって、走行するワイヤ
１４に一定の張力が付与されている。ワイヤ洗浄装置２
６は、洗浄液タンク２９から供給される洗浄液をワイヤ
１４に噴射して、ワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ
１４から除去する。
【００１２】一対のワイヤリール１２及び溝付ローラ１
８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せず）
が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモータを駆
動することにより、ワイヤリール１２間を高速で往復走
行する。ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列２０に対し
て垂直に昇降移動するワークフィードテーブル２８が設
置されている。ワークフィードテーブル２８の下面に
は、セッティングベース３０を介して半導体インゴット
３２が保持されている。
８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せず）
が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモータを駆
動することにより、ワイヤリール１２間を高速で往復走
行する。ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列２０に対し
て垂直に昇降移動するワークフィードテーブル２８が設
置されている。ワークフィードテーブル２８の下面に
は、セッティングベース３０を介して半導体インゴット
３２が保持されている。
【００１３】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、半導体インゴット３２の切断は、ワークフィー
ドテーブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、
高速走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当て
ることにより行う。この際、前記ワイヤ列２０には、ス
ラリタンク３４から図示しないノズルを介してスラリが
供給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有され
る砥粒のラッピング作用でウェーハに切断される。
おいて、半導体インゴット３２の切断は、ワークフィー
ドテーブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、
高速走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当て
ることにより行う。この際、前記ワイヤ列２０には、ス
ラリタンク３４から図示しないノズルを介してスラリが
供給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有され
る砥粒のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００１４】前記インゴット３２の加工に供したスラリ
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。な
お、インゴット３２の切断は、図１中二点破線で示すよ
うに、ハウジング４０内で行われ、供給したスラリが周
囲に飛散するのを防止している。
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。な
お、インゴット３２の切断は、図１中二点破線で示すよ
うに、ハウジング４０内で行われ、供給したスラリが周
囲に飛散するのを防止している。
【００１５】ところで、ワークフィードテーブル２８の
下面には図２に示すように、Ｘ−Ｙ移動機構４２が設け
られ、このＸ−Ｙ移動機構４２に形状測定機４４が取り
付けられている。また、ワークフィードテーブル２８の
下面には図３に示すように、形状測定機４４の収納ボッ
クス４６が設置されている。この収納ボックス４６は、
溝付ローラ１８Ｂの図３中右側で、ワークフィードテー
ブル２８の下降時（半導体インゴット３２の切断時）に
溝付ローラ１８Ｂと衝突しない位置に設けられている。
前記形状測定機４４は、半導体インゴット３２の切断中
には、前記収納ボックス４６に収納されて、切断雰囲気
から遮蔽される。
下面には図２に示すように、Ｘ−Ｙ移動機構４２が設け
られ、このＸ−Ｙ移動機構４２に形状測定機４４が取り
付けられている。また、ワークフィードテーブル２８の
下面には図３に示すように、形状測定機４４の収納ボッ
クス４６が設置されている。この収納ボックス４６は、
溝付ローラ１８Ｂの図３中右側で、ワークフィードテー
ブル２８の下降時（半導体インゴット３２の切断時）に
溝付ローラ１８Ｂと衝突しない位置に設けられている。
前記形状測定機４４は、半導体インゴット３２の切断中
には、前記収納ボックス４６に収納されて、切断雰囲気
から遮蔽される。
【００１６】前記Ｘ−Ｙ移動機構４２は、ワークフィー
ドテーブル２８の下面に設けられた梁部材４８に支持さ
れている。Ｘ−Ｙ移動機構４２は図２に示すように、Ｙ
方向に配設された一対のガイドレール５０、５０と、Ｘ
方向に配設された一対のガイドレール５２、５２（一方
側は図示せず）とを有している。前記ガイドレール５
０、５０はワークフィードテーブル２８と平行に梁部材
４８に固定され、これに前記ガイドレール５２、５２が
形成されたガイド部５４がＹ方向に移動自在に係合され
ている。前記ガイドレール５２には、ガイド部５６がＸ
方向に移動自在に係合され、このガイド部５４に形状測
定機４４が固定されている。符号５８はＹ軸モータであ
り、このＹ軸モータ５８が図４に示す形状測定機用のＣ
ＰＵ６０によって駆動されると、形状測定機４４はＹ方
向に移動される。また、図２、図３中符号６２はＸ軸モ
ータであり、このＸ軸モータ６２が前記ＣＰＵ６０によ
って駆動されると、形状測定機４４はＸ方向に移動され
る。したがって、形状測定機４４は、ＣＰＵ６０によっ
て移動位置が制御されている。
ドテーブル２８の下面に設けられた梁部材４８に支持さ
れている。Ｘ−Ｙ移動機構４２は図２に示すように、Ｙ
方向に配設された一対のガイドレール５０、５０と、Ｘ
方向に配設された一対のガイドレール５２、５２（一方
側は図示せず）とを有している。前記ガイドレール５
０、５０はワークフィードテーブル２８と平行に梁部材
４８に固定され、これに前記ガイドレール５２、５２が
形成されたガイド部５４がＹ方向に移動自在に係合され
ている。前記ガイドレール５２には、ガイド部５６がＸ
方向に移動自在に係合され、このガイド部５４に形状測
定機４４が固定されている。符号５８はＹ軸モータであ
り、このＹ軸モータ５８が図４に示す形状測定機用のＣ
ＰＵ６０によって駆動されると、形状測定機４４はＹ方
向に移動される。また、図２、図３中符号６２はＸ軸モ
ータであり、このＸ軸モータ６２が前記ＣＰＵ６０によ
って駆動されると、形状測定機４４はＸ方向に移動され
る。したがって、形状測定機４４は、ＣＰＵ６０によっ
て移動位置が制御されている。
【００１７】形状測定機４４は、ガイド部５６に固定さ
れた駆動部６４を有しており、この駆動部６４の下部
に、検出器６６が取り付けられる。駆動部６４は、検出
器６６を水平方向に往復移動させるもので、その移動量
は前記ＣＰＵ６０によって制御されている。検出器６６
の側部には、逆Ｌ字状の触針６８が設けられ、触針６８
の先端には先端子６９が取り付けられている。
れた駆動部６４を有しており、この駆動部６４の下部
に、検出器６６が取り付けられる。駆動部６４は、検出
器６６を水平方向に往復移動させるもので、その移動量
は前記ＣＰＵ６０によって制御されている。検出器６６
の側部には、逆Ｌ字状の触針６８が設けられ、触針６８
の先端には先端子６９が取り付けられている。
【００１８】前記先端子６９は球状に形成され（図７参
照）、直径Ｄがワイヤ列２０の各ワイヤ１４の間隔Ｐに
対して２〜３倍のものが使用されている。先端子６９の
直径Ｄが各ワイヤ１４の間隔Ｐよりも小さい場合には、
先端子６９がワイヤ１４の間に落ち込んで触針６８がワ
イヤ１４に引っ掛かるという不具合が生じ、また、３倍
を超えるとワイヤ１４の間隔Ｐ等を正確に、且つ円滑に
測定することができなくなる。
照）、直径Ｄがワイヤ列２０の各ワイヤ１４の間隔Ｐに
対して２〜３倍のものが使用されている。先端子６９の
直径Ｄが各ワイヤ１４の間隔Ｐよりも小さい場合には、
先端子６９がワイヤ１４の間に落ち込んで触針６８がワ
イヤ１４に引っ掛かるという不具合が生じ、また、３倍
を超えるとワイヤ１４の間隔Ｐ等を正確に、且つ円滑に
測定することができなくなる。
【００１９】前記触針６８は、検出機６６に基部を支点
に上下に揺動自在に設けられ、触針６８の移動量が検出
器６６に取り込まれると、検出器６６は前記移動量に基
づいた電気信号を図４に示したＣＰＵ６０に出力する。
そして、ＣＰＵ６０は、前記電気信号に基づいて溝測定
ＤＡＴＡ処理回路７０に測定データを作成させ、この作
成した測定データを図示しないディスプレイに表示す
る。
に上下に揺動自在に設けられ、触針６８の移動量が検出
器６６に取り込まれると、検出器６６は前記移動量に基
づいた電気信号を図４に示したＣＰＵ６０に出力する。
そして、ＣＰＵ６０は、前記電気信号に基づいて溝測定
ＤＡＴＡ処理回路７０に測定データを作成させ、この作
成した測定データを図示しないディスプレイに表示す
る。
【００２０】図４は、ワイヤソー１０の制御系を示すブ
ロック図であり、同図に示すワイヤソー用のＣＰＵ７２
は、ワイヤソー１０全体の諸機能を制御すると共に、前
述した形状測定機用のＣＰＵ６０、及び溝測定ＤＡＴＡ
処理回路７０を統括制御する。次に、前記の如く構成さ
れたワイヤソー１０の形状測定機４４による溝精度測定
方法について説明する。
ロック図であり、同図に示すワイヤソー用のＣＰＵ７２
は、ワイヤソー１０全体の諸機能を制御すると共に、前
述した形状測定機用のＣＰＵ６０、及び溝測定ＤＡＴＡ
処理回路７０を統括制御する。次に、前記の如く構成さ
れたワイヤソー１０の形状測定機４４による溝精度測定
方法について説明する。
【００２１】先ず、ワイヤソー用のＣＰＵ７２でワーク
フィードテーブル２８の駆動装置（図示せず）を制御し
て、ワークフィードテーブル２８を所定の位置、即ち、
形状測定機４４でワイヤ列２０の各ワイヤ１４の間隔Ｐ
を測定可能な位置まで下降移動させる。次に、ＣＰＵ７
２で形状測定機用のＣＰＵ６０を制御してＸ−Ｙ移動機
構４２の各モータ５８、６２を駆動させ、形状測定機４
４を図３に示した収納ボックス４６から測定対象のワイ
ヤ列２０の測定位置まで移動させる。この測定位置と
は、例えば溝付ローラ１８Ａの溝形状を計測したい場合
には、図５中符号Ａで示す網かけ部分のワイヤ列を測定
可能な位置に移動させ、また、溝付ローラ１８Ｂの溝形
状を計測したい場合には、図５中符号Ｂで示す網かけ部
分のワイヤ列を測定可能な位置に移動させる。即ち、本
実施の形態は、測定対象溝付ローラの近傍に位置するワ
イヤ列の各ワイヤ１４の間隔Ｐ、及び基準位置に対する
各ワイヤ１４の距離ａを測定し、この２つの測定データ
に基づいて、その溝付ローラの溝形状を計測する。本実
施の形態では、前記基準位置を、溝付ローラ１８Ａ（１
８Ｂ）の軸受部７４に設けた基準ブロック７６の上面と
している。
フィードテーブル２８の駆動装置（図示せず）を制御し
て、ワークフィードテーブル２８を所定の位置、即ち、
形状測定機４４でワイヤ列２０の各ワイヤ１４の間隔Ｐ
を測定可能な位置まで下降移動させる。次に、ＣＰＵ７
２で形状測定機用のＣＰＵ６０を制御してＸ−Ｙ移動機
構４２の各モータ５８、６２を駆動させ、形状測定機４
４を図３に示した収納ボックス４６から測定対象のワイ
ヤ列２０の測定位置まで移動させる。この測定位置と
は、例えば溝付ローラ１８Ａの溝形状を計測したい場合
には、図５中符号Ａで示す網かけ部分のワイヤ列を測定
可能な位置に移動させ、また、溝付ローラ１８Ｂの溝形
状を計測したい場合には、図５中符号Ｂで示す網かけ部
分のワイヤ列を測定可能な位置に移動させる。即ち、本
実施の形態は、測定対象溝付ローラの近傍に位置するワ
イヤ列の各ワイヤ１４の間隔Ｐ、及び基準位置に対する
各ワイヤ１４の距離ａを測定し、この２つの測定データ
に基づいて、その溝付ローラの溝形状を計測する。本実
施の形態では、前記基準位置を、溝付ローラ１８Ａ（１
８Ｂ）の軸受部７４に設けた基準ブロック７６の上面と
している。
【００２２】次に、ＣＰＵ７２で形状測定機用のＣＰＵ
６０を制御して、形状測定機４４を測定開始位置に移動
させる。そして、ＣＰＵ７２で形状測定機用のＣＰＵ６
０を制御して、形状測定機４４の駆動部６４を駆動さ
せ、触針６８の先端子６９を溝付ローラ１８Ａの測定開
始位置、即ち、図５で示した符号Ａで示す網かけ部分の
測定開始位置Ｓのワイヤ１４に当接させる。そして、駆
動部６４で検出器６６を図５中右方向（ワイヤ列２０に
対して直交方向）移動させて、各ワイヤ１４の間隔Ｐ、
及び基準ブロック７６の上面に対する各ワイヤ１４の距
離ａを測定し、溝付ローラ１８Ａの溝形状測定を行う。
６０を制御して、形状測定機４４を測定開始位置に移動
させる。そして、ＣＰＵ７２で形状測定機用のＣＰＵ６
０を制御して、形状測定機４４の駆動部６４を駆動さ
せ、触針６８の先端子６９を溝付ローラ１８Ａの測定開
始位置、即ち、図５で示した符号Ａで示す網かけ部分の
測定開始位置Ｓのワイヤ１４に当接させる。そして、駆
動部６４で検出器６６を図５中右方向（ワイヤ列２０に
対して直交方向）移動させて、各ワイヤ１４の間隔Ｐ、
及び基準ブロック７６の上面に対する各ワイヤ１４の距
離ａを測定し、溝付ローラ１８Ａの溝形状測定を行う。
【００２３】図７は、ワイヤ列２０の測定状態を示す要
部断面図である。同図によれば、形状測定機４４の先端
子６９をワイヤ列２０に対して直交方向に走行させて各
ワイヤ１４の間隔Ｐ、及び各ワイヤ１４の距離ａを直接
測定する。図８は、その測定結果を示す出力データであ
り、この出力データに基づいて隣接するワイヤ１４、１
４…間のピッチ（Ｐ）、及び各ワイヤ１４の距離ａを算
出し溝付ローラの溝の磨耗量を計測する。即ち、ワイヤ
１４の形状を示すデータの頂部Ｔ、Ｔ間の軸線方向の距
離をＰ値とし、径方向の距離をａ値として測定する。
部断面図である。同図によれば、形状測定機４４の先端
子６９をワイヤ列２０に対して直交方向に走行させて各
ワイヤ１４の間隔Ｐ、及び各ワイヤ１４の距離ａを直接
測定する。図８は、その測定結果を示す出力データであ
り、この出力データに基づいて隣接するワイヤ１４、１
４…間のピッチ（Ｐ）、及び各ワイヤ１４の距離ａを算
出し溝付ローラの溝の磨耗量を計測する。即ち、ワイヤ
１４の形状を示すデータの頂部Ｔ、Ｔ間の軸線方向の距
離をＰ値とし、径方向の距離をａ値として測定する。
【００２４】したがって、本実施の形態によれば、形状
測定機４４をワイヤソー１０に設けて溝付ローラの溝精
度を測定するようにしたので、測定の度に溝付ローラを
脱着しなければならない従来方法と比較して、溝付ロー
ラの溝形状を手間をかけずに測定することができる。ま
た、本実施の形態は、ワイヤ列２０の測定結果に基づい
て溝付ローラの溝形状を測定するようにしたので、溝付
ローラを洗浄することなく溝形状を測定することができ
る。
測定機４４をワイヤソー１０に設けて溝付ローラの溝精
度を測定するようにしたので、測定の度に溝付ローラを
脱着しなければならない従来方法と比較して、溝付ロー
ラの溝形状を手間をかけずに測定することができる。ま
た、本実施の形態は、ワイヤ列２０の測定結果に基づい
て溝付ローラの溝形状を測定するようにしたので、溝付
ローラを洗浄することなく溝形状を測定することができ
る。
【００２５】更に、本実施の形態では、形状測定機４４
をワークフィードテーブル２８に設けて、インゴット３
２の移動機構と形状測定機４４の移動機構とを併用した
ので、形状測定機４４の移動機構を別個に設ける必要が
なく、よってワイヤソー１０を小型化できる。図９は、
第２の実施の形態のワイヤソーの要部を示す正面図であ
り、図１〜図３に示した第１の実施の形態と同一若しく
は類似の部材については同一の符号を付してその説明は
省略する。
をワークフィードテーブル２８に設けて、インゴット３
２の移動機構と形状測定機４４の移動機構とを併用した
ので、形状測定機４４の移動機構を別個に設ける必要が
なく、よってワイヤソー１０を小型化できる。図９は、
第２の実施の形態のワイヤソーの要部を示す正面図であ
り、図１〜図３に示した第１の実施の形態と同一若しく
は類似の部材については同一の符号を付してその説明は
省略する。
【００２６】同図に示すワイヤソーは、着脱自在な形状
測定機ユニット８１を備え、この形状測定機ユニット８
１の形状測定機４４によって測定対象溝付ローラの近傍
のワイヤ列を測定するようにしたものである。前記形状
測定機ユニット８１は、形状測定機４４と門型フレーム
８２とから構成される。門型フレーム８２は、その上部
梁部８４に形状測定機４４が、梁部８４に沿って移動自
在に取り付けられており、梁部８４の両端に固着された
支柱８６、８６が、溝付ローラ１８Ａ（溝付ローラ１８
Ｂでも良い）の軸受部８８、８８にボルト９０等の取付
具によって着脱自在に取り付けられている。
測定機ユニット８１を備え、この形状測定機ユニット８
１の形状測定機４４によって測定対象溝付ローラの近傍
のワイヤ列を測定するようにしたものである。前記形状
測定機ユニット８１は、形状測定機４４と門型フレーム
８２とから構成される。門型フレーム８２は、その上部
梁部８４に形状測定機４４が、梁部８４に沿って移動自
在に取り付けられており、梁部８４の両端に固着された
支柱８６、８６が、溝付ローラ１８Ａ（溝付ローラ１８
Ｂでも良い）の軸受部８８、８８にボルト９０等の取付
具によって着脱自在に取り付けられている。
【００２７】前記形状測定機ユニット８１によれば、溝
形状測定時に同図に示すようにワイヤソー側に取り付け
られる。そして、形状測定機４４は、梁部８４に沿って
測定対象のワイヤ列の位置まで移動されたのち、先端子
６９をそのワイヤ列のワイヤに当接させて、検出器６６
をワイヤ列２０と直交方向に移動させることによりワイ
ヤ列の各ワイヤの間隔、及び基準位置に対する距離を測
定する。そして、その測定結果に基づいて溝付ローラの
溝形状を測定する。。
形状測定時に同図に示すようにワイヤソー側に取り付け
られる。そして、形状測定機４４は、梁部８４に沿って
測定対象のワイヤ列の位置まで移動されたのち、先端子
６９をそのワイヤ列のワイヤに当接させて、検出器６６
をワイヤ列２０と直交方向に移動させることによりワイ
ヤ列の各ワイヤの間隔、及び基準位置に対する距離を測
定する。そして、その測定結果に基づいて溝付ローラの
溝形状を測定する。。
【００２８】ところで、形状測定機４４で測定された溝
形状データを蓄積することで、溝付ローラの寿命及び保
守点検（再生加工）の時期を判断することもできる。そ
の判断方法は、先ず、新品の溝付ローラの溝形状を測定
し、前記ピッチＰ1と溝径のバラツキα1 の初期データ
を保存する。次に、この溝付ローラを実機に搭載し、ワ
ークをｎ本（例えば１０本）切断した後の前記Ｐ2 、α
2 の中間データを保存する。そして、初期データＰ1 、
α1 から中間データＰ2 、α2 を減算し、ｎ本目におけ
る変化量を求める。この変化量に基づいて、ワーク１本
当たりの変化量を求め、何本目に保守点検が必要となる
か、及び何本目に寿命となるかを予測する。即ち、保守
点検時期の規定値、及び寿命の規定値を予め設定してお
き、これらの規定値を超えると予測される本数目のワー
クを切断終了した時に、保守点検を行い又は新品のもの
と交換する。
形状データを蓄積することで、溝付ローラの寿命及び保
守点検（再生加工）の時期を判断することもできる。そ
の判断方法は、先ず、新品の溝付ローラの溝形状を測定
し、前記ピッチＰ1と溝径のバラツキα1 の初期データ
を保存する。次に、この溝付ローラを実機に搭載し、ワ
ークをｎ本（例えば１０本）切断した後の前記Ｐ2 、α
2 の中間データを保存する。そして、初期データＰ1 、
α1 から中間データＰ2 、α2 を減算し、ｎ本目におけ
る変化量を求める。この変化量に基づいて、ワーク１本
当たりの変化量を求め、何本目に保守点検が必要となる
か、及び何本目に寿命となるかを予測する。即ち、保守
点検時期の規定値、及び寿命の規定値を予め設定してお
き、これらの規定値を超えると予測される本数目のワー
クを切断終了した時に、保守点検を行い又は新品のもの
と交換する。
【００２９】これにより、溝付ローラの寿命及び保守点
検の時期を効率良く判断することができる。尚、前記中
間データは１回に限らず、ｎ本毎に複数回取得するよう
にすれば、切断本数に対する溝の形状変化の統計値を得
ることができるので、変化量の異常の有無を判定でき
る。変化量が異常の場合には、ワイヤソーに異常が生じ
たと判断し、ワイヤソーの異常診断を行う。これによ
り、ワイヤソーの故障を未然に防止することができる。
検の時期を効率良く判断することができる。尚、前記中
間データは１回に限らず、ｎ本毎に複数回取得するよう
にすれば、切断本数に対する溝の形状変化の統計値を得
ることができるので、変化量の異常の有無を判定でき
る。変化量が異常の場合には、ワイヤソーに異常が生じ
たと判断し、ワイヤソーの異常診断を行う。これによ
り、ワイヤソーの故障を未然に防止することができる。
【００３０】本実施の形態では、形状測定手段として触
針先端子を有する接触式の形状測定機について述べた
が、これに限られるものではなく、溝にレーザービーム
を照射して溝形状を測定する非接触式の形状測定機を適
用しても良い。
針先端子を有する接触式の形状測定機について述べた
が、これに限られるものではなく、溝にレーザービーム
を照射して溝形状を測定する非接触式の形状測定機を適
用しても良い。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーによれば、形状測定機をワイヤソーに設け、この形
状測定機によってワイヤ列の各ワイヤ間隔及び基準位置
に対する各ワイヤの位置を直接測定し、この測定結果に
基づいて溝付ローラの溝精度を測定するようにしたの
で、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定すること
ができる。
ソーによれば、形状測定機をワイヤソーに設け、この形
状測定機によってワイヤ列の各ワイヤ間隔及び基準位置
に対する各ワイヤの位置を直接測定し、この測定結果に
基づいて溝付ローラの溝精度を測定するようにしたの
で、溝付ローラの溝精度を手間をかけずに測定すること
ができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るワイヤソーの
透視図
透視図
【図２】図１に示したワイヤソーのワークフィードテー
ブルに形状測定機が取り付けられた状態を示す拡大正面
図
ブルに形状測定機が取り付けられた状態を示す拡大正面
図
【図３】図２の側面図
【図４】ワイヤソー全体の制御系を示すブロック図
【図５】ワイヤ列に対する形状測定機の形状測定位置を
示す説明図
示す説明図
【図６】基準位置に対する各ワイヤの位置を示す説明図
【図７】形状測定機の先端子による測定状況を示す要部
説明図
説明図
【図８】ワイヤ列の測定結果の出力データを示す説明図
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るワイヤソーの
透視図
透視図
【図１０】従来の溝形状測定状況を示す要部拡大断面図
【図１１】従来の溝形状測定結果の出力データを示す説
明図
明図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２８…ワークフィードテーブル ４２…Ｘ−Ｙ移動機構 ４４…形状測定機 ６８…触針 ６９…先端子
Claims (2)
- 【請求項１】走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、ワーク送りテーブルにワー
クを取り付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に
向けて送り出すことによりワークをワイヤ列に押し当て
て、ワークを多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 該ワイヤソーに形状測定機を設け、該形状測定機で前記
ワイヤ列の各ワイヤ間隔及び基準位置に対する各ワイヤ
の位置を直接測定することにより、前記溝付ローラの溝
精度を測定することを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】前記形状測定機は、前記ワーク送りテーブ
ルに設けられていることを特徴とする請求項１記載のワ
イヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17661596A JPH1015938A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17661596A JPH1015938A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1015938A true JPH1015938A (ja) | 1998-01-20 |
Family
ID=16016673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17661596A Pending JPH1015938A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1015938A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000202754A (ja) * | 1999-01-15 | 2000-07-25 | Reischauer Ag | グラインディングウォ―ムの加工方法および加工装置 |
| CN104416686A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 具有传感器布置的丝锯装置和监控丝锯装置操作的方法 |
| JP2016203320A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー |
-
1996
- 1996-07-05 JP JP17661596A patent/JPH1015938A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000202754A (ja) * | 1999-01-15 | 2000-07-25 | Reischauer Ag | グラインディングウォ―ムの加工方法および加工装置 |
| JP4618837B2 (ja) * | 1999-01-15 | 2011-01-26 | ライシャウァー アーゲー | グラインディングウォームの加工方法および加工装置 |
| CN104416686A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 具有传感器布置的丝锯装置和监控丝锯装置操作的方法 |
| JP2016203320A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー |
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