JP2022043505A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、ケースの上面に平行な上プレートとケースの上面との間の僅かな隙間に水を供給することでケースの上面全面及び側面全面を覆う水層を形成しているので、水層を形成するための供給水量を抑えることができる。
なお、本発明に係る研削装置は、研削装置1のような研削手段7が1軸の研削装置に限定されるものではなく、粗研削手段と仕上げ研削手段とを備え、回転するターンテーブルで被加工物90を粗研削手段又は仕上げ研削手段の下方に位置づけ可能な2軸の研削装置等であってもよい。
なお、研削時に、研削ホイール74は、チャックテーブル30から水平方向に一部がはみ出すように位置づけられているため、そのはみ出した部分の研削ホイール74の内側に配設され研削水を噴射する外部ノズルを研削水供給部としてもよい。
なお、厚さ測定手段4は、上面高さ測定器6のみを備えていてもよい。この場合には、厚さ測定手段4は、予め、保持面300の高さ位置及び研削前の被加工物90の厚さ(投入厚さ)を把握しており、それ故、保持面300で保持された研削前の被加工物90の上面の高さ位置を把握している。したがって、厚さ測定手段4は、保持面300で保持された研削前の被加工物90の上面の高さ位置と研削加工中に測定した被加工物90の上面の高さ位置との差から被加工物90の研削により除去された量(除去量)を測定して、さらに、研削加工中の被加工物90の厚さを逐次測定できる。
図2に示す直動式のリニアゲージである上面高さ測定器6は、被加工物90の上面に接触させるプローブ60と、プローブ60を下端に配置しチャックテーブル30の保持面300に垂直方向(Z軸方向)に移動自在に支持されたシャフト61と、シャフト61を移動自在に支持するガイド69と、シャフト61の高さを検知するスケール63と、シャフト61を上昇させる、又はシャフト61をシャフト61の自重で下降させる上下駆動部64と、シャフト61とガイド69とスケール63と上下駆動部64とを収容しプローブ60を外に露出させるケース65と、を備えている。
プローブ60は、例えばダイヤモンド等で構成され丸みを帯びた球面状の下端を備え、Z軸方向に平行に延在しており、シャフト61の下端に一体的に配設されている。
-X方向側の側壁654の外側面は、例えば第1アーム141の前面に固定されている。
なお、上プレート内流路226の開口は、上プレート噴射面204に一つだけでもよい。
下プレート29の上面とケース65の底板653の下面との間の隙間290は、例えば1mm~2mmとなっている。
なお、下プレート内流路273の開口は、下プレート29の上面に一つだけでもよい。
また、例えば、図2に示すように、枠体690内の下部側に枠体内水流路6909を形成し、枠体内水流路6909に冷却水を流してもよい。
また、下面水供給部27の下プレート内流路273と枠体内水流路6909とを連通させ、冷却水源229から送出される冷却水Lを枠体内水流路6909に供給してもよい。これによって、枠体690の下プレート29から下方に突き出た部分も冷却水Lによって冷却されるため、ガイド69の研削水による熱影響がさらに抑えられる。
着脱領域内において、被加工物90がチャックテーブル30の保持面300上に互いの中心を略合致させた状態で載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面300に伝達され、チャックテーブル30が保持面300上で被加工物90を吸引保持する。
これが、例えば、ケース65の上面の外周縁6581と上プレート外周縁201とを同位置に位置付けている場合には、ケース65の上面の外周縁6581に至った冷却水Lがケース65の上面の4つの外周縁6581において途切れ途切れとなってしまい、ケース65の側壁654、側壁655の外側面に移動した冷却水が、水滴状や複数の川状に該外側面を流れて落ちてしまう現象が発生し、ケース65の側壁654、側壁655の外側面に冷却水が流れていない箇所が生じてしまうのと大きく相違する点である。
なお、ケース65の上面の4辺である4つの外周縁6581と側壁654、側壁655の外側面との角を面取りしていてもよい。また、その面取りは、上プレート外周縁201より外側に形成しているとよい。
また、ケース65の上面に平行な上プレート20とケース65の上面との間の僅かな隙間200に冷却水Lを供給することでケース65の天板658の上面全面及び側壁654、側壁655の外側面全面を覆う水層を形成しているので、例えばノズル噴射等によって冷却水をケース65に部分的に多く無駄に供給してしまうようなことが無いため、水層を形成するための供給水量を抑えることができる。
なお、本発明に係る研削装置1は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
1:研削装置 10:ベース
30:チャックテーブル 300:保持面 39:カバー 390:蛇腹カバー
11:コラム 13:研削送り手段 7:研削手段
18:研削水供給部 180:研削水源 181:流路
4:厚さ測定手段 5:保持面高さ測定器
6:上面高さ測定器 60:プローブ 61:シャフト
63:スケール 635:読み取り部
64:上下駆動部 641:シリンダチューブ 642:ピストンロッド 6411、6412:エア流入口
65:ケース 653:底板 658:天板 654、655:側壁
69:ガイド 690:枠体 6901:支持面 6902:噴射口 6909:枠体内水流路
6904:エア供給口 6906:内部流路
68:エア供給源 682、683:エア供給管 685:ソレノイドバルブ
2:防止機構 20:上プレート 200:上プレートの下面とケースの上面との間の隙間 201:上プレート外周縁 204:上プレート噴射面
22:上面水供給部 226:上プレート内流路 227:支持柱内流路 228:アーム内流路 229:冷却水源
29:下プレート 27:下面水供給部 273:下プレート内流路
Claims (2)
- 保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、研削砥石で被加工物を研削する研削手段と、該研削砥石に研削水を供給する研削水供給部と、少なくとも該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定する上面高さ測定器と、を備える研削装置であって、
該上面高さ測定器は、被加工物の上面に接触させるプローブと、該プローブを下端に配置し該保持面に垂直方向に移動自在に支持されたシャフトと、該シャフトを移動自在に支持するガイドと、該シャフトの高さを検知するスケールと、該シャフトを上昇させる、又は該シャフトを該シャフトの自重で下降させる上下駆動部と、該シャフトと該ガイドと該スケールと該上下駆動部とを収容し該プローブを外に露出させるケースと、を備え、
加工熱を吸収した該研削水による熱影響を該ケースが受けないようにする防止機構を備え、
該防止機構は、該ケースの上面に平行で、該上面の上に僅かな隙間を設けて、該上面の外周縁から僅かに内側に上プレート外周縁を位置付けるように配設された上プレートと、該上プレートの下面と該ケースの該上面との間の該隙間に水を供給させ該ケースの該上面に水層を形成する上面水供給部と、を備え、
該上面水供給部から供給された水が、該ケースの該上面に水層を形成するとともに該上プレートの該上プレート外周縁から溢れ出て該ケースの側面に伝わり落ちることによって該側面全面を覆う水層を形成させ、該研削水の熱影響を防止する研削装置。 - 前記防止機構は、前記ケースの下面に平行で、該下面の下に僅かな隙間を設けて配置する下プレートと、該ケースの該下面と該下プレートの上面との間の該隙間に水を供給させ該ケースの該下面に水層を形成する下面水供給部と、を備える請求項1記載の研削装置。
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