WO2023073937A1 - 工作機械および工作機械の制御方法 - Google Patents

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WO2023073937A1
WO2023073937A1 PCT/JP2021/040048 JP2021040048W WO2023073937A1 WO 2023073937 A1 WO2023073937 A1 WO 2023073937A1 JP 2021040048 W JP2021040048 W JP 2021040048W WO 2023073937 A1 WO2023073937 A1 WO 2023073937A1
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WO
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fluid
motor
machine tool
physical quantity
supply
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Application number
PCT/JP2021/040048
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English (en)
French (fr)
Inventor
石井雄大
見波弘志
Original Assignee
ファナック株式会社
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P29/00—Arrangements for regulating or controlling electric motors, appropriate for both AC and DC motors

Definitions

  • the present invention relates to a machine tool and a control method for the machine tool.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2020-162404 discloses a fluid output unit that outputs a fluid to be supplied to a static pressure bearing of a processing machine according to the rotation of a servomotor.
  • the rotation speed of the servomotor is controlled according to the physical quantity of the fluid output from the fluid output section.
  • An object of the present invention is to solve the above-described problems.
  • a first aspect of the present invention is a machine tool for machining an object, comprising a hydrostatic bearing having a moving body and a fixed part that supports the moving body using a fluid, and a motor, a fluid supply unit that outputs the fluid at a pressure corresponding to the number of revolutions of the motor and supplies the fluid to the hydrostatic bearing; a physical quantity detection unit that detects a physical quantity of the fluid supplied from the fluid supply unit; a motor control unit that controls the motor so that the pressure of the fluid supplied from the supply unit is constant; and a supply state that determines the supply state of the fluid based on the rotation speed and the physical quantity of the motor. and a determination unit.
  • a second aspect of the present invention is a control method for a machine tool for machining an object, wherein a fixed part uses a fluid to apply a pressure corresponding to the rotation speed of a motor to a hydrostatic bearing that supports a moving body. detecting the number of rotations of the motor and the physical quantity of the fluid when the fluid is supplied; determining the supply state of the fluid based on the number of rotations of the motor and the physical quantity; including.
  • the abnormal supply state when the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing of the machine tool is different from the normal supply state, the abnormal supply state can be identified.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a machine tool according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating state information in which a combination of a change in the number of revolutions of the motor of the fluid supply unit and a change in the physical quantity of the fluid in a predetermined period is associated with the supply state of the fluid.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating operation information in which fluid supply states and coping operations are associated with each other.
  • FIG. 4 is a flow chart showing a processing procedure executed by the control device of the machine tool.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating state information used in modification 1.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating state information used in modification 2.
  • FIG. FIG. 7 is a diagram illustrating state information used in modification 3.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating state information used in modification 4.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating state information used in modification 5.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating state information used in modification 6.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating motion information used in modification 6.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating state information used in modification 7;
  • FIG. 13 is a diagram illustrating state information used in modification 8.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a machine tool 10 according to one embodiment.
  • a machine tool 10 for machining a workpiece (not shown) has a main body 20 , a fluid supply device 30 and a control device 40 .
  • the body 20 has a motor 210 and a hydrostatic bearing 216 for machining a workpiece.
  • Static pressure bearing 216 has a fixed portion 220 and a moving body 230 .
  • Motor 210 drives moving body 230 .
  • the fixed part 220 floats the moving body 230 from the fixed part 220 with a fluid to movably support the moving body 230 .
  • the fluid output from the fluid supply device 30 passes through the flow path inside the hydrostatic bearing 216 .
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a machine tool 10 according to one embodiment.
  • a machine tool 10 for machining a workpiece has a main body 20 , a fluid supply device 30 and a control device 40 .
  • the body 20 has
  • the fluid passes through channels within the fixed portion 220 .
  • the fluid may pass through channels within the mover 230 .
  • the fluid that has passed through the flow path in hydrostatic bearing 216 passes through bearing gap 240 between moving body 230 and fixed portion 220 .
  • the fluid that has passed through the bearing clearance 240 is recovered by the fluid supply device 30 .
  • the fluid is liquid such as oil or water.
  • the fluid supply device 30 has a fluid supply section 310 , a first pipe 320 , a first physical quantity detection section 330 , a second pipe 340 , a tank 350 and a second physical quantity detection section 360 .
  • Fluid supply 310 outputs fluid to supply fluid to hydrostatic bearing 216 .
  • Fluid supply 310 includes pump 370 and motor 380 .
  • Motor 380 drives pump 370 .
  • Pump 370 outputs the fluid pumped up from tank 350 to first pipe 320 .
  • Pump 370 outputs fluid at a pressure corresponding to the number of revolutions of motor 380 .
  • Control device 40 controls the rotation speed of motor 380 so that the pressure of the fluid supplied from pump 370 to hydrostatic bearing 216 is constant.
  • Control device 40 controls motor 380 so that the number of revolutions of motor 380 is within a predetermined range between the upper limit and the lower limit.
  • the first pipe 320 is connected to the fluid supply section 310 and the main body 20 .
  • the first pipe 320 is a fluid supply pipe for supplying the fluid output from the fluid supply section 310 to the hydrostatic bearing 216 .
  • First physical quantity detector 330 is provided in first pipe 320 . Of the entire section of the first pipe 320, the section from the pump 370 to the first physical quantity detector 330 is the upstream section, and the section from the first physical quantity detector 330 to the static pressure bearing 216 is the downstream section.
  • First physical quantity detection unit 330 detects the physical quantity of the fluid supplied from fluid supply unit 310 to hydrostatic bearing 216 .
  • the physical quantity of the fluid detected by the first physical quantity detection unit 330 is, for example, the flow rate of the fluid, the temperature of the fluid, the pressure of the fluid, and the like. That is, the first physical quantity detection unit 330 includes at least one of, for example, a flow rate sensor that detects the flow rate of fluid, a temperature sensor that detects the temperature of the fluid, and a pressure sensor that detects the pressure of the fluid. In the present embodiment, first physical quantity detection section 330 includes at least a flow rate sensor and a pressure sensor. The flow sensor detects the flow rate of fluid supplied to hydrostatic bearing 216 . A pressure sensor detects the pressure of the fluid supplied to hydrostatic bearing 216 .
  • a second pipe 340 is connected to the main body 20 and the tank 350 .
  • the second pipe 340 is a fluid recovery pipe for returning the fluid supplied to the hydrostatic bearing 216 to the tank 350 .
  • Tank 350 stores fluid.
  • the second physical quantity detection unit 360 is a liquid level sensor provided inside the tank 350 .
  • the physical quantity of the fluid detected by the second physical quantity detection unit 360 is the liquid level of the liquid stored in the tank 350 .
  • the control device 40 has a processing circuit and a memory that stores programs and the like.
  • the processing circuit of the control device 40 executes the program, thereby functioning as the control device 40 of the present embodiment.
  • a control device 40 controls the main body 20 and the fluid supply device 30 .
  • the processing circuit includes a processor such as a CPU.
  • the control device 40 functions as a physical quantity acquisition unit 410 , a motor control unit 420 , a supply state determination unit 430 and a stop control unit 440 by the processing circuit of the control device 40 executing programs. At least part of the physical quantity acquisition unit 410, the motor control unit 420, the supply state determination unit 430, and the stop control unit 440 may be realized by ASIC, FPGA, or other integrated circuits.
  • the memory of the control device 40 includes volatile memory such as RAM and non-volatile memory such as ROM and flash memory.
  • Storage unit 450 is provided in control device 40 as a non-volatile memory.
  • the storage unit 450 stores state information and operation information, which will be described later.
  • the control device 40 further has a display unit 460 such as a display.
  • the physical quantity acquisition unit 410 acquires the physical quantity of the fluid from the first physical quantity detection unit 330.
  • the physical quantity acquisition unit 410 acquires the liquid surface height of the fluid stored in the tank 350 from the second physical quantity detection unit 360 as a physical quantity of the fluid.
  • the physical quantity acquisition unit 410 acquires the flow rate of the fluid from the flow sensor of the first physical quantity detection unit 330 as the physical quantity of the fluid.
  • the physical quantity acquisition unit 410 acquires the pressure of the fluid from the pressure sensor of the first physical quantity detection unit 330 as the physical quantity of the fluid.
  • the motor control unit 420 controls the motor 210 of the main body 20 and the motor 380 of the fluid supply device 30 .
  • Motor control unit 420 acquires the pressure of the fluid supplied from fluid supply unit 310 to static pressure bearing 216 from physical quantity acquisition unit 410 .
  • Motor control unit 420 calculates the number of rotations of motor 380 so that the pressure of the fluid is constant.
  • the motor control unit 420 controls the motor 380 by commanding the motor 380 with the calculated number of rotations.
  • the supply state determination unit 430 acquires the physical quantity of the fluid from the physical quantity acquisition unit 410 .
  • the supply state determination unit 430 acquires from the motor control unit 420 the rotation speed of the motor 380 commanded by the motor control unit 420 to the motor 380 . If the motor 380 is provided with an encoder, the supply state determination section 430 may acquire the rotation speed of the motor 380 from the encoder.
  • Supply state determination unit 430 determines the state of fluid supply to hydrostatic bearing 216 based on the number of revolutions of motor 380 , the physical quantity of the fluid, and the state information stored in storage unit 450 . The fluid supply state and state information in this embodiment will be described later with reference to FIG.
  • the stop control unit 440 performs coping operations according to the fluid supply state determined by the supply state determination unit 430 .
  • the coping operation includes stopping the supply of fluid from the fluid supply device 30 to the main body 20 , stopping the processing of the workpiece by the main body 20 , and displaying the supply state of the fluid on the display section 460 .
  • the stop control section 440 controls the motor control section 420 to stop the motor 380 .
  • the stop control unit 440 controls the motor control unit 420 to stop the motor 210 .
  • the stop control unit 440 controls the display unit 460 to display the fluid supply state.
  • the stop control unit 440 may further cause the display unit 460 to display a message or a graphic prompting the operator to replace, repair, or inspect necessary parts according to the supply state of the fluid.
  • the coping operation in the present embodiment is included in the operation information stored by storage unit 450 . Operation information will be described later with reference to FIG.
  • FIG. 2 is a diagram exemplifying state information 510 in which combinations of changes in the number of rotations of the motor 380 of the fluid supply unit 310 and changes in the physical quantity of the fluid during a predetermined period are associated with the supply state of the fluid.
  • the fluid supply status included in the status information 510 includes a status requiring emergency parts replacement or repair, a status requiring inspection after stopping processing or fluid supply, and a status requiring maintenance such as aged deterioration.
  • FIG. 2 exemplifies eight types of states A to H described below as fluid supply states.
  • State A is "fluid deterioration". As the fluid degrades, the fluid becomes less viscous. Therefore, the rotation speed of motor 380 increases for a predetermined period so that the pressure of the fluid supplied from pump 370 of fluid supply unit 310 is constant. As a result, the flow rate of fluid supplied from pump 370 increases.
  • State B is "temperature rise around the flow path". As the temperature around the flow path of the fluid increases, the viscosity of the fluid decreases. Therefore, as in state A, the rotation speed of motor 380 increases and the flow rate of fluid supplied from pump 370 increases in a predetermined period.
  • State C is "expansion of bearing clearance".
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is A or B based on the state information 510. and C.
  • State D is "clogging upstream of the first pipe".
  • the pressure of the fluid drops, so the rotation speed of the motor 380 increases so that the pressure of the fluid remains constant. This keeps the fluid flow rate constant.
  • the rotating speed of the motor 380 which continues to increase, reaches the upper limit value, so the pressure of the fluid drops and the flow rate of the fluid decreases. That is, in a predetermined period, the rotation speed of the motor 380 increases and the flow rate of the fluid remains constant or decreases.
  • State E is "leakage or disconnection of the first pipe".
  • the rotation speed of the motor 380 increases and the fluid flow rate becomes constant or decreases for a predetermined period of time, similar to the state D. .
  • the supply state determination unit 430 determines the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 based on the state information 510. is in at least one of states D and E.
  • State F is "clogging downstream of the first pipe".
  • the pressure of the fluid increases, so the rotation speed of the motor 380 decreases. This reduces the flow rate of the fluid. That is, in a predetermined period, the rotational speed of motor 380 decreases and the flow rate of fluid supplied from pump 370 decreases.
  • State G is "reduction of bearing clearance". As the bearing gap 240 shrinks, the pressure of the fluid supplied from the pump 370 temporarily increases. Therefore, in order to return the pressure of the fluid to a constant value, the rotation speed of the motor 380 decreases and the flow rate of the fluid supplied from the pump 370 decreases for a predetermined period.
  • State H is "temperature drop around the flow path".
  • the viscosity of the fluid increases. Therefore, the number of rotations of motor 380 decreases for a predetermined period so that the pressure of the fluid supplied from pump 370 is constant. As a result, the flow rate of fluid supplied by pump 370 is reduced.
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state F or G based on the state information 510 . and at least one of H.
  • FIG. 3 is a diagram exemplifying operation information 512 in which fluid supply states and coping operations are associated with each other.
  • the stop control unit 440 performs a coping operation according to the state D.
  • the coping operation corresponding to the state D is to stop the processing of the workpiece by the main body 20 and to display the state D on the display unit 460 as an indication of the fluid supply state. .
  • the stop control unit 440 performs a coping operation according to the applicable state.
  • the corrective action corresponding to each of states F and E is the same.
  • the coping operations are to stop the supply of the fluid from the fluid supply device 30 to the main body 20, to stop the machining of the object to be processed by the main body 20, and to display the status F or E as an indication of the supply status of the fluid. 460 to display.
  • the stop control unit 440 performs a coping operation according to the corresponding state. .
  • the coping actions corresponding to the respective states C, G, B, H and A are the same.
  • the coping operation is to display state C, G, B, H or A on the display unit 460 as an indication of the fluid supply state.
  • FIG. 4 is a flowchart showing a processing procedure executed by the control device 40 of the machine tool 10.
  • FIG. This processing procedure is repeated at predetermined intervals by the processing circuit of the control device 40 executing a program, for example.
  • the supply state determination unit 430 detects the rotation speed of the motor 380 in step S110.
  • the supply state determination unit 430 detects the physical quantity of the fluid.
  • the supply state determination unit 430 uses the state information 510 to determine the state of fluid supply to the hydrostatic bearing 216 .
  • the stop control unit 440 uses the operation information 512 to perform a coping operation according to the fluid supply state determined by the supply state determination unit 430 .
  • this processing procedure ends.
  • the change in the number of revolutions of the motor 380 of the fluid supply section 310 during the predetermined period is classified into two categories: rising and falling.
  • the change in the number of rotations of motor 380 may be classified into four categories: rising, gentle rising, gentle falling, and falling. For example, if the absolute value of the amount of change (rate of change) when the number of rotations of motor 380 increases in a predetermined period is greater than or equal to a first predetermined value, the change in number of rotations of motor 380 is classified as an increase.
  • the change in number of rotations of motor 380 is classified as a moderate increase. If the absolute value of the amount of change (rate of change) when the number of rotations of motor 380 decreases during the predetermined period is less than the second predetermined value, the change in number of rotations of motor 380 is classified as a gradual decrease. If the absolute value of the amount of change (rate of change) when the number of rotations of motor 380 decreases during the predetermined period is greater than or equal to the second predetermined value, the change in number of rotations of motor 380 is classified as falling.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating state information 514 used in modification 1.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating state information 514 used in modification 1.
  • the determination result of the fluid supply state when the state information 514 is used differs from that when the state information 510 in the above embodiment is used in the following points.
  • the supply state determining unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is the state A based on the state information 514. and B are determined to be at least one state.
  • the supply state determining unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state C based on the state information 514. I judge.
  • the supply state determination unit 430 determines whether the state of the fluid supply to the hydrostatic bearing 216 is F or G based on the state information 514 . It is determined that at least one state of When the rotation speed of the motor 380 gradually decreases and the flow rate of the fluid decreases during a predetermined period, the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is the state H based on the state information 514. It is determined that
  • first physical quantity detection section 330 includes at least a flow rate sensor and a pressure sensor.
  • the physical quantity of the fluid used for determining the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing 216 is the flow rate of the fluid.
  • first physical quantity detection unit 330 may include a temperature sensor that detects the temperature of the fluid supplied to hydrostatic bearing 216 instead of the flow rate sensor.
  • the physical quantity of the fluid used to determine the supply state of the fluid is the temperature of the fluid.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating state information 520 used in modification 2.
  • FIG. FIG. 6 exemplifies eight types of states A to H similar to those in FIG. 2 as fluid supply states.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is in the state A based on the state information 520. to state E.
  • the supply state determination unit 430 determines that the supply state of the fluid to the hydrostatic bearing 216 changes from the state F to the state F based on the state information 520 . It is determined that at least one of up to H is in the state.
  • Modification 3 changes in the temperature of the fluid supplied to the hydrostatic bearing 216 during the predetermined period are classified into two categories: rising and falling. However, the change in temperature of the fluid may be classified into 4 categories: sudden rise, rise, fall and sudden fall. For example, when the absolute value of the amount of change (rate of change) when the temperature of the fluid supplied during the predetermined period rises is equal to or greater than the third predetermined value, the change in temperature of the fluid is classified as a rapid rise. If the absolute value of the amount of change (rate of change) when the temperature of the fluid supplied during the predetermined period rises is less than the third predetermined value, the change in temperature of the fluid is classified as rising.
  • the change in temperature of the fluid is classified as falling. If the absolute value of the amount of change (rate of change) when the temperature of the fluid supplied during the predetermined period drops is greater than or equal to the fourth predetermined value, the change in temperature of the fluid is classified as a rapid drop.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating state information 522 used in modification 3.
  • FIG. 7 The determination result of the fluid supply state when the state information 522 is used is different from that when the state information 520 in the modified example 2 is used in the following points.
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state A or C based on the state information 522. , D and E.
  • the supply state determination unit 430 determines that the state of the fluid supply to the hydrostatic bearing 216 is the state B based on the state information 522. It is determined that
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is F or G based on the state information 522 . It is determined that at least one state of When the rotation speed of the motor 380 drops and the temperature of the fluid drops sharply in a predetermined period, the supply state determining unit 430 determines that the state of fluid supply to the hydrostatic bearing 216 is the state H based on the state information 522 . It is determined that
  • first physical quantity detection section 330 includes at least a flow rate sensor and a pressure sensor.
  • the physical quantity of the fluid used for determining the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing 216 is the flow rate of the fluid.
  • the physical quantity of the fluid used to determine the state of supply of the fluid may be the pressure of the fluid.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating state information 530 used in modification 4. As shown in FIG. FIG. 8 exemplifies eight types of states A to H similar to those in FIG. 2 as fluid supply states.
  • the supply state determining unit 430 determines that the fluid supply state is at least one of the states D and E based on the state information 530. state.
  • the rotation speed of the motor 380 increases so that the pressure of the fluid remains constant. If the number of rotations of the motor 380 increases and the pressure of the fluid is constant for a predetermined period of time, the supply state determination unit 430 determines whether the fluid supply state is one of the states A, B, and C based on the state information 530. It is determined that at least one state of
  • state F as described above, the fluid pressure increases and the rotation speed of the motor 380 decreases.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state is state F based on the state information 530 .
  • the rotation speed of the motor 380 is decreased so that the pressure of the fluid remains constant. If the rotation speed of the motor 380 decreases and the pressure of the fluid is constant for a predetermined period of time, the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state is at least one of the states G and H based on the state information 530. It is determined that there is one state.
  • FIG. 9 is a diagram exemplifying the state information 532 used in the fifth modification.
  • the conditions under which the fluid supply state is determined to be at least one of the states D and E are different compared to the fourth modification in which the state information 530 is used.
  • the condition is that the number of revolutions of the motor 380 increases and the pressure of the fluid becomes constant during a predetermined period, and the number of revolutions of the motor 380 becomes constant and the pressure of the fluid decreases during the next predetermined period. be.
  • the physical quantity acquisition unit 410 may acquire the liquid level height of the liquid stored in the tank 350 from the liquid level sensor, which is the second physical quantity detection unit 360, as the physical quantity of the fluid. That is, the physical quantity of the fluid is the liquid level.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating state information 540 used in modification 6. As shown in FIG. FIG. 10 exemplifies eight types of states A to H similar to those in FIG. That is, FIG. 10 exemplifies nine types of states A to I as fluid supply states.
  • state D when the upstream section of the first pipe 320 begins to clog, the rotation speed of the motor 380 increases so that the pressure of the fluid becomes constant, as described above. Since the flow rate of the fluid is kept constant, the liquid level of the fluid stored in the tank 350 is kept constant. As the clogging of the upstream section of the first pipe 320 progresses, the rotation speed of the motor 380 reaches the upper limit as described above, so the flow rate of the fluid supplied from the pump 370 decreases. Accordingly, the amount of fluid pumped by pump 370 from tank 350 is reduced. Since the amount of fluid recovered from the second pipe 340 to the tank 350 does not immediately decrease, the liquid level of the fluid stored in the tank 350 rises. That is, in a predetermined period, the rotational speed of the motor 380 increases and the liquid level rises.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state D based on the state information 540. Determine that there is.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is the state A based on the state information 540. , B and C.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state E based on the state information 540. Determine that there is.
  • state F when the downstream section of the first pipe 320 begins to clog, the rotation speed of the motor 380 decreases as described above. Accordingly, the amount of fluid pumped by pump 370 from tank 350 is reduced. Since the amount of fluid recovered from the second pipe 340 to the tank 350 does not immediately decrease, the liquid level of the fluid stored in the tank 350 rises. That is, in a predetermined period, the rotational speed of the motor 380 decreases and the liquid level rises.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state F based on the state information 540. Determine that there is.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is the state G based on the state information 540. and at least one of H.
  • State I is "clogging, leaking or disconnection of the second pipe". If clogging of the second pipe 340, leakage of fluid in the second pipe 340, or disconnection of the second pipe 340 occurs, the rotation speed of the motor 380 is not affected by such events and remains constant. Since the amount of fluid recovered from the second pipe 340 to the tank 350 decreases, the liquid level of the fluid stored in the tank 350 drops. That is, in a predetermined period, the rotation speed of the motor 380 becomes constant and the liquid level drops.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid supply state to the hydrostatic bearing 216 is state I based on the state information 540. Determine that there is.
  • FIG. 11 is a diagram exemplifying the motion information 542 used in the sixth modification.
  • the action information 542 differs from the action information 512 shown in FIG. 3 in that a coping action corresponding to the state I is defined.
  • the stop control unit 440 performs coping operations according to the state.
  • the coping operation is to stop the supply of the fluid from the fluid supply device 30 to the main body 20 and to display the state I on the display unit 460 as an indication of the supply state of the fluid.
  • the liquid level of the fluid is kept constant while the rotation speed of the motor 380 is increasing, and when the rotation speed of the motor 380 becomes constant at the upper limit value, the liquid level of the fluid Height rises. Therefore, the liquid level of the fluid is constant during a predetermined period, and the liquid level of the fluid rises during the next predetermined period.
  • FIG. 12 is a diagram exemplifying the state information 544 used in the seventh modification.
  • the condition for determining that the fluid supply state is the state D and the condition for determining that the fluid supply state is the state E are the above modifications using the state information 540. 6 is different.
  • the condition for determining that the fluid supply state is state D is that the number of revolutions of the motor 380 increases and the liquid level of the fluid becomes constant during a certain predetermined period, and the motor 380 rotates during the next predetermined period. This is the case where the number of revolutions is constant and the liquid level of the fluid rises.
  • the condition for determining that the fluid supply state is state E is that the number of rotations of the motor 380 increases and the liquid level of the fluid decreases during a certain predetermined period, and the motor 380 rotates during the next predetermined period. This is the case where the number of revolutions is constant and the liquid level of the fluid is lowered.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating state information 550 used in modified example 8.
  • the supply state determination unit 430 determines the supply state of the fluid. is in state C.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid level is constant. The supply state is determined to be at least one of states B and A.
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid is supplied. The state is determined to be state D.
  • the supply state determination unit 430 determines whether the fluid is supplied. The state is determined to be state E. During a predetermined period, the rotation speed of the motor 380 becomes constant, the flow rate, temperature, and pressure of the fluid become constant, and the liquid level drops. I judge. During a predetermined period, when the rotation speed of the motor 380 decreases, the flow rate of the fluid decreases, the temperature decreases, the pressure increases, and the liquid level rises, the supply state determination unit 430 determines that the supply state of the fluid is It is determined to be state F.
  • the supply state determination unit 430 determines the supply state of the fluid. is in state G.
  • the supply state determination unit 430 determines that the fluid level is constant. It is determined that the supply state is state H.
  • the fluid supplied to hydrostatic bearing 216 is liquid.
  • the fluid supplied to the hydrostatic bearing 216 may be gas such as air. If the fluid supply device 30 does not have the tank 350 , it does not have the second physical quantity detection section 360 either. In that case, the liquid level height of the liquid stored in the tank 350 described in the descriptions of Modifications 6, 7, and 8 is determined by the supply state determination unit 430 based on the supply state of the fluid to the static pressure bearing 216. is not included in the physical quantity of the fluid used when determining
  • a machine tool (10) for machining an object to be processed includes a static pressure bearing (216) having a moving body (230) and a fixed part (220) that supports the moving body using a fluid; (380), a fluid supply unit (310) for outputting the fluid at a pressure corresponding to the number of revolutions of the motor and supplying it to the hydrostatic bearing; and a physical quantity of the fluid supplied from the fluid supply unit.
  • a physical quantity detection unit (330, 360) for detecting a
  • a motor control unit (420) for controlling the motor so that the pressure of the fluid supplied from the fluid supply unit is constant; and the rotation of the motor and a supply state determination unit (430) that determines the supply state of the fluid based on the number and the physical quantity. Accordingly, when the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing of the machine tool is different from the normal supply state, the abnormal supply state can be identified.
  • the physical quantity detection unit may include a flow rate sensor that detects a flow rate of the fluid supplied to the hydrostatic bearing as the physical quantity. Accordingly, when a flow rate sensor is provided, it is possible to determine the supply state of the fluid based on the flow rate of the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the physical quantity detection unit may include a temperature sensor that detects a temperature of the fluid supplied to the hydrostatic bearing as the physical quantity. Thereby, when a temperature sensor is provided, the supply state of the fluid can be determined based on the temperature of the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the motor control unit controls the motor so that the rotation speed of the motor is within a predetermined range, and the physical quantity detection unit detects the pressure of the fluid output from the fluid supply unit.
  • a pressure sensor that detects the physical quantity may be included. Accordingly, when a pressure sensor is provided, the fluid supply state can be determined based on the pressure of the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the fluid is a liquid
  • the machine tool includes a tank (350) that stores the liquid, and a first pipe ( 320), and a second pipe (340) for returning the liquid supplied to the hydrostatic bearing to the tank, wherein the physical quantity detection unit measures the liquid level of the liquid stored in the tank.
  • a liquid level sensor may be included that detects the height as the physical quantity. Accordingly, when the liquid level sensor is provided, the supply state of the fluid can be determined based on the liquid level height of the liquid, which is the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the machine tool stores state information (510) in which a combination of the change in the rotational speed of the motor and the change in the physical quantity in a predetermined period is associated with the supply state of the fluid. (450), wherein the supply state determination unit may determine the supply state of the fluid based on the number of revolutions of the motor, the physical quantity, and the state information. This makes it possible to easily determine the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the machine tool may select between supplying the fluid to the machine tool and machining the workpiece by the machine tool.
  • a stop control unit (440) for stopping at least one may be further provided. Accordingly, it is possible to quickly control the coping operation according to the supply state of the fluid.
  • the machine tool may further include a display section (460) that displays the supply state of the fluid determined by the supply state determination section. As a result, it is possible to quickly notify the operator of the supply state of the fluid.
  • a method of controlling a machine tool (10) for machining a workpiece is such that a static pressure bearing (216) that supports a moving body (230) with a fixed part (220) using a fluid is connected to a motor (380). detecting the number of revolutions of the motor and a physical quantity of the fluid when the fluid is supplied at a pressure corresponding to the number of revolutions; and supplying the fluid based on the number of revolutions of the motor and the physical quantity. determining the state. Accordingly, when the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing of the machine tool is different from the normal supply state, the abnormal supply state can be identified.
  • the supply state of the fluid is a combination of the rotational speed of the motor, the physical quantity, a change in the rotational speed of the motor and a change in the physical quantity during a predetermined period, and the supply state of the fluid. may be determined based on the state information (510) associated with and. This makes it possible to easily determine the supply state of the fluid supplied to the hydrostatic bearing.
  • the control method stops at least one of supply of the fluid to the machine tool and machining of the workpiece by the machine tool according to the determined supply state of the fluid. , may further include. Accordingly, it is possible to quickly control the coping operation according to the supply state of the fluid.
  • the control method may further include displaying the determined supply state of the fluid. As a result, it is possible to quickly notify the operator of the supply state of the fluid.

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Abstract

工作機械（１０）は、移動体（２３０）と、流体を用いて前記移動体を支持する固定部（２２０）とを有する静圧軸受（２１６）と、モータ（３８０）の回転数に応じた圧力で前記流体を出力し、前記静圧軸受に供給する流体供給部（３１０）と、前記流体の物理量を検出する物理量検出部（３３０、３６０）と、前記流体の前記圧力が一定となるように前記モータを制御するモータ制御部（４２０）と、前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定する供給状態判定部（４３０）と、を備える。

Description

工作機械および工作機械の制御方法
　本発明は、工作機械および工作機械の制御方法に関する。
　特開２０２０－１６２４０４号公報には、加工機の静圧軸受に供給するための流体を、サーボモータの回転に応じて出力する流体出力部が開示されている。その流体出力部から出力された流体の物理量に応じて、サーボモータの回転数が制御される。
　特開２０２０－１６２４０４号公報の開示によると、流体の供給状態が通常とは異なる供給状態となった場合に、その通常とは異なる供給状態を識別できないという課題がある。
　本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
　本発明の第１の態様は、加工対象物を加工する工作機械であって、移動体と、流体を用いて前記移動体を支持する固定部とを有する静圧軸受と、モータを有し、前記モータの回転数に応じた圧力で前記流体を出力し、前記静圧軸受に供給する流体供給部と、前記流体供給部から供給される前記流体の物理量を検出する物理量検出部と、前記流体供給部から供給される前記流体の前記圧力が一定となるように前記モータを制御するモータ制御部と、前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定する供給状態判定部と、を備える。
　本発明の第２の態様は、加工対象物を加工する工作機械の制御方法であって、固定部が流体を用いて移動体を支持する静圧軸受に、モータの回転数に応じた圧力で前記流体が供給される際の、前記モータの前記回転数および前記流体の物理量を検出することと、前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定することと、を含む。
　本発明によれば、工作機械の静圧軸受に供給される流体の供給状態が通常とは異なる供給状態となった場合に、その通常とは異なる供給状態を識別できる。
図１は、一実施の形態における工作機械の構成の概略を示す図である。 図２は、所定期間における流体供給部のモータの回転数の変化と流体の物理量の変化との組合せと、流体の供給状態とが対応付けられた状態情報を例示する図である。 図３は、流体の供給状態と対処動作とが対応付けられた動作情報を例示する図である。 図４は、工作機械の制御装置で実行される処理手順を示すフローチャートである。 図５は、変形例１で用いられる状態情報を例示する図である。 図６は、変形例２で用いられる状態情報を例示する図である。 図７は、変形例３で用いられる状態情報を例示する図である。 図８は、変形例４で用いられる状態情報を例示する図である。 図９は、変形例５で用いられる状態情報を例示する図である。 図１０は、変形例６で用いられる状態情報を例示する図である。 図１１は、変形例６で用いられる動作情報を例示する図である。 図１２は、変形例７で用いられる状態情報を例示する図である。 図１３は、変形例８で用いられる状態情報を例示する図である。
　図１は、一実施の形態における工作機械１０の構成の概略を示す図である。不図示の加工対象物を加工する工作機械１０は、本体２０と、流体供給装置３０と、制御装置４０とを有する。本体２０は、加工対象物を加工するため、モータ２１０と、静圧軸受２１６とを有する。静圧軸受２１６は、固定部２２０と、移動体２３０とを有する。モータ２１０は、移動体２３０を駆動する。固定部２２０は、移動体２３０を流体で固定部２２０から浮上させて、移動体２３０を移動可能に支持する。流体供給装置３０から出力された流体は、静圧軸受２１６内の流路を通過する。図１に示す例において、流体は固定部２２０内の流路を通過する。流体は、移動体２３０内の流路を通過してもよい。静圧軸受２１６内の流路を通過した流体は、移動体２３０と固定部２２０との間の軸受隙間２４０を通過する。軸受隙間２４０を通過した流体は、流体供給装置３０に回収される。本実施の形態において、流体は、油或いは水等の液体である。
　流体供給装置３０は、流体供給部３１０と、第１配管３２０と、第１物理量検出部３３０と、第２配管３４０と、タンク３５０と、第２物理量検出部３６０とを有する。流体供給部３１０は、静圧軸受２１６へ流体を供給するために流体を出力する。流体供給部３１０は、ポンプ３７０と、モータ３８０とを含む。モータ３８０は、ポンプ３７０を駆動する。ポンプ３７０は、タンク３５０から汲み上げた流体を第１配管３２０へ出力する。ポンプ３７０は、モータ３８０の回転数に応じた圧力で流体を出力する。制御装置４０は、ポンプ３７０から静圧軸受２１６へ供給される流体の圧力が一定となるようにモータ３８０の回転数を制御する。制御装置４０は、モータ３８０の回転数が上限値と下限値との間の所定範囲内に含まれるように、モータ３８０を制御する。
　第１配管３２０は、流体供給部３１０と本体２０とに接続される。第１配管３２０は、流体供給部３１０から出力される流体を静圧軸受２１６へ供給するための流体供給用配管である。第１物理量検出部３３０は、第１配管３２０に設けられる。第１配管３２０の全区間のうち、ポンプ３７０から第１物理量検出部３３０までの区間は上流区間であり、第１物理量検出部３３０から静圧軸受２１６までの区間は下流区間である。第１物理量検出部３３０は、流体供給部３１０から静圧軸受２１６へ供給される流体の物理量を検出する。第１物理量検出部３３０により検出される流体の物理量は、例えば流体の流量、流体の温度、流体の圧力等である。すなわち、第１物理量検出部３３０は、例えば流体の流量を検出する流量センサ、流体の温度を検出する温度センサ、および流体の圧力を検出する圧力センサのうちの少なくとも１つを含む。本実施の形態において、第１物理量検出部３３０は、少なくとも流量センサおよび圧力センサを含む。流量センサは、静圧軸受２１６に供給される流体の流量を検出する。圧力センサは、静圧軸受２１６に供給される流体の圧力を検出する。
　第２配管３４０は、本体２０とタンク３５０とに接続される。第２配管３４０は、静圧軸受２１６に供給された流体をタンク３５０に戻すための流体回収用配管である。タンク３５０は、流体を貯留する。第２物理量検出部３６０は、タンク３５０内に設けられる液面センサである。第２物理量検出部３６０により検出される流体の物理量は、タンク３５０内に貯留される流体である液体の液面高さである。
　制御装置４０は、処理回路と、プログラム等を記憶するメモリとを有する。制御装置４０の処理回路がプログラムを実行することで、本実施の形態の制御装置４０として機能する。制御装置４０は、本体２０および流体供給装置３０を制御する。処理回路は、ＣＰＵ等のプロセッサを含む。制御装置４０の処理回路がプログラムを実行することにより、制御装置４０は、物理量取得部４１０、モータ制御部４２０、供給状態判定部４３０および停止制御部４４０として機能する。物理量取得部４１０、モータ制御部４２０、供給状態判定部４３０および停止制御部４４０のうちの少なくとも一部が、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡ、またはその他の集積回路によって実現されてもよい。制御装置４０のメモリは、ＲＡＭ等の揮発性メモリと、ＲＯＭおよびフラッシュメモリ等の不揮発性メモリとを含む。記憶部４５０は、不揮発性メモリとして制御装置４０に設けられる。記憶部４５０は、後述する状態情報および動作情報を記憶する。制御装置４０は、ディスプレイ等の表示部４６０をさらに有する。
　物理量取得部４１０は、第１物理量検出部３３０から流体の物理量を取得する。物理量取得部４１０は、第２物理量検出部３６０からタンク３５０内に貯留される流体の液面高さを、流体の物理量として取得する。本実施の形態では、物理量取得部４１０は、第１物理量検出部３３０の流量センサから、流体の流量を、流体の物理量として取得する。さらに、物理量取得部４１０は、第１物理量検出部３３０の圧力センサから流体の圧力を、流体の物理量として取得する。
　モータ制御部４２０は、本体２０のモータ２１０と、流体供給装置３０のモータ３８０とを制御する。モータ制御部４２０は、流体供給部３１０から静圧軸受２１６へ供給される流体の圧力を、物理量取得部４１０から取得する。モータ制御部４２０は、流体の圧力が一定となるようにモータ３８０の回転数を演算する。モータ制御部４２０は、演算して得た回転数をモータ３８０に指令することにより、モータ３８０を制御する。
　供給状態判定部４３０は、物理量取得部４１０から流体の物理量を取得する。供給状態判定部４３０は、モータ制御部４２０から、モータ制御部４２０によりモータ３８０に指令されたモータ３８０の回転数を取得する。モータ３８０にエンコーダが設けられている場合、供給状態判定部４３０は、エンコーダからモータ３８０の回転数を取得してもよい。供給状態判定部４３０は、モータ３８０の回転数、流体の物理量および記憶部４５０により記憶される状態情報に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態を判定する。本実施の形態における流体の供給状態および状態情報については、図２を用いて後述する。
　停止制御部４４０は、供給状態判定部４３０により判定された流体の供給状態に応じた対処動作を行う。対処動作は、流体供給装置３０から本体２０への流体の供給停止と、本体２０による加工対象物の加工停止と、表示部４６０による流体の供給状態の表示とを含む。流体供給装置３０から本体２０への流体の供給停止の際、停止制御部４４０は、モータ制御部４２０を制御してモータ３８０を停止させる。本体２０による加工対象物の加工停止の際、停止制御部４４０は、モータ制御部４２０を制御してモータ２１０を停止させる。表示部４６０による流体の供給状態の表示の際、停止制御部４４０は、表示部４６０を制御して表示部４６０に流体の供給状態を表示させる。停止制御部４４０は、さらに、流体の供給状態に応じて必要な部品の交換、修理或いは点検を作業者に促すメッセージまたは図形を、表示部４６０に表示させてもよい。本実施の形態における対処動作は、記憶部４５０により記憶される動作情報に含まれる。動作情報については、図３を用いて後述する。
　図２は、所定期間における流体供給部３１０のモータ３８０の回転数の変化と流体の物理量の変化との組合せと、流体の供給状態とが対応付けられた状態情報５１０を例示する図である。状態情報５１０に含まれる流体の供給状態は、緊急の部品交換或いは修理が必要な状態と、加工或いは流体供給を停止したうえでの点検が必要な状態と、経年劣化等のメンテナンス時期が近付いている状態とを含む。図２には、流体の供給状態として、以下に述べる８種類の状態Ａから状態Ｈまでが例示されている。
　状態Ａは、「流体の劣化」である。流体が劣化すると、流体の粘度が小さくなる。したがって、流体供給部３１０のポンプ３７０から供給される流体の圧力が一定となるように、所定期間においてモータ３８０の回転数が上昇する。その結果、ポンプ３７０から供給される流体の流量は増加する。
　状態Ｂは、「流路周辺の温度上昇」である。流体の流路周辺の温度が上昇すると、流体の粘度が小さくなる。したがって状態Ａと同様に、所定期間においてモータ３８０の回転数が上昇するとともに、ポンプ３７０から供給される流体の流量が増加する。
　状態Ｃは、「軸受隙間の拡大」である。移動体２３０と固定部２２０との間の軸受隙間２４０が拡大すると、流体供給部３１０のポンプ３７０から供給される流体の圧力が一旦は下降する。したがって、流体の圧力を一定値に戻すために所定期間においてモータ３８０の回転数が上昇するとともに、ポンプ３７０から供給される流体の流量が増加する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の流量が増加すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ｄは、「第１配管上流の詰まり」である。第１配管３２０の上流区間が詰まり始めると、流体の圧力が下降するため、流体の圧力が一定となるようにモータ３８０の回転数が上昇する。これにより、流体の流量は一定に保たれる。第１配管３２０の上流区間の詰まりが進行すると、上昇し続けたモータ３８０の回転数が上記上限値に達するため、流体の圧力が下降し、流体の流量は減少する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇するとともに、流体の流量が一定となるかまたは減少する。
　状態Ｅは、「第１配管の漏れまたは切断」である。第１配管３２０における流体の漏出または第１配管３２０の切断が発生すると、状態Ｄと同様に、所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇するとともに、流体の流量が一定となるかまたは減少する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の流量が一定となるかまたは減少すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態ＤおよびＥのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ｆは、「第１配管下流の詰まり」である。第１配管３２０の下流区間が詰まり始めると、流体の圧力が上昇するため、モータ３８０の回転数が下降する。これにより、流体の流量は減少する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が下降するとともに、ポンプ３７０から供給される流体の流量が減少する。
　状態Ｇは、「軸受隙間の縮小」である。軸受隙間２４０が縮小すると、ポンプ３７０から供給される流体の圧力がいったんは上昇する。したがって、流体の圧力を一定値に戻すために所定期間においてモータ３８０の回転数が下降するとともに、ポンプ３７０から供給される流体の流量が減少する。
　状態Ｈは、「流路周辺の温度下降」である。流体の流路周辺の温度が下降すると、流体の粘度が大きくなる。したがって、ポンプ３７０から供給される流体の圧力が一定となるように、所定期間においてモータ３８０の回転数が下降する。その結果、ポンプ３７０から供給される流体の流量は減少する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の流量が減少すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｆ、ＧおよびＨのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　図３は、流体の供給状態と対処動作とが対応付けられた動作情報５１２を例示する図である。供給状態判定部４３０により判定された流体の供給状態が状態Ｄに該当する場合、停止制御部４４０は、状態Ｄに応じた対処動作を行う。図３に示す例において、状態Ｄに応じた対処動作は、本体２０による加工対象物の加工を停止すること、および流体の供給状態の表示として状態Ｄを表示部４６０に表示させること、である。
　供給状態判定部４３０により判定された流体の供給状態が状態ＦおよびＥのいずれかの状態に該当する場合、停止制御部４４０は、その該当する状態に応じた対処動作を行う。図３に示す例において、状態ＦおよびＥのそれぞれの状態に応じた対処動作は一致する。その対処動作は、流体供給装置３０から本体２０への流体の供給を停止すること、本体２０による加工対象物の加工を停止すること、および流体の供給状態の表示として状態ＦまたはＥを表示部４６０に表示させること、である。
　供給状態判定部４３０により判定された流体の供給状態が状態Ｃ、Ｇ、Ｂ、ＨおよびＡのいずれかの状態である場合、停止制御部４４０は、その該当する状態に応じた対処動作を行う。図３に示す例において、状態Ｃ、Ｇ、Ｂ、ＨおよびＡのそれぞれの状態に応じた対処動作は一致する。その対処動作は、流体の供給状態の表示として状態Ｃ、Ｇ、Ｂ、ＨまたはＡを表示部４６０に表示させること、である。
　図４は、工作機械１０の制御装置４０で実行される処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、例えば制御装置４０の処理回路がプログラムを実行することにより、所定期間ごとに繰り返し行われる。本処理手順が開始されると、ステップＳ１１０で、供給状態判定部４３０は、モータ３８０の回転数を検出する。ステップＳ１２０で、供給状態判定部４３０は、流体の物理量を検出する。ステップＳ１３０で、供給状態判定部４３０は、状態情報５１０を用いて、静圧軸受２１６への流体の供給状態を判定する。ステップＳ１４０で、停止制御部４４０は、動作情報５１２を用いて、供給状態判定部４３０により判定された流体の供給状態に応じた対処動作を実行する。ステップＳ１４０の処理が完了すると、本処理手順は終了する。
［変形例］
　上記実施の形態は、以下のように変形されてもよい。
（変形例１）
　上記実施の形態において、所定期間における流体供給部３１０のモータ３８０の回転数の変化は、上昇および下降の２区分に分類されている。しかし、モータ３８０の回転数の変化は、上昇、緩やかな上昇、緩やかな下降および下降の４区分に分類されてもよい。例えば、所定期間におけるモータ３８０の回転数が上昇する際の変化量（変化率）の絶対値が第１所定値以上である場合、モータ３８０の回転数の変化は、上昇に分類される。所定期間におけるモータ３８０の回転数が上昇する際の変化量（変化率）の絶対値が第１所定値未満である場合、モータ３８０の回転数の変化は、緩やかな上昇に分類される。所定期間におけるモータ３８０の回転数が下降する際の変化量（変化率）の絶対値が第２所定値未満である場合、モータ３８０の回転数の変化は、緩やかな下降に分類される。所定期間におけるモータ３８０の回転数が下降する際の変化量（変化率）の絶対値が第２所定値以上である場合、モータ３８０の回転数の変化は、下降に分類される。
　図５は、変形例１で用いられる状態情報５１４を例示する図である。状態情報５１４が用いられた場合における流体の供給状態の判定結果は、上記実施の形態における状態情報５１０が用いられた場合と比べて、次の点で相違する。所定期間において、モータ３８０の回転数が緩やかに上昇し、且つ流体の流量が増加すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１４に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態ＡおよびＢのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の流量が増加すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１４に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｃであると判定する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の流量が減少すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１４に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態ＦおよびＧのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が緩やかに下降し、且つ流体の流量が減少すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５１４に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｈであると判定する。
（変形例２）
　上記実施の形態において、第１物理量検出部３３０は、少なくとも流量センサおよび圧力センサを含む。静圧軸受２１６へ供給される流体の供給状態の判定に用いられる流体の物理量は、流体の流量である。しかし、第１物理量検出部３３０は、流量センサに代えて、静圧軸受２１６へ供給される流体の温度を検出する温度センサを含んでもよい。本変形例において、流体の供給状態の判定に用いられる流体の物理量は、流体の温度である。
　図６は、変形例２で用いられる状態情報５２０を例示する図である。図６には、流体の供給状態として、図２と同様の８種類の状態Ａから状態Ｈまでが例示されている。モータ３８０の回転数が上昇すると流体の温度は上昇し、モータ３８０の回転数が下降すると流体の温度は下降する。したがって、所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の温度が上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ａから状態Ｅまでのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の温度が下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｆから状態Ｈまでのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
（変形例３）
　上記変形例２において、所定期間に静圧軸受２１６へ供給される流体の温度の変化は、上昇および下降の２区分に分類されている。しかし、流体の温度の変化は、急激な上昇、上昇、下降および急激な下降の４区分に分類されてもよい。例えば、所定期間に供給される流体の温度が上昇する際の変化量（変化率）の絶対値が第３所定値以上である場合、流体の温度の変化は、急激な上昇に分類される。所定期間に供給される流体の温度が上昇する際の変化量（変化率）の絶対値が第３所定値未満である場合、流体の温度の変化は、上昇に分類される。所定期間に供給される流体の温度が下降する際の変化量（変化率）の絶対値が第４所定値未満である場合、流体の温度の変化は、下降に分類される。所定期間に供給される流体の温度が下降する際の変化量（変化率）の絶対値が第４所定値以上である場合、流体の温度の変化は、急激な下降に分類される。
　図７は、変形例３で用いられる状態情報５２２を例示する図である。状態情報５２２が用いられた場合における流体の供給状態の判定結果は、上記変形例２における状態情報５２０が用いられた場合と比べて、次の点で相違する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の温度が上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２２に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ａ、Ｃ、ＤおよびＥのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の温度が急激に上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２２に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｂであると判定する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の温度が下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２２に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態ＦおよびＧのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の温度が急激に下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５２２に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｈであると判定する。
（変形例４）
　上記実施の形態において、第１物理量検出部３３０は、少なくとも流量センサおよび圧力センサを含む。静圧軸受２１６へ供給される流体の供給状態の判定に用いられる流体の物理量は、流体の流量である。しかし、流体の供給状態の判定に用いられる流体の物理量は、流体の圧力であってもよい。図８は、変形例４で用いられる状態情報５３０を例示する図である。図８には、流体の供給状態として、図２と同様の８種類の状態Ａから状態Ｈまでが例示されている。
　状態ＤおよびＥにおいて、上記の通り、流体の圧力は下降し、モータ３８０の回転数は上昇する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の圧力が下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５３０に基づいて、流体の供給状態が状態ＤおよびＥのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ａ、ＢおよびＣにおいて、上記の通り、流体の圧力が一定となるように、モータ３８０の回転数が上昇する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の圧力が一定であると、供給状態判定部４３０は、状態情報５３０に基づいて、流体の供給状態が状態Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ｆにおいて、上記の通り、流体の圧力は上昇し、モータ３８０の回転数は下降する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の圧力が上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５３０に基づいて、流体の供給状態が状態Ｆであると判定する。
　状態ＧおよびＨにおいて、上記の通り、流体の圧力が一定となるように、モータ３８０の回転数が下降する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ流体の圧力が一定であると、供給状態判定部４３０は、状態情報５３０に基づいて、流体の供給状態が状態ＧおよびＨのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
（変形例５）
　上記変形例４の状態ＤおよびＥにおいて、上記所定期間が短くなると、連続する複数の所定期間に、モータ３８０の回転数の変化量（変化率）および流体の圧力の変化量（変化率）が、それぞれ異なる場合がある。上記したように、状態ＤおよびＥにおいて、モータ３８０の回転数は上昇し、上限値に達すると上限値で一定となる。したがって、ある所定期間においては、モータ３８０の回転数が上昇し、次の所定期間においては、モータ３８０の回転数が一定になる。上記したように、状態ＤおよびＥにおいて、モータ３８０の回転数が上昇している間は流体の圧力は一定となり、モータ３８０の回転数が上限値で一定となると流体の圧力は下降する。したがって、ある所定期間においては、流体の圧力が一定となり、次の所定期間においては、流体の圧力が下降する。
　図９は、変形例５で用いられる状態情報５３２を例示する図である。状態情報５３２が用いられた場合、流体の供給状態が状態ＤおよびＥのうちの少なくとも１つの状態であると判定される条件が、状態情報５３０が用いられる上記変形例４と比べて相違する。その条件は、ある所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の圧力が一定となり、次の所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となり、且つ流体の圧力が下降した場合である。
（変形例６）
　物理量取得部４１０は、第２物理量検出部３６０である液面センサからタンク３５０内に貯留される流体である液体の液面高さを、流体の物理量として取得してもよい。すなわち、流体の物理量は液面高さである。図１０は、変形例６で用いられる状態情報５４０を例示する図である。図１０には、流体の供給状態として、図２と同様の８種類の状態Ａから状態Ｈまでが例示されるとともに、さらに状態Ｉが例示されている。すなわち、図１０には、流体の供給状態として、９種類の状態Ａから状態Ｉまでが例示される。
　状態Ｄにおいて、第１配管３２０の上流区間が詰まり始めると、上記の通り、流体の圧力が一定となるようにモータ３８０の回転数が上昇する。流体の流量が一定に保たれるため、タンク３５０内に貯留される流体の液面高さは一定に保たれる。第１配管３２０の上流区間の詰まりが進行すると、上記の通り、モータ３８０の回転数が上限値に達するため、ポンプ３７０から供給される流体の流量が減少する。したがって、ポンプ３７０がタンク３５０から汲み上げる流体の量が減少する。第２配管３４０からタンク３５０へ回収される流体の量は、直ちには減少しないため、タンク３５０内に貯留される流体の液面高さは上昇する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇するとともに、液面高さが上昇する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ液面高さが上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｄであると判定する。
　状態Ａ、ＢおよびＣにおいては、上記の通り、モータ３８０の回転数が上昇し、流体の圧力が一定に保たれる。したがって、所定期間においてモータ３８０の回転数が上昇するとともに、液面高さが一定となる。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ｅにおいては、上記の通り、モータ３８０の回転数が上昇し、流体の流量が減少する。したがって、ポンプ３７０がタンク３５０から汲み上げる流体の量が増加するとともに、第２配管３４０からタンク３５０へ回収される流体の量が減少するため、タンク３５０内に貯留される流体の液面高さは下降する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇するとともに、液面高さが下降する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ液面高さが下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｅであると判定する。
　状態Ｆにおいて、第１配管３２０の下流区間が詰まり始めると、上記の通り、モータ３８０の回転数が下降する。したがって、ポンプ３７０がタンク３５０から汲み上げる流体の量が減少する。第２配管３４０からタンク３５０へ回収される流体の量は、直ちには減少しないため、タンク３５０内に貯留される流体の液面高さは上昇する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が下降するとともに、液面高さが上昇する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ液面高さが上昇すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｆであると判定する。
　状態ＧおよびＨにおいては、上記の通り、モータ３８０の回転数が下降し、流体の圧力が一定に保たれる。したがって、所定期間においてモータ３８０の回転数が下降するとともに、液面高さが一定となる。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、且つ液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態ＧおよびＨのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。
　状態Ｉは、「第２配管の詰まり、漏れまたは切断」である。第２配管３４０の詰まり、第２配管３４０における流体の漏出または第２配管３４０の切断が発生した場合、モータ３８０の回転数はそうした事象の影響を受けず、一定となる。第２配管３４０からタンク３５０へ回収される流体の量が減少するため、タンク３５０内に貯留される流体の液面高さは下降する。すなわち、所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となるとともに、液面高さが下降する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となり、且つ液面高さが下降すると、供給状態判定部４３０は、状態情報５４０に基づいて、静圧軸受２１６への流体の供給状態が状態Ｉであると判定する。
　図１１は、変形例６で用いられる動作情報５４２を例示する図である。動作情報５４２は、図３に示す動作情報５１２と比べて、状態Ｉに応じた対処動作が定められている点で相違する。図１１に示す例において、流体の供給状態が状態Ｉに該当する場合、停止制御部４４０は、その状態に応じた対処動作を行う。その対処動作は、流体供給装置３０から本体２０への流体の供給を停止すること、および流体の供給状態の表示として状態Ｉを表示部４６０に表示させること、である。
（変形例７）
　上記変形例６において、状態ＤおよびＥにおいて、上記所定期間が短くなると、連続する複数の所定期間に、モータ３８０の回転数の変化量（変化率）および流体の圧力の変化量（変化率）が、それぞれ異なる場合がある。上記したように、状態ＤおよびＥにおいて、モータ３８０の回転数は上昇し、上限値に達すると上限値で一定となる。したがって、ある所定期間においては、モータ３８０の回転数が上昇し、次の所定期間においては、モータ３８０の回転数が一定になる。
　状態Ｄにおいては、上記したように、モータ３８０の回転数が上昇している間は流体の液面高さが一定に保たれ、モータ３８０の回転数が上限値で一定となると流体の液面高さは上昇する。したがって、ある所定期間においては、流体の液面高さが一定となり、次の所定期間においては、流体の液面高さが上昇する。
　図１２は、変形例７で用いられる状態情報５４４を例示する図である。状態情報５４４が用いられた場合、流体の供給状態が状態Ｄであると判定される条件、および流体の供給状態が状態Ｅであると判定される条件が、状態情報５４０が用いられる上記変形例６と比べて相違する。流体の供給状態が状態Ｄであると判定される条件は、ある所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の液面高さが一定となり、次の所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となり、且つ流体の液面高さが上昇した場合である。流体の供給状態が状態Ｅであると判定される条件は、ある所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、且つ流体の液面高さが下降し、次の所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となり、且つ流体の液面高さが下降した場合である。
（変形例８）
　上記実施の形態および変形例は、任意に組み合わされてもよい。図１３は、変形例８で用いられる状態情報５５０を例示する図である。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、流体の流量が増加し、温度が上昇し、圧力が一定となり、液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｃであると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が緩やかに上昇し、流体の流量が増加し、温度が上昇し、圧力が一定となり、液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態ＢおよびＡのうちの少なくとも１つの状態であると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、流体の流量が一定または減少し、温度が上昇し、圧力が下降し、液面高さが上昇すると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｄであると判定する。
　所定期間において、モータ３８０の回転数が上昇し、流体の流量が一定または減少し、温度が上昇し、圧力が下降し、液面高さが下降すると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｅであると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が一定となり、流体の流量、温度、圧力がいずれも一定となり、液面高さが下降すると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｉであると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、流体の流量が減少し、温度が下降し、圧力が上昇し、液面高さが上昇すると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｆであると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が下降し、流体の流量が減少し、温度が下降し、圧力が一定となり、液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｇであると判定する。所定期間において、モータ３８０の回転数が緩やかに下降し、流体の流量が減少し、温度が下降し、圧力が一定となり、液面高さが一定となると、供給状態判定部４３０は、流体の供給状態が状態Ｈであると判定する。
（変形例９）
　上記実施の形態および変形例において、静圧軸受２１６へ供給される流体は液体である。しかし、静圧軸受２１６へ供給される流体は、空気等の気体でもよい。流体供給装置３０は、タンク３５０を有しない場合、第２物理量検出部３６０をも有しない。その場合、変形例６、７および８の説明に記載の、タンク３５０内に貯留される流体である液体の液面高さは、供給状態判定部４３０が静圧軸受２１６への流体の供給状態を判定する際に用いられる流体の物理量に含まれない。
［実施の形態から得られる発明］
　上記実施の形態および変形例から把握しうる発明について、以下に記載する。
（１）加工対象物を加工する工作機械（１０）は、移動体（２３０）と、流体を用いて前記移動体を支持する固定部（２２０）とを有する静圧軸受（２１６）と、モータ（３８０）を有し、前記モータの回転数に応じた圧力で前記流体を出力し、前記静圧軸受に供給する流体供給部（３１０）と、前記流体供給部から供給される前記流体の物理量を検出する物理量検出部（３３０、３６０）と、前記流体供給部から供給される前記流体の前記圧力が一定となるように前記モータを制御するモータ制御部（４２０）と、前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定する供給状態判定部（４３０）と、を備える。これにより、工作機械の静圧軸受に供給される流体の供給状態が通常とは異なる供給状態となった場合に、その通常とは異なる供給状態を識別できる。
（２）前記物理量検出部は、前記静圧軸受に供給される前記流体の流量を前記物理量として検出する流量センサを含んでもよい。これにより、流量センサが設けられている場合は、静圧軸受に供給される流体の流量に基づいて流体の供給状態を判定できる。
（３）前記物理量検出部は、前記静圧軸受に供給される前記流体の温度を前記物理量として検出する温度センサを含んでもよい。これにより、温度センサが設けられている場合は、静圧軸受に供給される流体の温度に基づいて流体の供給状態を判定できる。
（４）前記モータ制御部は、前記モータの前記回転数が所定範囲内に含まれるように前記モータを制御し、前記物理量検出部は、前記流体供給部から出力される前記流体の前記圧力を前記物理量として検出する圧力センサを含んでもよい。これにより、圧力センサが設けられている場合は、静圧軸受に供給される流体の圧力に基づいて流体の供給状態を判定できる。
（５）前記流体は液体であり、前記工作機械は、前記液体を貯留するタンク（３５０）と、前記流体供給部から出力される前記液体を前記静圧軸受に供給するための第１配管（３２０）と、前記静圧軸受に供給された前記液体を前記タンクに戻すための第２配管（３４０）と、を備え、前記物理量検出部は、前記タンクに貯留された前記液体の液面高さを前記物理量として検出する液面センサを含んでもよい。これにより、液面センサが設けられている場合は、静圧軸受に供給される流体である液体の液面高さに基づいて流体の供給状態を判定できる。
（６）前記工作機械は、所定期間における前記モータの前記回転数の変化と前記物理量の変化との組合せと、前記流体の前記供給状態とが対応付けられた状態情報（５１０）を記憶する記憶部（４５０）、をさらに備え、前記供給状態判定部は、前記モータの前記回転数、前記物理量および前記状態情報に基づいて、前記流体の前記供給状態を判定してもよい。これにより、静圧軸受に供給される流体の供給状態を簡便に判定できる。
（７）前記工作機械は、前記供給状態判定部により判定された前記流体の前記供給状態に応じて、前記工作機械への前記流体の供給および前記工作機械による前記加工対象物の加工のうちの少なくとも一方を停止する停止制御部（４４０）、をさらに備えてもよい。これにより、流体の供給状態に応じた対処動作を迅速に制御することができる。
（８）前記工作機械は、前記供給状態判定部により判定された前記流体の前記供給状態を表示する表示部（４６０）、をさらに備えてもよい。これにより、流体の供給状態を迅速に作業者へ通知することができる。
（９）加工対象物を加工する工作機械（１０）の制御方法は、固定部（２２０）が流体を用いて移動体（２３０）を支持する静圧軸受（２１６）に、モータ（３８０）の回転数に応じた圧力で前記流体が供給される際の、前記モータの前記回転数および前記流体の物理量を検出することと、前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定することと、を含む。これにより、工作機械の静圧軸受に供給される流体の供給状態が通常とは異なる供給状態となった場合に、その通常とは異なる供給状態を識別できる。
（１０）前記流体の前記供給状態は、前記モータの前記回転数と、前記物理量と、所定期間における前記モータの前記回転数の変化と前記物理量の変化との組合せと、前記流体の前記供給状態とが対応付けられた状態情報（５１０）と、に基づいて判定されてもよい。これにより、静圧軸受に供給される流体の供給状態を簡便に判定できる。
（１１）前記制御方法は、判定された前記流体の前記供給状態に応じて、前記工作機械への前記流体の供給および前記工作機械による前記加工対象物の加工のうちの少なくとも一方を停止すること、をさらに含んでもよい。これにより、流体の供給状態に応じた対処動作を迅速に制御することができる。
（１２）前記制御方法は、判定された前記流体の前記供給状態を表示すること、をさらに含んでもよい。これにより、流体の供給状態を迅速に作業者へ通知することができる。
１０…工作機械　　　　　　　　　　　　　２０…本体
３０…流体供給装置　　　　　　　　　　　４０…制御装置
２１０、３８０…モータ　　　　　　　　　２１６…静圧軸受
２２０…固定部　　　　　　　　　　　　　２３０…移動体
２４０…軸受隙間　　　　　　　　　　　　３１０…流体供給部
３２０…第１配管　　　　　　　　　　　　３３０…第１物理量検出部
３４０…第２配管　　　　　　　　　　　　３５０…タンク
３６０…第２物理量検出部　　　　　　　　３７０…ポンプ
４１０…物理量取得部　　　　　　　　　　４２０…モータ制御部
４３０…供給状態判定部　　　　　　　　　４４０…停止制御部
４５０…記憶部　　　　　　　　　　　　　４６０…表示部
５１０、５１４、５２０、５２２、５３０、５３２、５４０、５４４、５５０…状態情報
５１２、５４２…動作情報

Claims (12)

  1. 　加工対象物を加工する工作機械（１０）であって、
    　移動体（２３０）と、流体を用いて前記移動体を支持する固定部（２２０）とを有する静圧軸受（２１６）と、
    　モータ（３８０）を有し、前記モータの回転数に応じた圧力で前記流体を出力し、前記静圧軸受に供給する流体供給部（３１０）と、
    　前記流体供給部から供給される前記流体の物理量を検出する物理量検出部（３３０、３６０）と、
    　前記流体供給部から供給される前記流体の前記圧力が一定となるように前記モータを制御するモータ制御部（４２０）と、
    　前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定する供給状態判定部（４３０）と、
    　を備える、工作機械。
  2. 　請求項１に記載の工作機械であって、
    　前記物理量検出部は、前記静圧軸受に供給される前記流体の流量を前記物理量として検出する流量センサを含む、工作機械。
  3. 　請求項１または２に記載の工作機械であって、
    　前記物理量検出部は、前記静圧軸受に供給される前記流体の温度を前記物理量として検出する温度センサを含む、工作機械。
  4. 　請求項１～３のいずれか１項に記載の工作機械であって、
    　前記モータ制御部は、前記モータの前記回転数が所定範囲内に含まれるように前記モータを制御し、
    　前記物理量検出部は、前記流体供給部から出力される前記流体の前記圧力を前記物理量として検出する圧力センサを含む、工作機械。
  5. 　請求項１～４のいずれか１項に記載の工作機械であって、
    　前記流体は液体であり、
    　前記液体を貯留するタンク（３５０）と、
    　前記流体供給部から出力される前記液体を前記静圧軸受に供給するための第１配管（３２０）と、
    　前記静圧軸受に供給された前記液体を前記タンクに戻すための第２配管（３４０）と、
    　を備え、
    　前記物理量検出部は、前記タンクに貯留された前記液体の液面高さを前記物理量として検出する液面センサを含む、工作機械。
  6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の工作機械であって、
    　所定期間における前記モータの前記回転数の変化と前記物理量の変化との組合せと、前記流体の前記供給状態とが対応付けられた状態情報（５１０）を記憶する記憶部（４５０）、
    　をさらに備え、
    　前記供給状態判定部は、前記モータの前記回転数、前記物理量および前記状態情報に基づいて、前記流体の前記供給状態を判定する、工作機械。
  7. 　請求項１～６のいずれか１項に記載の工作機械であって、
    　前記供給状態判定部により判定された前記流体の前記供給状態に応じて、前記工作機械への前記流体の供給および前記工作機械による前記加工対象物の加工のうちの少なくとも一方を停止する停止制御部（４４０）、
    　をさらに備える、工作機械。
  8. 　請求項１～７のいずれか１項に記載の工作機械であって、
    　前記供給状態判定部により判定された前記流体の前記供給状態を表示する表示部（４６０）、
    　をさらに備える、工作機械。
  9. 　加工対象物を加工する工作機械（１０）の制御方法であって、
    　固定部（２２０）が流体を用いて移動体（２３０）を支持する静圧軸受（２１６）に、モータ（３８０）の回転数に応じた圧力で前記流体が供給される際の、前記モータの前記回転数および前記流体の物理量を検出することと、
    　前記モータの前記回転数および前記物理量に基づいて、前記流体の供給状態を判定することと、
    　を含む、工作機械の制御方法。
  10. 　請求項９に記載の工作機械の制御方法であって、
    　前記流体の前記供給状態は、
    　　前記モータの前記回転数と、
    　　前記物理量と、
    　　所定期間における前記モータの前記回転数の変化と前記物理量の変化との組合せと、前記流体の前記供給状態とが対応付けられた状態情報（５１０）と、
    　　に基づいて判定される、工作機械の制御方法。
  11. 　請求項９または１０に記載の工作機械の制御方法であって、
    　判定された前記流体の前記供給状態に応じて、前記工作機械への前記流体の供給および前記工作機械による前記加工対象物の加工のうちの少なくとも一方を停止すること、
    　をさらに含む、工作機械の制御方法。
  12. 　請求項９～１１のいずれか１項に記載の工作機械の制御方法であって、
    　判定された前記流体の前記供給状態を表示すること、
    　をさらに含む、工作機械の制御方法。
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