JP3921019B2 - 研削方法及びこの研削方法に使用する研削装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転の軸心が横向きの砥石とワークとを、所定圧で軸心方向に当接させ、ワークの軸心と直角な面を加工する研削方法と、この研削方法に使用される研削装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、研削装置は、ワークの材質が例えば鉄の場合、砥石による研削加工のみで加工面を平坦に仕上げることができる。しかし、ワークの材質が脆性材料(例えばシリコンウエハ)の場合、砥石による研削加工のみでは加工面を平坦に仕上げることができなかった。
【0003】
このため、脆性材料の場合は、砥石による研削加工を行った後、ラッピング加工を行って、加工面を平坦に仕上げていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このため、加工工程が増加し、作業能率を上げることができなかった。
【0005】
ところで、近年、シリコンウエハのような脆性材料であっても、切り込み量をナノメータ(1/1000μm)単位の微小な値にすると、加工面の平坦度をラッピング仕上げと同等にできることが知られてきた。ナノメータ(1/1000μm)単位の送り量を制御することができる駆動装置としては、例えば圧電素子がある。しかし、圧電素子1個当りの移動ストロークは短いので、工作機械の送り機構に採用する場合、ストロークの長い他の送り装置と併用する必要がある。例えば、他の送り装置としてボールねじを使用する場合、工具あるいはワークの位置決め精度は、ボールねじの位置決め精度で決定される。
【0006】
ボールねじで位置決めする場合、リニアスケールを用いるとしても、位置決め精度は1μm程度である。このため、ボールねじの位置決め誤差を考慮して、加工開始時には砥石をワークに対し約2μm程度の距離を空けて位置決めする必要がある。
【0007】
圧電素子を使用する場合、圧電素子の制御装置をNC制御装置とは別に設ける必要があるだけでなく、発熱量の大きい圧電素子を冷却するため、駆動系に圧電素子の冷却手段を設ける必要があり、研削装置が高額であった。
【0008】
本発明は、例えば、シリコンウエハのような脆性材料であっても、砥石による研削加工だけで加工面をラッピング加工した場合と同等の平坦度を得ることができ、しかもナノメータ単位の移動量制御を必要としない研削方法と、この研削方法に使用される研削装置とを提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の研削方法は、砥石保持体(5)に軸心を横向きにして砥石(7)を保持し、前記砥石(7)に対向させてワーク保持体(8)に軸心を横向きにしてワーク(10)を保持した後、前記砥石保持体(5)と前記ワーク保持体(8)との内、一方の保持体(8)を固定し他方の保持体(5)を軸心方向に移動可能にした状態で、前記砥石保持体(5)と前記ワーク保持体(8)とを積載した架台(1)を前記他方の保持体(5)が載置された側を傾斜手段(2)によって上昇傾動させ、前記他方の保持体(5)を自重によって前記一方の保持体(8)に接近移動させて、前記ワーク(10)に前記砥石(7)を相対的に切り込ませるようになっている。
【0010】
本発明の研削装置(100)は、軸心を横向きにして砥石(7)を保持する砥石保持体(5)と、軸心を横向きにし、且つ前記砥石(7)に対向させてワーク(10)を保持するワーク保持体(8)と、前記砥石保持体(5)と前記ワーク保持体(8)とが積載され、かつ前記砥石保持体(5)と前記ワーク保持体(8)との内、一方の保持体(8)に対して他方の保持体(5)が接近離間可能に積載されている架台(1)と、前記架台(1)を傾斜させる傾斜手段(2)と、前記架台(1)が傾斜して前記他方の保持体(5)が自重によって移動したとき前記他方の保持体(5)を受け止める受止手段(25)と、を備え、前記受止手段(25)と前記他方の保持体(5)との間に、移動方向の所定量の遊び隙間(S1)を設け、前記傾斜手段(2)によって前記架台(1)の前記他方の保持体(5)が載置された側を上昇させることにより、前記他方の保持体(5)を自重により前記一方の保持体(8)に対して前記遊び隙間(S1)を狭める方向に移動させ、前記砥石(7)を前記ワーク(10)に相対的に切り込ませるようになっている。
【0011】
(作用)
本発明の研削装置は、ワーク(10)を砥石保持体(5)の砥石(7)に対向させてワーク保持体(8)に保持し、砥石保持体(5)の移動方向の側の、受止手段(25)と砥石保持体(5)との間の遊び隙間を空けた状態にしておく。その後、傾斜手段(2)によって架台(1)の砥石保持体(5)が載置された側を上昇傾動させる。すると、砥石保持体(5)が、遊び隙間を狭める方向に自重によって移動し、砥石(7)がワーク(10)に切り込み、ワーク(10)を研削する。
【0012】
なお、括弧内の符号は、便宜的に、図面と対照し易くするために付したものであって、本発明の構成を何ら限定するものではない。また、砥石保持体(5)が移動するようになっているが、ワーク保持体(7)が移動するようになっていてもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態の研削装置を図1乃至図5に基づいて説明する。
図1は研削装置100の正面図である。図2は砥石7とワーク10との部分平面図である。架台である石材製のベッド1は、傾き補正機能を持つ傾斜手段であるエアダンパ式除振装置2(以下、除振装置という。)上に支持されている。除振装置2は、ベッド1の上面1aに配設された傾斜計3のデータに基づいて、不図示の外部コントローラからの指令により上面1aを水平に保つ機能と、水平面に対して微少角度傾斜させる機能とを備えている。
【0014】
ベッド1上の一方には、ベッド1に対して矢印X方向に移動可能なテーブル4が配設されている。そして、テーブル4上には、砥石保持体である主軸ユニット5が主軸6の軸心Oを上面1aと平行になるようにして固定されている。主軸6は空気静圧軸受けを介して主軸ユニット5に回転自在に支持されており、主軸6の先端には研削部7aの幅wが正面加工用のカップ型の砥石7が取付けられている。ベッド1上の他方には、主軸6と対向してワーク保持体であるワークヘッド8が固定されている。ワーク保持器9は空気静圧軸受けを介してワークヘッド8に回転自在に支持されており、先端には円形のワーク10が保持されている。
【0015】
図2に示すように、ワーク保持器9の回転軸の軸心Pは、主軸ユニット5の主軸6の軸心Oと平行かつ上面1aからの矢印Z方向の高さが同一であり、矢印Y方向に距離aだけ離れている。通常、距離aは、研削部7aの幅方向の中心が軸心Pに一致するように設定される。
【0016】
テーブル4の駆動手段について、図3、図4に基づいて説明する。
図3は図1の一部側面断面図、図4は図3のA−A矢視断面図である。ボールねじ20は、両端をテーブルベース21に固定された軸受けブロック22,22により回転可能に支持され、モータ23に回転駆動される。ボールねじ20にはナット24が螺合している。ナット24の上部には厚さtの長方形の板状のプレート25が矢印Y方向に延びて固定されている。そして、テーブル4の下面に形成された矢印Y方向の溝部4aがプレート25に嵌合している。ボールねじ20とナット24は、移動手段33を構成している。溝部4aの幅Tは、プレート25の厚さtより2α(ここでは、α=約10μm)広く設定されている。
【0017】
テーブル4には、空気静圧受部を構成する、圧縮空気を供給する第1の通路26と第2の通路27とが形成されている。通路26の一方の端部は、溝部4aの両側面に開口し、他方の端部26aは不図示の圧縮空気源に接続されている。この通路26と、溝部4aとプレート25との隙間S1,S1によって、保持体許動流体流路31が形成されている。また、通路27の一方の端部はテーブルベース21の両側に設けられた軌道部の上下方向の表面21a,21bおよび水平方向の側面21c,21dに対向する位置に開口し、他方は不図示の圧縮空気源に接続されている。この通路27と、隙間S2、S2は、保持体支持流体流路32を構成している。隙間S2は、テーブルベース21に対する上面21a、下面21b、側面21c,21dとの間の隙間のことである。
【0018】
次に、研削装置100の動作を説明する。
ベッド1を水平にした状態で、通路26と通路27に圧縮空気を供給する。すると、通路26から供給された空気圧により、溝部4aの両側面はプレート25から等距離の位置、すなわち、溝部4aとプレート25の側面との間に10μmの遊び隙間S1,S1が空いて位置決めされる。また、テーブル4は通路27から供給された空気圧により支持され、軌道部の表面21a、21bおよび上面21c、下面21dから予め定める遊び隙間S2が空いて位置決めされる。
【0019】
次に、主軸6とワーク保持器9を回転させると共に、モータ23を回転させ、砥石7をワーク10の表面から2μm離れた位置に位置決めする。そして、除振装置2を動作させ、図5に示すように、ベッド1を予め定める角度θだけ右上がりに傾けると共に、通路26に対する圧縮空気の供給を停止する。すると、重力によりテーブル4は図1の左方に移動し、砥石7がワーク10に当接する。砥石7がワーク10に当接してから予め求めておく研削に要する時間が経過した後、再び通路26に圧縮空気を供給し、砥石7をワーク10から離す。そして、除振装置2を動作させ、ベッド1を水平に戻した後、砥石7を待機位置に戻す。
【0020】
本実施形態の研削装置100において、遊び隙間S1は、流体流路になっているため、流体の流入出によって、主軸ユニット5の移動を制御して、砥石とワークとが密接するときの衝撃エネルギーを小さくできる。
【0021】
次に、具体的な数値を示して説明する。
テーブル4の重量とテーブル4に載置されている主軸ユニット5等の重量の合計をWkg、テーブル4とテーブルベース21との摩擦抵抗をμとすると、ベッド1の上面1aに平行な分力Fは、F=Wsinθ−Wμとして求められる。ここで、テーブル4は通路27に流入した圧縮空気によって支持されており、摩擦抵抗μは0とみなすことができる。したがって、上記重量Wが600kg、砥石7とワーク10の直径がそれぞれ300mm、研削部7aの幅wが10mmの場合、角度θを0.01度にすると、上記分力Fは約1kg、加工時に砥石7がワーク10を付勢する加圧力は略33g/cm2 で一定になる。
【0022】
この結果、切り込み量は微少になり、砥石7の送り量を管理しなくてもワーク10の加工面を平坦に仕上げることができる。しかも、従来の圧電素子等の微小移動装置を用いることなく、加工することができる。
【0023】
なお、上記では、砥石7をワーク10に近づける際、通路26に圧縮空気を供給するようにしたが、圧縮空気を供給せず、プレート25の左側面で溝部4aの左側面を押しながら砥石7をワーク10に近づけてからベッド1を傾けてもよい。このようにすると、プレート25の右側面と溝部4aの右側面との間に20μmの隙間S1が形成されるので、ボールねじ20の位置決めを上記の場合に比べて緩やかな精度にすることができる。
【0024】
また、上記ではテーブル4を空気静圧受部で支持するようにしたが、ベアリングで支持するようにしても良い。
【0025】
さらに、テーブル4にワーク保持器9を載置させ、主軸ユニット5を固定してもよい。また、プレート25と溝4aに相当する構成をワーク保持器9側に設けてもよい。さらに、ワーク保持器9を微小距離移動できるように構成してもよい。
【0026】
また、以上の説明において、示した数値は、理解を容易にするため、示した数値であって、本発明は、その数値に限定されるものではない。
【0027】
【発明の効果】
本発明の研削装置は、軸心が横向きの砥石保持体とワーク保持体とのいずれか一方を軸心方向に移動可能にしておき、重力により他方が一方に近づくようにして両者を傾け、他方の重量の正弦成分を加圧力として、予め定める加圧力を付加しながら軸心方向に当接させ、ワークの軸心と直角な面を加工するようにしたので、加圧力を微少な値かつ一定に維持することができ、微小送り機構(例えば、圧電素子)を設けなくても、安価で且つ微少研削が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の研削装置の正面図である。
【図2】図1の砥石とワークとの部分平面図である。
【図3】図1の一部側面断面図である。
【図4】図3の矢視A−A断面図である。
【図5】研削装置でワーク研削加工時の動作説明図である。
【符号の説明】
S1,S2 遊び隙間
1 ベッド(架台)
2 除振装置(傾斜手段)
4 テーブル
5 主軸ユニット(砥石保持体)
6 主軸
7 砥石
8 ワークヘッド(ワーク保持体)
10 ワーク
20 ボールねじ
24 ナット
33 移動手段
Claims (3)
- 砥石保持体に軸心を横向きにして砥石を保持し、前記砥石に対向させてワーク保持体に軸心を横向きにしてワークを保持した後、
前記砥石保持体と前記ワーク保持体との内、一方の保持体を固定し他方の保持体を軸心方向に移動可能にした状態で、
前記砥石保持体と前記ワーク保持体とを積載した架台を前記他方の保持体が載置された側を傾斜手段によって上昇傾動させ、
前記他方の保持体を自重によって前記一方の保持体に接近移動させて、前記ワークに前記砥石を相対的に切り込ませることを特徴とする研削方法。 - 軸心を横向きにして砥石を保持する砥石保持体と、
軸心を横向きにし、且つ前記砥石に対向させてワークを保持するワーク保持体と、
前記砥石保持体と前記ワーク保持体とが積載され、かつ前記砥石保持体と前記ワーク保持体との内、一方の保持体に対して他方の保持体が接近離間可能に積載されている架台と、
前記架台を傾斜させる傾斜手段と、
前記架台が傾斜して前記他方の保持体が自重によって移動したとき前記他方の保持体を受け止める受止手段と、を備え、
前記受止手段と前記他方の保持体との間に、移動方向の所定量の遊び隙間を設け、
前記傾斜手段によって前記架台の前記他方の保持体が載置された側を上昇させることにより、前記他方の保持体を自重により前記一方の保持体に対して前記遊び隙間を狭める方向に移動させ、前記砥石を前記ワークに相対的に切り込ませることを特徴とする研削装置。 - 前記砥石保持体と前記ワーク保持体との内、一方の保持体に対して他方の保持体を接近離間させる移動手段を備え、
前記移動手段は前記受止手段と兼用されている請求項2に記載の研削装置。
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