CN106334996B - 机床 - Google Patents

Abstract

本发明涉及机床，磨床(1)具有：保持砂轮(43)且被旋转驱动的旋转轴部件(72)；通过轴承(73)将旋转轴部件(72)支承为能够旋转的砂轮座主体(71)；配设于砂轮座主体(71)且储存油的罐(74)；连接罐(74)与轴承(73)并使油流通的流通路(75)；配设于流通路(75)并将储存在罐(74)中的油向轴承(73)供给的泵(76)；以及使从轴承(73)排出的油向罐(74)回流的回流路(78)。磨床(1)还具有使储存在罐(74)中的油能够循环的循环路(81)，循环路(81)形成于在砂轮座主体(71)中对因储存在罐(74)中的油的温度而产生的砂轮座主体(71)的温度梯度进行抑制的部位。

Description

机床

技术领域

本发明涉及机床。

背景技术

作为机床即磨床的一个方式，公知有日本特开2014-213390号公报所示出的装置。如日本特开2014-213390号公报的图1所示，磨床1具有：砂轮43；配设于砂轮座42的上表面、且将砂轮43支承为能够旋转的静压轴承47；对供向静压轴承47的油进行储存的罐81；朝砂轮43的与工件W接触的接触部位供给冷却液的冷却液供给装置50；以及覆盖砂轮43的砂轮覆罩48。

供给到静压轴承47的油，因砂轮43的旋转而反复被切断，因此油的温度上升。另外，油经过排出油的路径而回流到罐81，并从罐81再次向静压轴承47供给。因此，油的热量从排出油的路径等传导至与磨削关联的部位，使这些部位发生热变形，从而存在加工精度降低的情况。因此，在砂轮覆罩48的内部设有用于使从静压轴承47排出的油向罐81回流的流路84。由于砂轮覆罩48大约与由冷却液供给装置50供给的冷却液处于同一温度，因此对经过流路84的油进行冷却。由此，抑制与磨削关联的部位的热变形。

对于上述的日本特开2014-213390号公报的磨床1而言，为了削减磨床的成本、缩小配置空间，而有时将对朝轴承供给的油进行储存的罐配置于对轴承进行支承的砂轮座(支承座)。关于这样的磨床，发明人努力研究结果发现了如下情况：在油循环于罐与轴承之间的情况下，因储存在罐中的油的温度上升，而支承座的温度分布变得不均匀，因而支承座发生热变形，存在加工精度降低的可能性。

发明内容

本发明的目的之一在于，提供即使在配设于支承座的罐中储存的液体的温度上升的情况下，也能够使支承座的温度分布均匀化而能够抑制支承座的热变形的机床。

本发明的一个方式的机床具有：旋转轴部件，其对工具进行保持，并被驱动而旋转；支承座，其通过轴承将旋转轴部件支承为能够旋转；罐，其配设于支承座，并对液体进行储存；流通路，其连接罐与轴承，并使液体在其中流通；液体供给装置，其配设于流通路，并向轴承供给储存在罐中的液体；以及回流路，其使从轴承排出的液体向罐回流。机床还具有使储存在罐中的液体能够循环的循环路。循环路在支承座中形成于对由储存在罐中的液体的温度而产生的支承座的温度梯度进行抑制的部位。

根据上述方式的机床，储存液体的罐配设于支承座，且使储存在罐中的液体向支承座循环的循环路，形成于对由储存在罐中的液体的温度而产生的支承座的温度梯度进行抑制的部位。储存在罐中的温度上升了的液体利用循环路而循环，从而抑制支承座的温度梯度。因此，支承座的温度分布均匀化，从而抑制支承座的热变形。

附图说明

通过以下参照附图对本发明的优选实施方式进行的详细描述，本发明的上述以及下述特征及优点会变得更加清楚，其中，附图标记表示本发明的要素，其中：

图1是本发明的机床的一个实施方式的磨床的俯视图。

图2是沿图1所示的II-II线的砂轮座的剖视图。

图3是图2所示的砂轮座主体的主视图。

图4是示出图2所示的砂轮座主体发生热变形的状态的侧视图。

图5是示出存储于图2所示的控制装置中的第一温度传感器的检测温度和第二温度传感器的检测温度的温度差、与油的流量之间的相关关系的图。

图6是由图2所示的控制装置执行的程序的流程图。

图7是示出图6所示的流程图中的机床的动作的时序图。

图8是本发明的机床的变形例的砂轮座的剖视图。

图9是图8所示的砂轮座主体的主视图。

具体实施方式

参照附图对本发明的机床的一个实施方式进行说明。此外，本实施方式中的机床为图1所示的磨床。磨床1具体而言为能够对轴状的工件进行磨削的砂轮座横动式圆筒磨床。此外，在图1中，Z轴方向为横动方向，X轴方向是与横动方向成直角的水平方向，Y轴方向是与横动方向成直角的铅垂方向。

如图1所示，磨床1主要具有床身10、主轴箱20、尾座30、砂轮支承装置40、定尺寸装置50以及控制装置60。

床身10在俯视下形成矩形状，且固定于设置面(地面)。在该床身10的上表面，以沿Z轴方向延伸的方式、且相互平行地配置固定有一对Z轴导轨11a、11b，这一对Z轴导轨11a、11b使构成砂轮支承装置40的砂轮座横动基座41能够滑动。在一对Z轴导轨11a、11b之间配置有用于沿Z轴方向驱动砂轮座横动基座41的Z轴滚珠丝杠11c，且配置固定有对Z轴滚珠丝杠11c进行旋转驱动的Z轴马达11d。

主轴箱20具有主轴箱主体21、主轴22、主轴马达23以及主轴顶尖24。主轴22以能够旋转的方式插通并支承于主轴箱主体21。主轴箱主体21以主轴22的轴向朝向Z轴方向的方式且以与一对Z轴导轨11a、11b平行的方式固定于床身10的上表面。

在主轴22的左端设有主轴马达23，且主轴22由主轴马达23驱动而相对于主轴箱主体21绕Z轴旋转。在该主轴马达23具备能够检测主轴马达23的旋转角的编码器。此外，在主轴22的右端安装有对轴状的工件W的轴向的一端进行支承的主轴顶尖24。

尾座30具有尾座主体31以及尾座顶尖32。尾座顶尖32以能够旋转的方式插通并支承于尾座主体31。尾座主体31以尾座顶尖32的轴向朝向Z轴方向的方式且以尾座顶尖32的旋转轴与主轴22的旋转轴成为同轴的方式固定于床身10的上表面。

即，尾座顶尖3与主轴顶尖24一起对工件W的轴向的两端进行支承并使之能够绕Z轴旋转。尾座顶尖32构成为能够根据工件W的长度来变更从尾座主体31的右端面突出的突出量。

砂轮支承装置40具有砂轮座横动基座41、砂轮座42(70)以及圆盘状的砂轮43。砂轮座横动基座41形成为矩形平板状，且在床身10的上表面配置为能够在一对Z轴导轨11a、11b上滑动。

砂轮座横动基座41与Z轴滚珠丝杠11c的螺母部件连结，且被Z轴马达11d驱动而沿一对Z轴导轨11a、11b移动。在该Z轴马达11d具有能够检测Z轴马达11d的旋转角的编码器。

在砂轮座横动基座41的上表面，以沿X轴方向延伸的方式且相互平行地配置固定有使砂轮座42能够滑动的一对X轴导轨41a、41b。在砂轮座横动基座41的上表面的一对X轴导轨41a、41b之间，配置有用于沿X轴方向驱动砂轮座42的X轴滚珠丝杠41c，且配置有对该X轴滚珠丝杠41c进行旋转驱动的X轴马达41d。在该X轴马达41d具有能够检测X轴马达41d的旋转角的编码器。

砂轮座42配置为能够在砂轮座横动基座41的上表面的一对X轴导轨41a、41b上滑动。砂轮座42与X轴滚珠丝杠41c的螺母部件连结，且被X轴马达41d驱动而沿一对X轴导轨41a、41b移动。

即，砂轮座42构成为能够相对于床身10、主轴箱20以及尾座30而沿X轴方向以及Z轴方向(横动进给方向)相对移动。

砂轮座42(70)的详细内容在后文中叙述。

定尺寸装置50是用于计测工件W的磨削部位处的外径并将计测信号向控制装置60输出的装置。

控制装置60是如下装置：控制各马达，使工件W及砂轮43绕Z轴旋转，且变更砂轮43相对于工件W在Z轴方向以及X轴方向上的相对位置，从而进行工件W的外周面的磨削。控制装置60的详细内容在后文中叙述。

如图2所示，砂轮座70具有砂轮座主体71(相当于支承座)、旋转轴部件72、轴承73、罐74、流通路75、泵76(相当于液体供给装置)、压力调整阀77(相当于压力调整装置)以及回流路78。

砂轮座主体71是通过轴承73将旋转轴部件72支承为能够旋转的部件。在砂轮座主体71的下端部，以沿X轴方向延伸的方式形成有支脚部71a、71b，该支脚部71a、71b沿一对X轴导轨41a、41b被引导(参照图2以及图3)。

旋转轴部件72保持砂轮43并被旋转驱动。旋转轴部件72在砂轮座主体71的上表面被支承为能够绕Z轴旋转。在旋转轴部件72的一端同轴地安装有圆盘状的砂轮43。此外，在砂轮座主体71的上表面经由带轮机构79(参照图1)固定有用于对旋转轴部件72以及砂轮43进行旋转驱动的砂轮旋转用马达80。

轴承73将旋转轴部件72支承为能够旋转。轴承73是静压轴承。向轴承73供给储存在罐74中的油(相当于本发明的液体)。

罐74配设于砂轮座主体71，对油进行储存。罐74配设于砂轮座主体71的上部。具体而言，罐74形成为从砂轮座主体71的上方(图2的上侧)的表面(上表面)朝向下方凹陷，且上方敞开。此外，罐74形成为具有位于轴承73的下方的部位。

流通路75是连接罐74与轴承并使油流通的流路。流通路75是配设于砂轮座主体71外部的管。

泵76配设于流通路75，将储存在罐74中的油向轴承73供给。具体而言，泵76固定于砂轮座主体71，并且使吸入口76a浸渍在储存于罐74的油中。泵76从吸入口76a吸入储存在罐74中的油，并经由流通路75如图2的箭头所示地向轴承73供给油。泵76与控制装置60电连接。泵76由控制装置60控制转速，从而对在单位时间内流通于流通路75的油的流量进行调整。

压力调整阀77配设于流通路75中的分支点75a(后述)与轴承73之间，将向轴承73供给的油的压力值调整为规定压力值。压力调整阀77例如是直线移动式减压阀。

回流路78是使从轴承73排出的油向罐74回流的流路。回流路78通过使轴承73的下端部朝向罐74敞开而形成。由此，通过轴承73后的油经由回流路78因自重而向罐74排出。

在此，对砂轮座主体71的热变形进行说明。控制装置60对各马达进行控制，而如上所述地进行工件W的外周表面的磨削的情况下，控制装置60控制泵76，而从罐74向轴承73供给油。由于轴承73是静压轴承，因此油因旋转轴部件72的旋转而被反复切断，从而油的温度上升。该油从轴承73向罐74排出，并再次在轴承73与罐74之间循环，从而储存在罐74中的油的温度上升。由于该油的热量从罐74向砂轮座主体71传导，因此在砂轮座主体71产生温度梯度。具体而言，砂轮座主体71的温度梯度为，砂轮座主体71的温度随着从罐74朝向支脚部71a、71b变低。由此，如图4所示，在砂轮座主体71的侧视下，产生使上方成为凸状的热变形(翘曲)。

回到图2，继续对砂轮座70的结构进行说明。

砂轮座70还具有循环路81、第一温度传感器82a以及第二温度传感器82b。

循环路81使储存在罐74中的油能够循环。循环路81的一端与流通路75中的在泵76与轴承73之间分支的分支点75a连接，另一端与罐74连接。由此，通过对泵76进行旋转驱动，来将储存在罐74中的油向轴承73供给，并且如箭头所示地将油从分支点75a向循环路81供给。然后，供给至循环路81的油向罐74回流。

循环路81具有配设于砂轮座主体71外部的配管81a、81b、以及形成于砂轮座主体71内部的砂轮座流路81c、81d。砂轮座流路81c、81d以沿X轴方向延伸并贯通的方式形成于砂轮座主体71的支脚部71a、71b(参照图2以及图3)。在循环路81中，油依次向配管81a、砂轮座流路81c、81d、配管81b流通。此外，由于配管81a、81b的一端分别分支，因而砂轮座流路81c、81d在配管81a、81b之间并联连接。如此，由于砂轮座流路81c、81d位于罐74的下方，因此循环路81形成为在比罐74靠下方的部位通过。

第一温度传感器82a配设于砂轮座主体71的罐74的周缘的下侧壁71c的中央部。第二温度传感器82b配设于砂轮座主体71的支脚部71a、71b的一方(在本实施方式中为支脚部71b)。温度传感器82a、82b的检测温度向控制装置60发送。

此外，控制装置60具有温度梯度计算部61以及流量调整部62。

温度梯度计算部61计算砂轮座主体71的温度梯度的大小。具体而言，砂轮座主体71的温度梯度的大小是第一温度传感器82a的检测温度与第二温度传感器82b的检测温度的温度差Thd。在温度差Thd大的情况下，砂轮座主体71的温度梯度变大。如此，利用温度传感器82a、82b以及温度梯度计算部61检测砂轮座主体71的温度梯度的大小。温度传感器82a、82b以及温度梯度计算部61相当于温度梯度检测装置。

流量调整部62基于由温度梯度计算部61计算出的温度梯度的大小来控制泵76，而对在循环路81中循环的油的流量Q进行调整。具体而言，流量调整部62基于温度差Thd(温度梯度的大小)与油的流量Q的相关关系C，并根据由温度梯度计算部61计算出的温度差Thd来导出油的流量Q，将与该油的流量Q相当的泵76的转速，作为控制指令值而向泵76输出。相关关系C是随着温度梯度的大小变大而使油的流量Q阶段性地增多的关系。

在本实施方式中，如图5所示，相关关系C设定为三个阶段，在温度差Thd比第一温度差Thd1小的情况下，使油的流量Q为最小流量Qmin。最小流量Qmin被设定为使流经流通路75的油的压力值在压力调整阀77的工作压力值以上的油的流量Q。第一温度差Thd1被设定为比较小的温度差(例如1℃)。此外，对于相关关系C而言，在温度差Thd处于比第一温度差Thd1高的第二温度差Thd2与第一温度差Thd1之间的情况下，使油的流量Q成为比最小流量Qmin多的第一流量Q1。此外，对于相关关系C而言，在温度差Thd比第二温度差Thd2大的情况下，使油的流量Q成为比第一流量Q1多的第二流量Q2。相关关系C通过实验等的实测而导出。

接下来，按照图6所示的流程图对上述磨床1的控制装置60抑制砂轮座主体71的热变形的热变形抑制控制进行说明。控制装置60在进行工件W的外周面的磨削的情况下，进行热变形抑制控制。

控制装置60在工件W的磨削已开始的情况下，在步骤S102中，将在循环路81中循环的油的流量Q设定为作为最大流量的第二流量Q2。控制装置60在步骤S104中，对从工件W的磨削开始之后是否经过了规定时间Ti进行判定。规定时间Ti被设定为：从工件W的磨削开始的时间点到罐74内的油的温度即油温Thy上升而达到大约一定的温度为止的时间(参照图6)。在未经过规定时间Ti的情况下，控制装置60反复执行步骤S104。另一方面，在经过了规定时间Ti的情况下，控制装置60使程序进入步骤S106。

控制装置60在步骤S106中取得作为第一温度传感器82a的检测温度的第一温度Tha以及作为第二温度传感器82b的检测温度的第二温度Thb，并在步骤S108中计算温度差Thd(温度梯度计算部61)。控制装置60在步骤S110中根据该温度差Thd导出油的流量Q(流量调整部62)。然后，控制装置60在步骤S112中将与该油的流量Q相当的泵76的转速作为控制指令值而向泵76输出，从而调整油的流量Q(流量调整部62)。然后，控制装置60使程序返回步骤S106，并反复执行上述步骤S106～S112。

接下来，按照图7所示的时序图对磨床1按照上述流程图动作的情况进行说明。在工件W的磨削开始的时间点(时刻t0)，油温Thy、第一温度Tha以及第二温度Thb大约为同一温度。从工件W的磨削的开始时间点(时刻t0)启动泵76，而向轴承73以及循环路81供给储存在罐74中的油。以使在循环路81中循环的油的流量Q成为第二流量Q2的方式(步骤S102)驱动泵76。与在循环路81中循环的油的流量Q无关，向轴承73供给的油的压力值由压力调整阀77调整为规定压力值。

如上所述，在轴承73处油温Thy上升。另一方面，由于油在循环路81循环，所以油的热量向罐74的周围以及砂轮座流路81c、81d的周围传递，因此温度Tha、Thb上升。此时，第二温度Thb的温度上升比第一温度Tha的温度上升慢。这是由于以下原因引起的，即，因为向轴承73以及循环路81供给储存在罐74中的油，所以流经循环路81(砂轮座流路81c、81d)的油的量(流量)比储存在罐74中的油的量少，以及配设于支脚部71a、71b的第二温度传感器82b配设于比第一温度传感器82a更远离罐74的部位。然后，在经过了规定时间Ti的时间点(时刻t1；步骤S104)，由于温度差Thd比第二温度差Thd2更大，因此油的流量Q维持为第二流量Q2(步骤S106～S112)。

之后，油温Thy稳定在大约一定的温度，由于罐74内的油在循环路81继续循环，所以温度差Thd逐渐变小，并在温度差Thd比第二温度差Thd2小时(时刻t2)，油的流量Q调整为第一流量Q1。另外，温度差Thd变小，并且温度差Thd比第一温度差Thd1变小时(时刻t3)，油的流量Q调整为最小流量Qmin。然后，此时，由于温度差Thd比较小，所以砂轮座主体71的温度梯度的大小变小。即，由于通过抑制砂轮座主体71的温度梯度，而实现砂轮座主体71的温度分布均匀化，从而抑制上述砂轮座主体71的热变形(翘曲，参照图4)。如此，循环路81(砂轮座流路81c、81d)在砂轮座主体71中形成于对因储存在罐74中的油的温度而产生的砂轮座主体71的温度梯度进行抑制的部位。

根据本实施方式，磨床1具有：保持砂轮43、并被旋转驱动的旋转轴部件72；通过轴承73将旋转轴部件72支承为能够旋转的砂轮座主体71；配设于砂轮座主体71、并对油进行储存的罐74；连接罐74与轴承73并使油在其中流通的流通路75；配设于流通路75、并将储存在罐74中的油向轴承73供给的泵76；以及使从轴承73排出的油向罐74回流的回流路78。磨床1还具有使储存在罐74中的油能够循环的循环路81，且循环路81在砂轮座主体71中形成于对因储存在罐74中的油的温度而产生的砂轮座主体71的温度梯度进行抑制的部位。

由此，储存油的罐74配设于砂轮座主体71，并且使储存在罐74中的油在砂轮座主体71循环的循环路81，形成于对因储存在罐74中的油的温度而产生的砂轮座主体71的温度梯度进行抑制的部位。储存在罐74中的温度上升了的油利用循环路81而循环，从而抑制砂轮座主体71的温度梯度。因此，实现砂轮座主体71的温度分布的均匀化，抑制砂轮座主体71的热变形。此外，与将罐74配设于砂轮座主体71外部的情况相比，能够缩小磨床1的设置空间。

此外，轴承73是静压轴承。

在轴承73是静压轴承的情况下，由于在轴承73处油的温度容易上升，所以与轴承73例如是滚珠轴承的情况相比，储存在罐74中的油的温度变高，从而砂轮座主体71的温度梯度变大。即使在这样的情况下，通过使油在循环路81循环，也能够使砂轮座主体71的温度分布均匀化，从而能够抑制砂轮座主体71的温度梯度。

此外，罐74配设于砂轮座主体71的上部，且循环路81形成为在比罐74靠下方的部位通过。

如此，能够比较简便地形成罐74。此外，通过将旋转轴部件72配设于罐74的上方，能够比较简便地形成回流路78。因此，能够实现砂轮座主体71乃至砂轮座70的低成本化。

此外，相对于已经在上部配设有罐74的已知的砂轮座70，能够比较简便地在位于比罐74靠下方的支脚部71a、71b形成砂轮座流路81c、81d。

此外，循环路81的一端与流通路75中的在泵76与轴承73之间分支的分支点75a连接，另一端与罐74连接。

由此，利用向轴承73供给油的泵76，能够使油在循环路81流通。因此，能够较低成本地进行储存在罐74中的油的循环。

此外，磨床1还具有配设于分支点75a与轴承73之间、并将向轴承73供给的油的压力值调整为规定压力值的压力调整阀77。

由此，在控制装置60对在循环路81中流通的油的流量Q进行调整的情况下，也能够将向轴承73供给的油的压力值调整为规定压力值，因此能够使旋转轴部件72的旋转稳定。

此外，磨床1还具有：对砂轮座主体71的温度梯度进行检测的温度梯度检测装置；以及基于由温度梯度检测装置检测到的温度梯度的大小来控制泵76，从而对在循环路81中循环的油的流量Q进行调整的控制装置60。

由此，相比与砂轮座主体71的温度梯度的大小无关地使在循环路81流通的油的流量Q一定的情况，能够抑制泵76的转速。因此，能够比较省电地乃至较低成本地进行储存在罐74中的油的循环。

此外，工具是砂轮43。

由此，在工具是砂轮43的情况下，通过对支承砂轮43的砂轮座主体71的温度梯度进行抑制，来抑制砂轮座主体71的热变形，从而能够抑制磨削精度的降低。

此外，在上述实施方式中示出了磨床1的一个例子，但本发明不限定于此，也能够采用其他结构。例如，控制装置60基于温度差Thd而对在循环路81中流通的油的流量Q进行调整，但也可以代替地，将油的流量Q例如维持在第二流量Q2保持不变，而不调整流量Q。此外，在这种情况下，通过利用例如节流孔(orifice)对流通路75的流路阻力进行调整，能够使向轴承73供给的油的压力值大致恒定，因此也可以不构成压力调整阀77。

此外，在上述实施方式中，通过泵76的转速来对在循环路81中流通的油的流量Q进行调整，但也可以代替地利用流量调整装置(未图示)来变更油的流量Q。流量调整装置例如配设于配管81a，通过控制装置60的控制使阀门在轴线方向上进退，使开口部的开口面积变化，从而对油的流量Q进行调整。由此，与通过泵76的转速来对油的流量Q进行调整的情况相比，能够精度更好地对油的流量Q进行调整。

此外，在上述实施方式中，循环路81形成为从流通路75分支而在砂轮座主体71外部以及砂轮座主体71内部通过，但也可以代替地，如图8以及图9所示，循环路81不从流通路75分支，而是将循环路181c、181d仅形成于砂轮座主体71内部。具体而言，循环路181c、181d形成为两端与罐74的底部连接的侧视下呈U字状(参照图8)，且形成为在支脚部71a、71b通过(参照图8以及图9)。此外，在这种情况下，也可以不为了使储存在罐74中的油在循环路181c、181d中循环而利用泵76。在这种情况下，罐74内的油的热量经由油向循环路181c、181d传递，因而循环路181c、181d内的油的温度上升。因此，抑制砂轮座主体71的温度梯度。

此外，在上述实施方式中，控制装置60还可以具有修正部。在进行工件W的磨削的情况下，修正部基于温度传感器82a、82b的检测温度，对砂轮43的X轴方向(切削方向)移动量进行修正。具体而言，修正部根据温度传感器82a、82b的检测温度计算砂轮座主体71的X轴方向的热位移，并与热位移相应地对砂轮43的X轴方向的移动量进行修正。热位移能够通过由实验等的预先实测来导出与温度传感器82a、82b的检测温度的相关关系。在这种情况下，由于抑制上述的砂轮座主体71的热变形(翘曲；参照图4)，从而能够比较容易地计算热位移。

此外，在上述实施方式中，举出磨床1来作为机床的例子进行说明，但也可以代替地将机床改为车床、加工中心。在车床、加工中心中，例如在床身形成上述罐74那样的情况下，在床身形成循环路即可。

此外，也可以在不脱离本发明的主旨的范围内，对罐74的形状、温度传感器82a、82b的配设位置或个数、形成循环路81的部位等进行变更。

Claims (8)

1.一种机床，具有：

旋转轴部件，其对工具进行保持，并被旋转驱动；

支承座，其通过轴承将所述旋转轴部件支承为能够旋转；

罐，其配设于所述支承座，并对液体进行储存；

流通路，其连接所述罐与所述轴承，并使所述液体在其中流通；

液体供给装置，其配设于所述流通路，并向所述轴承供给储存在所述罐中的所述液体；

回流路，其使从所述轴承排出的所述液体向所述罐回流；以及

循环路，其使储存在所述罐中的所述液体能够循环，

其中，

所述循环路在所述支承座中形成于对由储存在所述罐中的所述液体的温度而产生的所述支承座的温度梯度进行抑制的部位。

2.根据权利要求1所述的机床，其中，

所述轴承是静压轴承。

3.根据权利要求1或2所述的机床，其中，

所述罐配设于所述支承座的上部，

所述循环路形成为在比所述罐靠下方的部位通过。

4.根据权利要求1或2所述的机床，其中，

所述循环路的一端与所述流通路中的在所述液体供给装置与所述轴承之间分支的分支点连接，另一端与所述罐连接。

5.根据权利要求4所述的机床，其中，

还具有压力调整装置，该压力调整装置配设于所述分支点与所述轴承之间，将供向所述轴承的所述液体的压力值调整为规定压力值。

6.根据权利要求4所述的机床，其中，还具有：

温度梯度检测装置，其对所述支承座的温度梯度进行检测；以及

控制装置，其基于由所述温度梯度检测装置检测到的温度梯度的大小，通过对所述液体供给装置进行控制来对在所述循环路循环的所述液体的流量进行调整。

7.根据权利要求5所述的机床，其中，还具有：

温度梯度检测装置，其对所述支承座的温度梯度进行检测；以及

控制装置，其基于由所述温度梯度检测装置检测到的温度梯度的大小，通过对所述液体供给装置进行控制来对在所述循环路循环的所述液体的流量进行调整。

8.根据权利要求1或2所述的机床，其中，

所述工具是砂轮。

Images