CZ415098A3 - Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu - Google Patents

Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu Download PDF

Info

Publication number
CZ415098A3
CZ415098A3 CZ19984150A CZ415098A CZ415098A3 CZ 415098 A3 CZ415098 A3 CZ 415098A3 CZ 19984150 A CZ19984150 A CZ 19984150A CZ 415098 A CZ415098 A CZ 415098A CZ 415098 A3 CZ415098 A3 CZ 415098A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
guide rollers
pair
rollers
guide
pairs
Prior art date
Application number
CZ19984150A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ286165B6 (cs
Inventor
Karel Rndr. Vojtěchovský
Original Assignee
Themis, A.S.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Themis, A.S. filed Critical Themis, A.S.
Priority to CZ19984150A priority Critical patent/CZ415098A3/cs
Publication of CZ286165B6 publication Critical patent/CZ286165B6/cs
Publication of CZ415098A3 publication Critical patent/CZ415098A3/cs

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

Způsob ře2ání ingotů 2 tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto 2působu
Oblast techniky
Vynále2 se týká 2působu ře2ání ingotů 2 tvrdých materiálů na desky, zejména 2 ingotů polovodičů, skla a keramiky, a řeší rovněž konstrukci pily k provádění tohoto způsobu.
Dosavadní stav techniky
K ře2ání ingotů 2 tvrdých materiálů, např. polovodičových ingotů, keramiky a bloků skla, se nejčastěji používá metoda využívající působení volného brusivá a pohybujícího se pevného nosiče, nejčastěji nekonečného drátu, na členěný materiál. Metoda je charakteristická tím, že brusivo ro2ptýlené v kapalině, například v oleji, glykolu či vodných ro2tocích, je do místa ře2u dopravováno drátem pomocí soustavy drážkovaných válců, přičemž řezaný materiál je postupně protláčen přes osnovu běžících drátů. Tloušťka ře2aných desek je určena vzdáleností drážek ve válcích, tloušťkou drátu či 2rnitostí abra2iva a kvalita ře2u je určena materiálem brusivá i ře2aného ingotu a dalšími technologickými parametry.
Je 2náma řada metod a zařÍ2ení, například dle patentů US 4,494,523, US 4,574,769, US 4,640,259, US 4,903,682, US 5,201,305, US 5,269,285 nebo GB 2 216 441, které popisují konkrétní 2aří2ení a chrání jejich rŮ2ná provedení využívající daný princip. Společným 2nakem všech dosud 2námýeh řešení je, že drát je v soustavě drážkovaných válců veden tak, že se během ře2ání pohybuje ve všech ře2ech ingotu v daném časovém okamžiku jedním směrem. To 2působuje, že v>’ráběné desky nemají podél ře2u stejnou tloušťku, tj. že ve směru pohybu drátu vyka2ují úkos 2působený postupně se snižujícími účinky a množstvím brusivá ulpělého na drátu během jeho průchodu řezem ingotu. Velikost úkosu se dá částečně korigovat pomocí obousměrného pohybu drátu, kdy je pohybující drát po určitou dobu řezání pomocí reverzního přepínání pohybu veden ve všech řezech ingotu opačným směrem. Nevýhodou tohoto způsobu je však skutečnost, že se značně zpomaluje proces řezání, činnost zařízení není plynulá, je charakteristická velkými energetickými ztrátami při zastavování a spouštění pohybu drátu, přičemž se zvětšuje pravděpodobnost vzniku poruch cyklicky přepínaných a namáhaných uzlů zařízení.
Je rovněž známo řešeni dle patentu CZ 283541, kde je řešeno řezání ingotů, kdy je nekonečný pevný nosič běžící v obvodových drážkách válců válcové sestavy protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů řezaného materiálu protisměrně. Válcová sestava tohoto zařízení je pak tvořena minimálně dvojicí směrovacích válců a dvojicí naváděcích válců, kde naváděcí válce jsou směrem ke směrovacím válcům uloženy s opačným smyslem otáčení vzájemně přilehlého naváděcího válce a směrovacího válce, přičemž vzájemně opačný smysl otáčení je rovněž mezi oběma směrovacími válci i oběma naváděcími válci. Nevýhodou tohoto způsobu je, že prvotní navíjení drátu vyžaduje použití specielního navíjecího zařízení pro zavedení drátu a prakticky není možná oprava drátové osnovy při poruše během řezání. Uspořádání dvojic válců způsobuje, že zůstává velká délka volného drátu mezi válci, což může být zdrojem vibrací drátu, které mají za následek snížení kvality povrchu řezaných desek a případně zhoršení jejich geometrických parametrů. Křížení drátů v prostoru řezaného ingotu vede k nerovnoměrnému generování tepla, vzniku teplotních gradientů a deformacím, což je další zdroj nestability technologie a zhoršování geometrie řezaných desek a vzniku napětí v jejich objemu, což se může projevit zvýšeným mechanickým lomem.
Podstata vynálezu
Uvedené nevýhody odstraňuje do značné míry způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky pomocí působení volného brusivá a nekonečného pohybujícího se pevného nosiče, vytvářejícího vedením v obvodových drážkách souběžných naváděcích válců válcové sestavy, tvořené minimálně dvěma dvojicemi naváděcích válců, osnovu, kterou je protlačován řezaný materiál, a jehož podstata spočívá v tom, že nekonečný pevný nosič běžící v obvodových drážkách naváděcích válců válcové sestavy je naváděn a protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů řezaného materiálu protiběžně ve dvou mimoúrovňových rovnoběžných rovinách.
Ve výhodném provedení je nekonečný pevný nosič v osnově válcové sestavy opakovaně veden v obvodových drážkách do řezu ingotu přes horní stranu jedné z dvojic naváděcích válců a po jejich obepnutí je vedený zespodu na horní stranu naváděcích válců druhé dvojice, odkud je veden v opačném směru do druhého řezu ingotu, a to v rovině rovnoběžné s prvním řezem, a dále pak po obepnutí příslušného naváděcího válce zpět na horní stranu přilehlého naváděcího válce první dvoj i ce.
Podstatou konstrukce pily k řezání ingotů daným způsobem, sestávající z válcové sestavy po obvodu drážkovaných válců, na nichž je navinut nekonečný pevný nosič vytvářející osnovu, je, že ve válcové sestavě, tvořené minimálně dvěma dvojicemi osově paralelně uložených naváděcích válců, jejichž horní povrchové přímky jsou uloženy ve dvou rovnoběžných rovinách, jsou naváděcí válce v příslušné dvojici buď uloženy se shodným smyslem otáčení, přičemž naváděcí válce jedné dvojice jsou uloženy vzhledem k naváděcím válcům druhé dvojice s opačným smyslem otáčení, a nebo jsou naváděcí válce v příslušné dvojici uloženy s opačným smyslem otáčení, přičemž naváděcí válce jedné dvojice jsou uloženy vzhledem k přilehlým naváděcím válcům druhé dvojice s opačným smyslem otáčen í.
Další podstatou řešení je, že pevný nosič je na naváděcích válcích válcové sestavy několikanásobně navinut v osnově, ve které je do pracovního prostoru mezi oběma dvojicemi naváděcích válců veden v každých dvou sousedních řezech děleného ingotu protiběžně ve dvou mimoúrovňových rovnoběžných rov i nách.
Při různých alternativách konstrukce jsou buď naváděcí válce obou dvoj ic stejného průměru, a nebo jsou naváděcí válce obou dvojic jsou různého průměru, popřípadě je mezi dvojicemi naváděcích válců v osnově zařazena alespoň jedna dvojice vložených válců.
Způsobem řezání podle vynálezu se dosahuje vyššího účinku v tom, že při zachování požadované rychlosti a plynulosti řezacího procesu, tj. bez energeticky náročného reverzního přepínání směru pohybu pevného nosiče, je dosahována rovinná souběžnost stěn řezaných desek bez dosavadních úkosů. Přitom řezáním ve dvou rovnoběžných a oddělených rovinách se zlepšují dynamické podmínky vlastního řezu, kdy se odstraňují nebezpečné vibrace řezaného materiálu a zlepšuje odvod tepla z místa řezu. Změnou uspořádání válcové sestavy a principu navíjení drátové osnovy se dosahuje zkráceni volného drátu na minimum, které má za následek stabilizaci jeho pohybu a omezení možnosti vzniku jeho vibrací, což se projevuje zvýšenou stabilitou technologie a zlepšením geometrických parametrů řezaných desek. Uspořádání drátových osnov ve dvou rovnoběžných rovinách vytváří homogenní prostředí pro šíření tepla, zamezuje vzniku teplotních gradientů a následně vzniku mechanického napětí v řezaných deskách. Uspořádání drátových osnov je rovněž výhodnější pro stabilní dodávku brusného roztoku do prostoru řezu, když nedochází k protisměrnému strhávání brusivá druhou osnovou.
Popis obrázků na výkresech
Způsob řezání a konstrukce drátové pily objasňující vynález jsou schematicky znázorněny na připojených výkresech, kde obr.1 představuje uspořádání základní čtyřválcové sestavy se stejným průměrem naváděcích válců se souběžnými osami uloženými ve dvou rovnoběžných rovinách, na obr.2 je znázorněna alternativní šestiválcová sestava drátové pily s dvojicí vložených válců stejného průměru a na obr. 3 řešení pily se dvěma zrcadlově uloženými čtyřválcovými sestavami naváděcích válců a vložených válců stejného průměru. Obr.4 až obr.6 jsou pak alternativní provedení řešení z obr.l až obr.3 s použitím válců různých průměrů. Na obr.7 a obr. S jsou znázorněna další řešení šestiválcové sestavy drátové pily s dvojicí vložených válců stejného či různého průměru vzhledem k naváděcím válcům. Obr.9 je vyobrazením čtyřválcové sestavy drátové pily s uložením naváděcích válců v příslušné dvojici s opačným smyslem otáčení při uložení naváděcích válců jedné dvojice vzhledem k přilehlým naváděcím válcům druhé dvojice s opačným smyslem otáčením a obr.10 je alternativní provedení řešení z obr.9 s různými průměry válců. Obr.11 pak představuje axonometrické zobrazení základní čtyřválcové sestavy z obr.l.
Příklady provedeni vynálezu
Pila k řezání ingotů 1_ z tvrdých materiálů na desky sestává ze čtyř základních konstrukčních a technologických uzlů, a to válcové sestavy a z neznázorněného stolu s příslušenstvím, drátového hospodářství a ze zařízení pro transport a teplotní stabilizaci brusivá. Válcová sestava je jádro pily a je tvořena podle obr.l minimálně dvěma dvojicemi osově paralelně uložených naváděcích válců 2 s opačným smyslem otáčení, jejichž horní povrchové přímky jsou uloženy ve dvou rovnoběžných rovinách. Přitom povrch naváděcích válců 2 je dokonale broušen a je opatřen soustavou neznázorněných obvodových drážek pro vedení nekonečného pohybujícího se pevného nosiče 3, s výhodou drátu, vytvářejícího osnovu pro protlačování ingotu í_ při řezání. Minimálně jeden z naváděcích válců 2 válcové sestavy je hnací a je spřažen s neznázorněným pohonným motorem s plynulou regulací otáček, umožňující nastavení rychlosti pohybu nekonečného nosiče 3 v rozmezí hodnot 0 až 25 rn.sec-1 v obou směrech.
Ve válcové sestavě je v obvodových drážkách dvojic naváděcích válců 2 pevný nosič 3 navinut tak, že je opakovaně veden do řezu ingotu i přes horní stranu jedné s dvojic naváděcích válců 2 a po jejich obepnutí je veden z jejich spodní strany na horní stranu naváděcích válců 2 druhé dvojice, odkud je veden v opačném směru do druhého řezu ingotu a to v rovině rovnoběžné s prvním řezem, a dále pak po obepnutí příslušného naváděcího válce 2 zpět na horní stranu přilehlého naváděcího válce 2 první dvojice. Několikanásobným navinutím pevného nosiče 3 v obvodových drážkách naváděcích válců 2 popsaným způsobem se vytvoří osnova, v níž je pevný nosič 3 veden mezi naváděcími válci 2 do každých dvou sousedních řezů děleného ingotu i protiběžně ve dvou mimoúrovňových rovnoběžných rovinách.
Před zahájením pracovního procesu drátové pily je do válcové sestavy naváděcích válců 2 navinut pevný nosič 3 tak, že vytvoří osnovu. Dále se seřídí a nastaví parametry jednotlivých funkčních uzlů stroje a ingot t_ se upne ke stolu a ustaví se jeho poloha vzhledem k rovině řezu. Po spuštění pohybu pevného nosiče 3 jedním zvoleným směrem se osnovou vytvořenou válcovou soustavou naváděcích válců 2 svolenou rychlostí posuvu plynule protlačuje ingot £, když v místech vstupu pevného nosiče 3 je do řezů dodáváno abrazivo. Po rozřezání ingotu i_ na jednotlivé desky je drátová pila nastavena do výchozí polohy a celý proces je možno opakovat, přičemž je možno volit směr pohybu pevného nosiče 3 a další parametry řezání, jako je např. rychlost posuvu stolu do řezu, rychlost pohybu a napětí pevného nosiče 3, množství, teplotu a viskositu abraziva apod.
Popsané provedení konstrukce pily není jediným možným řešením podle vynálezu ale při zachování základního uspořádání dvojic naváděcích válců 2 válcové sestavy, způsobu navinutí a pohybu pevného nosiče 3 mezi nimi a v jednotlivých řezech pevného ingotu 1_, je možno bez vlivu na podstatu řešení libovolně měnit uspořádání a konstrukci drátového hospodářství, stolu a jeho příslušenství a prvků zařízení pro transport a chlazení brusivá. Jak je patrno z obr.2, je možno mezi dvojice naváděcích válců 2 vestavit vložené válce 4, aniž by bylo nutno měnit způsob a směr navinutí pevného nosiče 3 v drážkách naváděcích válců 2. Na obr. 3 je alternativní řešení pily se dvěma zrcadlově uloženými čtyřválcovými sestavami tvořenými dvojicí naváděcích válců 2 a dvojicí vložených válců 4 stejného průměru. Na obr.4 až obr.6 jsou pak znázorněny některé z možných alternativ provedení řešení z obr.l až obr.3 s použitím naváděcích válců 2 a vložených válců 4 různých průměrů při zachování navádění pevného nosiče 3 do každých dvou sousedních řezů děleného ingotu 1_ protiběžně ve dvou mimoúrovňových rovnoběžných rovinách. Konečně pak vyobrazení na obr.9 a obr.10 představuje provedení vyobrazením čtyřválcové sestavy drátové pily s uložením naváděcích válců 2 v příslušné dvojici s opačným smyslem otáčení při uložení naváděcích válců 2 jedné dvojíce vzhledem k přilehlým naváděcím válcům 2 druhé dvojice s opačným smyslem otáčen í m
Průmyslová využitelnost nými protilehlými rovinnými plochami.
Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k jeho realizaci mohou být využity v různých odvětvích průmyslu, kde je nutno dělit tvrdý materiál, jako např. polovodiče, keramiku nebo sklo, na přesné segmenty se souběž-

Claims (3)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky pomocí působení volného brusivá a nekonečného pohybujícího se pevného nosiče, vytvářejícího vedením v obvodových drážkách souběžných naváděcích válců válcové sestavy, tvořené minimálně dvěma dvojicemi naváděcích válců, osnovu, kterou je protlačován řezaný materiál, vyznačuj ící se tím, že nekonečný pevný nosič běžící v obvodových drážkách naváděcích válců válcové sestavy je naváděn a protlačován do každých dvou sousedních řezů ingotů řezaného materiálu protiběžně ve dvou mimoúrovňových rovnoběžných rovinách.
  2. 2. Způsob řezání ingotů podle nároku 1, vyznačuj í c í se tím, že nekonečný pevný nosič je v osnově válcové sestavy opakovaně veden v obvodových drážkách do řezu ingotu přes horní stranu jedné z dvojic naváděcích válců a po jejich obepnutí je veden zespodu na horní stranu naváděcích válců druhé dvojice, odkud je veden v opačném směru do druhého řezu ingotu, a to v rovině rovnoběžné s prvním řezem, a dále pak po obepnutí příslušného naváděcího válce zpět na horní stranu přilehlého naváděcího válce první dvojice.
  3. 3. Pila k řezání ingotů způsobem uvedeným v nároku 1 a 2, sestávající z válcové sestavy po obvodu drážkovaných válců, na nichž je navinut nekonečný pevný nosič vytvářející osnovu, vyznačující se tím, že ve válcové sestavě, tvořené minimálně dvěma dvojicemi osově paralelně uložených naváděcích válců (2), jejichž horní povrchové přímky jsou uloženy ve dvou rovnoběžných rovinách, jsou naváděcí válce (2) v příslušné dvojici uloženy se shodným smyslem otáčení, přičemž naváděcí válce (2) jedné dvojice jsou uloženy vzhledem k naváděcím válcům (2) druhé dvojice s opačným smyslem otáčení.
    7~y£j^
    Kl/
CZ19984150A 1998-12-16 1998-12-16 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu CZ415098A3 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ19984150A CZ415098A3 (cs) 1998-12-16 1998-12-16 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ19984150A CZ415098A3 (cs) 1998-12-16 1998-12-16 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ286165B6 CZ286165B6 (cs) 2000-01-12
CZ415098A3 true CZ415098A3 (cs) 2000-01-12

Family

ID=5467743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ19984150A CZ415098A3 (cs) 1998-12-16 1998-12-16 Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ415098A3 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CZ286165B6 (cs) 2000-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2138372C1 (ru) Способ разрезания блоков из твердых материалов на пластины проволочной пилой и проволочная пила для осуществления способа
JP4829234B2 (ja) 摩擦性を有するワイヤによるソーイング
JP5508395B2 (ja) ワイヤーソー装置およびそれを操作するための方法
EP1131179B1 (en) Wire saw for cutting up stone blocks into slabs with tension adjustment of individual saw wires
CN109648722A (zh) 一种金刚线切割工艺
ES2269905T3 (es) Dispositivo de aserrado por hilo.
JP4410931B2 (ja) ワイヤのこ引き装置
EP1024314B1 (en) Device for tensioning flexible elements wound onto pulleys
WO1993014914A1 (en) Machine for the multiple cutting of blocks of stone materials
CN209424667U (zh) 一种金刚线切割装置
JP5649692B2 (ja) 円筒形の被加工物から多数のウェハを同時にスライスするための方法
JP5259248B2 (ja) ワイヤソー
CZ415098A3 (cs) Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
CN101249697B (zh) 新型防崩边防缺角硅晶棒切片机用夹具
JPH11198018A (ja) 固定砥粒付エンドレスワイヤソー
WO2013041140A1 (en) Method and apparatus for cutting semiconductor workpieces
KR100207810B1 (ko) 와이어 톱의 웨이퍼 절단방법 및 그 장치
JP2002307283A (ja) ワイヤーソー
CN103395130B (zh) 一种完全平面式布线的金刚石线切割机
JPH04122566A (ja) バーまたはブロック状加工材からのウェファー切断用ワイヤーソー
JP5988365B2 (ja) ウエーハ表面のうねり減少方法およびその装置
JPH10128737A (ja) ワイヤソーの被加工物切断方法
JPH01193165A (ja) ワイヤソーマシン
CN201179695Y (zh) 防崩边防缺角硅晶棒切片机用夹具
JP3256155B2 (ja) ワイヤソー

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20031216