JP2001079747A - ワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工部を通過した直後の加工液の温度を迅速
に検出することができ、その温度検出結果に基づいて切
断動作を的確に調節制御することができて、ワークの加
工精度を一定に維持することができるワイヤソーを提供
する。 【解決手段】 ブラケット１２に複数の加工用ローラ１
３，１４，１５を支持するとともに、加工用ローラ１
３，１４，１５間にワイヤ１７を多数回周回支持する。
ワイヤ１７に対してワーク１８を押し付けるとともに、
ワイヤ１７とワーク１８との間に加工液を供給すること
により、ワーク１８をワイヤ１７にて切断する。加工用
ローラ１３，１４の直下には加工液を受けるための受け
皿２１を設け、その受け皿２１には加工部を通過した直
後の加工液の温度を検出するための温度センサ２６を設
ける。温度センサ２６の検出結果に基づいて、制御装置
２８により切断動作を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークを切断加工するようにしたワイヤソーに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、ブラケ
ットに複数の加工用ローラが回転可能に支持され、それ
らの加工用ローラ間にワーク切断用のワイヤが多数回周
回支持されている。そして、加工用ローラの回転によ
り、ワイヤが走行されながら、ワイヤに対してワークが
押し付けられるとともに、そのワイヤとワークとの間に
遊離砥粒を含むスラリ等の加工液が供給されて、ワーク
が切断加工されるようになっている。

【０００３】また、前記ワイヤとワークとの間に供給さ
れる加工液は、加工用ローラの直下に配設された受け皿
にて受け止められ、タンクに回収された後、循環通路を
介して循環使用されるようになっている。そして、タン
クまたは循環通路の途中に設けられた熱交換器により、
加工液の温度が調整されて、ワイヤとワークとの間の加
工部に所定温度の加工液が供給されるようになってい
る。

【０００４】ところが、ワークの切断加工の進行にとも
ない、加工液には切断によって生じる摩擦熱が付加され
て、加工液の温度が次第に上昇する。また、ワークが断
面円形状をなす場合、そのワークの中心付近の切断時に
は、外周付近の切断時に比較して、ワークに対するワイ
ヤの切断長が長くなるため、発熱量が多くなって加工液
の温度が上昇する。このように、加工液の温度が上昇す
ると、加工用ローラやそれを支持するブラケットあるい
はブラケット間に架設された受け皿等が熱影響により変
形し、ワークの加工精度が低下するという問題があっ
た。

【０００５】このような問題点に対処するため、従来の
ワイヤソーにおいては、加工液の循環通路の途中に温度
センサが配設され、その温度センサにより受け皿から戻
される加工液の温度が検出されるようになっている。そ
して、この温度センサの検出結果に基づいて、例えば熱
交換器を通過する加工液の流量が変更されて、加工部に
供給される加工液の温度が調節されるようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のワイヤソーにおいては、温度センサが受け皿の下流
側における加工液の循環通路の途中に配設されているた
め、加工部を通過した直後の加工液の温度を迅速に検出
することができず、加工液の温度検出に遅れが生じる。
よって、この温度検出結果に基づいて加工液の温度を調
節しても、その温度調節に遅れが生じて、加工用ローラ
やブラケットの熱変位を的確に抑制することができず、
ワークの加工精度を一定に維持することができないとい
う問題があった。

【０００７】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工部を通過した直後の加工液の温度を
迅速に検出することができ、その温度検出結果に基づい
て切断動作を的確に調節制御することができて、ワーク
の加工精度を維持することができるワイヤソーを提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記の目
的を達成するために、請求項１に記載の発明では、加工
部を通過した直後の加工液の温度を検出するための検出
手段を設けたことを特徴とするものである。

【０００９】従って、ワイヤによるワークの切断加工時
に、検出手段により加工部を通過した直後の加工液の温
度を迅速に検出することができる。よって、その検出手
段の温度検出結果に基づいて、装置の稼働状態を的確に
調節制御することができる。この結果、加工用ローラや
ブラケットに熱変位が生じるのを適切に抑制することが
できて、ワークの加工精度を一定に維持することができ
る。

【００１０】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、加工用ローラの直下に加工液
を受けるための受け皿を設け、前記検出手段を受け皿に
設けたことを特徴とするものである。

【００１１】従って、加工液の受け皿に設けられた検出
手段により、加工部を通過した直後の加工液の温度を迅
速かつ正確に検出することができる。すなわち、加工液
は、加工部を通過した後、直ちに受け皿に回収されるた
め、その部分に検出手段を設けることは、加工液温度の
迅速な検出にきわめて有用である。

【００１２】請求項３に記載の発明では、請求項２に記
載のワイヤソーにおいて、検出手段を受け皿の上面に設
けたことを特徴とするものである。従って、検出手段を
加工液の温度を直接に検出できる受け皿の上面に容易か
つ安定状態で取り付けることができ、加工液温度検出の
迅速化に寄与できる。

【００１３】請求項４に記載の発明では、請求項２に記
載のワイヤソーにおいて、検出手段を受け皿の内部に設
けたことを特徴とするものである。従って、検出手段を
受け皿の内部に、保護カバー等を施すことなく取り付け
ることができる。すなわち、加工液が砥粒を含有するス
ラリの場合には、検出手段がスラリ中の砥粒により少し
ずつ摩滅するおそれがあるが、検出手段を受け皿の内部
に設ければ、このような事態を回避できる。

【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項２〜４
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、受け皿は加工
用ローラを支持するブラケット間に架設されていること
を特徴とするものである。

【００１５】従って、加工液を直接受け、しかも加工用
ローラやブラケットに熱的に連結した部分に検出手段を
設けるので、これらの熱変形防止のための適正な検出結
果を得ることができる。

【００１６】請求項６に記載の発明では、請求項１〜５
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、検出手段を複
数の異なる位置に設けたことを特徴とするものである。
従って、異なった位置に配置された複数の検出手段によ
り、加工部を通過した直後の加工液の温度、あるいはブ
ラケット等の温度を広範囲に亘って正確に検出すること
ができ、加工精度の維持に寄与できる。

【００１７】請求項７に記載の発明では、請求項１〜６
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、検出手段の検
出結果に基づいて切断動作を制御するための制御手段を
設けたことを特徴とするものである。

【００１８】従って、制御手段の制御により、検出手段
の温度検出結果に基づいて切断動作を的確に調節するこ
とができる。例えば、加工液の温度が規定値以上に上昇
した場合、ワイヤの走行速度を低下させたり、加工部に
供給される加工液の量を増加したりすれば、加工用ロー
ラやブラケットあるいは加工液の受け皿等の熱変位を効
果的に抑制できる。よって、ワークの加工精度を一定に
維持することができる。

【００１９】請求項８に記載の発明では、請求項７に記
載のワイヤソーにおいて、制御手段は加工液の温度を調
節することを特徴とするものである。従って、制御手段
の制御により、検出手段の温度検出結果に基づいて、加
工液の温度を的確に調節することができる。特に、加工
液を直接受ける加工用ローラや受け皿の熱変位を効果的
に抑制できる。

【００２０】請求項９に記載の発明では、請求項１〜８
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、ブラケット上
に温度を検出するための補助検出手段を設けたことを特
徴とするものである。

【００２１】従って、検出手段による加工液の温度検出
のほかに、補助検出手段により、ブラケットの温度を直
接的に検出することができる。よって、ブラケットの熱
変位を効果的に抑制することができて、ワークの高い加
工精度を維持することができる。

【００２２】請求項１０に記載の発明では、請求項９に
記載のワイヤソーにおいて、補助検出手段を異なる複数
箇所に設けたことを特徴とするものである。従って、異
なった箇所に設けられた複数の補助検出手段により、ブ
ラケットの温度を広範囲に亘って正確に検出することが
でき、ブラケットの熱変位を広範囲にわたって的確に抑
制できる。

【００２３】請求項１１に記載の発明では、請求項１０
に記載のワイヤソーにおいて、補助検出手段を熱変位の
大きな部分に設けたことを特徴とするものである。従っ
て、補助検出手段により、ブラケット上で特に熱変位の
大きな部分の温度を正確に検出して、その部分の熱変位
を抑制することができて、ブラケットの熱変位を一層効
果的に抑制することができる。

【００２４】請求項１２に記載の発明では、請求項９〜
１１のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、検出手段
及び補助検出手段の検出結果に基づいて切断動作を制御
する制御手段を設けたことを特徴とするものである。

【００２５】従って、検出手段による加工液の温度検出
結果と、補助検出手段によるブラケットの温度検出結果
とに基づいて、制御手段の制御により、ワイヤの走行速
度等の切断動作を的確に調節して、ブラケット等の熱変
位を抑制することができる。

【００２６】請求項１３に記載の発明では、請求項７〜
１２のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、過熱部に
対して冷却用の液体を供給するための冷却手段を設け、
その冷却手段の動作を制御手段により制御するようにし
たことを特徴とするものである。

【００２７】従って、加工液の温度検出結果やブラケッ
トの温度検出結果により、ブラケットの一部等に過熱の
おそれが生じた場合には、制御手段の制御により、冷却
手段から過熱部に冷却用の液体が供給されて、その過熱
部を迅速に冷却することができる。よって、ブラケット
に熱変位が生じるのをより確実に抑制することができ
る。

【００２８】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図３に基づいて説明す
る。

【００２９】同図に示すように、コラム１１は図示しな
い装置フレーム上に立設され、その側面にはブラケット
１２が装着されている。このブラケット１２は基板部１
２ａと一対の支持板部１２ｂとを備え、それらの部分が
鋳造または溶接構造により一体に成形されている。ブラ
ケット１２の両支持板部１２ｂ間には３本の加工用ロー
ラ１３，１４，１５が軸受部１６を介して回転可能に支
持され、それらの加工用ローラ１３〜１５間にはワーク
切断用のワイヤ１７が複数回周回支持されている。

【００３０】前記加工用ローラ１３〜１５間のワイヤ１
７の上方には、図示しないワーク昇降機構を介して断面
円形状のワーク１８が昇降可能に装着されている。この
ワーク１８は、断面円形状に限らず、断面四角形等、他
の形状のものも装着される。そして、加工用ローラ１３
〜１５の回転により、ワイヤ１７が走行されながら、ワ
ーク１８がワーク昇降機構により下降されて、ワイヤ１
７に押し付けられるようになっている。

【００３１】前記加工用ローラ１３〜１５間のワイヤ１
７の上方にはスラリ供給パイプ１９が配設され、スラリ
循環通路２０に接続されている。そして、このスラリ循
環通路２０を通して循環使用される加工液としての遊離
砥粒を含むスラリが、スラリ供給パイプ１９からワイヤ
１７とワーク１８との間に供給されて、ワーク１８がウ
ェーハ状に切断加工されるようになっている。

【００３２】前記スラリ循環通路２０には、上部スラリ
受け皿２１、下部スラリ受け皿４０、ポンプ２２，４
１，４２、スラリタンク２３及び熱交換器２４が接続さ
れている。上部スラリ受け皿２１は鋳造または溶接構造
により成形され、加工用ローラ１３，１４間の直下に位
置するように、ブラケット１２の支持板部１２ｂ間に架
設配置されている。下部スラリ受け皿４０はブラケット
１２の下方に配置されている。

【００３３】そして、ワイヤ１７とワーク１８との間の
加工部を通過したスラリが、上部スラリ受け皿２１及び
下部スラリ受け皿４０で受けられ、ポンプ２２によりス
ラリタンク２３に搬送される。スラリタンク２３内のス
ラリは、同スラリタンク２３からポンプ４１により熱交
換器２４に導入され、その熱交換器２４からスラリタン
ク２３に戻される。すなわち、前記熱交換器２４内には
温度調節器２５が設けられている。そして、この温度調
節器２５により熱交換器２４内を通過するスラリの流量
が変更されて、スラリの温度が調節されるようになって
いる。従って、スラリタンク２３内のスラリは、所定温
度に調整維持される。次いで、所定の温度に調整された
スラリは、ポンプ４２により、スラリタンク２３から前
記スラリ供給パイプ１９に供給される。

【００３４】図１〜図３に示すように、前記上部スラリ
受け皿２１の上面中央には検出手段としての１つの温度
センサ２６が配設され、その外面には温度センサ２６を
スラリの砥粒から保護するための保護カバー２７が被覆
されている。そして、ワイヤ１７によるワーク１８の切
断加工時に、加工部を通過した直後のスラリの温度が上
部スラリ受け皿２１上において、この温度センサ２６に
より検出されて、その検出信号が制御手段としての制御
装置２８に出力されるようになっている。

【００３５】前記ブラケット１２上の異なった箇所に
は、一対の補助検出手段としての補助温度センサ２９が
配設されている。これらの補助温度センサ２９は、ブラ
ケット１２上において特に大きな熱変位が生じやすい部
分を選んで、例えば両支持板部１２ｂの外面の軸受部１
６に近い位置に配置されている。そして、ワイヤ１７に
よるワーク１８の切断加工時に、これらの補助温度セン
サ２９によりブラケット１２の温度が直接的に検出され
て、それらの検出信号が制御装置２８に出力されるよう
になっている。

【００３６】前記上部スラリ受け皿２１の両側上部に
は、冷却手段としての一対の冷却ノズル３０が配設され
ている。スラリ循環通路２０には分岐供給路３１が形成
され、その端部がバルブ３２を介して各冷却ノズル３０
に接続されている。そして、バルブ３２が開放されたと
き、スラリ循環通路２０内を循環している温度調整後の
スラリの一部が、分岐供給路３１を介して各冷却ノズル
３０に導かれ、冷却用の液体としてブラケット１２上の
過熱部に向けて供給されるようになっている。

【００３７】また、前記制御装置２８は、温度センサ２
６からのスラリ温度の検出信号、及び補助温度センサ２
９からのブラケット温度の検出信号に基づいて、ワイヤ
ソーの切断動作を制御するようになっている。すなわ
ち、この実施形態では、熱交換器２４内の温度調節器２
５を作動制御して、スラリ供給パイプ１９に導かれるス
ラリの温度を調節するとともに、バルブ３２の開閉及び
開放度を制御して、冷却ノズル３０からの冷却用スラリ
の供給有無及び供給量を調節するようになっている。

【００３８】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーの運転時に
は、加工用ローラ１３〜１５の回転により、ワイヤ１７
が走行されながら、ワーク１８がワイヤ１７に押し付け
られる。このとき、スラリがスラリ循環通路２０内で循
環されて、スラリ供給パイプ１９からワイヤ１７とワー
ク１８との間に供給される。これにより、ワーク１８が
ウェーハ状に切断加工される。

【００３９】このワーク１８の切断加工時には、加工部
を通過した直後のスラリの温度が上部スラリ受け皿２１
上において、温度センサ２６により検出される。また、
加工用ローラ１３〜１５を支持するブラケット１２の温
度が、一対の補助温度センサ２９により検出される。そ
して、これらの温度検出結果に基づいて、制御装置２８
の制御により、温度調節器２５が作動され、スラリ供給
パイプ１９から加工部に供給されるスラリの温度が調節
する。それとともに、必要に応じて分岐供給路３１中の
バルブ３２が開放されるとともに、その開放量が調節さ
れて、冷却ノズル３０からブラケット１２の過熱部に所
要量の冷却用スラリが供給される。

【００４０】従って、ワーク１８の切断加工の進行に伴
って、スラリに切断摩擦による熱が付加されたり、断面
円形状をなすワーク１８の中心付近の切断時に、ワイヤ
１７の切断長が長くなることにより、摩擦による発熱量
が多く高くなったりした場合でも、そのスラリの温度上
昇が、温度センサ２６により迅速に検出される。また、
スラリの温度上昇に伴って、ブラケット１２の一部が過
熱し始めた場合でも、そのブラケット１２の温度上昇が
補助温度センサ２９により迅速に測定される。

【００４１】そして、これらの温度上昇の検出結果に基
づいて、加工部に供給されるスラリの温度が低下される
とともに、ブラケット１２の過熱部に冷却用スラリが供
給される。このため、受け皿２１や加工用ローラ１３〜
１５やブラケット１２に熱変位を生じるのが抑制され
て、ワーク１８は常に高い加工精度を維持した状態で切
断加工される。

【００４２】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 （ａ） この実施形態のワイヤソーにおいては、加工用
ローラ１３，１４の直下にスラリを受けるための上部ス
ラリ受け皿２１が設けられ、その上部スラリ受け皿２１
には加工部を通過した直後のスラリの温度を検出するた
めの温度センサ２６が設けられている。

【００４３】このため、ワイヤ１７によるワーク１８の
切断加工時に、加工部を通過した直後のスラリの温度を
上部スラリ受け皿２１上において、温度センサ２６によ
り迅速かつ正確に検出することができる。よって、その
温度センサ２６の温度検出結果に基づいて、スラリの温
度調整や冷却用スラリの供給等の切断動作を的確に調節
制御することができる。この結果、受け皿２１や加工用
ローラ１３，１４，１５やブラケット１２に熱変位が生
じるのを抑制することができて、ワーク１８の加工精度
を一定に維持することができる。

【００４４】（ｂ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、温度センサ２６が上部スラリ受け皿２１の上面に
設けられている。このため、温度センサ２６を上部スラ
リ受け皿２１の上面に容易かつ安定状態で取り付けるこ
とができるとともに、加工部を通過して上部スラリ受け
皿２１に回収されたスラリの温度を直ちに、かつ直接検
出することができる。従って、スラリの温度変化に直ち
に対応して、加工部に供給されるスラリ温度の調整等を
迅速に行うことができ、受け皿２１やブラケット１２や
加工用ローラ１３〜１５の熱変位を最小限に抑えること
ができる。

【００４５】（ｃ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、温度センサ２６の検出結果に基づいて切断動作を
制御するための制御装置２８が設けられている。このた
め、制御装置２８の制御により、温度センサ２６の温度
検出結果に基づいてスラリ温度調整等の切断動作を的確
に調節することができる。よって、受け皿２１や加工用
ローラ１３，１４，１５やブラケット１２に熱変位が生
じるのを確実に抑制することができて、ワーク１８の高
い加工精度を維持することができる。

【００４６】（ｄ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、制御装置２８がスラリの温度を調節するようにな
っている。このため、制御装置２８の制御により、温度
センサ２６の温度検出結果に基づいて、スラリの温度を
的確に調節することができる。

【００４７】（ｅ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、ブラケット１２上に温度を検出するための補助温
度センサ２９が設けられている。このため、温度センサ
２６によるスラリの温度検出のほかに、補助温度センサ
２９により、ブラケット１２の温度を直接的に検出する
ことができる。よって、ブラケット１２の熱変位を効果
的に抑制することができて、ワーク１８の高い加工精度
を維持することができる。

【００４８】（ｆ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、補助温度センサ２９が異なる複数箇所に設けられ
ている。このため、異なった箇所に設けられた複数の補
助温度センサ２９により、ブラケット１２の温度を広範
囲に亘って正確に検出することができ、ブラケット１２
全体の熱変位を抑制して高精度加工を実現できる。

【００４９】（ｇ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、補助温度センサ２９が熱変位の大きな部分に設け
られている。このため、補助温度センサ２９により、ブ
ラケット１２上で特に熱変位の大きな部分の温度を正確
に検出することができて、ブラケット１２の熱変位を一
層効果的に抑制することができる。

【００５０】（ｈ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、温度センサ２６及び補助温度センサ２９の検出結
果に基づいて、制御装置２８により切断動作が制御され
るようになっている。このため、温度センサ２６による
スラリの温度検出結果と、補助温度センサ２９によるブ
ラケット１２の温度検出結果とに基づいて、制御装置２
８の制御により、切断動作を一層的確に調節することが
できる。

【００５１】（ｉ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、過熱部に対して冷却用のスラリを供給するための
冷却ノズル３０が設けられ、その冷却ノズル３０からの
冷却用スラリの供給動作が制御装置２８により制御され
るようになっている。このため、スラリの温度検出結果
やブラケット１２の温度検出結果により、ブラケット１
２の一部等に過熱のおそれが生じた場合には、制御装置
２８の制御により、冷却ノズル３０から過熱部に冷却用
スラリが供給されて、その過熱部を迅速に冷却すること
ができる。よって、ブラケット１２に熱変位が生じるの
をより確実に抑制することができる。

【００５２】（ｊ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、受け皿２１をは加工用ローラ１３〜１５を支持す
るブラケット１２間に架設されているため、加工液とし
てのスラリを直接受け、しかも加工用ローラ１３〜１５
やブラケット１２に熱的に連結した部分に温度センサ２
６を設けることになる。従って、受け皿２１やブラケッ
ト１２等の熱変形防止のための適正な検出結果を得るこ
とができる。

【００５３】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００５４】さて、この第２の実施形態においては、図
４に示すように、上部スラリ受け皿２１の底面中央に凹
部３５が形成され、その凹部３５内に検出手段としての
温度センサ２６が埋め込み配置されている。そして、前
記第１の実施形態と同様に、この温度センサ２６によ
り、加工部を通過した直後のスラリの温度が迅速に検出
されるようになっている。

【００５５】従って、この第２の実施形態においては、
前述した第１の実施形態における（ａ），（ｃ）〜
（ｊ）に記載の効果に加えて、次のような効果を得るこ
とができる。

【００５６】（ｋ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、温度センサ２６が上部スラリ受け皿２１の内部に
設けられている。このため、温度センサ２６の外面にス
ラリが直接降り懸かることはない。よって、温度センサ
２６を保護カバー等で被覆することなく、上部スラリ受
け皿２１の内部に容易に取り付けることができ、しか
も、保護カバーを設けなくても、温度センサ２６の摩滅
を防止できる。

【００５７】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００５８】さて、この第３の実施形態においては、図
２及び図３に鎖線で示すように、上部スラリ受け皿２１
の上面両側に一対の検出手段としての温度センサ２６が
配設されている。そして、これらの温度センサ２６によ
り、加工部を通過した直後のスラリの温度が、上部スラ
リ受け皿２１の上面両側において迅速に検出されるよう
になっている。

【００５９】従って、この第３の実施形態においては、
前述した各実施形態における（ａ）〜（ｊ）に記載の効
果に加えて、次のような効果を得ることができる。 （ｌ） この実施形態のワイヤソーにおいては、温度セ
ンサ２６が複数の異なる位置に設けられている。このた
め、異なった位置に配置された複数の温度センサ２６に
より、加工部を通過した直後のスラリの温度を広範囲に
亘って正確に検出することができ、さらに的確に受け皿
２１やブラケット１２等の熱変位を抑制できる （変更例）なお、この実施形態は、次のように変更して
具体化することも可能である。

【００６０】・ 前記第１実施形態において、検出手段
としての温度センサ２６を上部スラリ受け皿２１とは異
なった位置、例えばブラケット１２の支持板部１２ｂの
内側面等に配設すること。

【００６１】・ 前記各実施形態において、温度センサ
２６を３個以上の複数個設けること。このようにすれ
ば、より的確な温度検出が可能になる。 ・ 前記各実施形態において、補助検出手段としての補
助温度センサ２９を３個以上の複数個設けること。この
ようにすれば、より的確な温度検出が可能になる。

【００６２】・ 前記各実施形態において、補助検出手
段２９を省略すること。 ・ 前記各実施形態において、冷却手段としての冷却ノ
ズル３０を省略すること。

【００６３】・ 前記各実施形態において、制御手段と
しての制御装置２８により、温度センサ２６及び補助温
度センサ２９の検出結果に基づいて、スラリの温度調整
とは異なった切断動作の制御を行うように構成するこ
と。例えば、加工部に供給されるスラリの量を調整した
り、ワイヤ１７の走行速度を調整したり、ワーク１８の
切り込み速度、すなわち、加工送り速度を調節したりす
ること。加工部に供給されるスラリの量を調整する場合
には、加工部を通過したスラリの温度上昇に応じて加工
部に供給されるスラリの量を多くする。ワイヤ１７の走
行速度を調整する場合には、加工部を通過したスラリの
温度上昇に応じてワイヤ１７の走行速度を上昇させる。
すなわち、ワイヤ１７の走行速度が上昇すると、負荷が
低下するため、ワーク１８とワイヤ１７との間の摩擦発
熱量が低下される。ワーク１８の切り込み速度を調節す
る場合には、加工部を通過したスラリの温度上昇に応じ
てワーク１８の切り込み速度を低下させて、前記と同様
に、ワーク１８とワイヤ１７との間の摩擦発熱量を低下
させる。これらのように構成しても、前述した効果を得
ることができる。

【００６４】・ 前記各実施形態において、制御装置２
８により、スラリの温度、ワイヤ１７の走行速度、ワー
ク１８の切り込み速度等の異なった切断動作の内で、少
なくとも２つの切断動作を調節制御するように構成する
こと。

【００６５】・ 前記各実施形態において、遊離砥粒を
含むスラリとは異なった加工液を使用するワイヤソーに
おいて、その加工液の温度を温度センサ２６により検出
するように構成すること。例えば、ワイヤ１７として砥
粒を埋設したものを使用し、加工液は砥粒を有せず、切
断加工部の冷却を行うクーラント、水あるいはオイルを
使用すること。

【００６６】・ 前記各実施形態において、冷却ノズル
３０からブラケット１２等の過熱部に供給する冷却用の
液体として、スラリとは異なった例えばクーラント、水
あるいはオイル等を使用すること。

【００６７】・ 前記実施形態では、補助温度センサ２
９によりブラケット１２の温度を検出したが、その補助
温度センサ２９に位置を加工液の落下位置に設けて、加
工液の温度を検出するように構成すること。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施形態のワイヤソーを示す概略構成
図。

【図２】 加工用ローラ及びそれを支持するブラケット
を示す正面図。

【図３】 同じく加工用ローラ及びブラケットを示す平
面図。

【図４】 第２の実施形態のワイヤソーのスラリ受け皿
を示す断面図。

【符号の説明】

１２…ブラケット、１３，１４，１５…加工用ローラ、
１６…軸受部、１７…ワイヤ１７…ワーク、１９…スラ
リ供給パイプ、２０…スラリ循環通路、２１…スラリ受
け皿、２４…熱交換器、２５…温度調節器、２６…検出
手段としての温度センサ、２８…制御手段としての制御
装置、２９…補助検出手段としての補助温度センサ、３
０…冷却手段としての冷却ノズル、３１…分岐供給路、
３２…バルブ。

フロントページの続き (72)発明者 福田 紘二 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会社 日平トヤマ技術センター内 (72)発明者 石塚 智 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会社 日平トヤマ技術センター内 Ｆターム(参考） 3C047 FF09 FF11 GG00 3C058 AA05 AA14 AA18 AC04 BA08 BC02 BC03 CA04 CA05 CB01 DA03 3C069 AA01 BA06 BB04 BC03 CA03 CA04 DA06 EA02

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ブラケットに複数の加工用ローラを支持
   するとともに、加工用ローラ間にワイヤを多数回周回支
   持し、そのワイヤに対してワークを押し付けるととも
   に、ワイヤとワークとの間に加工液を供給することによ
   り、ワークをワイヤにて切断するようにしたワイヤソー
   において、 加工部を通過した直後の加工液の温度を検出するための
   検出手段を設けたワイヤソー。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のワイヤソーにおいて、
   加工用ローラの直下に加工液を受けるための受け皿を設
   け、前記検出手段を受け皿に設けたワイヤソー。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のワイヤソーにおいて、
   検出手段を受け皿の上面に設けたワイヤソー。
4. 【請求項４】 請求項２に記載のワイヤソーにおいて、
   検出手段を受け皿の内部に設けたワイヤソー。
5. 【請求項５】 請求項２〜４のいずれかに記載のワイヤ
   ソーにおいて、受け皿は加工用ローラを支持するブラケ
   ット間に架設されているワイヤソー。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のワイヤ
   ソーにおいて、検出手段を複数の異なる位置に設けたワ
   イヤソー。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載のワイヤ
   ソーにおいて、検出手段の検出結果に基づいて切断動作
   を制御するための制御手段を設けたワイヤソー。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のワイヤソーにおいて、
   制御手段は加工液の温度を調節するワイヤソー。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれかに記載のワイヤ
   ソーにおいて、ブラケット上に温度を検出するための補
   助検出手段を設けたワイヤソー。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載のワイヤソーにおい
    て、補助検出手段を異なる複数箇所に設けたワイヤソ
    ー。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載のワイヤソーにおい
    て、補助検出手段を熱変位の大きな部分に設けたワイヤ
    ソー。
12. 【請求項１２】 請求項９〜１１のいずれかに記載のワ
    イヤソーにおいて、検出手段及び補助検出手段の検出結
    果に基づいて切断動作を制御する制御手段を設けたワイ
    ヤソー。
13. 【請求項１３】 請求項７〜１２のいずれかに記載のワ
    イヤソーにおいて、過熱部に対して冷却用の液体を供給
    するための冷却手段を設け、その冷却手段の動作を制御
    手段により制御するようにしたワイヤソー。