JP5427822B2 - ワイヤーソーによるワークの切断方法 - Google Patents
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Description
切断条件:
シリコンウェハの直径 450mm
シリコンウェハの厚さ 840μm
スライス枚数:280枚
ソーワイヤ速度:500mm/分
ソーワイヤテンション:2.5kgf
ソーワイヤ線径:0.14mm
砥粒:GC#1500(SiC)
スラリー:水溶性クーラント
切断時間:8時間
砥粒スラリー供給量(砥粒スラリー供給管8):80リットル/分
砥粒スラリー供給量(砥粒スラリー供給管10):80リットル/分
切断時間:8時間
砥粒スラリー温度:25℃±0.5℃に制御する。
2 ローラ
3 ワーク把持装置
4 ノズル
5 第1砥粒スラリー容器
6 砥粒スラリー
7 第2砥粒スラリー容器
8 砥粒スラリー供給管
9 温度センサ
10 砥粒スラリー供給管
11 砥粒スラリー排出管
M 噛み合い部分
W ワーク
Claims (9)
- 横方向に少なくとも1つのソーワイヤを走行させ、該ソーワイヤにワークを接触させて前記ワークを切断する、ワイヤーソーによるワークの切断方法において、
互いに横方向に所定の間隔をおいた2つの位置において前記ソーワイヤに第1の砥粒スラリーを供給し、
前記ソーワイヤ及び前記ワークの少なくとも一方を相対的に移動して、前記第1の砥粒スラリーが供給されている前記ソーワイヤの前記2つの位置の間において前記ソーワイヤに上方から前記ワークを接触させて前記ワークの切断を開始し、
前記ソーワイヤが前記ワークに噛み合っている部分の一部を第2の砥粒スラリーに浸漬することにより前記第2の砥粒スラリーを供給する、工程を有し、前記ソーワイヤは、前記噛み合っている部分の2つの端部である入出部において、前記第2の砥粒スラリーの表面の上方に位置することを特徴とするワイヤーソーによるワークの切断方法。 - 容器内に前記第2の砥粒スラリーを溜め、前記容器内に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面内に前記ソーワイヤの前記ワークに噛み合っている前記部分の一部を浸漬することを特徴とする請求項1記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置は、前記容器に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面よりも上方に位置することを特徴とする請求項1または2記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 複数の前記ソーワイヤを互いに並列に所定の間隔を置いて配置し、前記複数のソーワイヤを前記横方向に走行させ、前記複数のソーワイヤに前記ワークを接触させて前記ワークを切断することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記複数のソーワイヤにおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給することを特徴とする請求項4記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記複数のソーワイヤの各ソーワイヤおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給することを特徴とする請求項4記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記第1の砥粒スラリーの供給はノズルからの噴射により行うことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置を、前記ワークの切断が進むにつれて変化させることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
- 前記第1及び第2の砥粒スラリーの温度を制御することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。
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