JP5391978B2 - 流体保持装置 - Google Patents
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Description
本発明は、静圧軸受けや静圧案内のような流体保持装置の外乱負荷による案内精度低下の抑制に関するものである。
静圧軸受けに加わる外乱負荷による軸受け精度低下の抑制技術として、主軸の外乱負荷による変位に応じて流体軸受けへの供給圧力を制御して精度低下を抑制する従来技術(例えば、特許文献1参照)や、主軸の外乱負荷によるポケット圧力変動に応じて流体軸受けへの供給圧力を制御して精度低下を抑制する従来技術(例えば、特許文献2参照)がある。
特許文献1に記載の従来技術の場合、具体的には図4において、主軸3はポンプ13、圧力制御弁14により所定の圧力に保持された圧油が絞りを介して供給された静圧軸受け16、17により回転自在に支持されており、主軸回転モータ15により駆動され、静圧軸受け16、17と主軸3の相対変位は変位センサ9、10により計測される。
このように構成された静圧軸受けにおいて、その精度低下が抑制される原理は以下のようなものである。
定常加工中の加工力をF、主軸3の変位をE、軸受け剛性をKとし、外乱力をΔF、外乱力が作用した主軸3の変位増加量をΔEとした場合、E=F/K、E+ΔE=(F+ΔF)/Kが成り立つ。ここで、主軸剛性をΔK大きくしてE=(F+ΔF)/(K+ΔK)を成立させると、外乱力ΔFが作用しても主軸3の変位量が変動しないので主軸回転精度(軸受け精度)が低下しない。静圧軸受けの剛性は供給圧力に比例するので初期供給圧力をP、増加供給圧力をΔPとすると(K+ΔK)=K(P+ΔP)/PとなりΔK=K・ΔP/Pが成り立つ。E=(F+ΔF)/(K+ΔK)からΔK=ΔF/E、またΔF=K・ΔEなのでΔK=K・ΔE/Eが成り立つ。よってK・ΔP/P=K・ΔE/Eとなり増加供給圧力ΔPはΔP=P・ΔE/Eとなる。
以上より外乱力ΔFによる主軸3の変位増加をなくすには供給圧力をΔP=P・ΔE/Eだけ増加させればよい。
外乱負荷による軸受け精度の低下が抑制される具体的作用を以下に説明する。
変位センサ9、10が計測した変位増加量ΔEに基づき、制御装置18では定常加工時の標準変位位置まで主軸を押し戻すに必要な軸受け剛性になる増大供給圧力ΔPをΔP=P・ΔE/Eから計算し圧力制御弁14へ指令する。圧力制御弁14がΔPだけ昇圧した圧油を軸受け16、17へ供給すると軸受け16、17の剛性が高くなり外乱力による主軸3の変位量を小さくする。以上の制御を連続して行うことで外乱力による軸受け精度低下を抑制する。
このように構成された静圧軸受けにおいて、その精度低下が抑制される原理は以下のようなものである。
定常加工中の加工力をF、主軸3の変位をE、軸受け剛性をKとし、外乱力をΔF、外乱力が作用した主軸3の変位増加量をΔEとした場合、E=F/K、E+ΔE=(F+ΔF)/Kが成り立つ。ここで、主軸剛性をΔK大きくしてE=(F+ΔF)/(K+ΔK)を成立させると、外乱力ΔFが作用しても主軸3の変位量が変動しないので主軸回転精度(軸受け精度)が低下しない。静圧軸受けの剛性は供給圧力に比例するので初期供給圧力をP、増加供給圧力をΔPとすると(K+ΔK)=K(P+ΔP)/PとなりΔK=K・ΔP/Pが成り立つ。E=(F+ΔF)/(K+ΔK)からΔK=ΔF/E、またΔF=K・ΔEなのでΔK=K・ΔE/Eが成り立つ。よってK・ΔP/P=K・ΔE/Eとなり増加供給圧力ΔPはΔP=P・ΔE/Eとなる。
以上より外乱力ΔFによる主軸3の変位増加をなくすには供給圧力をΔP=P・ΔE/Eだけ増加させればよい。
外乱負荷による軸受け精度の低下が抑制される具体的作用を以下に説明する。
変位センサ9、10が計測した変位増加量ΔEに基づき、制御装置18では定常加工時の標準変位位置まで主軸を押し戻すに必要な軸受け剛性になる増大供給圧力ΔPをΔP=P・ΔE/Eから計算し圧力制御弁14へ指令する。圧力制御弁14がΔPだけ昇圧した圧油を軸受け16、17へ供給すると軸受け16、17の剛性が高くなり外乱力による主軸3の変位量を小さくする。以上の制御を連続して行うことで外乱力による軸受け精度低下を抑制する。
特許文献2に記載の従来技術の場合、静圧ポケットへの給油管路の複数の絞りの少なくとも1個を可動に支持し、外乱負荷によるポケット内圧力の変動に応じて供給管路の終端の絞りへの供給圧力を制御して外乱力による軸受け精度低下を抑制する。
流体保持装置に外乱力が作用すると、流体保持装置剛性と外乱力の大きさにより決定される変位が生じ、流体保持精度が低下してしまい、例えば、工作機械の主軸装置に使用した場合は、流体保持精度の低下は工作物の加工精度低下に直結する。上記特許文献1および特許文献2に記載の従来技術では、流体保持精度の低下の抑制をするための静圧軸受けの圧力制御を絞りへの供給圧力の制御により実施するので、絞りによる流量制限によりポケット内圧力応答速度に限界があり、外乱力変動が高速の場合応答性が悪く十分に精度低下を抑制できなかった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、高速の外乱力変動に対しても外乱力による精度低下を抑制できる流体保持装置を提供することを目的とする。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、高速の外乱力変動に対しても外乱力による精度低下を抑制できる流体保持装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明の特徴は、リセスと前記リセスの周囲に設けられたランドとからなる静圧ポケットと、前記リセスへ圧油を供給する圧油供給手段と、前記静圧ポケットの圧油により支持される移動体と、前記リセスの体積を増減できる体積増減手段と、前記移動体と前記静圧ポケットの相対変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の計測した変位量に応じて前記体積増減手段の増減量を演算し作動指令を出力する制御手段と、前記制御手段の作動指令に基づき前記体積増減手段を駆動する駆動手段と、を備え、前記移動体が前記ポケットに近づく場合は近づく側の前記リセスの体積を減少させ、前記移動体が前記ポケットから離れる場合は離れる側の前記リセスの体積を増加させる、ことである。
請求項2に係る発明の特徴は、請求項1に係る発明において、前記移動体が回転する主軸であって、前記静圧ポケットと、前記体積増減手段と、前記主軸と前記静圧ポケットの相対変位を計測する前記変位計測手段と、を前記主軸の外周に円筒状に配置したことである。
請求項3に係る発明の特徴は、請求項2に係る発明において、前記体積増減手段と、前記変位計測手段と、をそれぞれ複数備えるとともに、前記制御手段は複数の前記変位計測手段の変位量から複数の前記体積増減手段の体積増減量を演算し作動指令を出力することである。
請求項4に係る発明の特徴は、請求項1〜3のいずれか1項に係る発明において、前記体積増減手段は、ピストンと、前記ピストンを駆動する圧電素子と、からなることである。
請求項1に係る発明によれば、移動体に外乱力が作用した場合に、移動体と静圧ポケットの相対変位を変位計測手段により計測し、計測した変位量は制御装置に送られる。制御手段は変位量から体積増減手段の体積増減量を演算して体積増減手段に作動指令を出力する。外乱力が移動体に作用し移動体がポケットに近づく場合は、近づく側の体積増減手段にリセスの体積を減少さる指令が発せられ、リセス体積が減少して該当ポケットからの油流出量が増大する。ポケット内圧が一定でポケットからの油流出量が増大するので移動体とランドの隙間が増大する。すなわち移動体がポケットから離れる方向へ移動する。反対に外乱力が移動体に作用し移動体がポケットから離れる場合は、離れる側の体積増減手段にリセスの体積を増加さる指令が発せられ、リセス体積が増大して該当ポケットからの油流出量が減少する。ポケット内圧が一定でポケットからの油流出量が減少するので移動体とランドの隙間が減少する。すなわち移動体がポケットに近づく方向へ移動する。以上のように外乱力による移動体の変位を打ち消す方向に体積増減手段を作用させることで移動体の外乱変位を抑制する。直接静圧ポケット部でリセス体積を増減制御して外乱変位を抑制するため応答性が速く制御精度が高い、従来の絞りによる流量制限を受ける外部供給圧力制御方式に比較して、高速の外乱力変動にも高精度の移動体精度低下抑制が可能となる。
請求項2に係る発明によれば、移動体が回転軸で、静圧ポケットを前記回転軸の外周に円筒状に配置することにより高速回転で使用されることが多い回転軸受けの精度低下を抑制することができる。
請求項3に係る発明によれば、制御手段は複数の変位計測手段の計測した複数の変位量を用いて演算できるので変位方向と変位量を判定でき、また、複数の体積増減手段の体積増減の組み合わせによりどの方向へも所定の量の補正が可能であるので、円周上のいかなる方向からの外乱力変動に対しても軸受け精度低下の抑制が可能である。
請求項4に係る発明によれば、体積増減手段をピストンで構成するので作動量の自由度が大きく、圧電素子で駆動するので高速の作動が可能であり、適応範囲の広い高速作動の体積増減手段をコンパクトに構成できる。
以下、本発明の流体保持装置の実施の形態として、静圧軸受けを例にして、図1〜図3を参照しつつ説明する。
図1に示すように、本実施形態による静圧軸受け装置1は、工具2を保持する主軸3(本発明における移動体)が軸受けハウジング6に保持されている静圧軸受け4、5により回転自在に保持され、回転モータ15により駆動される。静圧軸受け4、5には、ポンプ13と圧力制御弁14により所定の圧力の圧油が供給される。さらに、主軸3と静圧軸受け4、5の相対変位を計測する変位センサ9、10と、変位センサ9、10の変位量に基づき変位指令を出力する制御装置11と、制御装置11の変位指令に基づき体積増減手段7、8を駆動する圧電素子ドライバ12を備える。
図1に示すように、本実施形態による静圧軸受け装置1は、工具2を保持する主軸3(本発明における移動体)が軸受けハウジング6に保持されている静圧軸受け4、5により回転自在に保持され、回転モータ15により駆動される。静圧軸受け4、5には、ポンプ13と圧力制御弁14により所定の圧力の圧油が供給される。さらに、主軸3と静圧軸受け4、5の相対変位を計測する変位センサ9、10と、変位センサ9、10の変位量に基づき変位指令を出力する制御装置11と、制御装置11の変位指令に基づき体積増減手段7、8を駆動する圧電素子ドライバ12を備える。
静圧軸受け4は静圧軸受け5と同一構造であるので、静圧軸受け4の例で図2、図3に基づき以下にその詳細を説明する。
静圧軸受け4は、複数のランド42a〜42dとリセス41a〜41dからなる静圧ポケット20a〜20dを備えている。ランド42a〜42dとはポケット20a〜20d外周の全周に設けられた凸状の部位で、リセス41a〜41dとはランド42a〜42dに囲まれた凹状の部位である。リセス41a〜41dには、圧力制御弁14からの圧油を供給する圧油供給管路19a〜19dが接続されており、この圧油供給管路19a〜19dのポケット20a〜20dの近傍には絞りが備えられている。ポケット20a、20bのリセス底面には、体積増減手段7a、7bが設けられている。ポケット20a〜20dの外周には、油排出溝21が形成されており、この油排出溝21には、主軸3と静圧軸受け4の相対変位を計測する概略90度の相対角度で配置された変位センサ9a、9bが取り付けられている。ここで変位センサ配置の相対角度は90度に限定されるものではなく、180度以外であればどのような角度でもよい。
静圧軸受け4は、複数のランド42a〜42dとリセス41a〜41dからなる静圧ポケット20a〜20dを備えている。ランド42a〜42dとはポケット20a〜20d外周の全周に設けられた凸状の部位で、リセス41a〜41dとはランド42a〜42dに囲まれた凹状の部位である。リセス41a〜41dには、圧力制御弁14からの圧油を供給する圧油供給管路19a〜19dが接続されており、この圧油供給管路19a〜19dのポケット20a〜20dの近傍には絞りが備えられている。ポケット20a、20bのリセス底面には、体積増減手段7a、7bが設けられている。ポケット20a〜20dの外周には、油排出溝21が形成されており、この油排出溝21には、主軸3と静圧軸受け4の相対変位を計測する概略90度の相対角度で配置された変位センサ9a、9bが取り付けられている。ここで変位センサ配置の相対角度は90度に限定されるものではなく、180度以外であればどのような角度でもよい。
リセスの体積を増減させる体積増減手段7aは、静圧軸受け4の外周からリセス41aに通じる放射状の穴を形成し、この穴の静圧軸受け4の外周側口元に圧電素子駆動部72aを固定し、圧電素子駆動部72aにシール73aでシールされたピストン71aを、静圧軸受け4に対して摺動自在に接合した構造である。なお、体積増減手段7bは体積増減手段7aと同一構造である。
上述のように構成された静圧軸受け4、5の作用について説明する。
通常使用時には、ポンプ13からの圧油が圧力制御弁14で所定の圧力に保持され、絞りを設けた圧油供給管路19a〜19dを介してリセス41a〜41dに供給される。リセス41a〜41d内の油はランド42a〜42dと主軸3の隙間から流出する。主軸3は、圧油供給管路19a〜19dからの流入油量とランド42a〜42dと主軸3の隙間からの流出油量とがバランスするポケット内圧により、所定の位置に保持される。
通常使用時には、ポンプ13からの圧油が圧力制御弁14で所定の圧力に保持され、絞りを設けた圧油供給管路19a〜19dを介してリセス41a〜41dに供給される。リセス41a〜41d内の油はランド42a〜42dと主軸3の隙間から流出する。主軸3は、圧油供給管路19a〜19dからの流入油量とランド42a〜42dと主軸3の隙間からの流出油量とがバランスするポケット内圧により、所定の位置に保持される。
加工負荷変動、外部振動伝達等の外乱力F0が主軸3に作用した場合に軸受け精度の低下が抑制される原理について、以下に説明する。
主軸3にポケット20b方向への外乱力が作用すると、主軸3はポケット20b方向へ変位し、ポケット20bのランド42bと軸受け3の隙間が前記変位相当分減少し、ポケット20bからの油流出量が減少するためポケット20b内の圧力が上昇する。また、ポケット20bと対向した位置のポケット20dでは、逆にランド42dと主軸3の隙間が前記変位相当分増加し、ポケット20d内の圧力が減少する。これにより、主軸3はポケット20bの圧力上昇による増加保持力F1とポケット20dの圧力減少による減少保持力F2の合計が前記外乱力F0と等しくなるランド隙間で釣り合う。ここで、体積増減手段7bのピストン71bを前進させるとリセス41bの体積が減少し、ポケット20b内の油の流出量が増加する。ポケット20b内の油圧力が一定なのでランド42bと主軸3の隙間が増大する、すなわち、主軸3を押し戻し、外乱力による主軸3の変位を減少させる。
主軸3にポケット20b方向への外乱力が作用すると、主軸3はポケット20b方向へ変位し、ポケット20bのランド42bと軸受け3の隙間が前記変位相当分減少し、ポケット20bからの油流出量が減少するためポケット20b内の圧力が上昇する。また、ポケット20bと対向した位置のポケット20dでは、逆にランド42dと主軸3の隙間が前記変位相当分増加し、ポケット20d内の圧力が減少する。これにより、主軸3はポケット20bの圧力上昇による増加保持力F1とポケット20dの圧力減少による減少保持力F2の合計が前記外乱力F0と等しくなるランド隙間で釣り合う。ここで、体積増減手段7bのピストン71bを前進させるとリセス41bの体積が減少し、ポケット20b内の油の流出量が増加する。ポケット20b内の油圧力が一定なのでランド42bと主軸3の隙間が増大する、すなわち、主軸3を押し戻し、外乱力による主軸3の変位を減少させる。
反対に、主軸3にポケット20d方向への外乱力が作用した場合は、主軸3はポケット20d方向へ変位し、ポケット20bのランド42bと主軸3の隙間が前記変位相当分増大する。ここで体積増減手段7bのピストン71bを後退させるとリセス41bの体積が増大し、ポケット20b内の油の流出量が減少する。ポケット20b内の油圧力を一定としたままポケット20b内の油の流出量が減少するので、ランド42bと主軸3の隙間が減少する、すなわち、主軸3をポケット20b方向へ引き戻し、外乱力による主軸3の変位を減少させる。
体積増減手段7a、7bにおいて、ピストン71a、71bの前後進送りは、圧電素子ドライバ12の指令に基づき圧電素子駆動部72a、72bが前後進送りされることで行う。
以下に、外乱力による主軸精度の低下が抑制される作用について具体的に説明する。
主軸3が外乱力により変位すると、その変位が変位センサ9aと9bにより計測される。計測された変位量は制御装置11に転送され、制御装置11により各々の変位量が合成されて、主軸3の変位量と変位方向が演算される。演算された主軸3の変位をポケット20a、20bの円周方向中心位置の半径方向変位に分解換算することにより、ポケット20aに対する主軸3の変位、ポケット20bに対する主軸3の変位を求める。次にポケット20aに対する主軸3の変位を最小とするような体積増減手段7aの体積増減量を演算し、体積増減手段7aのピストン71aの送り量の指令値を決定する。同様にポケット20bについてもピストン71bの送り量の指令値を決定する。
主軸3が外乱力により変位すると、その変位が変位センサ9aと9bにより計測される。計測された変位量は制御装置11に転送され、制御装置11により各々の変位量が合成されて、主軸3の変位量と変位方向が演算される。演算された主軸3の変位をポケット20a、20bの円周方向中心位置の半径方向変位に分解換算することにより、ポケット20aに対する主軸3の変位、ポケット20bに対する主軸3の変位を求める。次にポケット20aに対する主軸3の変位を最小とするような体積増減手段7aの体積増減量を演算し、体積増減手段7aのピストン71aの送り量の指令値を決定する。同様にポケット20bについてもピストン71bの送り量の指令値を決定する。
制御装置11により演算されたピストン71aの送り量の指令値に基づき、圧電素子ドライバ12を介して圧電素子駆動部72aを駆動させ、ポケット20aのピストン71aを前後進し、ポケット20a方向の主軸3の変位を抑制する。ポケット20bにおいても、同様にしてポケット20b方向の主軸3の変位を抑制する。
以上の結果、静圧軸受け4に対する主軸3の外乱力に起因する変位を抑制でき、静圧軸受け5についても同様の制御を行い、外乱力に起因する変位を抑制する。静圧軸受け4、5での外乱力に起因する主軸変位を最小化することで、主軸3のアキシャル方向を除く2軸の併進と、主軸3のピッチングとヨーイングにおける、外乱力による軸受け精度の低下を抑制できる。
以上の結果、静圧軸受け4に対する主軸3の外乱力に起因する変位を抑制でき、静圧軸受け5についても同様の制御を行い、外乱力に起因する変位を抑制する。静圧軸受け4、5での外乱力に起因する主軸変位を最小化することで、主軸3のアキシャル方向を除く2軸の併進と、主軸3のピッチングとヨーイングにおける、外乱力による軸受け精度の低下を抑制できる。
以上の構造によれば、ポケット20a、20bの体積をピストン71a、71bを前後進させることにより直接増減し主軸3の外乱変位を抑制するため、従来の外部供給圧力制御方式のような絞りによる流量制限による応答遅れが無い。したがって、従来技術よりも高速の外乱力変動にも追従して高精度の主軸変位抑制が可能で、高周波の振動や加工力の高速変動が生じても軸受け精度低下抑制が可能で高精度な高速加工を実現できる。
主軸3の外乱力による変位を2個の変位センサ9aと9bにより計測することで主軸3の変位量と変位方向を計測し、体積増減手段の設けられたポケット20a、20bの円周方向中心位置の半径方向変位に換算して、ポケット20a、20bの変位抑制制御を実施するので、円周上のいかなる方向からの外乱力変動に対しても軸受け精度低下抑制ができる。
体積増減手段7a、7bをピストンで構成するので作動量の自由度が大きく、圧電素子で駆動するので高速の作動が可能であり、適応範囲の広い高速作動の体積増減手段をコンパクトに構成できる。
体積増減手段7a、7bをピストンで構成するので作動量の自由度が大きく、圧電素子で駆動するので高速の作動が可能であり、適応範囲の広い高速作動の体積増減手段をコンパクトに構成できる。
<本実施形態の変形態様>
上記の実施形態は回転式の静圧軸受けについて説明したが、これに限定されるものではなく、主軸3を併進運動体とし静圧ポケットを平面状に配置した静圧案内にも適用可能である。
変位センサ9、10の出力にハイパスフィルタを付加し、外乱力の高周波成分のみを体積増減手段7、8により抑制するようにしてもよい。(この場合、外乱力の低周波成分は本来の静圧軸受けの求心作用により抑制される)
また、圧電素子駆動部72a、72bを電磁ソレノイドやモータなど他の駆動手段に置き換えてもよい。
上述の実施形態では体積増減手段7、8に移動するピストン71a、71bを用いているが、リセス壁面を弾性変形可能な構造(例えば薄肉化やダイヤフラム)とすることでリセス41a、41bの体積を増減させるように構成してもよい。
例えば、静圧軸受け4、5を研削盤の砥石軸に用いる場合のように、外乱力に起因する変位の方向が特定の方向に限定できる場合、変位センサ9、10はその方向の変位を検知できる1セットのみ備える構成でもよい。
同様に、外乱力に起因する変位を抑制する方向が特定の方向に限定できる場合、体積増減手段7、8はその方向に位置するリセスに1セットのみ備える構成でもよい。
上記の実施形態は回転式の静圧軸受けについて説明したが、これに限定されるものではなく、主軸3を併進運動体とし静圧ポケットを平面状に配置した静圧案内にも適用可能である。
変位センサ9、10の出力にハイパスフィルタを付加し、外乱力の高周波成分のみを体積増減手段7、8により抑制するようにしてもよい。(この場合、外乱力の低周波成分は本来の静圧軸受けの求心作用により抑制される)
また、圧電素子駆動部72a、72bを電磁ソレノイドやモータなど他の駆動手段に置き換えてもよい。
上述の実施形態では体積増減手段7、8に移動するピストン71a、71bを用いているが、リセス壁面を弾性変形可能な構造(例えば薄肉化やダイヤフラム)とすることでリセス41a、41bの体積を増減させるように構成してもよい。
例えば、静圧軸受け4、5を研削盤の砥石軸に用いる場合のように、外乱力に起因する変位の方向が特定の方向に限定できる場合、変位センサ9、10はその方向の変位を検知できる1セットのみ備える構成でもよい。
同様に、外乱力に起因する変位を抑制する方向が特定の方向に限定できる場合、体積増減手段7、8はその方向に位置するリセスに1セットのみ備える構成でもよい。
1:静圧軸受け装置 3:主軸 7、8:体積増減手段 9、10:変位センサ 11:制御装置 12:圧電素子ドライバ 13:ポンプ 14:圧力制御弁 20a〜20d:静圧ポケット 72a、72b:圧電素子駆動部 41a〜41d:リセス 42a〜42d:ランド
Claims (4)
- リセスと前記リセスの周囲に設けられたランドとからなる静圧ポケットと、前記リセスへ圧油を供給する圧油供給手段と、前記静圧ポケットの圧油により支持される移動体と、前記リセスの体積を増減できる体積増減手段と、前記移動体と前記静圧ポケットの相対変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の計測した変位量に応じて前記体積増減手段の増減量を演算し作動指令を出力する制御手段と、前記制御手段の作動指令に基づき前記体積増減手段を駆動する駆動手段と、を備え、前記移動体が前記ポケットに近づく場合は近づく側の前記リセスの体積を減少させ、前記移動体が前記ポケットから離れる場合は離れる側の前記リセスの体積を増加させる、ことを特徴とする流体保持装置。
- 前記移動体が回転する主軸であって、前記静圧ポケットと、前記体積増減手段と、前記主軸と前記静圧ポケットの相対変位を計測する変位計測手段と、を前記主軸の外周に円筒状に配置したことを特徴とする請求項1記載の流体保持装置。
- 前記体積増減手段と、前記変位計測手段と、をそれぞれ複数備えるとともに、前記制御手段は複数の前記変位計測手段の変位量から複数の前記体積増減手段の増減量を演算し作動指令を出力することを特徴とする請求項2記載の流体保持装置。
- 前記体積増減手段は、ピストンと、前記ピストンを駆動する圧電素子と、からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の流体保持装置。
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5391978B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6520500B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2019-05-29 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械 |
JP6790574B2 (ja) * | 2016-08-12 | 2020-11-25 | 株式会社ジェイテクト | 主軸装置と、該主軸装置を備えた研削盤 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0348016A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-03-01 | Toyoda Mach Works Ltd | 静圧流体軸受 |
JP2554794B2 (ja) * | 1991-06-03 | 1996-11-13 | 株式会社東芝 | 静圧流体支持装置 |
US5238308A (en) * | 1992-05-04 | 1993-08-24 | Rockwell International Corporation | Adjustable gap hydrostatic element |
JPH06235422A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Hitachi Zosen Corp | 回転軸振れ補正制御装置 |
JPH0828565A (ja) * | 1994-07-18 | 1996-02-02 | Sony Corp | 静圧気体軸受 |
JP3106189B1 (ja) * | 1999-10-05 | 2000-11-06 | 工業技術院長 | 静圧流体軸受 |
JP5121047B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2013-01-16 | 株式会社不二越 | 動圧軸受及びラジアル動圧軸受を用いたスピンドル装置 |
-
2009
- 2009-10-01 JP JP2009229639A patent/JP5391978B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011073118A (ja) | 2011-04-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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