JPH07266214A - ワイヤソーのワイヤ通電装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ通電装置Info
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- JPH07266214A JPH07266214A JP8384194A JP8384194A JPH07266214A JP H07266214 A JPH07266214 A JP H07266214A JP 8384194 A JP8384194 A JP 8384194A JP 8384194 A JP8384194 A JP 8384194A JP H07266214 A JPH07266214 A JP H07266214A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電源３８からワイヤ１３への通電が安定し、
保守の頻度が少なくてすみ、かつ安価なワイヤソーのワ
イヤ通電装置を提供する。 【構成】 導電性を有するワイヤ１３と、ワイヤ１３の
供給及び回収を行うとともに、円筒部が導電体でワイヤ
１３と通電可能な２個のワイヤリール１１・１２と、２
個の軸受け台３１に回転自在に支持され、一方の端面に
ワイヤリール１１・１２各１個を支持する２個の回転軸
３２と、回転軸３２の他方の端面に各１個設けられ、ワ
イヤリール１１・１２と電気的に接続された非接触コネ
クタ３５と、非接触コネクタ３５と所定の距離を設けて
非回転部分に固着された２個の非接触コネクタ３７と、
２個の非接触コネクタ３７に接続された電源３８と、か
ら構成した。
保守の頻度が少なくてすみ、かつ安価なワイヤソーのワ
イヤ通電装置を提供する。 【構成】 導電性を有するワイヤ１３と、ワイヤ１３の
供給及び回収を行うとともに、円筒部が導電体でワイヤ
１３と通電可能な２個のワイヤリール１１・１２と、２
個の軸受け台３１に回転自在に支持され、一方の端面に
ワイヤリール１１・１２各１個を支持する２個の回転軸
３２と、回転軸３２の他方の端面に各１個設けられ、ワ
イヤリール１１・１２と電気的に接続された非接触コネ
クタ３５と、非接触コネクタ３５と所定の距離を設けて
非回転部分に固着された２個の非接触コネクタ３７と、
２個の非接触コネクタ３７に接続された電源３８と、か
ら構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、砥粒を含むワイヤを走
行させるとともに前記ワイヤに被加工物を押し当てて被
加工物を薄板状に切断するワイヤソーにおける、前記ワ
イヤに通電するワイヤ通電装置に関するものである。
行させるとともに前記ワイヤに被加工物を押し当てて被
加工物を薄板状に切断するワイヤソーにおける、前記ワ
イヤに通電するワイヤ通電装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴットやセラミックス等の被
加工物（以下「ワーク」という）を薄板状に切断する切
断装置の一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは砥
粒が付着したワイヤを多数平行に並べて高速走行させ、
そのワイヤにワークを押し当てることによってワークを
多数の薄板状に切断する。
加工物（以下「ワーク」という）を薄板状に切断する切
断装置の一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは砥
粒が付着したワイヤを多数平行に並べて高速走行させ、
そのワイヤにワークを押し当てることによってワークを
多数の薄板状に切断する。
【０００３】図５に一般的なワイヤソーの主要構成を示
す。図５において、ワイヤリール１１及び１２は連動し
てワイヤ１３の供給及び回収を行う。図５の例ではワイ
ヤリール１１が供給側、ワイヤリール１２が回収側とし
て表している。ワイヤリール１１から送り出されたワイ
ヤ１３は多数のガイドローラ１４を経由して３個の溝付
きローラ１５に巻き付けられる。溝付きローラ１５には
円周上に多数の溝が設けられており、ワイヤ１３は各溝
に順次巻き掛けられた後、再び多数のガイドローラ１４
を経由してワイヤリール１２に回収される。溝付きロー
ラ１５の各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられることに
よってワイヤ列１６が形成されるが、ワイヤ列１６の３
辺のうちの１辺の加工ワイヤ列１６ａの上方には砥粒液
供給装置１７から供給される砥粒液を吐出する砥粒液供
給ノズル１８が設けられていて、加工ワイヤ列１６ａに
砥粒液が吐出されてワイヤに砥粒が付着する。ワイヤ１
３は高速で走行しており、これによって、砥粒が付着し
高速で送行する加工ワイヤ列１６ａが構成される。
す。図５において、ワイヤリール１１及び１２は連動し
てワイヤ１３の供給及び回収を行う。図５の例ではワイ
ヤリール１１が供給側、ワイヤリール１２が回収側とし
て表している。ワイヤリール１１から送り出されたワイ
ヤ１３は多数のガイドローラ１４を経由して３個の溝付
きローラ１５に巻き付けられる。溝付きローラ１５には
円周上に多数の溝が設けられており、ワイヤ１３は各溝
に順次巻き掛けられた後、再び多数のガイドローラ１４
を経由してワイヤリール１２に回収される。溝付きロー
ラ１５の各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられることに
よってワイヤ列１６が形成されるが、ワイヤ列１６の３
辺のうちの１辺の加工ワイヤ列１６ａの上方には砥粒液
供給装置１７から供給される砥粒液を吐出する砥粒液供
給ノズル１８が設けられていて、加工ワイヤ列１６ａに
砥粒液が吐出されてワイヤに砥粒が付着する。ワイヤ１
３は高速で走行しており、これによって、砥粒が付着し
高速で送行する加工ワイヤ列１６ａが構成される。
【０００４】このような状態の加工ワイヤ列１６ａに下
側からワークブロック２１に固定されたワーク２０を押
しつけると、ワーク２０は砥粒が付着したワイヤ１３に
よって加工ワイヤ列１６ａのワイヤ間隔分ごとに薄板状
に切断される。
側からワークブロック２１に固定されたワーク２０を押
しつけると、ワーク２０は砥粒が付着したワイヤ１３に
よって加工ワイヤ列１６ａのワイヤ間隔分ごとに薄板状
に切断される。
【０００５】なお、砥粒が付着したワイヤ１３はワイヤ
リール１２に回収される前にワイヤ洗浄装置１９を通過
して砥粒が除去される。また、図５では砥粒液供給ノズ
ル１８及びワイヤ洗浄装置１９は２箇所にあるが、これ
は前述した方向と反対側にワイヤ１３を走行する場合、
すなわち、ワイヤリール１２がワイヤ供給側でワイヤリ
ール１１を回収側として用いる場合にも対応するためで
あり、通常は、所定の時間ごとにワイヤ１３の走行方向
を切換えワイヤ１３を往復走行させることによって連続
運転を行う。
リール１２に回収される前にワイヤ洗浄装置１９を通過
して砥粒が除去される。また、図５では砥粒液供給ノズ
ル１８及びワイヤ洗浄装置１９は２箇所にあるが、これ
は前述した方向と反対側にワイヤ１３を走行する場合、
すなわち、ワイヤリール１２がワイヤ供給側でワイヤリ
ール１１を回収側として用いる場合にも対応するためで
あり、通常は、所定の時間ごとにワイヤ１３の走行方向
を切換えワイヤ１３を往復走行させることによって連続
運転を行う。
【０００６】ワイヤソーはこのように構成されており、
前述したように、ワイヤ１３がワイヤリール１１及びワ
イヤリール１２の間を多数のガイドローラ１４によって
所定の位置に案内され、溝付きローラ１５の多数の溝に
巻き掛けられる。この場合、溝付きローラ１５を通過し
たワイヤ１３には砥粒が付着しており、ワイヤ洗浄装置
１９を通過した後でも十分に砥粒が除去されなかったり
ワイヤ１３そのものが硬いこと等から、機械を稼働して
いくとガイドローラ１４や溝付きローラ１５の案内溝が
摩耗する。摩耗が進行するとワイヤ１３はガイドローラ
１４や溝付きローラ１５と擦れ合って摩耗し断線する危
険性がある。また、調整ミスやトラブルでワイヤ１３が
ガイドローラ１４から外れる場合もある。加工途中でワ
イヤ１３が断線したりガイドローラ１４から外れたりす
ると、そのワークは使用不能となるとともに、機械にも
損傷を与え大きな損害となる。したがって、ワイヤ１３
の摩耗や断線、ガイドローラ１４の摩耗、ガイドローラ
１４からの外れ等を早期に検知する必要があり、このた
めに、ワイヤ１３は導電性を有するものを用い常時通電
（微弱電流を通す）して電気的に管理する。
前述したように、ワイヤ１３がワイヤリール１１及びワ
イヤリール１２の間を多数のガイドローラ１４によって
所定の位置に案内され、溝付きローラ１５の多数の溝に
巻き掛けられる。この場合、溝付きローラ１５を通過し
たワイヤ１３には砥粒が付着しており、ワイヤ洗浄装置
１９を通過した後でも十分に砥粒が除去されなかったり
ワイヤ１３そのものが硬いこと等から、機械を稼働して
いくとガイドローラ１４や溝付きローラ１５の案内溝が
摩耗する。摩耗が進行するとワイヤ１３はガイドローラ
１４や溝付きローラ１５と擦れ合って摩耗し断線する危
険性がある。また、調整ミスやトラブルでワイヤ１３が
ガイドローラ１４から外れる場合もある。加工途中でワ
イヤ１３が断線したりガイドローラ１４から外れたりす
ると、そのワークは使用不能となるとともに、機械にも
損傷を与え大きな損害となる。したがって、ワイヤ１３
の摩耗や断線、ガイドローラ１４の摩耗、ガイドローラ
１４からの外れ等を早期に検知する必要があり、このた
めに、ワイヤ１３は導電性を有するものを用い常時通電
（微弱電流を通す）して電気的に管理する。
【０００７】ワイヤ１３への通電は一般的に、２個のワ
イヤリール１１及び１２の回転軸の一端（ワイヤリール
の取り付け側と反対側）からスリップリング等接触式で
通電される。図６は電源３８からワイヤリール１１及び
１２への通電する従来の方法の一例を示したものであ
る。ただし、図５で示したワイヤソーの主要構成のう
ち、ワイヤリール１１及び１２以外については省略して
いる。図６において、回転軸３２の一端に絶縁板５１を
介して導電性の球５２が固着され、導電性の球５２はワ
イヤリール１１に電源を接続する中継ケーブル３４が接
続されている。また、回転軸３２を回転自在に支持する
軸受け台３１に固着されたブラケット５４（一般的に絶
縁体）には回転軸３２方向に付勢力を有する導電性の板
バネ５３が取り付けられ、導電性の板バネ５３は電源３
８に接続されている。ワイヤリール１２についても同様
であり、これによって、電源３８から導電性の板バネ５
３、導電性の球５２、中継ケーブル３４を介してワイヤ
リール１１及び１２に通電され、ワイヤリールからワイ
ヤ１３に通電される。なお、中継ケーブル３４からワイ
ヤリール１１への通電は本発明の実施例と同様であり、
その中で説明するのでここでは省略する。
イヤリール１１及び１２の回転軸の一端（ワイヤリール
の取り付け側と反対側）からスリップリング等接触式で
通電される。図６は電源３８からワイヤリール１１及び
１２への通電する従来の方法の一例を示したものであ
る。ただし、図５で示したワイヤソーの主要構成のう
ち、ワイヤリール１１及び１２以外については省略して
いる。図６において、回転軸３２の一端に絶縁板５１を
介して導電性の球５２が固着され、導電性の球５２はワ
イヤリール１１に電源を接続する中継ケーブル３４が接
続されている。また、回転軸３２を回転自在に支持する
軸受け台３１に固着されたブラケット５４（一般的に絶
縁体）には回転軸３２方向に付勢力を有する導電性の板
バネ５３が取り付けられ、導電性の板バネ５３は電源３
８に接続されている。ワイヤリール１２についても同様
であり、これによって、電源３８から導電性の板バネ５
３、導電性の球５２、中継ケーブル３４を介してワイヤ
リール１１及び１２に通電され、ワイヤリールからワイ
ヤ１３に通電される。なお、中継ケーブル３４からワイ
ヤリール１１への通電は本発明の実施例と同様であり、
その中で説明するのでここでは省略する。
【０００８】また、図示しないが、ワイヤ１３への通電
の別の方法として、軸受け台３１に交流電源を接続し、
軸受け台３１に内蔵され回転軸３２を回転自在に支持す
るベアリングを介して回転軸３２に通電することによっ
て、ワイヤリール１１へ通電する方法もある。
の別の方法として、軸受け台３１に交流電源を接続し、
軸受け台３１に内蔵され回転軸３２を回転自在に支持す
るベアリングを介して回転軸３２に通電することによっ
て、ワイヤリール１１へ通電する方法もある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーのワイヤ通電装置のうち前者では、電源３８
からワイヤリール１１及び１２への通電は接触式で行わ
れるため、接触部が摩耗したり放電現象によって接触部
の表面が荒れ通電が不安定になりやすいとともに、その
ために頻繁に保守をしなければならないという問題があ
る。また、構造が複雑になるために高価になるという問
題がある。さらに、後者ではベアリングに付着している
油膜の状態が変化するために通電が安定しないという問
題がある。
ワイヤソーのワイヤ通電装置のうち前者では、電源３８
からワイヤリール１１及び１２への通電は接触式で行わ
れるため、接触部が摩耗したり放電現象によって接触部
の表面が荒れ通電が不安定になりやすいとともに、その
ために頻繁に保守をしなければならないという問題があ
る。また、構造が複雑になるために高価になるという問
題がある。さらに、後者ではベアリングに付着している
油膜の状態が変化するために通電が安定しないという問
題がある。
【００１０】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前記ワ
イヤにワークを押し当ててワークを薄板状に切断するワ
イヤソーにおける、ワイヤ通電装置において、電源から
ワイヤへの通電が安定し、保守の頻度が少なくてすみ、
かつ安価なワイヤソーのワイヤ通電装置を提供すること
を目的とする。
もので、砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前記ワ
イヤにワークを押し当ててワークを薄板状に切断するワ
イヤソーにおける、ワイヤ通電装置において、電源から
ワイヤへの通電が安定し、保守の頻度が少なくてすみ、
かつ安価なワイヤソーのワイヤ通電装置を提供すること
を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーのワイヤ通電装置を、 （イ）前記ワイヤ１３を導電性を有するものにする。 （ロ）ワイヤ１３の供給及び回収を行う２個のワイヤリ
ール１１及び１２の円筒部を導電体にして、ワイヤ１３
と電気的に接続する。 （ハ）２個の軸受け台３１に回転自在に各々回転軸３２
を設ける。 （ニ）各々の回転軸３２の一方の端面にワイヤリール１
１及び１２を取り付ける。 （ホ）各々の回転軸３２の他方の端面に非接触コネクタ
３５を各１個設ける。 （ヘ）各々の非接触コネクタ３５とワイヤリール１１及
び１２とを電気的に接続する。 （ト）各々の非接触コネクタ３５と所定の距離を設け
て、２個の非接触コネクタ３７を非回転部分に固着す
る。 （チ）２個の非接触コネクタ３７に電源３８を接続す
る。 以上のように構成した。
成するために、ワイヤソーのワイヤ通電装置を、 （イ）前記ワイヤ１３を導電性を有するものにする。 （ロ）ワイヤ１３の供給及び回収を行う２個のワイヤリ
ール１１及び１２の円筒部を導電体にして、ワイヤ１３
と電気的に接続する。 （ハ）２個の軸受け台３１に回転自在に各々回転軸３２
を設ける。 （ニ）各々の回転軸３２の一方の端面にワイヤリール１
１及び１２を取り付ける。 （ホ）各々の回転軸３２の他方の端面に非接触コネクタ
３５を各１個設ける。 （ヘ）各々の非接触コネクタ３５とワイヤリール１１及
び１２とを電気的に接続する。 （ト）各々の非接触コネクタ３５と所定の距離を設け
て、２個の非接触コネクタ３７を非回転部分に固着す
る。 （チ）２個の非接触コネクタ３７に電源３８を接続す
る。 以上のように構成した。
【００１２】また、ワイヤソーのワイヤ通電装置を、 （イ）前記ワイヤ１３を導電性を有するものにする。 （ロ）ワイヤ１３の供給及び回収を行う２個のワイヤリ
ール１１及び１２の円筒部を導電体にして、ワイヤ１３
と電気的に接続する。 （ハ）２個の軸受け台３１に回転自在に各々回転軸３２
を設ける。 （ニ）各々の回転軸３２の一方の端面にワイヤリール１
１及び１２を取り付ける。 （ホ）各々の回転軸３２の他方の端面に導電バー４２を
各１個設ける。 （ヘ）各々の導電バー４２とワイヤリール１１及び１２
とを電気的に接続する。 （ト）導電性の液体４４が貯えられた２個の導電槽４３
を、回転軸３２の近傍で導電バー４２が導電性の液体４
４に接触できる位置に設ける。 （チ）２個の導電槽４３に電源３８を接続する。 以上のように構成した。
ール１１及び１２の円筒部を導電体にして、ワイヤ１３
と電気的に接続する。 （ハ）２個の軸受け台３１に回転自在に各々回転軸３２
を設ける。 （ニ）各々の回転軸３２の一方の端面にワイヤリール１
１及び１２を取り付ける。 （ホ）各々の回転軸３２の他方の端面に導電バー４２を
各１個設ける。 （ヘ）各々の導電バー４２とワイヤリール１１及び１２
とを電気的に接続する。 （ト）導電性の液体４４が貯えられた２個の導電槽４３
を、回転軸３２の近傍で導電バー４２が導電性の液体４
４に接触できる位置に設ける。 （チ）２個の導電槽４３に電源３８を接続する。 以上のように構成した。
【００１３】また、ワイヤソーのワイヤ通電装置を、 （イ）前記ワイヤ１３を導電性を有するものにする。 （ロ）導電性の液体４４が貯えられた２個の導電槽４３
を、ワイヤ１３の走行経路のうち通電対象の２点間の近
傍に設ける。 （ハ）ワイヤ１３を導電性の液体４４に案内し接触させ
るガイドローラ４７を各々の導電槽４３に設ける。 （ニ）２個の導電槽４３に電源３８を接続する。 以上のように構成した。
を、ワイヤ１３の走行経路のうち通電対象の２点間の近
傍に設ける。 （ハ）ワイヤ１３を導電性の液体４４に案内し接触させ
るガイドローラ４７を各々の導電槽４３に設ける。 （ニ）２個の導電槽４３に電源３８を接続する。 以上のように構成した。
【００１４】
【作用】本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の第
一の方法によれば、電源３８からワイヤ１３への通電が
ワイヤリール１１及び１２を介して行われるが、電源３
８からワイヤリール１１及び１２への通電が非接触コネ
クタ３５及び３７を介して行われる。また第二の方法に
よれば、電源３８からワイヤ１３への通電がワイヤリー
ル１１及び１２を介して行われるが、電源３８からワイ
ヤリール１１及び１２への通電が導電性の液体４４を介
して行われる。また第三の方法によれば、電源３８から
ワイヤ１３への通電が導電性の液体４４を介して直接ワ
イヤ１３へ行われる。
一の方法によれば、電源３８からワイヤ１３への通電が
ワイヤリール１１及び１２を介して行われるが、電源３
８からワイヤリール１１及び１２への通電が非接触コネ
クタ３５及び３７を介して行われる。また第二の方法に
よれば、電源３８からワイヤ１３への通電がワイヤリー
ル１１及び１２を介して行われるが、電源３８からワイ
ヤリール１１及び１２への通電が導電性の液体４４を介
して行われる。また第三の方法によれば、電源３８から
ワイヤ１３への通電が導電性の液体４４を介して直接ワ
イヤ１３へ行われる。
【００１５】
実施例１ 本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実施例１を
図１及び図２に示す。図１は電源３８からワイヤリール
１１及び１２への通電、さらにワイヤリール１１及び１
２からワイヤ１３への通電装置の要部を示す図である。
ただし、図５で示したワイヤソーの主要構成のうち、ワ
イヤリール１１及び１２以外については省略している。
図２はコネクタ部分の詳細図である。図１及び図２にお
いて、軸受け台３１に内蔵されたベアリングに回転軸３
２が回転自在に支持され、回転軸３２は軸受け台３１に
内蔵されたモータ３３によって回転駆動される。回転軸
３２の一方の端面にはワイヤリール１１が取り付けられ
ている。ワイヤリール１１はワイヤ１３が巻かれる円筒
部１１ａが導電体であるとともに、円筒部１１ａの片側
に絶縁体のフランジ１１ｂが設けられ、回転軸３２には
フランジ１１ｂを介して取り付けられている。円筒部１
１ａには中継ケーブル３４の一端が接続されている。ま
た、回転軸３２の他方の端面にはホルダ３２ａを介して
非接触コネクタ３５が取り付けられ、非接触コネクタ３
５には中継ケーブル３４の他端が接続されている。さら
に、軸受け台３１に固着されたブラケット３６に非接触
コネクタ３７が非接触コネクタ３５と所定の距離を設け
て取り付けられ、非接触コネクタ３７には電源３８の一
端が接続されている。非接触コネクタ３５と非接触コネ
クタ３７は互いに磁気的に結合されており、一方から他
方へ非接触で通電が可能なものである。ワイヤリール１
２側についても同様であり、これによって、電源３８か
ら非接触コネクタ３７、非接触コネクタ３５、中継ケー
ブル３４を介してワイヤリール１１及び１２へ通電さ
れ、ワイヤリール１１及び１２からワイヤ１３へ通電さ
れる。
図１及び図２に示す。図１は電源３８からワイヤリール
１１及び１２への通電、さらにワイヤリール１１及び１
２からワイヤ１３への通電装置の要部を示す図である。
ただし、図５で示したワイヤソーの主要構成のうち、ワ
イヤリール１１及び１２以外については省略している。
図２はコネクタ部分の詳細図である。図１及び図２にお
いて、軸受け台３１に内蔵されたベアリングに回転軸３
２が回転自在に支持され、回転軸３２は軸受け台３１に
内蔵されたモータ３３によって回転駆動される。回転軸
３２の一方の端面にはワイヤリール１１が取り付けられ
ている。ワイヤリール１１はワイヤ１３が巻かれる円筒
部１１ａが導電体であるとともに、円筒部１１ａの片側
に絶縁体のフランジ１１ｂが設けられ、回転軸３２には
フランジ１１ｂを介して取り付けられている。円筒部１
１ａには中継ケーブル３４の一端が接続されている。ま
た、回転軸３２の他方の端面にはホルダ３２ａを介して
非接触コネクタ３５が取り付けられ、非接触コネクタ３
５には中継ケーブル３４の他端が接続されている。さら
に、軸受け台３１に固着されたブラケット３６に非接触
コネクタ３７が非接触コネクタ３５と所定の距離を設け
て取り付けられ、非接触コネクタ３７には電源３８の一
端が接続されている。非接触コネクタ３５と非接触コネ
クタ３７は互いに磁気的に結合されており、一方から他
方へ非接触で通電が可能なものである。ワイヤリール１
２側についても同様であり、これによって、電源３８か
ら非接触コネクタ３７、非接触コネクタ３５、中継ケー
ブル３４を介してワイヤリール１１及び１２へ通電さ
れ、ワイヤリール１１及び１２からワイヤ１３へ通電さ
れる。
【００１６】実施例２ 本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実施例２を
図３に示す。図３は電源３８からワイヤリール１１及び
１２への通電、さらにワイヤリール１１及び１２からワ
イヤ１３への通電装置の要部を示す図である。ただし、
図５で示したワイヤソーの主要構成のうち、ワイヤリー
ル１１及び１２以外については省略している。また、ケ
ーブル３４からワイヤリール１１及び１２への通電は実
施例１と同様であるので説明は省略する。図３におい
て、回転軸３２の一方の端面に絶縁板４１を介して導電
バー４２が固着され、導電バー４２は中継ケーブル３４
の他端が接続されている。また、回転軸３２の近傍に導
電体の導電槽４３が設けられ、導電槽４３には導電性の
液体４４が貯えられていて、導電性の液体４４は導電バ
ー４２が接触する位置まで満たされている。さらに、導
電槽４３は電源３８に接続されている。なお、導電槽４
３の上面には蓋４５が設けられ、蓋４５の導電バー４２
が通る部分は導電バー４２と接触せずかつ導電性の液体
４４が飛散しない程度に穴４５ａが明いている。通電方
法はワイヤリール１２側についても同様であり、これに
よって、電源３８から導電槽４３、導電性の液体４４、
導電バー４２、中継ケーブル３４を介してワイヤリール
１１及び１２へ通電され、ワイヤリールからワイヤ１３
へ通電される。
図３に示す。図３は電源３８からワイヤリール１１及び
１２への通電、さらにワイヤリール１１及び１２からワ
イヤ１３への通電装置の要部を示す図である。ただし、
図５で示したワイヤソーの主要構成のうち、ワイヤリー
ル１１及び１２以外については省略している。また、ケ
ーブル３４からワイヤリール１１及び１２への通電は実
施例１と同様であるので説明は省略する。図３におい
て、回転軸３２の一方の端面に絶縁板４１を介して導電
バー４２が固着され、導電バー４２は中継ケーブル３４
の他端が接続されている。また、回転軸３２の近傍に導
電体の導電槽４３が設けられ、導電槽４３には導電性の
液体４４が貯えられていて、導電性の液体４４は導電バ
ー４２が接触する位置まで満たされている。さらに、導
電槽４３は電源３８に接続されている。なお、導電槽４
３の上面には蓋４５が設けられ、蓋４５の導電バー４２
が通る部分は導電バー４２と接触せずかつ導電性の液体
４４が飛散しない程度に穴４５ａが明いている。通電方
法はワイヤリール１２側についても同様であり、これに
よって、電源３８から導電槽４３、導電性の液体４４、
導電バー４２、中継ケーブル３４を介してワイヤリール
１１及び１２へ通電され、ワイヤリールからワイヤ１３
へ通電される。
【００１７】実施例３ 本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実施例３を
図４に示す。実施例３は電源３８からワイヤ１３へ直接
通電する方法であるが、図４は実施例１及び実施例２と
同様に、図５で示したワイヤソーの主要構成のうちワイ
ヤリール１１及び１２以外については省略している。図
４において、ワイヤ１３の走行経路のうち通電を要する
部分の２点間の近傍に導電体の導電槽４３が各１個設け
られ、導電槽４３には導電性の液体４４が貯えられてい
る。導電槽４３にはワイヤ１３を案内するガイドローラ
４７が導電性の液体４４に接触する位置に設けられ、ワ
イヤ１３はガイドローラ４７によって導電性の液体４４
に接触している。さらに、導電槽４３は電源３８に接続
されている。なお、導電槽４３の上面には蓋４５が設け
られ、蓋４５のワイヤ１３が通る部分はワイヤ１３と接
触せずかつ導電性の液体４４が飛散しない程度に穴４５
ｂが明いている。通電方法はワイヤリール１２側につい
ても同様であり、これによって、電源３８から導電槽４
３、導電性の液体４４を介してワイヤ１３へ通電され
る。
図４に示す。実施例３は電源３８からワイヤ１３へ直接
通電する方法であるが、図４は実施例１及び実施例２と
同様に、図５で示したワイヤソーの主要構成のうちワイ
ヤリール１１及び１２以外については省略している。図
４において、ワイヤ１３の走行経路のうち通電を要する
部分の２点間の近傍に導電体の導電槽４３が各１個設け
られ、導電槽４３には導電性の液体４４が貯えられてい
る。導電槽４３にはワイヤ１３を案内するガイドローラ
４７が導電性の液体４４に接触する位置に設けられ、ワ
イヤ１３はガイドローラ４７によって導電性の液体４４
に接触している。さらに、導電槽４３は電源３８に接続
されている。なお、導電槽４３の上面には蓋４５が設け
られ、蓋４５のワイヤ１３が通る部分はワイヤ１３と接
触せずかつ導電性の液体４４が飛散しない程度に穴４５
ｂが明いている。通電方法はワイヤリール１２側につい
ても同様であり、これによって、電源３８から導電槽４
３、導電性の液体４４を介してワイヤ１３へ通電され
る。
【００１８】なお、実施例１及び実施例２で示したワイ
ヤリール１１及び１２の回転支持機構や、ワイヤリール
１１及び１２と回転軸３２との通電方法は一つの例であ
り、他の回転支持機構や通電方法の場合にも本発明は適
用できる。同様に、駆動モータ３３は内蔵方式で示した
が、外部モータ方式でもよい。また、実施例２及び実施
例３で示した導電槽４３の上面の蓋４５は、導電性の液
体４４が飛散するおそれがなければ設けなくてもよい
し、逆に、導電性の液体４４が蒸発しやすい場合には導
電バー４２（実施例２）やワイヤ１３（実施例３）との
間に適切なシールを設けてもよい。導電性の液体４４は
放電加工・電解研磨等に用いられる導電性液体や、水銀
等が用いられる。通電される各部の外部との絶縁は通常
は必要ないが、必要な場合は絶縁対策を施してもよい。
ヤリール１１及び１２の回転支持機構や、ワイヤリール
１１及び１２と回転軸３２との通電方法は一つの例であ
り、他の回転支持機構や通電方法の場合にも本発明は適
用できる。同様に、駆動モータ３３は内蔵方式で示した
が、外部モータ方式でもよい。また、実施例２及び実施
例３で示した導電槽４３の上面の蓋４５は、導電性の液
体４４が飛散するおそれがなければ設けなくてもよい
し、逆に、導電性の液体４４が蒸発しやすい場合には導
電バー４２（実施例２）やワイヤ１３（実施例３）との
間に適切なシールを設けてもよい。導電性の液体４４は
放電加工・電解研磨等に用いられる導電性液体や、水銀
等が用いられる。通電される各部の外部との絶縁は通常
は必要ないが、必要な場合は絶縁対策を施してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ通電装置の第一の方法によれば、電源３
８からワイヤ１３への通電がワイヤリール１１及び１２
を介して行われるが、電源３８からワイヤリール１１及
び１２への通電が非接触コネクタ３５及び３７を介して
行われる。また第二の方法によれば、電源３８からワイ
ヤ１３への通電がワイヤリール１１及び１２を介して行
われるが、電源３８からワイヤリール１１及び１２への
通電が導電性の液体４４を介して行われる。また第三の
方法によれば、電源３８からワイヤ１３への通電が導電
性の液体４４を介して直接ワイヤ１３へ行われる。した
がって、電源３８からワイヤリール１１及び１２または
ワイヤ１３への通電が非接触で行われるので、電源３８
からワイヤ１３への通電が安定し、保守の頻度が少なく
てすみ、かつ安価なワイヤソーのワイヤ通電装置を提供
することができる。
ヤソーのワイヤ通電装置の第一の方法によれば、電源３
８からワイヤ１３への通電がワイヤリール１１及び１２
を介して行われるが、電源３８からワイヤリール１１及
び１２への通電が非接触コネクタ３５及び３７を介して
行われる。また第二の方法によれば、電源３８からワイ
ヤ１３への通電がワイヤリール１１及び１２を介して行
われるが、電源３８からワイヤリール１１及び１２への
通電が導電性の液体４４を介して行われる。また第三の
方法によれば、電源３８からワイヤ１３への通電が導電
性の液体４４を介して直接ワイヤ１３へ行われる。した
がって、電源３８からワイヤリール１１及び１２または
ワイヤ１３への通電が非接触で行われるので、電源３８
からワイヤ１３への通電が安定し、保守の頻度が少なく
てすみ、かつ安価なワイヤソーのワイヤ通電装置を提供
することができる。
【図１】本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実
施例１の要部を示す図
施例１の要部を示す図
【図２】図１のコネクタ部分の詳細図
【図３】本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実
施例２の要部を示す図
施例２の要部を示す図
【図４】本発明に係るワイヤソーのワイヤ通電装置の実
施例３の要部を示す図
施例３の要部を示す図
【図５】一般的なワイヤソーの主要構成図
【図６】従来のワイヤソーのワイヤ通電装置の要部を示
す図
す図
１１、１２…ワイヤリール １３…………ワイヤ ３１…………軸受け台 ３２…………回転軸 ３４…………中継ケーブル ３５、３７…非接触コネクタ ３８…………電源
Claims (3)
- 【請求項１】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
断するワイヤソーにおける、ワイヤ通電装置において、 導電性を有する前記ワイヤ（１３）と、 ワイヤ（１３）の供給及び回収を行うとともに、円筒部
が導電体でワイヤ（１３）と電気的に接続された２個の
ワイヤリール（１１、１２）と、 ２個の軸受け台（３１）に回転自在に支持され、一方の
端面にワイヤリール（１１、１２）各１個を支持する２
個の回転軸（３２）と、 回転軸（３２）の他方の端面に各１個設けられ、ワイヤ
リール（１１、１２）と電気的に接続された２個の非接
触コネクタ（３５）と、 非接触コネクタ（３５）と所定の距離を設けて非回転部
分に固着された２個の非接触コネクタ（３７）と、 ２個の非接触コネクタ（３７）に接続された電源（３
８）と、 から構成されたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ通
電装置。 - 【請求項２】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
断するワイヤソーにおける、ワイヤ通電装置において、 導電性を有する前記ワイヤ（１３）と、 前記ワイヤ（１３）の供給及び回収を行うとともに、円
筒部が導電体でワイヤ（１３）と電気的に接続された２
個のワイヤリール（１１、１２）と、 ２個の軸受け台（３１）に回転自在に支持され、一方の
端面にワイヤリール（１１、１２）各１個を支持する２
個の回転軸（３２）と、 回転軸（３２）の他方の端面に各１個設けられ、ワイヤ
リール（１１、１２）と電気的に接続された２個の導電
バー（４２）と、 回転軸（３２）の近傍で導電バー（４２）が導電性の液
体（４４）に接触する位置に設けられ、導電性の液体
（４４）が貯えられた２個の導電槽（４３）と、 ２個の導電槽（４３）に接続された電源（３８）と、 から構成されたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ通
電装置。 - 【請求項３】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
断するワイヤソーにおける、ワイヤ通電装置において、 導電性を有する前記ワイヤ（１３）と、 前記ワイヤ（１３）の走行経路のうち通電対象の２点間
の近傍に設けられ、導電性の液体（４４）が貯えられた
２個の導電槽（４３）と、 導電槽（４３）に設けられ、ワイヤ（１３）を導電性の
液体（４４）に案内し接触させるガイドローラ（４７）
と、 ２個の導電槽（４３）に接続された電源（３８）と、 から構成されたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ通
電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8384194A JPH07266214A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ワイヤソーのワイヤ通電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8384194A JPH07266214A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ワイヤソーのワイヤ通電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07266214A true JPH07266214A (ja) | 1995-10-17 |
Family
ID=13813941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8384194A Pending JPH07266214A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ワイヤソーのワイヤ通電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07266214A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101670623A (zh) * | 2009-09-29 | 2010-03-17 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 线轮主轴 |
| JP2011073120A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び検出方法 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP8384194A patent/JPH07266214A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101670623A (zh) * | 2009-09-29 | 2010-03-17 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 线轮主轴 |
| JP2011073120A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び検出方法 |
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