JP2003275950A - ワイヤソーからのワーク引抜き方法 - Google Patents
ワイヤソーからのワーク引抜き方法Info
- Publication number
- JP2003275950A JP2003275950A JP2002080221A JP2002080221A JP2003275950A JP 2003275950 A JP2003275950 A JP 2003275950A JP 2002080221 A JP2002080221 A JP 2002080221A JP 2002080221 A JP2002080221 A JP 2002080221A JP 2003275950 A JP2003275950 A JP 2003275950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- work
- cutting
- cut
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で、ワイヤソーのワイヤ群により
切断したワークをその切断面に著しい悪影響を与えるこ
となく前記ワイヤ群から引抜く。 【解決手段】 ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，…間に切
断用ワイヤＷが巻回されることによりワイヤ群２７が形
成され、このワイヤ群２７に対してワーク２８が切断送
りされるワイヤソーにおいて、そのワイヤ群２７から切
断後のワーク２８を引抜く方法。ワーク２８を切断した
後、その切断時よりもワイヤＷの張力を高くした状態で
ワーク２８の引抜きを行うことにより、残留スラリに起
因するワーク切断面の損傷等を防ぐ。
切断したワークをその切断面に著しい悪影響を与えるこ
となく前記ワイヤ群から引抜く。 【解決手段】 ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，…間に切
断用ワイヤＷが巻回されることによりワイヤ群２７が形
成され、このワイヤ群２７に対してワーク２８が切断送
りされるワイヤソーにおいて、そのワイヤ群２７から切
断後のワーク２８を引抜く方法。ワーク２８を切断した
後、その切断時よりもワイヤＷの張力を高くした状態で
ワーク２８の引抜きを行うことにより、残留スラリに起
因するワーク切断面の損傷等を防ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、切断用ワイヤによ
り構成されたワイヤ群に対して半導体インゴット等のワ
ークを切込み送りすることにより当該ワークを切断する
ワイヤソーにおいて、その切断後に前記ワイヤ群からワ
ークを引抜く技術に関するものである。
り構成されたワイヤ群に対して半導体インゴット等のワ
ークを切込み送りすることにより当該ワークを切断する
ワイヤソーにおいて、その切断後に前記ワイヤ群からワ
ークを引抜く技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体インゴットからウェハを切
り出す手段等として、ワイヤソーが知られている。この
ワイヤソーでは、例えば特開２００１−２３２５５０号
公報に示されるように、複数のガイドローラの周囲に切
断用ワイヤが多数回巻かれることによりワイヤ群が形成
されており、その切断用ワイヤが軸方向に高速駆動さ
れ、かつ、スラリ（加工液）が適宜供給されながら前記
ワイヤ群に対してワークが切込み送りされることによ
り、このワークが各ワイヤ位置で同時に切断されるよう
にしたものである。
り出す手段等として、ワイヤソーが知られている。この
ワイヤソーでは、例えば特開２００１−２３２５５０号
公報に示されるように、複数のガイドローラの周囲に切
断用ワイヤが多数回巻かれることによりワイヤ群が形成
されており、その切断用ワイヤが軸方向に高速駆動さ
れ、かつ、スラリ（加工液）が適宜供給されながら前記
ワイヤ群に対してワークが切込み送りされることによ
り、このワークが各ワイヤ位置で同時に切断されるよう
にしたものである。
【０００３】より詳しくは、前記ワークの周方向の一部
にその軸方向略全域にわたるスライスベースが固着さ
れ、このスライスベースが保持された状態でワーク全体
が切込み送りされ、前記スライスベースと反対の側から
切断用ワイヤにより切込まれる。そして、当該切断用ワ
イヤが前記スライスベースまで切込んだ後、ワーク送り
方向が逆転することにより、前記ワイヤソー群から切断
済ワークが引抜かれることとなる。
にその軸方向略全域にわたるスライスベースが固着さ
れ、このスライスベースが保持された状態でワーク全体
が切込み送りされ、前記スライスベースと反対の側から
切断用ワイヤにより切込まれる。そして、当該切断用ワ
イヤが前記スライスベースまで切込んだ後、ワーク送り
方向が逆転することにより、前記ワイヤソー群から切断
済ワークが引抜かれることとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に、前記切断用ワ
イヤに供給されるスラリは、例えば水に比べて粘度が高
く、切断終了後のワークに残存し易い。従って、この状
態でワークをワイヤ群から引抜くと、当該ワイヤ群から
ワーク切断面がダメージを受けて当該切断面にいわゆる
ソーマークが生じ易く、これによって品質を損ねる結果
を招く。
イヤに供給されるスラリは、例えば水に比べて粘度が高
く、切断終了後のワークに残存し易い。従って、この状
態でワークをワイヤ群から引抜くと、当該ワイヤ群から
ワーク切断面がダメージを受けて当該切断面にいわゆる
ソーマークが生じ易く、これによって品質を損ねる結果
を招く。
【０００５】特に、近年は、従来の油性スラリに代わっ
て取扱いが容易な水溶性スラリの使用が進められている
ため、前記ワーク引抜き時におけるダメージがより顕著
となるおそれがある。すなわち、前記水溶性スラリは油
性スラリに比べて砥粒と液成分とが分離し易いため、切
断終了後のワークから前記液成分が抜けることにより、
高粘度化したスラリがワークに残存し易く、その分ワー
ク切断面へのダメージが大きくなるおそれがある。
て取扱いが容易な水溶性スラリの使用が進められている
ため、前記ワーク引抜き時におけるダメージがより顕著
となるおそれがある。すなわち、前記水溶性スラリは油
性スラリに比べて砥粒と液成分とが分離し易いため、切
断終了後のワークから前記液成分が抜けることにより、
高粘度化したスラリがワークに残存し易く、その分ワー
ク切断面へのダメージが大きくなるおそれがある。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、簡単な
構成で、ワイヤソーのワイヤ群により切断したワークを
その切断面に著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ
群から引抜くことを目的とする。
構成で、ワイヤソーのワイヤ群により切断したワークを
その切断面に著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ
群から引抜くことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決すべく研
究がなされた結果、ワイヤ群からのワークの引抜き時に
当該ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を高くする
ことにより、ワーク切断面への悪影響を抑制する効果が
得られることが判明した。その理由は、次のように推察
される。
究がなされた結果、ワイヤ群からのワークの引抜き時に
当該ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を高くする
ことにより、ワーク切断面への悪影響を抑制する効果が
得られることが判明した。その理由は、次のように推察
される。
【０００８】一般に、ワイヤ群からワークを引抜く際に
は、前述のスラリの粘性やワーク切断面と切断用ワイヤ
との摩擦力により当該切断用ワイヤがワーク引抜き方向
に撓ませられる。そして、その撓み部分の凹み側（例え
ばワイヤが上側に撓む場合にはワイヤの下側）の空間に
スラリが溜まり易く、その撓みが大きいほどスラリの残
留量も大きくなる。従って、ワーク引抜時のワイヤ張力
が高いほど、前記ワイヤの撓みが抑えられ、スラリの残
留量が削減されて、当該スラリによるワーク切断面への
悪影響が抑制するものと考えられる。
は、前述のスラリの粘性やワーク切断面と切断用ワイヤ
との摩擦力により当該切断用ワイヤがワーク引抜き方向
に撓ませられる。そして、その撓み部分の凹み側（例え
ばワイヤが上側に撓む場合にはワイヤの下側）の空間に
スラリが溜まり易く、その撓みが大きいほどスラリの残
留量も大きくなる。従って、ワーク引抜時のワイヤ張力
が高いほど、前記ワイヤの撓みが抑えられ、スラリの残
留量が削減されて、当該スラリによるワーク切断面への
悪影響が抑制するものと考えられる。
【０００９】ただし、常にワイヤ張力を高くしておく
と、ガイドローラその他のワイヤソー構成部品に対する
強度的負担が増え、また、これらの弾性変形により切断
精度が低下する不都合が生じる。
と、ガイドローラその他のワイヤソー構成部品に対する
強度的負担が増え、また、これらの弾性変形により切断
精度が低下する不都合が生じる。
【００１０】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲
に巻回されることによりワイヤ群が形成され、当該切断
用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当該切断用ワイヤ
にスラリが供給されながら前記ワイヤ群に対してワーク
が切込み送りされることにより、このワークが軸方向に
並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーにおい
て、前記ワークの切断後、その切断時よりも前記ワイヤ
群を構成する切断用ワイヤの張力を高めた状態で当該ワ
イヤ群からワークを引抜くものである。
ものであり、切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲
に巻回されることによりワイヤ群が形成され、当該切断
用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当該切断用ワイヤ
にスラリが供給されながら前記ワイヤ群に対してワーク
が切込み送りされることにより、このワークが軸方向に
並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーにおい
て、前記ワークの切断後、その切断時よりも前記ワイヤ
群を構成する切断用ワイヤの張力を高めた状態で当該ワ
イヤ群からワークを引抜くものである。
【００１１】この方法によれば、ワーク切断時には切断
用ワイヤの張力を比較的低く抑えてワイヤソー構成部品
の強度的負担や弾性変形を抑えながら、ワーク引抜き時
には切断用ワイヤの張力を高めることによってワーク切
断面への悪影響を抑えることができる。
用ワイヤの張力を比較的低く抑えてワイヤソー構成部品
の強度的負担や弾性変形を抑えながら、ワーク引抜き時
には切断用ワイヤの張力を高めることによってワーク切
断面への悪影響を抑えることができる。
【００１２】なお、前記ワイヤ張力の具体的な値は、ワ
イヤの引張強度やワイヤソー構成要素の強度、剛性等に
応じて適宜設定すればよい。一般には、ワイヤソーで適
用されるワイヤ張力範囲は２５Ｎ〜２８Ｎであり、その
場合には、引抜き時のワイヤ張力を３０Ｎ〜４０Ｎ程度
に設定することにより、ワイヤの切断やワイヤソー構成
要素の強度的負担等を抑えながら引抜き時におけるワイ
ヤ切断面保護の効果を享受することができる。
イヤの引張強度やワイヤソー構成要素の強度、剛性等に
応じて適宜設定すればよい。一般には、ワイヤソーで適
用されるワイヤ張力範囲は２５Ｎ〜２８Ｎであり、その
場合には、引抜き時のワイヤ張力を３０Ｎ〜４０Ｎ程度
に設定することにより、ワイヤの切断やワイヤソー構成
要素の強度的負担等を抑えながら引抜き時におけるワイ
ヤ切断面保護の効果を享受することができる。
【００１３】また本発明は、切断用ワイヤが複数のガイ
ドローラの周囲に巻回されることによりワイヤ群が形成
されるとともに、当該切断用ワイヤを軸方向に駆動する
ワイヤ駆動手段と、前記切断用ワイヤが軸方向に駆動さ
れ、かつ、当該切断用ワイヤにスラリが供給される状態
で前記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることに
より当該ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断
する切込み送り手段とを備えたワイヤソーにおいて、前
記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることにより
当該ワークを切断した後、逆方向にワークを移動させる
ことにより当該ワークを前記ワイヤ群から引抜くように
前記切込み送り手段を作動させる切込み送り制御手段
と、前記ワークの引抜き時に当該ワークの切断時よりも
前記ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を上昇させ
る張力制御手段とを備えたものである。
ドローラの周囲に巻回されることによりワイヤ群が形成
されるとともに、当該切断用ワイヤを軸方向に駆動する
ワイヤ駆動手段と、前記切断用ワイヤが軸方向に駆動さ
れ、かつ、当該切断用ワイヤにスラリが供給される状態
で前記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることに
より当該ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断
する切込み送り手段とを備えたワイヤソーにおいて、前
記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることにより
当該ワークを切断した後、逆方向にワークを移動させる
ことにより当該ワークを前記ワイヤ群から引抜くように
前記切込み送り手段を作動させる切込み送り制御手段
と、前記ワークの引抜き時に当該ワークの切断時よりも
前記ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を上昇させ
る張力制御手段とを備えたものである。
【００１４】このワイヤソーにおいて、前記ワイヤ駆動
手段は、例えば、前記切断用ワイヤを前記ガイドローラ
に向けて繰り出すワイヤ繰出し手段と、前記ガイドロー
ラから前記切断用ワイヤを巻き取るワイヤ巻取り手段と
を含み、前記張力制御手段は、前記ワークの引抜き時に
前記ワークの切断時よりも前記ワイヤ張力が高くなるよ
うに前記ワイヤ巻取り手段の巻取り駆動力及び前記ワイ
ヤ繰出し手段による繰出し駆動力を調節するものが、好
適である。
手段は、例えば、前記切断用ワイヤを前記ガイドローラ
に向けて繰り出すワイヤ繰出し手段と、前記ガイドロー
ラから前記切断用ワイヤを巻き取るワイヤ巻取り手段と
を含み、前記張力制御手段は、前記ワークの引抜き時に
前記ワークの切断時よりも前記ワイヤ張力が高くなるよ
うに前記ワイヤ巻取り手段の巻取り駆動力及び前記ワイ
ヤ繰出し手段による繰出し駆動力を調節するものが、好
適である。
【００１５】この構成によれば、前記繰出し駆動力及び
巻取り駆動力を調節するだけの簡単な構成でワーク引抜
き時にのみワイヤ張力を高めることができる。
巻取り駆動力を調節するだけの簡単な構成でワーク引抜
き時にのみワイヤ張力を高めることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態にか
かるワイヤソーの全体構成を示したものである。
かるワイヤソーの全体構成を示したものである。
【００１７】図示のワイヤソーは、一対のワイヤ繰出し
・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１２Ａ，１
２Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力付与装置１８Ａ，１８Ｂ、ガイ
ドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイ
ドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ
２６Ａが駆動モータ２５によって回転駆動されるように
なっている。
・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１２Ａ，１
２Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力付与装置１８Ａ，１８Ｂ、ガイ
ドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイ
ドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ
２６Ａが駆動モータ２５によって回転駆動されるように
なっている。
【００１８】各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。
【００１９】一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａの
ボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、ガイドプーリ
１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力付与装置１８Ａの
プーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛けら
れ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６
Ａの外周面に形成されたガイド溝に嵌め込まれながらこ
れらガイドローラの外側に多数回巻回された後、ガイド
プーリ２２Ｂ、ワイヤ張力付与装置１８Ｂのプーリ２０
Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けら
れ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９
Ｂに巻き取られている。そして、駆動モータ２５による
ガイドローラ２６Ａの回転駆動方向と、各ボビン駆動モ
ータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動
方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビ
ン９Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態
と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａ
に巻き取られる状態とに切換えられるようになってい
る。
ボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、ガイドプーリ
１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力付与装置１８Ａの
プーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛けら
れ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６
Ａの外周面に形成されたガイド溝に嵌め込まれながらこ
れらガイドローラの外側に多数回巻回された後、ガイド
プーリ２２Ｂ、ワイヤ張力付与装置１８Ｂのプーリ２０
Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けら
れ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９
Ｂに巻き取られている。そして、駆動モータ２５による
ガイドローラ２６Ａの回転駆動方向と、各ボビン駆動モ
ータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動
方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビ
ン９Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態
と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａ
に巻き取られる状態とに切換えられるようになってい
る。
【００２０】すなわち、このワイヤソーにおいては、ガ
イドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互
いに平行な状態で張られることによりワイヤ群２７が形
成され、かつ、そのワイヤＷが軸方向に往復駆動される
ようになっている。
イドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互
いに平行な状態で張られることによりワイヤ群２７が形
成され、かつ、そのワイヤＷが軸方向に往復駆動される
ようになっている。
【００２１】前記ワイヤ張力付与装置１８Ａ，１８Ｂで
は、揺動アーム１９Ａ，１９Ｂの先端に前記プーリ２０
Ａ，２０Ｂがそれぞれ取付けられ、かつ、図略のばねに
よって各プーリ２０Ａ，２０Ｂが下向き（すなわち切断
用ワイヤＷに張力を与える向き）に付勢されている。従
って、プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置が高いほどワイヤＷ
に高い張力が加えられていることになる。
は、揺動アーム１９Ａ，１９Ｂの先端に前記プーリ２０
Ａ，２０Ｂがそれぞれ取付けられ、かつ、図略のばねに
よって各プーリ２０Ａ，２０Ｂが下向き（すなわち切断
用ワイヤＷに張力を与える向き）に付勢されている。従
って、プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置が高いほどワイヤＷ
に高い張力が加えられていることになる。
【００２２】前記ワイヤ群２７の上方には、円柱状のワ
ーク（例えば半導体インゴット）２８を切込み方向及び
その逆方向に移動させる（図例では昇降させる）切込み
送り装置３０が設けられている。この切込み送り装置３
０は、ワーク保持部３２と、ワーク送りモータ３４とを
備えている。
ーク（例えば半導体インゴット）２８を切込み方向及び
その逆方向に移動させる（図例では昇降させる）切込み
送り装置３０が設けられている。この切込み送り装置３
０は、ワーク保持部３２と、ワーク送りモータ３４とを
備えている。
【００２３】前記ワーク２８の上面には、その軸方向全
域にわたって図略のスライスベースが貼着され、そのス
ライスベース側が前記ワーク保持部３２に保持される。
このワーク保持部３２は、前記ワーク２８をその軸方向
とワイヤ群２７の幅方向（ワイヤ並び方向）とが合致す
る向きで保持する。ワーク送りモータ３４は、図略のボ
ールネジとの組み合わせにより、前記ワーク保持部３２
とワーク２８とを一体に昇降させ、当該ワーク２８を前
記ワイヤ群２７に対して切込み送りする。
域にわたって図略のスライスベースが貼着され、そのス
ライスベース側が前記ワーク保持部３２に保持される。
このワーク保持部３２は、前記ワーク２８をその軸方向
とワイヤ群２７の幅方向（ワイヤ並び方向）とが合致す
る向きで保持する。ワーク送りモータ３４は、図略のボ
ールネジとの組み合わせにより、前記ワーク保持部３２
とワーク２８とを一体に昇降させ、当該ワーク２８を前
記ワイヤ群２７に対して切込み送りする。
【００２４】なお、本発明においてガイドローラの本数
は４本に限られるものではなく、２本以上のガイドロー
ラの周囲に切断用ワイヤＷが巻回され、かつ、そのうち
の２つのガイドローラの間に形成されたワイヤ群に対し
てワークが切込み送りされるものについて広く本発明の
適用が可能である。
は４本に限られるものではなく、２本以上のガイドロー
ラの周囲に切断用ワイヤＷが巻回され、かつ、そのうち
の２つのガイドローラの間に形成されたワイヤ群に対し
てワークが切込み送りされるものについて広く本発明の
適用が可能である。
【００２５】前記ワーク２８の切断位置から左右両側に
離れた位置（ワイヤ軸方向に離れた位置）には、加工用
砥粒を含む加工液（スラリ）を供給するためのスラリ供
給部材３６Ａ，３６Ｂが設けられている。これらのスラ
リ供給部材３６Ａ，３６Ｂは、ホッパー状をなし、前記
ワイヤ群２７に対してその幅方向全域にわたり上方から
スラリを流下させ、前記ワイヤ群２７を構成する各ワイ
ヤＷの表面に付着させるものである。このようなスラリ
供給を伴いながら、ワイヤ群２７に対してワーク２８が
下向きに切込み送りされることにより、このワーク２８
がその軸方向に並ぶ多数の個所で同時切断され、これに
より多数枚のウェハが同時に切り出される。
離れた位置（ワイヤ軸方向に離れた位置）には、加工用
砥粒を含む加工液（スラリ）を供給するためのスラリ供
給部材３６Ａ，３６Ｂが設けられている。これらのスラ
リ供給部材３６Ａ，３６Ｂは、ホッパー状をなし、前記
ワイヤ群２７に対してその幅方向全域にわたり上方から
スラリを流下させ、前記ワイヤ群２７を構成する各ワイ
ヤＷの表面に付着させるものである。このようなスラリ
供給を伴いながら、ワイヤ群２７に対してワーク２８が
下向きに切込み送りされることにより、このワーク２８
がその軸方向に並ぶ多数の個所で同時切断され、これに
より多数枚のウェハが同時に切り出される。
【００２６】なお、本発明において使用するスラリの種
類は特に問わないが、水溶性スラリは油性スラリに比べ
て取扱いが容易であり、しかも、前述のように砥粒と液
成分とが分離して液成分が抜けることにより高粘度化し
てワーク切断面に付着し易い傾向があるため、本発明に
はより有効である。この水溶性スラリとしては、例え
ば、グリコール及び水を主成分として界面活性剤、消泡
剤、粘度調整剤等が微量添加されたものが好適である。
類は特に問わないが、水溶性スラリは油性スラリに比べ
て取扱いが容易であり、しかも、前述のように砥粒と液
成分とが分離して液成分が抜けることにより高粘度化し
てワーク切断面に付着し易い傾向があるため、本発明に
はより有効である。この水溶性スラリとしては、例え
ば、グリコール及び水を主成分として界面活性剤、消泡
剤、粘度調整剤等が微量添加されたものが好適である。
【００２７】前記ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１
０Ｂのボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂ及び切込み送り
装置３０のワーク送りモータ３４には、制御装置４０が
接続されている。この制御装置４０は、前記ボビン駆動
モータ１１Ａ，１１Ｂの駆動トルク及び駆動速度を制御
するワイヤ駆動制御手段としての機能と、前記ワーク送
りモータ３４を作動させてワイヤ群２７に対するワーク
２８の切込み送り及びワイヤ群２７からのワーク２８の
引抜き動作を制御する切込み制御手段としての機能を併
有するとともに、後述のようにボビン駆動モータ１１
Ａ，１１Ｂの駆動トルク及び駆動速度を調節してワイヤ
張力を変化させる張力制御手段としての機能も有してい
る。
０Ｂのボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂ及び切込み送り
装置３０のワーク送りモータ３４には、制御装置４０が
接続されている。この制御装置４０は、前記ボビン駆動
モータ１１Ａ，１１Ｂの駆動トルク及び駆動速度を制御
するワイヤ駆動制御手段としての機能と、前記ワーク送
りモータ３４を作動させてワイヤ群２７に対するワーク
２８の切込み送り及びワイヤ群２７からのワーク２８の
引抜き動作を制御する切込み制御手段としての機能を併
有するとともに、後述のようにボビン駆動モータ１１
Ａ，１１Ｂの駆動トルク及び駆動速度を調節してワイヤ
張力を変化させる張力制御手段としての機能も有してい
る。
【００２８】次に、この制御装置４０の行う具体的な制
御動作について説明する。
御動作について説明する。
【００２９】制御装置４０は、ボビン駆動モータ１１
Ａ，１１Ｂ及びメインモータ２５を作動させて切断用ワ
イヤＷの駆動を行わせる。ここで、ワイヤＷがボビン９
Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる向きに各
モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出し・巻取り装
置１０Ａがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出し・巻取り装
置１０Ｂがワイヤ巻取り手段として機能し、逆にワイヤ
Ｗがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻き取ら
れる向きに各モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出
し・巻取り装置１０Ｂがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出
し・巻取り装置１０Ａがワイヤ巻取り手段として機能す
る。
Ａ，１１Ｂ及びメインモータ２５を作動させて切断用ワ
イヤＷの駆動を行わせる。ここで、ワイヤＷがボビン９
Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる向きに各
モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出し・巻取り装
置１０Ａがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出し・巻取り装
置１０Ｂがワイヤ巻取り手段として機能し、逆にワイヤ
Ｗがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻き取ら
れる向きに各モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出
し・巻取り装置１０Ｂがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出
し・巻取り装置１０Ａがワイヤ巻取り手段として機能す
る。
【００３０】なお、本発明は切断用ワイヤＷが一方向に
のみ駆動される場合にも適用可能であることはいうまで
もない。
のみ駆動される場合にも適用可能であることはいうまで
もない。
【００３１】前記のようなワイヤＷの軸方向の駆動と、
スラリ供給装置３６Ａ，３６ＢによるワイヤＷへのスラ
リ供給とが行われた状態で、制御装置４０は切込み送り
モータ３４を作動させ、ワーク保持部３２及びワーク２
８を一体に下降させて当該ワーク２８をワイヤ群２７に
対して切込み送りさせる。このとき、制御装置４０は、
ワイヤ群２７における切断用ワイヤＷの張力が第１の目
標圧力となるように、具体的にはワイヤ張力付与装置１
８Ａにおけるプーリ２０Ａが目標高さ位置に位置するよ
うに、ボビン９Ｂの回転駆動力すなわちワイヤ巻取り駆
動力と、ボビン９Ａの回転駆動力すなわちワイヤ繰出し
駆動力の調節を行う。
スラリ供給装置３６Ａ，３６ＢによるワイヤＷへのスラ
リ供給とが行われた状態で、制御装置４０は切込み送り
モータ３４を作動させ、ワーク保持部３２及びワーク２
８を一体に下降させて当該ワーク２８をワイヤ群２７に
対して切込み送りさせる。このとき、制御装置４０は、
ワイヤ群２７における切断用ワイヤＷの張力が第１の目
標圧力となるように、具体的にはワイヤ張力付与装置１
８Ａにおけるプーリ２０Ａが目標高さ位置に位置するよ
うに、ボビン９Ｂの回転駆動力すなわちワイヤ巻取り駆
動力と、ボビン９Ａの回転駆動力すなわちワイヤ繰出し
駆動力の調節を行う。
【００３２】このようにしてワークＷの切断が進めら
れ、ワイヤ群２７がワーク２８の上面のスライスベース
にまで至った時点で制御装置４０は切込み送りを停止さ
せ、さらに切込み送りモータ３４を逆転させてワーク２
８をワイヤ群２７から上方に引抜く。その際、ボビン９
Ｂの回転駆動力（すなわち巻取り駆動力）を高くし、か
つ、ボビン９Ａの回転駆動力（すなわち繰出し駆動力）
を低くして（あるいはボビン９Ａの回転駆動力を低くす
るのみで）、ボビン９Ｂ，９Ａの駆動力差を拡大し、そ
の拡大によりワイヤ張力を切断時よりも高くする。これ
により、ワーク引抜き時におけるワイヤ群２７でのワイ
ヤＷの撓み（図例では上方への撓み）が抑制され、ひい
てはワーク切断面におけるスラリの残留量が削減され
て、当該残留スラリによるワーク切断面への悪影響（例
えばソーマークの発生）が有効に抑止される。
れ、ワイヤ群２７がワーク２８の上面のスライスベース
にまで至った時点で制御装置４０は切込み送りを停止さ
せ、さらに切込み送りモータ３４を逆転させてワーク２
８をワイヤ群２７から上方に引抜く。その際、ボビン９
Ｂの回転駆動力（すなわち巻取り駆動力）を高くし、か
つ、ボビン９Ａの回転駆動力（すなわち繰出し駆動力）
を低くして（あるいはボビン９Ａの回転駆動力を低くす
るのみで）、ボビン９Ｂ，９Ａの駆動力差を拡大し、そ
の拡大によりワイヤ張力を切断時よりも高くする。これ
により、ワーク引抜き時におけるワイヤ群２７でのワイ
ヤＷの撓み（図例では上方への撓み）が抑制され、ひい
てはワーク切断面におけるスラリの残留量が削減され
て、当該残留スラリによるワーク切断面への悪影響（例
えばソーマークの発生）が有効に抑止される。
【００３３】なお、本発明において張力を調節する手段
は前記のものに限られない。例えば、図１に示すワイヤ
張力付与装置１８Ａ，１８Ｂの揺動アーム１９Ａ，１９
Ｂを積極的に駆動してワイヤ張力を増減させるようにし
てもよい。
は前記のものに限られない。例えば、図１に示すワイヤ
張力付与装置１８Ａ，１８Ｂの揺動アーム１９Ａ，１９
Ｂを積極的に駆動してワイヤ張力を増減させるようにし
てもよい。
【００３４】
【実施例】１）ワイヤ駆動条件についての好適な例を次
表に示す。
表に示す。
【００３５】
【表１】
【００３６】２）引抜き時のワイヤ張力及びワイヤ駆動
速度を適宜変化させて引抜き後のワーク切断面の状態を
調べた。その結果を次の表２に示す。
速度を適宜変化させて引抜き後のワーク切断面の状態を
調べた。その結果を次の表２に示す。
【００３７】
【表２】
【００３８】この表から明らかなように、引抜き時のワ
イヤ張力を高めることによってワーク切断面はより良好
に維持されることとなる。
イヤ張力を高めることによってワーク切断面はより良好
に維持されることとなる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように本発明は、ワイヤ群からの
ワークの引抜き時にワーク切断時よりもワイヤ張力を高
くするようにしたものであるので、簡単な構成で、ワイ
ヤソーのワイヤ群により切断したワークをその切断面に
著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ群から引抜く
ことができる効果がある。
ワークの引抜き時にワーク切断時よりもワイヤ張力を高
くするようにしたものであるので、簡単な構成で、ワイ
ヤソーのワイヤ群により切断したワークをその切断面に
著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ群から引抜く
ことができる効果がある。
【図１】本発明の実施の形態にかかるワイヤソーの全体
構成図である。
構成図である。
１０Ａ，１０Ｂ ワイヤ繰出し・巻取り装置
１８ ワイヤ張力付与装置
２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ ガイドローラ
２７ ワイヤ群
２８ ワーク
３０ 切込み送り装置
３６ スラリ供給装置
４０ 制御装置（切込み送り制御手段・張力制御手段）
Ｗ 切断用ワイヤ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 高田 昌明
広島県広島市南区宇品東５丁目３番38号
トーヨーエイテック株式会社内
Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA16 BC02 CB02 DA03
DA17
3C069 AA01 BA06 CA04 EA01
Claims (3)
- 【請求項１】 切断用ワイヤが複数のガイドローラの周
囲に巻回されることによりワイヤ群が形成され、当該切
断用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当該切断用ワイ
ヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ群に対してワー
クが切込み送りされることにより、このワークが軸方向
に並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーにおい
て、前記ワークの切断後、その切断時よりも前記ワイヤ
群を構成する切断用ワイヤの張力を高めた状態で当該ワ
イヤ群からワークを引抜くことを特徴とするワイヤソー
からのワーク引抜き方法。 - 【請求項２】 切断用ワイヤが複数のガイドローラの周
囲に巻回されることによりワイヤ群が形成されるととも
に、当該切断用ワイヤを軸方向に駆動するワイヤ駆動手
段と、前記切断用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当
該切断用ワイヤにスラリが供給される状態で前記ワイヤ
群に対してワークを切込み送りすることにより当該ワー
クを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断する切込み送
り手段とを備えたワイヤソーにおいて、前記ワイヤ群に
対してワークを切込み送りすることにより当該ワークを
切断した後、逆方向にワークを移動させることにより当
該ワークを前記ワイヤ群から引抜くように前記切込み送
り手段を作動させる切込み送り制御手段と、前記ワーク
の引抜き時に当該ワークの切断時よりも前記ワイヤ群を
構成する切断用ワイヤの張力を上昇させる張力制御手段
とを備えたことを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項３】 請求項２記載のワイヤソーにおいて、前
記ワイヤ駆動手段は、前記切断用ワイヤを前記ガイドロ
ーラに向けて繰り出すワイヤ繰出し手段と、前記ガイド
ローラから前記切断用ワイヤを巻き取るワイヤ巻取り手
段とを含み、前記張力制御手段は、前記ワークの引抜き
時に前記ワークの切断時よりも前記ワイヤ張力が高くな
るように前記ワイヤ巻取り手段の巻取り駆動力及び前記
ワイヤ繰出し手段による繰出し駆動力を調節することを
特徴とするワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080221A JP3887574B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ワイヤソーからのワーク引抜き方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080221A JP3887574B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ワイヤソーからのワーク引抜き方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003275950A true JP2003275950A (ja) | 2003-09-30 |
| JP3887574B2 JP3887574B2 (ja) | 2007-02-28 |
Family
ID=29206393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002080221A Expired - Fee Related JP3887574B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ワイヤソーからのワーク引抜き方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3887574B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009152622A (ja) * | 2009-02-04 | 2009-07-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Ｉｉｉ族窒化物基板及びその製造方法 |
| WO2009127932A2 (en) * | 2008-04-14 | 2009-10-22 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device and method for operating same |
| JP2010194706A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | 基板の製造方法 |
| DE112008003321T5 (de) | 2007-12-11 | 2010-12-30 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks mittels einer Drahtsäge sowie Drahtsäge |
| CN102229092A (zh) * | 2011-06-20 | 2011-11-02 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种多线切割装置 |
| JP2013148928A (ja) * | 2007-07-17 | 2013-08-01 | Dexerials Corp | 表示装置の製造方法 |
| US9475209B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-25 | Komatsu Ntc Ltd. | Wire saw and workpiece machining method employing same |
| JP2017148904A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102615730A (zh) * | 2012-04-14 | 2012-08-01 | 无锡市协清机械制造有限公司 | 多线切割机的自动排线自动平衡装置 |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002080221A patent/JP3887574B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013148928A (ja) * | 2007-07-17 | 2013-08-01 | Dexerials Corp | 表示装置の製造方法 |
| DE112008003321T5 (de) | 2007-12-11 | 2010-12-30 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks mittels einer Drahtsäge sowie Drahtsäge |
| US8037878B2 (en) | 2007-12-11 | 2011-10-18 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece by using wire saw and wire saw |
| DE112008003321B4 (de) | 2007-12-11 | 2021-09-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks mittels einer Drahtsäge sowie Drahtsäge |
| WO2009127932A2 (en) * | 2008-04-14 | 2009-10-22 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device and method for operating same |
| WO2009127932A3 (en) * | 2008-04-14 | 2009-12-23 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device and method for operating same |
| JP2010194706A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | 基板の製造方法 |
| JP2009152622A (ja) * | 2009-02-04 | 2009-07-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Ｉｉｉ族窒化物基板及びその製造方法 |
| CN102229092A (zh) * | 2011-06-20 | 2011-11-02 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种多线切割装置 |
| US9475209B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-25 | Komatsu Ntc Ltd. | Wire saw and workpiece machining method employing same |
| JP2017148904A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法 |
| CN107116710A (zh) * | 2016-02-25 | 2017-09-01 | 胜高股份有限公司 | 晶片的制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3887574B2 (ja) | 2007-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8037878B2 (en) | Method for slicing workpiece by using wire saw and wire saw | |
| KR102545544B1 (ko) | 워크의 절단방법 및 와이어소 | |
| JP2003275950A (ja) | ワイヤソーからのワーク引抜き方法 | |
| WO2015029323A1 (ja) | インゴットの切断方法及びワイヤソー | |
| WO2017119030A1 (ja) | インゴットの切断方法 | |
| KR102100839B1 (ko) | 워크의 절단방법 | |
| JP5259248B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP6969579B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
| JP6277924B2 (ja) | インゴットの切断方法 | |
| JP4892278B2 (ja) | ワーク切断方法およびワイヤソー | |
| TWI838515B (zh) | 工件之切斷方法及線鋸 | |
| JP5177508B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP7020454B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
| TWI838449B (zh) | 工件之切斷方法及線鋸 | |
| JP6819621B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
| JP2003260652A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3958876B2 (ja) | ワイヤ式切断加工装置 | |
| WO2018203448A1 (ja) | ワークの切断方法及び接合部材 | |
| JP4528470B2 (ja) | ワイヤソーのスラリ供給装置 | |
| WO2023112490A1 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
| JP5861062B2 (ja) | ワイヤーソーとワイヤーソーを用いたシリコン製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040917 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061117 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061121 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061127 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3887574 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091201 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101201 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111201 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121201 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131201 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |