JP5988365B2 - ウエーハ表面のうねり減少方法およびその装置 - Google Patents
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
2 ワイヤソー
3 固定砥粒付きワイヤ
4 加工用ローラ
5 駆動モータ
6 半導体インゴット
7 固定プレート
8 ワークプレート
9 揺動ブラケット
10 揺動軸
11 ラム
12 揺動駆動手段
13 送りユニット
14 ウエーハ 14a 山頂部分
Claims (5)
- 多数の平行な固定砥粒付きワイヤの走行運動を利用して、半導体インゴットを前記固定砥粒付きワイヤのワイヤ列に対してワイヤ走行方向と直交する切り込み方向に送り移動させ、前記半導体インゴットを多数のウエーハとして切断するワイヤソーにおいて、前記ウエーハの切断を完了した後に、前記固定砥粒付きワイヤのワイヤ列から前記ウエーハを抜き取る過程で、前記固定砥粒付きワイヤに走行運動を与えながら、前記固定砥粒付きワイヤと前記ウエーハとの間に相対的な揺動運動を与え、ウエーハ表面のうねりの山頂部分を削り取る、ことを特徴とするウエーハ表面のうねり減少方法。
- 多数の平行な固定砥粒付きワイヤの走行運動を利用して、半導体インゴットを前記固定砥粒付きワイヤのワイヤ列に対してワイヤ走行方向と直交する切り込み方向に送り移動させ、前記半導体インゴットを多数のウエーハとして切断するワイヤソーにおいて、前記ウエーハと前記固定砥粒付きワイヤとの間に相対的な揺動運動を与える揺動駆動手段を前記ワイヤソーに設け、前記ウエーハの切断を完了した後に、前記固定砥粒付きワイヤのワイヤ列から前記ウエーハを抜き取る過程で、前記固定砥粒付きワイヤに走行運動を与えながら、前記揺動駆動手段により、前記固定砥粒付きワイヤと前記ウエーハとの間に相対的な揺動運動を与え、ウエーハ表面のうねりの山頂部分を削り取る、ことを特徴とするウエーハ表面のうねり減少装置。
- 前記ウエーハの支持部分に前記揺動駆動手段を取り付け、前記揺動駆動手段により前記ウエーハに揺動運動を与える、ことを特徴とする請求項2のウエーハ表面のうねり減少装置。
- 前記固定砥粒付きワイヤの支持部分に前記揺動駆動手段を取り付け、前記揺動駆動手段により前記固定砥粒付きワイヤに揺動運動を与える、ことを特徴とする請求項2記載のウエーハ表面のうねり減少装置。
- 前記ウエーハを切り込み方向に送り移動させる送りユニットの戻り方向の往復移動を利用して、前記固定砥粒付きワイヤから前記ウエーハを抜き取る、ことを特徴とする請求項2、請求項3または請求項4記載のウエーハ表面のうねり減少装置。
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