TWI488710B - Wire saws - Google Patents

Description

線鋸

本發明係有關於利用切斷用線來切斷半導體晶錠(ingot)等之線鋸。

以往，作為將半導體晶錠等工件切出為薄片(slice)狀之手段已知線鋸(wire saw)。該線鋸係具備複數個導引滾輪(guide roller)、及對這些導引滾輪進行旋轉驅動之馬達等，於上述導引滾輪彼此之間捲掛切斷用線，從而形成該線複數根排列之線群。在該線鋸中，一邊上述線沿其軸方向高速行走，一邊工件朝向由該線形成之線群以與線軸方向直交的方向切斷搬送，從而工件同時被切出為複數片晶圓(wafer)。

作為此種線鋸之一，例如專利文獻1所示之結構。被記載於此文獻之線鋸，包括具備複數個導引滾輪之第1工件切斷部和第2工件切斷部(主滾輪部)、以及一對線送出/捲取裝置，從其中一個線送出/捲取裝置送出之一根切斷用線掛於各工件切斷部之導引滾輪之間，並被另一個線送出/捲取裝置捲取。據此，於各工件切斷部分別形成用於切斷工件之線群。

一般，在線鋸中，適宜保持切斷用線之張力很重要。然而，如上述專利文獻1中所記載，在具備兩個工件切斷部之線鋸中，由於其線行走方向上流側之工件切斷部的切斷作業之影響，被導入於該方向下流側之工件切斷部之切斷用線之張力變動。

作為抑制此張力之變動的手段，在專利文獻1中揭示有於兩工件切斷部彼此之間檢測切斷用線之張力的張力檢測器、及基於該檢測值控制該張力的張力調整機構。該張力調整機構具備用於掛設上述切斷用線之一對調節滾輪(dancer roller)、及藉由在這些調節滾輪彼此之間被按壓於上述切斷用線以使該切斷用線之張力變化的臂(arm)，並且，適宜保持被導入於下流側之工作切斷部之線之張力地作動。

然而，在該線鋸中，由於在上述張力檢測器檢測出的切斷用線之張力變動時，張力調整機構才作動，因此難以獲得較高之響應性。

專利文獻1：日本專利公開公報特開2000-61805號

本發明之目的係提供一種具備第1工件切斷部及第2工件切斷部之線鋸，且能以高響應性(response)適當調整在兩工件切斷部之間的切斷用線之張力的線鋸。本發明所有關之線鋸，包括：線送出裝置，送出切斷用線；第1工件切斷部，具備複數個第1導引滾輪及旋轉驅動這些導引滾輪之第1驅動部，且藉由從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於上述各第1導引滾輪而形成工件切斷用之線群；第2工件切斷部，具備複數個第2導引滾輪及旋轉驅動這些第2導引滾輪之第2驅動部，且藉由從第1工件切斷部導出的上述切斷用線捲繞於上述各第2導引滾輪而形成工件切斷用之線群；線捲取裝置，捲取從上述第2工件切斷部導出之切斷用線；張力檢測器，檢測第1工件切斷部與第2工件切斷部之間的上述切斷用線之張力；控制裝置，分別調節藉由上述第1驅動部及上述第2驅動部旋轉驅動的上述第1導引滾輪及上述第2導引滾輪之旋轉驅動速度。此控制裝置變更上述第1導引滾輪及上述第2導引滾輪中至少之一的旋轉速度，以使上述張力檢測器檢測出的張力在指定範圍內。

利用圖式說明本發明之實施例。

第1圖概略地表示此實施例所有關的線鋸之整體。該線鋸具備上下2段之工件切斷部1A、1B，一對線送出/捲取裝置12A、12B，分別具有滑輪(pulley)16之線張力調節裝置15A、15B，分別具有滑輪17a、18a、19a的張力檢測器17至19，以及導引滑輪21至34等。

上述工件切斷部1A包含沿水平方向排列之一對導引滾輪10a、10b，及旋轉驅動這些導引滾輪10a、10b之馬達11A、11B，同樣，上述工件切斷部1B包含沿水平方向排列之一對導引滾輪10a、10b，及旋轉驅動這些導引滾輪10a、10b之馬達11A、11B。各工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b之排列方向(在圖式中為水平方向)相互平行，且兩工件切斷部1A、1B排列在與該排列方向垂直之方向(在圖式中為上下方向)上。

各線送出/捲取裝置12A、12B(適宜地稱為第1線送出/捲取裝置12A、第2線送出/捲取裝置12B)分別具備周圍被捲繞切斷用之線W之線軸(bobbin)13A、13B，及旋轉驅動這些線軸13A、13B之線軸驅動馬達14A、14B。

從其中一個線送出/捲取裝置12A之線軸13A送出的線W，(1)以導引滑輪21、22，線張力調節裝置15A之滑輪16，張力檢測器17之滑輪17a，及導引滑輪24至26之順序被掛上，(2)以工件切斷部1A之導引滾輪10a、10b之順序一邊被嵌入其外周面之導引槽(省略圖示)，一邊複數次螺旋狀地捲繞(被捲掛)於這些導引滾輪10a、10b彼此之間，(3)以導引滑輪27、28，張力檢測器18之滑輪18a，及導引滑輪29之順序被掛上，(4)以工件切斷部1B之導引滾輪10a、10b之順序，一邊被嵌入於其外周面之導引槽(圖示省略)，一邊複數次螺旋狀捲繞(被捲掛)於這些導引滾輪10a、10b彼此之間，(5)以導引滑輪30、31，張力檢測器19之滑輪19a，線張力調整裝置15B之滑輪16，導引滑輪33、34之順序被掛上，(6)被另一個線送出/捲取裝置12B的線軸13B捲取。

上述線張力調整裝置15A、15B向被掛於其滑輪16的線W賦予指定之張力。

在此實施例中，上述工件切斷部1A、1B的藉由各驅動馬達11A、11B之導引滾輪10a之旋轉驅動方向、以及藉由各線軸驅動馬達14A、14B之線軸13A、13B之旋轉驅動方向，可分別正反切換。藉由該切換，線W之驅動狀態，如第1圖中實線箭頭所示，於線W從第1線送出/捲取裝置12A之線軸13A送出，並被第2線送出/捲取裝置12B之線軸13B被捲取之狀態(以下稱為“第1行走狀態”)、與線W從第2線送出/捲取裝置12B之線軸13B送出，並被第1線送出/捲取裝置12A之線軸13A捲取之狀態(以下稱為第2行走狀態)之間切換。在這些行走狀態中，複數根線W(適宜稱為線群)以彼此平行之狀態被張設於工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b之間，該線群沿其軸方向以高速被往復驅動。

因此，此實施例所有關之上述兩線送出/捲取裝置12A、12B兼作為本發明所有關之“線送出裝置”和“線捲取裝置”，上述兩工件切斷部1A、1B兼作為本發明所有關之“第1工件切斷部”和“第2工件切斷部”。具體而言，在上述第1行走狀態下，上述線送出/捲取裝置12A作為本發明所有關之“線送出裝置”而發揮機能，上述線送出/捲取裝置12B作為本發明所有關之“線捲取裝置”而發揮機能，上述工件切斷部1A作為本發明所有關之“第1工件切斷部”而發揮機能，上述工件切斷部1B作為本發明所有關之“第2工件切斷部”而發揮機能。反之，在第2行走狀態下，上述線送出/捲取裝置12B作為本發明所有關之“線送出裝置”而發揮機能，上述線送出/捲取裝置12A作為本發明所有關之“線捲取裝置”而發揮機能，上述工件切斷部1B作為本發明所有關之“第1工件切斷部”而發揮機能，上述工件切斷部1A作為本發明所有關之“第2工件切斷部”而發揮機能。

此外，本發明不限於此種線W之驅動方向以正反方向切換，亦可為該線W僅限於按一個方向被驅動。在此種情況下，該線W之行走方向之上流側的工件切斷部相當於“第1工件切斷部”，下流側之工件切斷部相當於“第2工件切斷部”。

於上述工件切斷部1A、1B的側方，設置有用於使圓柱狀之工件44(例如晶錠)移動的工件搬送裝置40。該工件搬送裝置40具備沿上下方向延伸的大致長方體狀的垂直台(table)41，上下一對工件保持部42A、42B，以及工件搬送馬達43。

上述工件保持部42A、42B沿上下方向排列成一列，從上述垂直台41之其中一側面分別突出於上述工件切斷部1A、1B之上方位置，分別經由切片基座(slice base)(圖示省略)保持上述工件44。該被保持的工件44之方向被設定為：基於其結晶軸，能夠得到目的之結晶方位之方向。上側的工件保持部42A(第1工件保持部42A)於第1工件切斷部1A之導引滾輪10a、10b之間形成的線群之中上側的線群之上方保持工件44，下側的工件保持部42B介於第1工件切斷部1A與形成在第2工件切斷部1B的導引滾輪10a、10b之間的上側之線群之間，將工件44保持於該上側之線群上方。

上述工件搬送馬達43與圖略的滾珠螺桿(ball screw)聯動，使上述垂直台41、上述兩工件保持部42A、42B、還有分別被保持於這些工件保持部42A、42B的工件44一體昇降。

亦即，在該線鋸中，各工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b之間成為切斷區域，一邊被形成於此切斷區域之線群沿其長度方向同時被高速旋轉，一邊上述工件搬送裝置40同時將被保持於各工件保持部42A、42B之工件44朝向上述切斷區域之線群切斷搬送，且從被捲繞於導引滾輪10a、10b之周圍之線群之外側朝向內側(圖中為從上側至下側)以相同方向切斷搬送。據此，由各工件44一次同時切斷出複數個晶圓(薄片)。

該線鋸進一步具備統括控制工件44之切斷動作的控制器50。該控制器50藉由使上述各線送出/捲取裝置12A、12B之各線軸驅動馬達14A、14B作動而使線W向指定方向高速驅動，並且基於上述張力檢測器17、19檢測出的線W之張力調節線張力調節裝置15A、15B之驅動速度，以此控制線W之張力。進而，該控制器50具備本發明所有關之“控制裝置”之機能，根據被設置於兩工件切斷部1A、1B彼此之間的上述張力檢測器18(相當於本發明之張力檢測器)之檢測值，調節各工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b之旋轉驅動速度，使從工件切斷部1A、1B之其中一個向另一個被導引的線W之張力控制於適當範圍內。

關於此工件切斷部1A、1B之間的線W之張力控制，利用第2圖之流程圖進行說明。

當線鋸起動時，控制器50首先向圖外之馬達控制電路輸出控制訊號，來驅動各線送出/捲取裝置12A、12B之線軸13A、13B，並且，以預先設定之旋轉數(旋轉速度)驅動工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b(步驟S1、S3)。

然後，當導引滾輪10a、10b之旋轉速度達到目標值時，控制器50基於來自張力檢測器18之輸出訊號，判斷工件切斷部1A、1B之間的線W之張力(張力檢測值)是否為預先被設定之容許範圍內的值(容許值)(步驟S5)，在此判斷為“是”的情況下，轉移至步驟S3。

於此相對，當在步驟S5判斷為“否”時，進一步判斷張力檢測值是否低於容許值(容許範圍內的最低值)(步驟S7)，在此當判斷為“是”的情況下，控制器50向上述馬達控制電路輸出控制訊號，使位於線行走方向下流側之工件切斷部1A(或1B)之導引滾輪10a、10b之旋轉速度加快預先被設定的速度(步驟S9)。具體而言，當線W處於上述第1行走狀態(參照第1圖中之實線箭頭)時，使第2工件切斷部1B之導引滾輪10a、10b之旋轉速度加快，當處於第2行走狀態(參照第1圖中之虛線箭頭)時，使第1工件切斷部1A之導引滾輪10a、10b之旋轉速度加快。如此，若加快工件切斷部1A、1B中位於下流側之工件切斷部之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，相應地線W向下流側拉緊，據此，工件切斷部1A、1B之間的線W之張力上昇。

在此實施例中，控制器50以工件切斷部1A(或1B)之導引滾輪10a、10b中其中一側之導引滾輪10a作為主滾輪來控制其旋轉速度，關於另一側之導引滾輪10b，對該滾輪10b進行扭矩控制(torque control)，以避免線群發生鬆弛。

另一方面，在步驟S7判斷為“否”的情況下，亦即，張力檢測值高於容許值(容許範圍內之最高值)時，控制器50向馬達控制電路輸出控制訊號，使工件切斷部1A、1B中位於線行走方向下流側之(第2工件切斷部)導引滾輪10a、10b之旋轉速度減慢預先被設定之速度(步驟S11)。如上，若減慢工件切斷部1A、1B中位於線行走方向下流側之工件切斷部之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，相應地線W鬆弛，工件切斷部1A、1B之間的線W之張力下降。

如上所述，在該線鋸中，張力檢測器18檢測工件切斷部1A、1B之間的線W之張力，在該檢測值不在容許範圍內的情況下，控制線W之張力，以使其檢測值處於該範圍內。而且，作為其具體手段，在該線鋸中，藉由工件切斷部1A、1B之導引滾輪10a、10b之旋轉速度之變更來調整(變更)線W之張力，因此，相比於以往之線鋸，亦即邊用張力檢測器檢測線之張力邊驅動專用之張力調整機構(調整滑輪)來調整線之張力的方式之線鋸，能夠更迅速地調整線W之張力。亦即，在該實施例之線鋸中，藉由變更已被旋轉驅動的導引滾輪10a、10b之旋轉速度，來控制線W之張力，與如已往之通常不運行之張力調整機構(調整滑輪)於張力調整時才開始被驅動之線鋸相比，從張力檢測器檢測出張力變動至線張力實際被變更為止的時滯(time lag)小，相應地線W之張力之修正更迅速化。

從而，根據該實施例所有關之線鋸，能夠更適切地將工件切斷部1A、1B之間的線張力保持於容許範圍內，其結果，能夠更確實地防止線W斷線等故障。

另外，上述線鋸為本發明所有關之線鋸之理想實施例之一例，其具體構成可在不脫離本發明要旨之範圍內進行適宜變更。

例如，在上述實施例中，為工件切斷部1A、1B之間的線W之張力調整，變更了工件切斷部1A、1B中線行走方向下流側之(本發明所有關之“第2工件切斷部”)導引滾輪(第2導引滾輪)10a、10b之旋轉速度，但是變更線行走方向上流側之工件切斷部1A(或1B)之導引滾輪10a、10b之旋轉速度也能夠獲得同樣的作用效果。

又，如上所述，僅變更工件切斷部1A、1B中其中一個之導引滾輪10a、10b之旋轉速度之外，也可變更工件切斷部1A、1B雙方之導引滾輪10a、10b之旋轉速度。例如，在相對於上述容許值的張力檢測值之偏差較大的情況下，藉由變更工件切斷部1A、1B雙方之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，能夠更迅速地調整線張力。從而，當相對於上述容許值的張力檢測值之偏差比指定值小的情況下，變更工件切斷部1A、1B之其中一方之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，當上述偏差在指定值以上的情況下，變更工件切斷部1A、1B雙方之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，這種控制很有效。

上述控制器50在張力檢測器18之張力檢測值偏離於預先被設定之容許值的情況下，運算導引滾輪10a、10b之旋轉速度之補正值，使得該張力檢測值與容許值之偏差為“0”，並基於該補正值變更導引滾輪10a、10b之旋轉速度也可以。亦即，上述導引滾輪10a、10b之旋轉速度被反饋控制為張力檢測器18之張力檢測值處於預先被設定之容許值的範圍內也可以。此控制使得在上述容許值的範圍內驅動線W更可靠地進行。

本發明係為包括至少具備第1工件切斷部及第2工件切斷部的線鋸之概念，例如也包含具備3個以上的工件切斷部之線鋸。例如，也可以在線送出裝置與第1工件切斷部之間介入第3工件切斷部，也可以於第2工件切斷部與線捲取裝置之間介入第3工件切斷部。

本發明所有關之線鋸，在上述的構成之上，還進一步具備張力變動緩和機構為宜。亦即，如上所述，若為了調整線張力，而變更工件切斷部1A、1B中至少其中一個之導引滾輪10a、10b之旋轉速度，則之後工件切斷部1A、1B之間的線長發生變動，一時地發生線W之鬆弛或過緊張，根據情況，有可能成為線W發生纏結或斷線之原因，但是，此種線W之鬆弛或過緊張之發生，藉由具備緩和線張力之變動之張力變動緩和機構可避免。

第3圖係模式地表示包含上述張力變動緩和機構之線鋸之一例。在此所例示之張力變動緩和機構設於工件切斷部1A與張力檢測器18之間，且包含滑輪53及伸張彈簧54。滑輪53被配置成可沿與兩工件切斷部1A、1B之排列方向垂直的方向移位，在該滑輪53上掛上線W。伸張彈簧54連接該滑輪53與被固定之壁等，用該伸張彈簧54自身之彈性力將上述滑輪53向水平方向(更詳細而言該滑輪53向線W賦予張力之方向)推壓。上述線W從靠近上述工件切斷部1A一側依次被掛於導引滑輪27、上述張力變動緩和機構之滑輪53、導引滑輪52、28、張力檢測器18之滑輪18a、及導引滑輪29。

在該線鋸中，若工件切斷部1A、1B之間的線長度變長，則基於伸張彈簧54之彈發力，滑輪53被伸張。亦即，滑輪53向圖式中(-)側彈性移位。據此，可防止起因於上述線長增大之線W鬆弛。反之，若工件切斷部1A、1B之間的線長變短，則抗拒伸張彈簧54之彈發力，滑輪53向圖式中(+)側移位。據此，可防止起因於上述線長減少之線W過緊張。亦即，伴隨在工件切斷部1A、1B之間的線長之變動之上述滑輪53之彈性移位，有效地緩和起因於該線長之變動的線張力之變動。

張力變動緩和機構之“推壓部”並不限定於第3圖所示之伸張彈簧54。例如，該推壓部如第4圖(a)、(b)所示，也可包括：經由平行於上述各導引滑輪及導引滾輪之旋轉中心軸之支軸58而可旋轉地被支撐於固定壁等的臂(arm)56；及被安裝於上述支軸58，使得向該臂56賦予其旋轉方向之推壓力的扭轉彈簧(torsion spring)，上述滑輪53可旋轉地被支撐於上述臂56之旋轉端部。在該機構中，藉由將上述扭轉彈簧59推壓於臂56及滑輪53之方向設定為該滑輪53向線W賦予張力之方向(在第4圖(a)中為(-)側方向)，從而可獲得與第3圖所示之例同樣的作用效果。

如上所述，本發明係提供具備第1工件切斷部及第2工件切斷部，且能夠以較高的響應性適當地調整兩工件切斷部彼此之間的切斷用線之張力的線鋸。該線鋸包括：線送出裝置，送出切斷用線；第1工件切斷部，具備複數個第1導引滾輪及旋轉驅動這些導引滾輪之第1驅動部，且藉由從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於上述各第1導引滾輪而形成工件切斷用之線群；第2工件切斷部，具備複數個第2導引滾輪及旋轉驅動這些第2導引滾輪之第2驅動部，且藉由從第1工件切斷部導出的上述切斷用線捲繞於上述各第2導引滾輪而形成工件切斷用之線群；線捲取裝置，捲取從上述第2工件切斷部導出之切斷用線；張力檢測器，檢測在第1工件切斷部與第2工件切斷部之間的上述切斷用線之張力；控制裝置，分別調節藉由上述第1驅動部及上述第2驅動部旋轉驅動的上述第1導引滾輪及上述第2導引滾輪之旋轉驅動速度。此控制裝置變更上述第1導引滾輪及上述第2導引滾輪中的至少其中一方之旋轉速度，以使上述張力檢測器檢測出的張力在指定範圍內。

在該線鋸中，藉由張力檢測器檢測從第1工件切斷部至第2工件切斷部為止的切斷用線之張力，變更第1導引滾輪及第2導引滾輪中至少其中之一的旋轉速度，以使被檢測出的張力處於指定之範圍內。亦即，藉由第1導引滾輪之旋轉速度與第2導引滾輪之旋轉速度之差的調節，迅速地變更切斷用線之張力。從而，與如以往的線張力之檢測後張力調整機構才起動之構成相比，可縮短時滯。

作為上述控制裝置，較佳為，基於張力檢測器檢測出的張力檢測值與預先被設定的容許值之偏差，對上述導引滾輪之旋轉速度進行反饋控制之結構。

此時，該控制裝置例如亦可當上述偏差低於一定值時，只變更第1導引滾輪及第2導引滾輪中其中之一旋轉速度，當上述偏差在一定值以上時，變更第1導引滾輪及第2導引滾輪雙方之旋轉速度。

又，本發明所有關之線鋸更佳為進一步具備張力變動緩和機構，其緩和起因於從第1工件切斷部至第2工件切斷部為止的切斷用線之線長變動的線張力變動。如上所述之導引滾輪之旋轉速度變更，雖然可能會伴隨從第1工件切斷部至第2工件切斷部為止的切斷用線之線長之變動發生線鬆弛或過緊張，但是藉由具備緩和張力變動之張力變動緩和機構，可避免起因於該張力之急變的切斷用線之鬆弛或過緊張，使起因於該鬆弛或過緊張之切斷用線之纏結或斷線防患於未然。

作為如上所述的張力變動緩和機構，較佳為，包括：於上述第1工件切斷部與第2工件切斷部之間掛上上述切斷用線之滑輪；及將該滑輪朝向該滑輪向切斷用線賦予張力之方向彈性推壓的推壓部，藉由伴隨從上述第1工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用線之線長變動的上述滑輪之彈性移位，緩和線張力之變動。

W．．．線

1A、1B．．．工件切斷部

10a、10b．．．導引滾輪

11A、11B．．．馬達

12A、12B．．．線送出/捲取裝置

13A、13B．．．線軸

14A、14B．．．線軸驅動馬達

15A、15B．．．張力調節裝置

16．．．滑輪

17至19．．．張力檢測器

17a至19b．．．滑輪

21、22、24至31、33、34．．．導引滑輪

40．．．工件搬送裝置

41．．．垂直台

42A、42B．．．工件保持部

43．．．工件搬送馬達

44．．．工件

50．．．控制器

52．．．導引滑輪

53．．．滑輪

54．．．伸張彈簧

56．．．臂

58．．．支軸

59．．．扭轉彈簧

第1圖係表示本發明之實施例所有關的線鋸之整體結構之概略圖。

第2圖係表示包含於上述線鋸之第1工件切斷部與第2工件切斷部之間的切斷用線之張力控制之一例之流程圖。

第3圖係表示被導入於上述線鋸的張力變動緩和機構之一例之模式圖。

第4圖(a)係表示與第3圖所示之張力變動緩和機構不同的張力變動緩和機構之一例之正視圖，(b)係表示其剖面側視圖。

W．．．線

1A、1B．．．工件切斷部

10a、10b．．．導引滾輪

11A、11B．．．馬達

12A、12B．．．線送出/捲取裝置

13A、13B．．．線軸

14A、14B．．．線軸驅動馬達

15A、15B．．．張力調節裝置

16．．．滑輪

17至19．．．張力檢測器

17a至19b．．．滑輪

21、22、24至31、33、34．．．導引滑輪

40．．．工件搬送裝置

41．．．垂直台

42A、42B．．．工件保持部

43．．．工件搬送馬達

44．．．工件

及

50．．．控制器

Claims (3)

1. 一種線鋸，利用切斷用線切斷工件，包括：線送出裝置，送出切斷用線；第1工件切斷部，其具備複數個第1導引滾輪及旋轉驅動這些導引滾輪之第1驅動部，且藉由從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於上述各第1導引滾輪而形成工件切斷用之線群；第2工件切斷部，其具備複數個第2導引滾輪及旋轉驅動這些第2導引滾輪之第2驅動部，且藉由從第1工件切斷部導出的上述切斷用線捲繞於上述各第2導引滾輪而形成工件切斷用之線群；線捲取裝置，捲取從上述第2工件切斷部導出之切斷用線；張力檢測器，檢測在上述第1工件切斷部與上述第2工件切斷部之間的上述切斷用線之張力；及控制裝置，分別將藉由上述第1驅動部及上述第2驅動部旋轉驅動的上述第1導引滾輪及上述第2導引滾輪之旋轉驅動速度調節至預先設定之旋轉數；其中，上述控制裝置為了使上述張力檢測器檢測出之張力在指定範圍內，基於上述張力檢測器檢測出的張力檢測值與預先被設定的容許值之偏差，對上述導引滾輪之旋轉速度進行反饋控制，且當上述偏差低於一定值時，只變更第1導引滾輪及第2導引滾輪中其中之一的旋轉速度，當上述偏差在一定值以上時，變更第1導引滾輪及第2導 引滾輪雙方之旋轉速度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之線鋸，其中，進一步包括：張力變動緩和機構，其緩和起因於從上述第1工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用線之線長變動的線張力之變動。
3. 如申請專利範圍第2項所述之線鋸，其中，上述張力變動緩和機構，包括：滑輪，於上述第1工件切斷部與第2工件切斷部之間捲掛上述切斷用線；及推壓部，將該滑輪朝向該滑輪向切斷用線賦予張力之方向彈性推壓，藉由伴隨從上述第1工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用線之線長變動的上述滑輪之彈性移位，來緩和線張力之變動。