JP2001009718A - ワ−クの研削装置および研削方法 - Google Patents

ワ−クの研削装置および研削方法

Info

Publication number
JP2001009718A
JP2001009718A JP11182670A JP18267099A JP2001009718A JP 2001009718 A JP2001009718 A JP 2001009718A JP 11182670 A JP11182670 A JP 11182670A JP 18267099 A JP18267099 A JP 18267099A JP 2001009718 A JP2001009718 A JP 2001009718A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide surface
thickness
lubricating oil
grinding
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11182670A
Other languages
English (en)
Inventor
Ichiro Inazaki
一郎 稲崎
Akinori Yui
明紀 由井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okamoto Machine Tool Works Ltd
Original Assignee
Okamoto Machine Tool Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okamoto Machine Tool Works Ltd filed Critical Okamoto Machine Tool Works Ltd
Priority to JP11182670A priority Critical patent/JP2001009718A/ja
Publication of JP2001009718A publication Critical patent/JP2001009718A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テ−ブルが移動するV字型軌道部
を含む案内面に生じる潤滑油膜の膜厚のバラツキによる
ワ−クの研削加工寸法精度のバラツキを解消する。 【解決手段】 平面研削装置のベッド上に設けら
れた案内面を有する支持体と、前記支持体の案内面に潤
滑油を供給する機構と、前記案内面により位置決めされ
る係合部を有して前記案内面に摺動自在に支えられたテ
−ブルと、テ−ブル上に設けられたワ−クのチャック
と、前記ワ−クの上方に設けられた砥石頭と、砥石頭に
回転自在に取り付けられた砥石と、前記砥石頭の昇降機
構を有する研削装置において、前記研削装置は、更に前
記案内面上の潤滑油の厚みを測定する膜厚測定器と、前
記膜厚測定器より発信される潤滑油の厚みに関する電気
信号の値に応じ砥石頭の昇降の幅を演算する演算部と、
前記演算部より受信した電気信号に基づき砥石頭の昇降
機構に昇降を指示する制御機構を有することを特徴とす
るワ−クの研削装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属、セラミッ
ク、ガラスなどのワ−クを加工する研削装置、例えば、
平面研削盤、円筒研削盤、歯車研削盤等において、ワ−
クを載せるテ−ブルを移動させるのを容易とするために
軌道部(V−V字型、V−平型、または平−平型)を含
む案内面の表面に供給された潤滑油膜厚さの不均一が原
因となって加工されたワ−クの寸法精度が低下すること
を防ぐ研削装置、および該研削装置を用いてワ−クを研
削する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、砥石によりテ−ブル上に設けら
れたワ−クを研削する研削盤は知られている(特開昭5
5−83567号、同59−59349号、同61−1
73851号、特開平4−13552号)。図2と図3
に平面研削盤の1例を示す。図において、1は平面研削
装置、2はワ−ク、3は砥石、4は水平方向(X軸方
向)に往復移動可能なテ−ブル、5は作業台部、6は電
磁チャック、7は前後方向(Z軸方向)に往復移動可能
なサドル、8は操作盤、8bは砥石上下切り込み手動パ
ルス発生器ボタン、9はコラム、10は砥石軸頭、11
は砥石軸、12は砥石3を垂直方向(Y軸方向)に移動
する昇降機構、13はモ−タ−、14は螺合体、15は
ネジ軸、16は軸受、17は安全保護カバ−、18は研
削液供給ノズル、19はベッド、20はタンク、21は
フィルタ−、22はポンプ、23は砥石軸モ−タ−であ
る。
【0003】テ−ブル4は、例えば図4に示すようにベ
ッド19上に設けられた1対の案内面を滑べるサドル7
に設けられたV字型軌道部により位置決めされ、テ−ブ
ル4は図5に示すようにその係合部41,41により前
記案内面に摺動自在に支えられる。ベッド19のオイル
タンク20内の潤滑油は、ポンプ22により分配器2
4、油留まり25を経て案内面31に供給される。前記
V字型軌道部の案内面31、31にはテ−ブル4を滑ら
かに移動させるために、案内面の処処に設けた潤滑油供
給ノズル53,53より潤滑油が供給され、1〜5μm
の薄い油膜厚が形成される。
【0004】図2に示す研削装置においては、テ−ブル
は油圧シリンダにより移動されるが、図6に示すような
リニア−モ−タ備えた案内面によりテ−ブルを移動させ
る図6に示す研削装置であってもよい。図6において、
テ−ブル4は複数のボルト42,42によって固定され
た部材43を有し、この部材の両側面には鉛直面上で平
行に対向配置された2つの移動体側面43a、43bが
形成され、これらの移動体側面のそれぞれには可動子
(コイル)44、44'が支持されている。サドル7は部
材43を収容する一面開口の凹部7aを有し、サドル7
の上面にはテ−ブル4を案内する案内面31が形成さ
れ、この案内面31は、サドル7の前縁に形成されたV
字型軌道部46と後縁に形成されたV字型軌道部46'
を有する。
【0005】前記凹部7aの両内面側には移動体側面4
3a、43bと対向する支持体側面43’a、43’b
が形成され、これらの支持体側面43’a、43’bに
は固定子(永久磁石)47、47'が固定されている。
ここで、可動子44と固定子47および可動子44'と
固定子47'は2組のリニアモ−タ45、45'を形成す
る。この2組のリニアモ−タ45、45'は、可動子4
4、44'と固定子47、47'との間に発生する吸引力
がテ−ブル4の相反する方向に作用する向きに配置され
ている。48,49は摺動部材で、サドルの内側面とこ
れら摺動部材間の隙間S2、S2は、可動子44と固定
子47との隙間S1a、S1bよりも狭い幅に設けられ
ている。
【0006】リニアモ−タ45、45'を稼動すること
によりテ−ブル4をX軸方向に駆動させることができ
る。図7に示す研削装置1では、サドル7がZ方向に往
復自在にフレ−ムに支持され、、テ−ブル4がサドル7
上を左右方向(X軸方向)に、コラム9により砥石軸頭
が上下方向(Y軸方向)に移動自在に設けられている。
この平面研削盤では、テ−ブル4上のチャックにワ−ク
2を固定し、サドル7を移動させてZ軸方向の位置を決
め、テ−ブル4をX軸方向に往復移動させる過程で砥石
頭の回転している砥石をワ−クに接触させ、砥石軸頭を
Y軸方向に送りをかけてワ−クを研削する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】これら研削装置1にお
いて、テ−ブル4の移動を容易とするためにV字型軌道
部46の案内面31の処処には図1に示すようにボス5
1が埋め込まれ、ホ−ス52により供給された潤滑油5
0がノズル53を経てボスの潤滑油通路54より供給さ
れ、テ−ブルの係合部41の移動により薄い膜厚とな
る。しかしながら、この潤滑油の薄膜の厚みは一定の値
ではなく、テ−ブルの送り速度や潤滑油の供給量等に依
存するが15μm以下の振れ幅があり、高い精度を要求
されるワ−クの用途には、更に改善することが要求され
ている。本発明は、より加工精度の高いワ−クを与える
研削装置の提供、および該研削装置を用いてワ−クを研
削する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】本発明は、平面研削装置のベッド上に設け
られた案内面を有する支持体と、前記支持体の案内面に
潤滑油を供給する機構と、前記案内面により位置決めさ
れる係合部を有して前記案内面に摺動自在に支えられた
テ−ブルと、テ−ブル上に設けられたワ−クのチャック
と、前記ワ−クの上方に設けられた砥石軸頭と、砥石軸
頭に回転自在に取り付けられた砥石と、前記砥石軸頭の
昇降機構を有する研削装置において、前記研削装置は、
更に前記支持体の案内面上の潤滑油の厚みを測定する膜
厚測定器と、前記膜厚測定器より発信される潤滑油の厚
みに関する電気信号の値に応じ砥石軸頭の昇降の幅を演
算する演算部と、前記演算部より受信した電気信号に基
づき砥石軸頭の昇降機構に昇降を指示する制御機構を有
することを特徴とするワ−クの研削装置を提供するもの
である。
【0009】本発明はまた、前記平面研削装置のベッド
上に設けられた支持体の案内面に潤滑油を供給しつつ、
支持体の案内面により位置決めされる係合部を有するテ
−ブルを摺動させ、テ−ブル上に設けられたチャックに
載置されたワ−ク表面に回転砥石を当接させてワ−クを
研削する方法において、テ−ブルを摺動させているとき
の案内面上の潤滑油の厚みTiを膜厚測定器で測定し、
テ−ブルを摺動させない停止時の案内面上の潤滑油の厚
みToを差し引き(t=Ti−To)、厚みが測定され
た案内面がV字型軌道案内面のときは次式 t・cos θ/2 (式中、θはV字型軌道部の案内面がなす角度であ
る。)で算出された厚みの値分だけ砥石軸頭を上昇また
は下降させる補正を行ってワ−クを研削、または厚みが
測定された案内面が平型軌道案内面のときは上記tの値
分だけ砥石軸頭を上昇または下降させる補正を行ってワ
−クを研削することを特徴とする、ワ−クの研削方法を
提供するものである。
【0010】案内面上の潤滑油の厚みの振れを膜厚測定
器で測定し、基準の値からの振れ幅分を砥石頭の上下の
昇降で調整してワ−クを加工するので、超精密に研削加
工が可能となった。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明をさらに
詳細に説明する。図1または図5に示すようにV字型軌
道部46を含む案内面31上の潤滑油の厚みを測定する
膜厚測定器(静電容量型非接触微小変位計や渦巻電流式
非接触微小変位計)のセンサプロ−ブ60をV字型軌道
部を形成するフレ−ム内に埋設し、測定された潤滑油の
膜厚Tiを図3に示す研削装置の制御ユニット部CPU
のRAMに電気信号(電圧または電流)として送る。
【0012】この測定された潤滑油の膜厚Tiと、予め
CPUのROMに記録してあるテ−ブルを摺動させない
停止時のV字型軌道部を含む案内面上の潤滑油の厚みT
oとの差(t=Ti−To)、およびROMに入力され
ているV字型軌道部を含む案内面の角度θ(図1参照)
の値から振れ幅tをテ−ブルと同じ平行な水平面におけ
る厚みに直すため、CPUの演算部で次式で換算する。 h=t・cos θ/2 (式中、θはV字型軌道部の案内面がなす角度であ
る。) 算出された厚みhの値分だけ砥石軸頭を上昇または下降
させる補正をCPUよりコラム9に指示し、油圧シリン
ダボ−ルネジ15の回転駆動を行って補正分昇降させワ
−クを研削する。なお、厚みが測定された案内面が平−
平型軌道案内面のときは上記tの値分だけ砥石軸頭を上
昇または下降させる補正を行ってワ−クを研削する。
【0013】潤滑油の厚みを測定する膜厚測定器として
は、静電容量型非接触微小変位計、渦巻電流式変位計、
光学式変位計など種々利用可能であるが、なかでも金属
の材質や表面反射率の影響を受けない静電容量型非接触
微小変位計が好ましい。かかる静電容量型非接触微小変
位計としては、例えば日本エ−・ディ−・イ−株式会社
よりMicroSense 3820(商品名)、Mi
croSense 3401HR(商品名)が販売され
ている。
【0014】センサ60は、案内面の処処に設けられ
る。また、一対の軌道部案内面の一方に設けてもよい
し、両方に設けてもよい。
【0015】
【発明の効果】本発明の方法によれば、案内面の潤滑油
膜厚みの振れ幅を砥石軸頭の上下の昇降で補って研削加
工するので、寸法精度の優れるワ−クが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 テ−ブル案内面のV字型軌道部の部分を示す
部分断面図である。
【図2】 平面研削盤の斜視図である。
【図3】 平面研削盤の側面図である。
【図4】 テ−ブルが移動するV字型軌道部を含む案内
面を有するサドルの斜視図である。
【図5】 リニアモ−タにより移動可能なテ−ブル移動
機構を示す断面図である。
【図6】 リニアモ−タにより移動可能なテ−ブル移動
機構を示す断面図である。
【図7】 別の態様を示す平面研削盤の斜視図である。
【符号の説明】
1 研削装置 2 ワ−ク 3 砥石 4 テ−ブル 7 サドル 9 コラム 10 砥石軸頭 19 ベッド 30 支持体 31 案内面 41 係合部 46 V字型軌道部 50 潤滑油供給口

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平面研削装置のベッド上に設けられた案
    内面を有する支持体と、前記支持体の案内面に潤滑油を
    供給する機構と、前記案内面により位置決めされる係合
    部を有して前記案内面に摺動自在に支えられたテ−ブル
    と、テ−ブル上に設けられたワ−クのチャックと、前記
    ワ−クの上方に設けられた砥石軸頭と、砥石軸頭に回転
    自在に取り付けられた砥石と、前記砥石軸頭の昇降機構
    を有する研削装置において、 前記研削装置は、更に前記支持体の案内面上の潤滑油の
    厚みを測定する膜厚測定器と、前記膜厚測定器より発信
    される潤滑油の厚みに関する電気信号の値に応じ砥石軸
    頭の昇降の幅を演算する演算部と、前記演算部より受信
    した電気信号に基づき砥石軸頭の昇降機構に昇降を指示
    する制御機構を有することを特徴とするワ−クの研削装
    置。
  2. 【請求項2】 平面研削装置のベッド上に設けられた支
    持体の案内面に潤滑油を供給しつつ、支持体の案内面に
    より位置決めされる係合部を有するテ−ブルを摺動さ
    せ、テ−ブル上に設けられたチャックに載置されたワ−
    ク表面に回転砥石を当接させてワ−クを研削する方法に
    おいて、 テ−ブルを摺動させているときの案内面上の潤滑油の厚
    みTiを膜厚測定器で測定し、テ−ブルを摺動させない
    停止時の案内面上の潤滑油の厚みToを差し引き(t=
    Ti−To)、厚みが測定された案内面がV字型軌道案
    内面のときは次式 t・cos θ/2 (式中、θはV字型軌道部の案内面がなす角度であ
    る。)で算出された厚みの値分だけ砥石軸頭を上昇また
    は下降させる補正を行ってワ−クを研削、または厚みが
    測定された案内面が平型軌道案内面のときは上記tの値
    分だけ砥石軸頭を上昇または下降させる補正を行ってワ
    −クを研削することを特徴とする、ワ−クの研削方法。
JP11182670A 1999-06-29 1999-06-29 ワ−クの研削装置および研削方法 Pending JP2001009718A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11182670A JP2001009718A (ja) 1999-06-29 1999-06-29 ワ−クの研削装置および研削方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11182670A JP2001009718A (ja) 1999-06-29 1999-06-29 ワ−クの研削装置および研削方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001009718A true JP2001009718A (ja) 2001-01-16

Family

ID=16122392

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11182670A Pending JP2001009718A (ja) 1999-06-29 1999-06-29 ワ−クの研削装置および研削方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001009718A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100400887B1 (ko) * 2001-09-12 2003-10-08 한국기계연구원 슬라이딩 베어링 안내면 신뢰성 시험기
CN104772653A (zh) * 2015-04-28 2015-07-15 安徽工程大学 基于油温补偿的液体静压导轨油膜厚度控制系统及方法
CN106181739A (zh) * 2015-04-30 2016-12-07 泰州市安捷利汽车配件有限公司 一种改进结构的抛光机
CN108972210A (zh) * 2018-07-24 2018-12-11 江西瑞鼎精密传动有限公司 一种用于减速机加工的去毛刺机
CN109129159A (zh) * 2018-11-20 2019-01-04 禹州市华盛钧窑有限公司 一种陶瓷加工抛光装置
CN109262387A (zh) * 2018-12-18 2019-01-25 中山市德丰科技服务有限公司 一种模切胶垫精确修磨装置
CN110587424A (zh) * 2019-10-23 2019-12-20 机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司 一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨
KR102105376B1 (ko) * 2019-03-05 2020-05-29 주식회사 세진코리아 금형 연마 장치를 이용한 금형 연마 방법
CN111644907A (zh) * 2020-06-13 2020-09-11 方志兰 一种离合器配件批量化加工处理方法
CN112296798A (zh) * 2020-06-17 2021-02-02 浙江舜力电子科技有限公司 一种金属材质的箱式制品加工用毛刺去除装置及其方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100400887B1 (ko) * 2001-09-12 2003-10-08 한국기계연구원 슬라이딩 베어링 안내면 신뢰성 시험기
CN104772653A (zh) * 2015-04-28 2015-07-15 安徽工程大学 基于油温补偿的液体静压导轨油膜厚度控制系统及方法
CN106181739A (zh) * 2015-04-30 2016-12-07 泰州市安捷利汽车配件有限公司 一种改进结构的抛光机
CN108972210A (zh) * 2018-07-24 2018-12-11 江西瑞鼎精密传动有限公司 一种用于减速机加工的去毛刺机
CN108972210B (zh) * 2018-07-24 2020-05-12 江西瑞鼎精密传动有限公司 一种用于减速机加工的去毛刺机
CN109129159A (zh) * 2018-11-20 2019-01-04 禹州市华盛钧窑有限公司 一种陶瓷加工抛光装置
CN109262387A (zh) * 2018-12-18 2019-01-25 中山市德丰科技服务有限公司 一种模切胶垫精确修磨装置
KR102105376B1 (ko) * 2019-03-05 2020-05-29 주식회사 세진코리아 금형 연마 장치를 이용한 금형 연마 방법
CN110587424A (zh) * 2019-10-23 2019-12-20 机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司 一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨
CN111644907A (zh) * 2020-06-13 2020-09-11 方志兰 一种离合器配件批量化加工处理方法
CN111644907B (zh) * 2020-06-13 2022-01-28 苏州勤堡精密机械有限公司 一种离合器配件批量化加工处理方法
CN112296798A (zh) * 2020-06-17 2021-02-02 浙江舜力电子科技有限公司 一种金属材质的箱式制品加工用毛刺去除装置及其方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102990720B (zh) 精密推台锯设备
TW434072B (en) Method and machine for the machining of pre-machined toothed workpieces such as gears
CN106908014B (zh) 一种3d曲面玻璃用的五轴测量装置
JP5156020B2 (ja) 歯車試験およびラップ加工機械
US10092956B2 (en) Device and method for machining an optical workpiece
JP2001009718A (ja) ワ−クの研削装置および研削方法
JP2001310216A (ja) 歯車製造装置の工具または加工物の設置方法
JP2016104508A (ja) 研削盤、具体的にはコンパクト設計の心なし研削盤
CN213616088U (zh) 一种磨齿机的砂轮修整装置
JP4825374B2 (ja) 研削盤
CN101148026A (zh) 修整环型智能超精密抛光机
JP2001334441A (ja) 支持体の移動テ−ブル案内面への潤滑油供給方法
CN204171811U (zh) 磨削大型圆锯片侧端面的数控平面磨床
JP2001334442A (ja) 支持体の移動テ−ブル案内面への潤滑油供給方法
CN203092667U (zh) 精密推台锯设备
CN218137042U (zh) 一种基于牙科车针加工的高精度十字滑台机构
TW202041320A (zh) 深切緩進磨削方法
JP2011088257A (ja) 研削盤および研削方法
JP7048334B2 (ja) 歯車研削装置
JPH11188622A (ja) 研削加工方法及び研削盤
JP2021079483A (ja) 加工装置
KR100438149B1 (ko) 정삭기와 연마기가 일체로 구비된 광학렌즈 연삭기
JPS63237866A (ja) 高精度研削盤
CN214162376U (zh) 一种金属制品加工金属板件表面平整装置
CN210998195U (zh) 砂轮修整装置