TWI830339B - 加工機以及被加工物的製造方法 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 200
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 113
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 112
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 64
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 32
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 13
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 13
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/10—Arrangements for cooling or lubricating tools or work
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/14—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/14—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the temperature during grinding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Milling Processes (AREA)
Abstract
[課題]本發明是提供：可以提高加工精度的加工機。
[解決手段]在加工機(1)中，機械本體(3)是用以驅動工件(103)及工具(101)的至少其中一方，而利用工具(101)來對於工件(103)進行加工。加工室(5)是用以收容工件(103)、工具(101)及噴嘴(7)，並且將工件(103)、工具(101)及噴嘴(7)與機械本體(3)的至少一部分予以隔離。內部溫度感測器(13)是用以量測加工室(5)內的氣相氛圍的溫度。外部溫度感測器(15)是用以量測加工機(1)周圍之氣相氛圍的溫度。溫度調整部(19)是當內部溫度感測器(13)的量測溫度低於外部溫度感測器(15)的量測溫度時，就將被供給到噴嘴(7)之加工液的溫度予以上昇。並且/或者，溫度調整部(19)是當內部溫度感測器(13)的量測溫度高於外部溫度感測器(15)的量測溫度時，就將被供給到噴嘴(7)之加工液的溫度予以降低。
Description
本案所揭示的發明是關於：加工機以及被加工物的製造方法。
利用工具來對於工件進行加工(例如：切削)的加工機已是習知技術(例如：下列的專利文獻1)。專利文獻1所揭示的切削裝置(加工機)，是使用在外周具有切刃的切削用圓盤鋸片(工具)來對於晶圓(工件)進行分割。切削用圓盤鋸片對於工件的切入深度，是依據切削用圓盤鋸片從既定的基準位置朝往工件側的移動量來界定的。並且是對於被進行切削的領域供給切削水。
在專利文獻1中，說明了上述的這種切削裝置是存在著以下所述的課題。如果用來設置切削裝置之室內的溫度發生變化或者切削水的溫度發生變化的話，構成切削裝置的構件將會產生熱變形(熱應變)，上述的基準位置將會從測定該基準位置時的位置產生偏移。如果切削裝置是被設置在無塵室內，且室溫及切削水溫度都被控制在一定的溫度之狀況的話，上述的這種熱變形的問題幾乎不會發生。但是，依照各國國情的不同，切削裝置有時候是被設置在一般普通的工場內來實施切削作業。
而在專利文獻1中，為了要解決上述的這種課題，乃提出一種技術方案，就是以互相抵銷熱變形所造成的影響的方式，配合室溫的溫度來控制切削水的溫度。具體而言，如果偵測出與進行量測基準位置時的室溫不同溫度的室溫時，就依據已預先設定好的室溫與水溫的關係對照表(MAP)來對於切削水的溫度進行控制。
此外，在專利文獻1中也提到了以下所述的情事。一般而言，切削領域是使用隔間板包圍起來。因為隔間板內的溫度，有時候是會與設置了切削裝置之室內的溫度不同，基於這種情況的考量，最好是分別單獨地量測隔間板內的溫度與室內的溫度。對於切削水之溫度的調整，則是配合設置了切削裝置之室內的溫度、以及隔間板內的溫度來進行調整即可。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-167504號公報
[發明所欲解決之問題]
如上所述，專利文獻1是說明：如果切削裝置是被設置在無塵室內，並且室溫以及切削水溫度都被控制在一定溫度之狀況的話，熱變形的問題幾乎不會發生。但是，即使是在上述的這種狀況下，還是會有無法獲得所期待的加工精度之情事。
因此，仍然期待著能夠有：可以提高加工精度的加工機以及被加工物的製造方法。
[解決問題之技術手段]
本案所揭示的其中一種態樣的加工機，其是配置有：用以將加工液供給到利用工具來對於工件進行加工的領域的噴嘴之加工機，並且是具備：
機械本體，其用以驅動前述工件及前述工具的至少其中一方而利用前述工具來對於前述工件進行加工；
加工室，其用以收容前述工件、前述工具及前述噴嘴，並且將前述工件、前述工具及前述噴嘴與前述機械本體的至少一部分予以隔離；
內部溫度感測器，其用以量測前述加工室內之氣相氛圍的溫度；
外部溫度感測器，其用以量測前述加工機的周圍之氣相氛圍的溫度；以及
溫度調整部，其用以執行下列兩種動作的至少其中一種動作：當前述內部溫度感測器的量測溫度低於前述外部溫度感測器的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以上昇的動作、以及當前述內部溫度感測器的量測溫度高於前述外部溫度感測器的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以降低的動作。
本案所揭示的其中一種態樣的被加工物的製造方法，是具備：
加工步驟，其是使用具有：用以驅動工件及工具的至少其中一方之機械本體，以及用以收容前述工件、前述工具及噴嘴，並且將前述工件、前述工具及前述噴嘴與前述機械本體的至少一部分予以隔離之加工室之加工機，利用前述工具來將前述工件進行加工成被加工物；
供給步驟，其是與前述加工步驟同步地，將前述加工液從前述噴嘴供給到利用前述工具來對於前述工件進行加工的領域；
內部量測步驟，其是對於前述加工室內之氣相氛圍的溫度進行量測；
外部量測步驟，其是對於前述加工機的周圍之氣相氛圍的溫度進行量測；以及
溫度調整步驟，其是執行下列兩種動作的至少其中一種動作：當前述內部量測步驟的量測溫度低於前述外部量測步驟的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以上昇的動作、以及當前述內部量測步驟的量測溫度高於前述外部量測步驟的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以降低的動作。
[發明之效果]
根據上述的構成方式或步驟，可以提高加工精度。
首先，針對本案所揭示的其中一種實施方式之加工機的概要進行說明，然後，針對加工機的詳細進行說明。
(加工機的概要)
圖1是顯示本案所揭示的其中一種實施方式之加工機1的外觀之示意立體圖。圖2是顯示加工機1之內部的部分結構之示意立體圖。圖2是圖1的一部分構成要素的透視圖。圖3是將圖1的加工機1的一部分(後述之加工室5的內部)放大顯示之示意立體圖。
為了便於理解起見乃在圖中也標示了正交座標系XYZ。Z方向，例如：是與鉛直方向平行的方向，+Z側，例如：是上方。從後述的說明也可以得知，雖然圖式中之各種構件的方向與鉛直方向之間的關係並未限定。但是，在以下的說明中，為了便於說明起見，各種構件的方向與鉛直方向之間的關係，是以圖示的例子所示的關係為前提來呈現。
加工機1是利用工具101來對於工件103進行加工(例如：進行切削)。如圖3所示，對於進行加工的領域，是從噴嘴7供給加工液(未圖示。例如：是切削液)。並且利用圖2所示的機械本體3來支承以及驅動工具101及工件103。從圖1及圖2的比較可以理解到機械本體3的一部分是被收容在加工機1中的加工室5內。而且工具101、工件103以及噴嘴7(各自的至少一部分)也是被收容在加工室5內。
本案的發明人經過不斷努力檢討後的結果，獲得以下的創見。即使加工機1的周圍之氣相氛圍的溫度(設置有加工機1之室內的溫度。以下，有時候簡稱為「環境溫度」)為一定，加工室5內的溫度，也會對應於加工機1的動作而發生變動。從別種觀點而言，加工室5內的溫度並沒有追隨著環境溫度。具體而言，例如：從噴嘴7供給加工液的話，加工室5內的溫度就會下降而比環境溫度更低。尤其是在工具101(或工件103)為進行旋轉的物件的態樣中，加工液對於導致加工室5內的溫度降低的影響很大。其原因被推測為：因為工具101的旋轉而導致加工液噴濺成霧狀充滿在加工室5內，充滿在加工室5內之霧狀的加工液氣化時會將加工室5內的熱吸走的緣故。
即使將環境溫度以及切削液的溫度(甚至於機械本體3之適當位置的溫度)都控制成一定，還是無法獲得所期待的加工精度之主要原因，本案的發明人推測為：就是因為上述的這種加工室5內的溫度變化(從別種觀點而言，就是因為加工室5內的溫度與環境溫度的差異)。因此，乃進行了一種實驗試驗，就是：以對應於環境溫度與加工室5內的溫度的差值(與溫度降低量相應的數值)，來提高加工液的溫度，以將加工室5內的溫度控制成追隨著環境溫度的變動。其結果，與未實施這種加工液溫度控制的態樣進行比較，可以更提高加工精度。
上述的說明中，是舉出：加工室5內的溫度變成低於環境溫度之情況的例子來做說明。然而，例如：基於加工機1的構造以及所進行的加工的內容等的因素，也會有可能因為加工時所產生的熱而導致加工室5內的溫度變成高於環境溫度的情況。在這種情況下，則是與上述的例子相反地，只要以對應於加工室5內的溫度與環境溫度的差值(與溫度上昇量相應的數值)，來降低加工液的溫度即可。如此一來，可以更提高加工精度。
考慮到以上所述的作用，將加工機1製作成：以對應於加工室5內的溫度與環境溫度的差值，來對於從噴嘴7所供給的加工液的溫度進行控制。具體而言，加工機1是執行以下所述的動作的至少其中一種動作。當加工室5內的溫度低於環境溫度時，執行提高被供給到噴嘴7之加工液的溫度的動作。當加工室5內的溫度高於環境溫度時，執行降低被供給到噴嘴7之加工液的溫度的動作。此外，在本實施方式的說明中，為了便於說明起見，有時候，是以執行兩種動作為前提的方式來表現其執行控制的動作。
(加工機的詳細)
如上所述，加工機1是具有例如：機械本體3、加工室5、以及噴嘴7。加工機1除了上述的構成要素之外，還具有例如：以下的構成要素。用以收容機械本體3的機殼體9(請參照圖1及圖2)。可將機殼體9內部隔間而與機殼體9一起構成加工室5的隔間板11A以及11B(請參照圖1及圖3。在以下的說明中，有時候是簡稱為隔間板11，而並不特別的區分為是隔間板11A或11B)。用以感測出加工室5內的溫度的內部溫度感測器13(請參照圖1及圖3)。用以感測出環境溫度的外部溫度感測器15(請參照圖1)。用以將加工液供給到噴嘴7的供給裝置17(請參照後述的圖4)。根據上述溫度感測器(13及15)的感測溫度來控制從供給裝置17供給到噴嘴7之加工液的溫度之溫度調整部19(請參照後述的圖4)。
在以下的說明中，首先是針對於加工機1的構成要素等，依照以下列舉的順序先做概略的說明。工具101、工件103、加工液、機械本體3、機殼體9、隔間板11、加工室5、噴嘴7、內部溫度感測器13、外部溫度感測器15、供給裝置17以及溫度調整部19。然後，再針對於實施方式所揭示之被加工物的製造方法、實施方式的總結、以及加工後的工件103(被加工物)之一例進行說明。
(工具)
工具101是採用使用於各種的加工的各種工具即可。例如：工具101可以採用：執行切削的切削工具、執行研削的研削工具、或者執行研磨的研磨工具。切削工具，例如：可以是工具本身進行旋轉來切削工件103的旋轉切削工具(旋轉工具)，也可以是對於旋轉中的工件103進行切削的車削工具。作為旋轉切削工具的例子，可以舉出例如：銑刀、鑽頭以及鉸刀。研削工具或研磨工具，可以是使用被固定在該工具上的固定型研磨粒，也可以是使用混入在漿料中的游離型研磨粒。
在圖1～圖3所舉出之工具101的例子是旋轉切削工具。更詳細地說，圖示例子的工具101是在外周具有切刃之切削用圓盤鋸片。切削用圓盤鋸片是外緣為圓形的略呈板狀(圓盤狀或圓環狀)。切削用圓盤鋸片，係可被使用於：藉由以其旋轉軸(圖示的例子是與Y方向保持平行的旋轉軸)為中心進行旋轉，而在工件103上形成凹溝及/或將工件103予以切斷(分割)。加工機1，可以是只安裝單一片的切削用圓盤鋸片(圖示的例子)，也可以是在沿著與旋轉軸平行的方向上互相隔開間隔安裝有複數片的切削用圓盤鋸片。此外，在以下的說明中，則是如圖示的例子所示般地，是以只安裝單一片的切削用圓盤鋸片的態樣為前提來進行說明。
(工件)
在上述的說明中，已經說過工具101可以進行的加工種類有很多種類，因此，工件103也是有很多種類。例如：工件103的材料有很多種類，可以是金屬、陶瓷、樹脂、木材、化學合成樹脂木材、或複合材料(例如：碳纖維強化塑膠)。在加工前及/或加工後之工件103的形狀及尺寸不拘。加工後之工件103所要求的尺寸精度也不拘。例如：試舉對於精度的要求比較高之情況的例子而言，所要求的精度(公差)可以是在10μm以下、1μm以下或100nm以下。
圖1～圖3所示之工件103的例子是板狀的工件(基板)。加工前之板狀的工件103之形狀不拘，例如：可以是矩形狀(圖示的例子)或圓形狀。如前所述，在工具101是於外周具有切刃之圓盤狀的切削用圓盤鋸片的態樣中，切削用圓盤鋸片可用來例如：在板狀的工件103的上表面(+Z側的面)形成出朝向與工具101的旋轉軸正交的方向(X方向)延伸的凹溝，或者將工件103在Y方向上予以分割。
(加工液)
從上述之對於工具101的說明也可以理解，加工液(未圖示)可以是被使用於各種加工的各種加工液。例如：在切削加工的態樣中，加工液是採用：切削液(或者稱為：切削油)。切削液的主成分，可以是油，也可以是水。切削液的功能是用於例如：潤滑、冷卻以及防鏽等。又，加工液，例如：可以是用於研削的研削液、或者用於研磨的研磨液。研削液或研磨液(漿液)中也可以含有游離型研磨粒。此外，無論是在哪一種加工中，加工液只採用單純的水也無妨。
(機械本體)
機械本體3適用來支承以及驅動：工具101以及工件103。換言之，機械本體3是承擔加工的主要部分。機械本體3的結構，可以是各種態樣的結構，例如：採用公知的結構也無妨。
例如：關於用來進行加工的機械，係有區分成：工作母機(機床)與産業用機器人(但是其分界線並不明確)。如果做這種區分的話，機械本體3無論是被分類到哪一種類別也都可以。此外，在本實施方式的說明中，一般是採用被分類到工作母機的態樣之例子。
又，例如：從關於工具101的上述說明可以理解到被加工機1作為對象的加工，可以是切削、研削及/或研磨等的各種加工。又，用來進行切削等的機械本體3，可以是將工具101進行旋轉或者是將工件103進行旋轉的機械本體3。將工具101進行旋轉的機械本體3(加工機1)可以是例如：銑床、鑽床、鏜床、以及加工中心。機械本體3，既可以是也可以不是數位控制(NC)的工作母機，此外，既可以是也可以不是複合型工作母機。機械本體3，既可以是只驅動單一個工具101(圖示的例子)，也可以不是只驅動單一個工具101，而是同時驅動複數個工具101之多軸或多頭的機械本體3(加工機1)。
機械本體3是在例如：互相正交的X軸、Y軸以及Z軸上將工具101與工件103進行相對性的移動。機械本體3也可以是除了在上述的三軸之外，還可以在其他的軸上將工具101與工件103進行相對性的移動之機械本體3(加工機1)。例如：機械本體3也可以是以與上述三軸的任何一個軸保持平行的至少一個旋轉軸為中心進行旋轉的機械本體3(例如是五軸加工中心)。主軸(後述)的方向與鉛直方向的關係也不拘。從公知的工作母機就可以得知，工具101與工件103在各軸上的相對移動，既可以是藉由工具101的移動來達成，也可以是藉由工件103的移動來達成。
圖2所示之機械本體3的例子，是將在外周具有切刃之圓盤狀的工具101進行旋轉而可執行切削工作之切片機。
具體而言，例如：圖2所例示的機械本體3，作為用來支承工件103的構成要素，是包含了以下的構成要素。設置在工場的地板面等的基座21。被固定在基座21上之X軸床台23。被支承在X軸床台23上，而可以朝X方向(水平方向)移動的平台25。被固定在平台25上，用來可裝卸地保持工件103的吸附型夾頭27。雖然並未特別地圖示出來，但是，也可以將機械本體3製作成：將平台25以與Z軸保持平行的軸為中心來進行旋轉。
又，例如：圖2所例示的機械本體3，作為用來支承以及驅動工具101的構成要素，還具有以下的構成要素。上述基座21。被固定在基座21上的Y軸床台29。被支承在Y軸床台29上，而可以朝Y方向(水平方向)移動的Y軸移動部31。被支承在Y軸移動部31上，而可以朝Z方向(鉛直方向)移動的Z軸移動部33。被固定在Z軸移動部33上的主軸頭35(為了便於說明起見，主軸頭35並未包含後述的主軸37)。能夠以與Y方向保持平行的旋轉軸為中心進行旋轉地，被支承於主軸頭35，並且用來可裝卸地保持著工具101之主軸37(請參照圖3)。
來自於未圖示的驅動源(例如：電動機)的驅動力傳達到平台25，平台25朝X方向進行移動，如此一來，被支承在平台25上的工件103就朝X方向來對於工具101進行相對移動。來自未圖示的驅動源(例如：電動機)的驅動力傳達到Y軸移動部31，Y軸移動部31朝Y方向進行移動，如此一來，被支承在Y軸移動部31上的工具101就朝Y方向來對於工件103進行相對移動。來自未圖示的驅動源(例如：電動機)的驅動力傳達到Z軸移動部33，Z軸移動部33朝Z方向進行移動，如此一來，被支承在Z軸移動部33上的工具101朝Z方向來對於工件103進行相對移動。來自未圖示的驅動源(例如：電動機)的驅動力傳達到主軸37，主軸37以旋轉軸為中心進行旋轉，如此一來，被保持在主軸37上的工具101就以旋轉軸為中心進行旋轉。
圖1～圖3都是示意圖，各圖中所顯示的各構件(21、23、25、27、29、31、33、35以及37)的形狀都只是以示意方式呈現的。實際之各構件的形狀與圖示的形狀有很大的差距也無妨。又，各構件的材料也不拘。此外，用來引導對於支承部(23、29或31)進行平行移動的移動部(25、31或33)的導件(省略元件符號)也都只是以示意方式呈現的，與圖示的形狀等有很大的差距也無妨。
用來引導對於支承部(23、29或31)進行平行移動的移動部(25、31或33)的導件，只要採用適宜的導件即可。例如：導件可以是：引導支承部與移動部進行滑動的滑動導件，也可以是：引導滾動體在支承部與移動部之間進行滾動的滾動導件，而且也可以是：在支承部與移動部之間注入空氣或油的靜壓導件，或者是組合了兩種以上的上述導件之組合導件。同樣地，主軸37的軸承，可以是：滑動軸承、滾動軸承、靜壓軸承或者是組合了兩種以上的上述軸承而構成的。
平行移動的驅動源是使用例如：電動機。這個電動機既可以是旋轉式的電動機，也可以是線性馬達。旋轉式電動機的旋轉運動，只要利用螺桿機構(例如：滾珠螺桿機構)等之合適的機構將其轉換成直線運動即可。又，平行移動的驅動源也可以使用液壓式(油壓式)或空壓式的驅動機構。同樣地，與主軸37的旋轉相關的驅動源是使用例如：旋轉式的電動機。但是，與主軸37的旋轉相關的驅動源也可以使用液壓式(油壓式)或空壓式的驅動機構。
吸附型夾頭27是由例如：真空吸頭或靜電吸頭所構成的，可藉由加工機用虎鉗(未圖示)等的合適的器具來將其安裝在平台25。此外，吸附型夾頭27也可以採用與上述的說明不同的結構，也就是採用與平台25構成一體不可分開的結構。又，也可以不設置吸附型夾頭27，而是利用與吸附型夾頭27不同之其他種合適的治具(例如：加工機用虎鉗)來將工件103固定於平台25。
主軸37係可以是利用其本身所具備的機構(例如：夾緊機構)來保持工具101，也可以是利用包含螺絲在內的各種器具來安裝工具101。切削用圓盤鋸片(工具101)係可以藉由未圖式之例如：具有穿插在切削用圓盤鋸片的中心孔的軸部之構件、在主軸37的軸方向上與切削用圓盤鋸片重疊的構件、以及穿插過這些構件之後螺合在主軸37的螺絲，而被固定在主軸37上。在這種態樣中，既可以是將切削用圓盤鋸片視為工具101，也可以是將切削用圓盤鋸片以及用來將切削用圓盤鋸片安裝到主軸37的器具之整體視為工具101。
此外，如前所述，加工機1可以是將工件103進行旋轉的機器。這種情況下，例如：以旋轉軸為中心進行旋轉的主軸是用來保持工件103，而車刀台則是用來保持作為工具101的車刀。如果也考慮到這種與圖示的例子不同的態樣的話，可以將機械本體3中之用來保持工件103的部位(在圖示的例子中，是平台25)予以上位概念化而稱為工件保持部。又，也可以將機械本體3中之用來保持工具101的部位(在圖示的例子中，是主軸37)予以上位概念化而稱為工具保持部。在本實施方式的說明中，是有使用到這種工件保持部以及工具保持部的用語。
機械本體3是根據例如：來自控制裝置39(請參照後述之圖4)的指令而進行作動。更具體而言，例如：加工機1是NC工作母機，控制裝置39是依照預先記憶在裝置內的NC程式來控制主軸37的旋轉、以及平台25與主軸37的相對移動。
(機殼體、隔間板以及加工室)
機殼體9、隔間板11(11A及11B)以及加工室5的結構，係可以採用各種的結構，例如：也可以採用與公知的結構同樣的結構。例如：機殼體9及隔間板11的材料不拘，其中一部分或其全部可以採用金屬、樹脂、陶瓷或玻璃。機殼體9及隔間板11以及加工室5的形狀及尺寸也不拘。機殼體9及隔間板11只是用來構成加工室5的構件之一例而已，這些構件不一定全部都需要設置。例如：雖然並未圖示，但也可以藉由設置將機械本體3局部性地覆蓋起來的罩蓋來構成加工室5，以取代機殼體9來構成加工室5。
加工機1是否具有加工室5，只要進行合理的判斷即可。例如：工具101及工件103所在的空間，是從彼此互相正交的三軸方向之各軸(X軸、Y軸或Z軸)的兩側利用合適的構件(9、11以及23等)來與外部做區隔的話，就可以將其視為構成了加工室5。此外，在各軸之兩側位置，加工室5投影在各軸的面積，如果有六成以上、八成以上或全部的面積都是與外部做區隔(亦即，空間對外部開放的斷面積低於四成、低於兩成或者為零)的話，即可視為構成了加工室5。此外，如果用來連通空間與該空間的外部之朝各種方向開口的間隙的斷面積的合計，占空間的表面面積的四成以下、兩成以下或一成以下的話，也可以視為構成了加工室5。
從上述的說明可以得知，加工室5的密閉程度不拘。又，加工室5內，可以是充滿空氣，也可以是充滿空氣以外的氣體(例如：氮素等的惰性氣體)。加工室5內的壓力，可以是與大氣壓同等程度，也可以是低於或高於大氣壓。
圖示的例子，係如圖1所示般地，機殼體9是具有：機殼體本體41、以及配置在機殼體本體41的視窗上的透光面板43。機殼體本體41，例如：是由金屬框體以及金屬板的組合所構成的，並且從上方以及側方(俯視觀看時的四方)包圍住機械本體3及控制裝置39等，而將它們收容在機殼體本體41的內部。雖然沒有圖示出來，但是，也可以從機殼體本體41露出：可供使用者進行操作的操作部(例如：觸控面板及/或機械式開關)、以及用來顯示圖像的顯示器(例如：也可以兼用當作觸控面板)。透光面板43，例如：是以透明的樹脂或玻璃所構成的。雖然沒有圖示出來，但是，透光面板43也可以設置成能夠進行開閉。隔間板11，例如：是以金屬板所構成的，是被固定在機械本體3及/或機殼體本體41。
機殼體9大致上是在X軸床台23上之空間的
-Y側、+X側以及+Z側，將上述空間與機殼體9的外部予以隔開。隔間板11A是在X軸床台23上之空間的+Y側，將上述空間與機械本體3之其他的部分(機殼體9內之其他的空間)予以隔開。隔間板11B是在X軸床台23上之空間的-X側，將上述空間與機械本體3之其他的部分(機殼體9內之其他的空間)予以隔開。如此一來，就構成了被X軸床台23的上表面、機殼體9、以及隔間板11A和11B所圍繞的加工室5。
在機械本體3之中，例如：平台25之至少上面側的部分(以及吸附型夾頭27)是被收容在加工室5內。雖然沒有圖示出來，但是，X軸床台23的上表面，可以利用連結於平台25的伸縮罩予以覆蓋起來，在這種情況下，可以將伸縮罩的上表面視為加工室5的底面。又，至少主軸37之前端側部分是通過形成在隔間板11A上的開口11d (請參照圖3)而被收容在加工室5內。雖然沒有圖示出來，但是，也可以設置：將主軸頭35予以覆蓋的罩子，或者類似於將開口11d予以封塞之伸縮罩的結構。
如上所述，工件保持部(在圖示的例子中，是平台25或吸附型夾頭27)之至少一部分以及工具保持部(在圖示的例子中，是主軸37)之至少一部分，是被收容在加工室5內。進而，工件103以及工具101也是被收容在加工室5內。從別種觀點而言，機械本體3中之工件保持部以及工具保持部以外的一部分，並未被收容在加工室5內，而是與工具101以及工件103保持隔離狀態。
(噴嘴)
噴嘴7是將加工液供給到利用工具101對於工件103進行加工的領域(在以下的說明中，也稱為「加工領域」)。加工領域，換言之，工件103之正在被工具101進行加工的領域。例如：在工具101是進行切削加工的態樣中，加工領域就是切刃正在抵接到工件103的位置及其鄰接領域。例如：在工具101是進行研削及研磨加工的態樣中，加工領域就是工具101與工件103的抵接位置及其鄰接領域、或者抵接領域，所稱的抵接，也可以是透過游離型的研磨粒來做間接性的抵接的情況。
對於加工領域供給加工液的態樣，可以利用各種態樣來實施。例如：噴嘴7，可以是將作動液朝向加工領域流出，也可以是將作動液朝向工具101或工件103流出，或者也可以是將已經到達工具101或工件103的作動液又流往加工領域。噴嘴7也可以是將加工液予以噴出，而且也可以是以尚未達到噴出程度的流速來將加工液予以流出。噴嘴7，可以是將加工液形成為：具有合適的斷面積之單一柱的流體予以流出(例如：噴出)，也可以是將加工液形成為：淋浴狀的流體予以流出(例如：噴出)，而且也可以是將加工液形成為：霧狀的流體予以噴出。
噴嘴7的結構，可以採用各種的結構，例如：也可以採用與公知的結構同樣的結構。例如：噴嘴7可以採用能夠對於機械本體3進行裝卸的結構，這種情況下，噴嘴7是與工具101以及工件103同樣地，是被視為與加工機1不同之另外一種構成要素。噴嘴7可以是在加工中能夠進行移動的噴嘴，也可以是被配置在一定的位置上的噴嘴。噴嘴7相對於既定的構成要素(例如：主軸37)的定位，可以藉由人手作業來進行，也可以是藉由機械手臂來進行。
在圖3所示的例子中，噴嘴7是位於能夠維持形狀之可撓性管(符號省略)的前端。可撓性管之與噴嘴7相反側的端部，則是連接於具有流路的連結塊(符號省略)。連結塊則是藉由合適的器具而被固定在主軸頭35。因此，噴嘴7是與工具101一起能夠對工件103進行相對移動(以工具101的旋轉軸為中心的旋轉除外)，噴嘴7之具體的位置及指向，可藉由以手作業來將可撓性管變形而予以設定。
(內部溫度感測器以及外部溫度感測器)
內部溫度感測器13，例如：是有一部分(用來感測溫度的部分)或者全部露出於加工室5內(例如：有一部分或者全部被收容於加工室5內)，用來感測加工室5內之氣相氛圍的溫度。內部溫度感測器13的具體位置等，只要合宜地設定即可。例如：將加工室5就X方向、Y方向或Z方向劃分成三等份的情況下，可以將內部溫度感測器13設置在中央的領域內，也可以設置在其他的領域內。內部溫度感測器13可以被固定在不會進行移動的構成要素上，也可以被固定在會進行移動的構成要素上。在圖示的例子中，內部溫度感測器13是被固定在隔間板11A。與圖示的例子不同，內部溫度感測器13也可以是被固定在例如：機殼體9、隔間板11B、主軸頭35或平台25。
外部溫度感測器15是用來感測加工機1周圍之氣相氛圍的溫度。外部溫度感測器15的位置，只要是能夠在實際上感測出加工機1周圍之氣相氛圍的溫度即可，並未特別地限定。例如：亦可如圖示的例子這般地，在加工機1是具有機殼體9的態樣中，將外部溫度感測器15設置成有一部分(用來感測溫度的部分)或者全部都露出於機殼體9的外部。當加工室5以外之機殼體9內之既定空間內的氣相氛圍的溫度是與機殼體9外部之氣相氛圍的溫度為同等溫度的情況下，也可以是將外部溫度感測器15設置成用來感測上述既定空間內的氣相氛圍的溫度。在未設有機殼體9的態樣中，只要外部溫度感測器15的一部分或者全部是位於例如：機械本體3之外側即可。加工機1被配置在既定的房間(例如：恆溫室及/或無塵室)的態樣中，也可以將外部溫度感測器15設置成：從與機械本體3以及機殼體9等保持分開的位置來感測上述房間內之氣相氛圍的溫度。
溫度感測器(13以及15)的結構，可以採用各種的結構，例如：也可以採用與各種公知的溫度感測器結構同樣的結構。溫度感測器可以採用例如：熱敏電阻、測溫電阻、熱電偶或者輻射溫度計。此處所稱的「感測器」，可以只是傳感器而已，也可以是除了傳感器之外還包含了執行放大訊號等的處理之電路的感測器。本段落的說明可以被援用到後述的液溫感測器47(請參照圖4)。
在圖示的例子中，是顯示出有一個內部溫度感測器13以及一個外部溫度感測器15。與圖示的例子不同，也可以設有複數個內部溫度感測器13，然後採用其量測溫度的代表值(例如：平均值)。針對於外部溫度感測器15也是同樣。溫度感測器(13或15)的量測溫度，可以直接採用所量測到的溫度，也可以採用經過既定的修正後的溫度。例如：將內部溫度感測器13設置在不會附著到切削屑之位於加工室5的端部領域的態樣中，如果端部領域的溫度並不適合作為代表加工室5內的溫度之情況下，可以將該溫度乘以修正係數，或者可以再將修正常數加減到該溫度。在本案所揭示的說明中，並沒有區分是原本的量測溫度與修正後的量測溫度，都稱為量測溫度。
(加工液的供給裝置)
圖4是加工機1中之與供給切削液相關的結構之示意方塊圖。
用來供給加工液的供給裝置17，只要配合加工液的種類等來做成合適的結構即可。例如：在加工液為切削液、研削液或者研磨液的態樣中，供給裝置17只要採用與一般的工作母機中之供給這些加工液的裝置之結構同樣或者應用了這種裝置的結構即可。又，在加工液為水的態樣中，供給裝置17只要是被從工場設備供給水，並且具有可允許及禁止將該水供給到噴嘴7之水閥的結構即可。
用來供給切削液、研削液、研磨液或者與這些類似的加工液之供給裝置17，雖然未圖示出來，例如：只要是具有用來儲存加工液的儲槽、以及將加工液從該儲槽送出的泵浦即可。又，供給裝置17是在合適的位置(例如：從泵浦至供給裝置17的流出口之間的位置)具有可控制加工液的流動之水閥即可。又，供給裝置17只要是利用泵浦及/或水閥，來進行控制加工液的供給之有無、加工液的流量及/或加工液的壓力即可。
供給裝置17也可以還具有或者不具有：用來儲存加工液的原液之儲槽、以及用來稀釋原液的混合部。又，供給裝置17也可以還具有或者不具有：將被供給到加工領域的加工液回收之後，又進行過濾的結構。從別種觀點而言，加工液可以是被再利用，也可以是被放棄。
供給裝置17並不執行例如：調整加工液的溫度之動作。因而，加工液是以承受到：供給裝置17的周圍之氣相氛圍的溫度、以及因為供給裝置17的驅動所伴隨的發熱等的影響之後的溫度狀態從供給裝置17流出。但是，供給裝置17也可以是具有用來調整加工液的溫度的結構。例如：供給裝置17可以是具有：用來將所回收到的高溫的加工液進行冷卻至既定的目標溫度，或者進行冷卻至既定的上限溫度以下(例如：40˚以下)的冷卻裝置，而與其相反地，也可以是具有：用來將低溫的加工液進行加熱至既定的目標溫度或者既定的下限溫度以上之加熱器。
在本實施方式的說明中，是將供給裝置17視為加工機1的一部分。這種情況下，供給裝置17可以設置成：在外觀上被視為加工機1的一部分的態樣，也可以是設置成：在外觀上並沒有被視為加工機1的一部分的態樣。例如：可以是將供給裝置17的一部分或者全部都被收容在機殼體9內，也可以是位於機殼體9的外部。也可以將供給裝置17的一部分或者全部都配置在機械本體3的基座21內或者基座21上。
(溫度調整部)
溫度調整部19是用來調整被供給到噴嘴7之加工液的溫度。圖4的例子，溫度調整部19是被介設於供給裝置17與噴嘴7之間，用來調整從供給裝置17所供給之加工液的溫度，且將溫度調整後的加工液供給到噴嘴7。與圖示的例子不同，例如：溫度調整部19也可以是將儲存著供給裝置17的加工液之儲槽內的溫度進行調整，或者將供給裝置17所具有之流路內的加工液的溫度進行調整。
從上述的說明也可以得知，溫度調整部19，在實際的構造中，可以是被設置成：與供給裝置17分開之完全個別的構成要素，也可以被設置成：至少有一部分是與供給裝置17構成一體不可分開的構成要素。後者是包含：供給裝置17所具備的溫度調整部，被當成此處所說明的溫度調整部19來使用的態樣。此外，本案所揭示的說明中，無論是哪一種結構，都是將溫度調整部19與供給裝置17視為分開的個別的構成要素，又，為了便於說明起見，是以圖示的結構(溫度調整部19介設在供給裝置17與噴嘴7之間的結構)為前提來進行說明。
溫度調整部19是具有例如：用來與加工液之間進行熱交換的熱交換部45、以及用來控制熱交換部45的控制裝置39。溫度調整部19也可以是還具有：用來感測被溫度調整部19調整過溫度之後的加工液的溫度之液溫感測器47。又，雖然沒有圖示出來，溫度調整部19也可以是具有用來感測溫度調整前之加工液的溫度之液溫感測器。
控制裝置39是將對於加工機1的整體而言的控制裝置予以概念化後的裝置，如前所述般地，也是用來控制工具101的旋轉以及工具101相對於工件103的相對移動等。在圖4中是顯示出將這種控制裝置39視為溫度調整部19的其中一部分之控制裝置39。控制裝置39，可以是在硬體上彙整設在一個地方，也可以分散地設在複數個地方。是舉出後者的例子而言，也可以在硬體上，個別地設置：用來執行機械本體3的控制之控制裝置、用來執行溫度調整部19的控制之控制裝置、以及用來執行將這些裝置同步控制之控制裝置。
控制裝置39也可以利用例如：電腦來構成。電腦雖然沒有圖示出來，例如：是包含了中央處理器(CPU；central processing unit)、唯讀記憶體(ROM；read only memory)、隨機存取記憶體(RAM；random access memory)以及外部記憶裝置而構成的。並且架構出：藉由利用中央處理器(CPU)來執行記憶在唯讀記憶體(ROM)及/或外部記憶裝置中的程式，來執行各種控制等之各種功能部。此外，控制裝置39也可以是包含：只能執行一定的處理之邏輯電路。
熱交換部45是至少可以進行加工液的加熱及冷卻的至少其中一方。藉由以熱交換部45來進行加熱，加工液的溫度會上昇，及/或藉由以熱交換部45來進行冷卻，加工液的溫度會下降。但是，與上述的說明不同，溫度調整部19也可以是將進行中的冷卻的程度予以緩和，來使得加工液的溫度上昇，或者也可以是將進行中的加熱的程度予以緩和，來使得加工液的溫度下降。如前所述般地，供給裝置17也可以具有例如：將所回收之高溫的加工液進行冷卻至既定的溫度之冷卻裝置。也可以利用這個冷卻裝置來當作熱交換部45，藉由將冷卻的程度予以緩和，來使加工液的溫度上昇。
作為只能夠進行加熱的熱交換部45，可以舉出例如：具有電熱線的加熱器、以及製作成加熱專用的熱泵。作為只能夠進行冷卻的熱交換部45，可以舉出例如：空冷用的風扇、以及製作成冷卻專用的熱泵。作為能夠進行加熱以及冷卻兩種功能的熱交換部45，可以舉出例如：製作成能夠進行加熱以及冷卻兩種功能的熱泵。作為熱泵的典型例子，可以舉出：對於熱媒體依序地進行壓縮、散熱、膨脹以及吸熱之蒸氣壓縮式的熱泵。也可以是例如：將加熱器與熱泵組合在一起這樣地，將兩種以上的手段組合在一起。
控制裝置39，是依據內部溫度感測器13的量測溫度與外部溫度感測器15的量測溫度之差值，對於熱交換部45進行控制來使得前者的溫度趨近於後者的溫度。此時，進行控制的態樣是可以採用各種的控制方式。例如：控制方式可以採用：比例(P)控制、比例微分(PD)控制、比例積分(PI)控制、PID控制或者模糊控制等之合適的控制方式。又，對於比例增益量等的數值做合宜的設定即可。
試舉一例而言，例如：當內部溫度感測器13的量測溫度低於外部溫度感測器15的量測溫度時，控制裝置39只要控制熱交換部45來使得加工液的溫度較諸目前的溫度上昇，而其溫度上昇量只要達到內外部的兩種溫度的差值即可。這種控制，既可以是根據讓液溫感測器47的量測溫度上昇達到上述的差值的方式來進行控制，也可以是根據預先記憶起來之上昇溫度與熱交換部45的操作量的對應關係來進行控制。如上所述，用來設定上昇溫度(換言之，溫度變化量)之目標值的週期，例如：是以能夠在週期內達成目標值的方式，因應可能會發生之溫度差的大小、以及熱交換部45的性能等的因素來做合適的設定即可，也可以設定成：較諸那樣的週期的長度更短(或更長)。
內部溫度感測器13的量測溫度高於外部溫度感測器15的量測溫度時，也執行同樣的控制即可。又，與上述方式不同，也可以單純地(不考慮加工液的溫度)根據將兩種溫度的差值乘以增益量之後的操作量，來對於熱交換部45進行控制。
(製造方法)
以上的說明，是以加工機1的結構及動作為中心進行了說明。從以上的說明可以抽出：對於工件103進行加工來製造被加工物之製造方法的概念。
圖5是顯示本案所揭示的實施方式的製造方法的步驟之一例的流程圖。也可以將這種流程圖視為控制裝置39所執行的處理步驟之一例的流程圖。但是，這個流程圖只是用來概念性地表示製造方法所包含的步驟而已，並非用來精確地表示控制裝置39所執行的處理之步驟的流程圖。
實施方式的製造方法，是具有：利用工具101對於工件103進行加工的加工步驟(步驟ST1)、以及從噴嘴7將加工液供給到加工領域的供給步驟(步驟ST2)。這兩種步驟，例如：是並行地被執行。
又，實施方式的製造方法，是具有：對於加工室5內的溫度進行量測之內部量測步驟(步驟ST3)、以及對於環境溫度進行量測之外部量測步驟(步驟ST4)。這兩種步驟，例如：是與加工步驟(步驟ST1)以及供給步驟(步驟ST2)並行地執行即可。在圖5中為了便於說明起見，雖然是在外部量測步驟之前，先執行內部量測步驟，但是，這兩種步驟，也可以是以與圖示相反的順序來執行，而且也可以是同時並行地執行。
又，實施方式的製造方法，當內部量測步驟的量測溫度與外部量測步驟的量測溫度具有差距的情況下(步驟ST5判定為肯定時)，就執行將加工液的溫度予以上昇或下降的溫度調整步驟(步驟ST6)。此外，控制裝置39也可以是如圖示的例子這樣地，執行判定是否需要進行溫度調整(步驟ST6)，並且也可以不執行這種判定，而是繼續地執行依據溫度的差距之對於溫度進行調整的控制，只有當結果是還存在著溫度的差距時，才利用熱交換部45來進行將溫度予以上昇或下降的動作。
然後，如果符合結束加工之條件的話(步驟ST7判定為肯定時)，就結束上述各種步驟。反之，將繼續或者反覆地執行上述的各種步驟，直到符合結束加工的條件為止。
在本實施方式的製造方法中，其中有一部分的步驟，是可以利用手作業來執行。例如：操作人員也可以依據加工室5內的溫度以及環境溫度，來操作熱交換部45。這種情況下，也可以使用隨著溫度的變化，指針的位置或液體的位置也會相對於刻度來產生變化的溫度計(換言之，不會輸出與溫度相應的電氣信號的溫度計)來取代內部溫度感測器13以及外部溫度感測器15。
(實施方式的總結)
如上所述，本實施方式的加工機1是配置有將加工液供給到利用工具101對於工件103進行加工的領域的噴嘴7。加工機1是具有：機械本體3、加工室5、內部溫度感測器13、外部溫度感測器15、以及溫度調整部19即可。機械本體3是對於工件103及工具101的至少其中一方進行驅動而利用工具101來對於工件103進行加工。加工室5是用來收容工件103、工具101以及噴嘴7，並且使得工件103、工具101以及噴嘴7是與機械本體3的至少其中一部分(例如：基座21、Y軸基台29、Y軸移動部31以及Z軸移動部33)保持隔離的狀態。內部溫度感測器13是用來量測加工室5內之氣相氛圍的溫度。外部溫度感測器15是用來量測加工機1的周圍之氣相氛圍的溫度。溫度調整部19，當內部溫度感測器13的量測溫度低於外部溫度感測器15的量測溫度時，就使被供給到噴嘴7之加工液的溫度上昇。及/或溫度調整部19，當內部溫度感測器13的量測溫度高於外部溫度感測器15的量測溫度時，就使被供給到噴嘴7之加工液的溫度下降。
從別種觀點而言，本實施方式之被加工物的製造方法，是具有：加工步驟(ST1)、供給步驟(ST2)、內部量測步驟(ST3)、外部量測步驟(ST4)、以及溫度調整步驟(ST6)。加工步驟是使用加工機1利用工具101來將工件103加工成被加工物。加工機1是具有：機械本體3、以及加工室5。機械本體3是對於工件103以及工具101的至少其中一方進行驅動。加工室5是收容工件103、工具101以及噴嘴7，並且使得工件103、工具101以及噴嘴7是與機械本體3的至少其中一部分保持隔離的狀態。供給步驟是與加工步驟並行地將加工液從噴嘴7供給到利用工具101對於工件103進行加工的領域。內部量測步驟是量測加工室5內之氣相氛圍的溫度。外部量測步驟是量測加工機1的周圍之氣相氛圍的溫度。溫度調整步驟，是當內部量測步驟的量測溫度低於外部量測步驟的量測溫度時，就將被供給到噴嘴7之加工液的溫度予以上昇。及/或溫度調整步驟，是當內部溫度感測器的量測溫度高於外部溫度感測器的量測溫度時，就將被供給到噴嘴7之加工液的溫度予以下降。
根據上述的這種結構或步驟，係如以上所述般地，可以將加工室5內的溫度追隨著環境溫度的變動而能夠提高加工精度。針對於這種能夠提高加工精度效果的例子，也會在後述的被加工物之一例(請參照圖6)的說明中談到。
溫度調整部19，是只要以與外部溫度感測器15的量測溫度和低於該外部溫度感測器15的量測溫度之內部溫度感測器13的量測溫度的差值相當的溫度量，來將被供給到噴嘴7之加工液的溫度予以上昇即可。
這種情況下，例如：是將加工室5內的溫度與環境溫度的差值，直接就當作是加工液的溫度上昇量，因此，控制方法的初期設定等很簡單。例如：無需再去追究用來與加工室5內的溫度和環境溫度的差值進行相乘的增益值到底是多少。
供給步驟，只要將加工液與正在旋轉中的工具101接觸而使得從工具101噴濺出來之霧狀的加工液充滿加工室5即可。從別種觀點而言，只要將本實施方式中的溫度調整步驟，予以應用到在這種態樣下進行加工以及供給加工液的製造方法中即可。
在這種情況下，例如：因為加工液的溫度對於加工室5之氣相氛圍的溫度的影響很大，所以溫度調整步驟所獲得之提高精度的效果能夠很有效地發揮作用。
工具101只要是在外周具有切刃之切削用圓盤鋸片即可(換言之，也可以包含：切削用圓盤鋸片)。
切削用圓盤鋸片，例如：因為從旋轉軸至切刃(從別種觀點而言，就是切削領域)為止的半徑比較大，所以與切削用圓盤鋸片接觸後的加工液很容易噴濺開來而呈霧狀地充滿於加工室5內。從而，例如：溫度調整步驟所獲得之提高精度的效果能夠更有效地發揮作用。
(工件的例子)
圖6是顯示被加工機1所製造的被加工物105之一例的立體圖。
被加工物105，例如：是由玻璃構成的基板。在基板的上表面形成有用來配置複數條光纖107(在圖6中只圖示出一條而已)之複數條的V形溝105a。這種V形溝105a，例如：是利用作為工具101的切削用圓盤鋸片來形成的。
被保持在被加工物105上之複數條光纖107，例如：雖然沒有圖示出來，但是被配置成：其端面是與複數個光學零件(透鏡或光纖)相對向，並且與上述複數個光學零件形成光學性的連接。為了提高這個時候之複數條光纖107與複數個光學零件的定位精度，針對於V形溝105a的形狀及尺寸、以及複數條V形溝105a的間距，必須要求很高的加工精度。因此，本實施方式的製造方法對於這種被加工物105的製造上是很有效的。
本案的發明人，藉由實驗而確認出：將加工室5內的溫度追隨於環境溫度的作法，是具有提高精度的效果。具體而言，首先，利用公知的超精密切片機，來製造出被加工物105。又，在該公知的超精密切片機中，也利用了本實施例所揭示的：將加工液的溫度上昇了與加工室5內的溫度和環境溫度的差值相應的溫度量之加工機來製造出被加工物105。然後，針對於各個被加工物105，進行量測複數條V形溝105a的間距誤差的累積值。其結果得知：利用公知的超精密切片機來進行加工之情況的誤差累積值，最大是1μm程度。相對於此，利用本實施例的加工機1來進行加工之情況的誤差累積值，最大是0.2μm程度。換言之，加工精度是提高了5倍的程度。
本案所揭示的技術，並不限定只有以上的實施方式，也可以利用各種的態樣來實施。
例如：在實施方式中所舉出來的例子，是加工精度極高並且是比較小的被加工物的例子。但是，將本案所揭示的技術應用在公差較大之比較大型的被加工物也是無妨。
1:加工機
3:機械本體
5:加工室
7:噴嘴
9:機殼體
11,11A,11B:隔間板
11d:開口
13:內部溫度感測器
15:外部溫度感測器
17:供給裝置
19:溫度調整部
21:基座
23:X軸床台
25:平台
27:吸附型夾頭
29:Y軸床台
31:Y軸移動部
33:Z軸移動部
35:主軸頭
39:控制裝置
41:機殼體本體
43:透光面板
45:熱交換部
47:液溫感測器
101:工具
103:工件
105:被加工物
105a:V形溝
107:光纖
[圖1]是顯示本案所揭示的實施方式之加工機的外觀之示意立體圖。
[圖2]是顯示圖1的加工機之內部的一部分結構之示意立體圖。
[圖3]是放大顯示圖1的加工機的加工室內之示意立體圖。
[圖4]是顯示圖1的加工機中之與供給切削液相關的結構之示意方塊圖。
[圖5]是顯示本案所揭示的實施方式的製造方法的步驟之一例的流程圖。
[圖6]是顯示利用圖1的加工機來製造的被加工物之一例的示意立體圖。
1:加工機
5:加工室
9:機殼體
11,11A,11B:隔間板
13:內部溫度感測器
15:外部溫度感測器
23:X軸床台
25:平台
27:吸附型夾頭
35:主軸頭
41:機殼體本體
43:透光面板
101:工具
103:工件
Claims (5)
- 一種加工機，其是配置有：用以將加工液供給到利用工具來對於工件進行加工的領域的噴嘴之加工機，並且是具備：機械本體，其用以驅動前述工件及前述工具的至少其中一方而利用前述工具來對於前述工件進行加工；加工室，其用以收容前述工件、前述工具及前述噴嘴，並且將前述工件、前述工具及前述噴嘴與前述機械本體的至少一部分予以隔離；內部溫度感測器，其用以量測前述加工室內之氣相氛圍的溫度；外部溫度感測器，其用以量測前述加工機的周圍之氣相氛圍的溫度；以及溫度調整部，其用以執行下列兩種動作的至少其中一種動作：當前述內部溫度感測器的量測溫度低於前述外部溫度感測器的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以上昇的動作、以及當前述內部溫度感測器的量測溫度高於前述外部溫度感測器的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以降低的動作，使前述加工液接觸到正在旋轉中的前述工具，而使得從前述工具噴濺散開之霧狀的前述加工液充滿前述加工室。
- 如請求項1所述之加工機，其中，前述溫度調整部將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以上 昇的溫度值，是相當於：前述外部溫度感測器之量測溫度與較諸該外部溫度感測器之量測溫度更低之前述內部溫度感測器之量測溫度的差值。
- 一種被加工物的製造方法，是具備：加工步驟，其是使用具有：用以驅動工件及工具的至少其中一方之機械本體，以及用以收容前述工件、前述工具及噴嘴，並且將前述工件、前述工具及前述噴嘴與前述機械本體的至少一部分予以隔離之加工室之加工機，利用前述工具來將前述工件進行加工成被加工物；供給步驟，其是與前述加工步驟同步地，將加工液從前述噴嘴供給到利用前述工具來對於前述工件進行加工的領域；內部量測步驟，其是對於前述加工室內之氣相氛圍的溫度進行量測；外部量測步驟，其是對於前述加工機的周圍之氣相氛圍的溫度進行量測；以及溫度調整步驟，其是執行下列兩種動作的至少其中一種動作：當前述內部量測步驟的量測溫度低於前述外部量測步驟的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以上昇的動作、以及當前述內部量測步驟的量測溫度高於前述外部量測步驟的量測溫度時，將被供給到前述噴嘴之前述加工液的溫度予以降低的動作，前述供給步驟，是使前述加工液接觸到正在旋轉中的前述工具，而使得從前述工具噴濺散開之霧狀的前述加工 液充滿前述加工室。
- 如請求項3所述之被加工物的製造方法，其中，前述工具是包含：在外周具有切刃的切削用圓盤鋸片。
- 如請求項4所述之被加工物的製造方法，其中，前述工件是由玻璃所構成的基板，前述切削步驟，是在前述基板的表面形成複數條V形溝，用以供複數條光纖被個別地配置於該V形溝。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021149139A JP2023042060A (ja) | 2021-09-14 | 2021-09-14 | 加工機及び被加工物の製造方法 |
| JP2021-149139 | 2021-09-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW202319182A TW202319182A (zh) | 2023-05-16 |
| TWI830339B true TWI830339B (zh) | 2024-01-21 |
Family
ID=85602783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW111131688A TWI830339B (zh) | 2021-09-14 | 2022-08-23 | 加工機以及被加工物的製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023042060A (zh) |
| TW (1) | TWI830339B (zh) |
| WO (1) | WO2023042602A1 (zh) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331441A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研削盤における潤滑油および研削液の温度管理方法 |
| JP2010167504A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの管理方法 |
| TW201711098A (zh) * | 2015-05-26 | 2017-03-16 | Disco Corp | 加工系統 |
-
2021
- 2021-09-14 JP JP2021149139A patent/JP2023042060A/ja active Pending
-
2022
- 2022-08-19 WO PCT/JP2022/031311 patent/WO2023042602A1/ja active Application Filing
- 2022-08-23 TW TW111131688A patent/TWI830339B/zh active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2023042060A (ja) | 2023-03-27 |
| WO2023042602A1 (ja) | 2023-03-23 |
| TW202319182A (zh) | 2023-05-16 |
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