JP2017007044A - ワイヤーソー装置およびワークの切断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)切断対象のワークを横切る方向に走行可能に張設される少なくとも1本のワイヤーと、前記ワークを保持するとともに前記ワークを前記ワイヤーに対して相対移動させるワーク保持部と、前記ワイヤーの走行方向の上流側から前記ワークを切断するためのスラリーを前記ワイヤーに供給するスラリー供給部と、前記ワークとの接触により飛散する前記スラリーを捕集するスラリー捕集部とを備えるワイヤーソー装置において、前記スラリー捕集部は、前記ワークに隣接配置された状態の下で前記ワークに付随して移動可能であるとともに、前記ワイヤーとの接触を防止するよう前記ワークに対して後退可能に構成されていることを特徴とするワイヤーソー装置。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。本発明に係るワイヤーソー装置は、切断対象のワークを横切る方向に走行可能に張設される少なくとも1本のワイヤーと、ワークを保持するとともにワークをワイヤーに対して相対移動させるワーク保持部と、ワイヤーの走行方向の上流側から前記ワークを切断するためのスラリーをワイヤーに供給するスラリー供給部と、ワークとの接触により飛散するスラリーを捕集するスラリー捕集部とを備えるワイヤーソー装置である。ここで、スラリー捕集部は、ワークに隣接配置された状態の下でワークに付随して移動可能であるとともに、ワイヤーとの接触を防止するようワークに対して後退可能に構成されていることが肝要である。
次に、本発明に係るワークの切断方法について説明する。本発明に係るワークの切断方法は、切断対象のワークを横切る方向に少なくとも1本のワイヤーを走行させつつ、該ワイヤーにスラリーを供給して、ワークを保持するワーク保持部をワイヤーに対して相対移動させてワークをワイヤーに押し当てて切り込み送りしてワークをウェーハに切断するワークの切断方法である。
図3にした本発明によるワイヤーソー装置1を用いて、ワークWとしてのシリコン単結晶インゴット(直径300mm、ブロック長さ300mm)を厚さ0.8〜0.9mmのウェーハに切断した。ここで、ワイヤーソー装置1におけるスラリー捕集部24は、金属板または樹脂プレート等の部材からなる受け皿24aと支持部材24bとで構成されており、受け皿24aの水平方向の幅は50mm、高さは25mmであり、水平方向に対して32°傾斜させた。そして、受け皿24aとワークWとの間の最小隙間は、22mmに設定した。
図1に示したワイヤーソー装置100を用いて、発明例と同様の試験を行った。装置100において、スラリー捕集部14は、ワーク側の先端部下端でワークとの間の距離を75mmとなるように構成した。これ以外の切断条件は発明例と全て同じである。
ナノトポグラフィは、ウェーハの表面のうねり成分を現す指標の一つであり、数10mmの空間波長領域における微小な凹凸の大小を示す指標であるPeak Valley値を示す。数値が大きいほどうねりが大きく、表面のうねり形状が急峻であることを示す。発明例および比較例により得られたウェーハに対し、レイテックス社製、Dynasearchを使用して、ウェーハ表面のナノトポグラフィを評価した。
11 ワイヤー
12 ワーク保持部
13 スラリー供給部
14,24 スラリー捕集部
24a 受け皿
24b 支持部材
25 可動制御部
26 ガイド
26a ガイドプレート
W ワーク
B ピン
H 長穴
Claims (14)
- 切断対象のワークを横切る方向に走行可能に張設される少なくとも1本のワイヤーと、前記ワークを保持するとともに前記ワークを前記ワイヤーに対して相対移動させるワーク保持部と、前記ワイヤーの走行方向の上流側から前記ワークを切断するためのスラリーを前記ワイヤーに供給するスラリー供給部と、前記ワークとの接触により飛散する前記スラリーを捕集するスラリー捕集部とを備えるワイヤーソー装置において、
前記スラリー捕集部は、前記ワークに隣接配置された状態の下で前記ワークに付随して移動可能であるとともに、前記ワイヤーとの接触を防止するよう前記ワークに対して後退可能に構成されていることを特徴とするワイヤーソー装置。 - 前記スラリー捕集部の最内側最下端と前記ワークの表面との間の最小隙間が10mm以上50mm以下である、請求項1に記載のワイヤーソー装置。
- 前記スラリー捕集部と前記ワイヤーとの間の鉛直方向の距離の最小値が5mm以上60mm以下である、請求項1または2に記載のワイヤーソー装置。
- 前記スラリー捕集部は前記ワーク保持部に鉛直方向に摺動可能に取り付けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のワイヤーソー装置。
- 前記スラリー捕集部は、前記飛散したスラリーを収容する受け皿と、該受け皿を支持する支持部材とを有し、該支持部材が前記ワーク保持部に鉛直方向に摺動可能に取り付けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のワイヤーソー装置。
- 前記スラリー捕集部の最内側最下端部が、鉛直方向には前記ワークの鉛直方向の上端と前記ワークの中心との間に、水平方向には前記ワークの水平方向の端部と前記ワークの中心との間にそれぞれ配置されている、請求項5に記載のワイヤーソー装置。
- 前記受け皿は、前記ワークの径方向内側に向かって水平または上向きに傾斜している、請求項5または6に記載にワイヤーソー装置。
- 前記受け皿の水平方向に対する傾斜角度は0度以上70度以下である、請求項7に記載のワイヤーソー装置。
- 前記スラリー捕集部と前記ワイヤーとの間に配設された、前記スラリー捕集部の前記ワイヤーへの接触を防止する可動制御部をさらに備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載のワイヤーソー装置。
- 前記可動制御部は前記スラリー供給部に取り付けられている、請求項9に記載のワイヤーソー装置。
- 切断対象のワークを横切る方向に少なくとも1本のワイヤーを走行させつつ、該ワイヤーにスラリーを供給して、前記ワークを保持するワーク保持部を前記ワイヤーに対して相対移動させて前記ワークを前記ワイヤーに押し当てて切り込み送りして前記ワークをウェーハに切断するワークの切断方法において、
前記ワークの前記ワイヤーに対する相対移動は、前記ワークとの接触により飛散する前記スラリーを捕集するスラリー捕集部を、前記ワークに隣接配置した状態の下で前記ワークに付随して移動させながら行い、前記スラリー捕集部と前記ワイヤーとの間の鉛直方向の距離が所定値となった場合には、前記スラリー捕集部を前記ワークに対して後退させることを特徴とするワークの切断方法。 - 前記ワークの前記ワイヤーに対する相対移動は、前記スラリー捕集部の最内側最下端と前記ワークの表面との間の最小隙間を10mm以上50mm以下にしつつ行う、請求項11に記載のワークの切断方法。
- 前記所定値が5mm以上60mm以下である、請求項11または12に記載のワークの切断方法。
- 前記スラリー捕集部を前記飛散したスラリーを収容する受け皿と該受け皿を支持する支持部材とを有するように構成し、
前記ワークの前記ワイヤーに対する相対移動は、前記スラリー捕集部の最内側最下端部が、鉛直方向には前記ワークの鉛直方向の上端と前記ワークの中心との間に、水平方向には前記ワークの水平方向の端部と前記ワークの中心との間にそれぞれ配置しながら行う、請求項11〜13のいずれか一項に記載のワークの切断方法。
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