JP5259248B2 - ワイヤソー - Google Patents
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Description
また、各ワーク切断部は、前記一対のガイドローラ同士の間にのみ前記ワイヤが巻き掛けられた構成であるため、ガイドローラとワイヤとの接触長さを確保してガイドローラによるワイヤの保持力を高めることができる。これは、ガイドローラとして同径のガイドローラを適用する場合、ガイドローラとワイヤとの接触長さは、その数が少ない方が長くなるからである。
また、ワークの切断領域が一列に集約され、この切断領域に沿った配置でワークが保持されるため、ワイヤソーの全体構成をコンパクト化することが可能となる。
1B 第2ワーク切断部
10a,10b ガイドローラ
12A,12B ワイヤ繰出し・巻取り装置
40 ワーク送り装置
42A 第1ワーク保持部
42B 第2ワーク保持部
43 ワーク送りモータ
44 ワーク
W ワイヤ
Claims (3)
- 切断用ワイヤにより構成されたワイヤ群に対して半導体インゴット等のワークを切り込み送りすることにより当該ワークを切断するワイヤソーであって、
複数のガイドローラをそれぞれ備える複数のワーク切断部と、前記ワイヤを前記ワーク切断部に繰出すワイヤ繰出し装置と、前記ワイヤを前記ワーク切断部から巻取るワイヤ巻取り装置と、複数のワークを同時に保持するワーク保持部材とを備え、
前記ワイヤ繰出し装置から繰り出された前記ワイヤが順次各ワーク切断部を経由して前記巻き取り装置に巻取られ、かつ各ワーク切断部において前記複数のガイドローラの周囲に巻回されることにより、各ワーク切断部のガイドローラ間にそれぞれ複数本のワイヤが並ぶ前記ワイヤ群が形成され、前記各装置の作動により前記ワイヤ群が軸方向に駆動された状態で、前記ワーク保持部材に保持されている前記複数のワークが各ワーク切断部のワイヤ群に対して切断送りされることにより各ワークが切断されるように構成され、
前記各ワーク切断部は、前記複数のガイドローラとして一対のガイドローラ同士の間にのみ前記ワイヤが巻き掛けられるものであって、当該一対のガイドローラの並び方向が各ワーク切断部の間で互いに平行となるように構成され、かつ当該一対のガイドローラ間がワークの切断領域とされており、当該各ワーク切断部の一対のガイドローラが当該ガイドローラの並び方向と直交する方向に並ぶように設けられることにより、各ワーク切断部の前記切断領域が前記直交する方向に沿って配列され、
前記ワーク保持部材は、前記切断領域の並び方向に沿ってワークが並ぶように前記複数のワークを保持し、当該並び方向に各ワークを同時に移動させることにより、前記複数のガイドローラの周囲に巻回されたワイヤの外側から内側に向かって、各切断領域のワイヤ群に対して前記複数のワークをそれぞれ同時に、かつ同方向に切断送りすることを特徴とするワイヤソー。 - 請求項1に記載のワイヤソーにおいて、
一のワーク切断部から他のワーク切断部に至る過程で前記ワイヤの張力を所定張力に調整する調整手段を備えていることを特徴とするワイヤソー。 - 請求項1又は2に記載のワイヤソーにおいて、
前記ワーク保持部材は、一のワーク切断部の前記切断領域のワイヤ群と当該ワーク切断部に隣接する他のワーク切断部との間に介在してワークを保持するワーク保持部を有し、前記並び方向に沿った移動に伴い、前記ワーク保持部に保持されたワークを前記ワイヤ群に対して切断送りすることを特徴とするワイヤソー。
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