CN105538528A - 多线切割设备锥线轮机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了多线切割设备锥线轮机构，其包括传动部分，液压调节部分，线轮部分；传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承，主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上；液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞，油缸静活塞设置在油缸缸体的内腔，油缸静活塞的前端为锥形，油缸静活塞前端的锥形与主轴中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮、压线盘、锁紧法兰，锥形轮内部设置有空腔，油缸缸体设置在锥形孔的空腔内，压线盘内侧依靠在油缸缸体的轴肩上，并由锁紧法兰锁紧；锥形轮通过长螺杆与主轴连接。本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。

Description

多线切割设备锥线轮机构
技术领域
本发明涉及晶片加工领域，尤其涉及多线切割设备锥线轮机构。
背景技术
目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶片加工技术，其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对晶片等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。
使用多线切割机完成晶片切割后，堆积在收线轮上的切割线需要清理，去除旧线以便重新使用。
传统去除旧线的方法是采用气焊切割，其结构繁琐，操作复杂，且具有一定的危险性。
发明内容
本发明的目的是针对上述技术问题，提供一种结构合理的多线切割设备锥线轮机构，其采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。
本发明的技术方案：
为解决上述技术问题，本发明提供多线切割设备锥线轮机构，其包括传动部分，液压调节部分，线轮部分。
其中，传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承，主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上；液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞，油缸静活塞设置在油缸缸体的内腔，油缸静活塞的前端为锥形，油缸静活塞前端的锥形与主轴中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮、压线盘、锁紧法兰，锥形轮内部设置有空腔，油缸缸体设置在锥形孔的空腔内，压线盘内侧依靠在油缸缸体的轴肩上，并由锁紧法兰锁紧；锥形轮通过长螺杆与主轴连接。
进一步地，所述的液压调节部分还包括压环、压盖，油缸静活塞上设置有中间槽，压环装卡在中间槽内，压盖压紧压环，并通过螺钉固定在主轴上。
进一步地，所述的压线盘为环状圆柱形，其中心设置有轴向孔，轴向孔的尺寸与油缸缸体端部的外径尺寸配合设置，压线盘的柱状面径向相对位置设置有径向通孔；所述的油缸缸体的端部径向相对位置设置有定位孔，压线盘上的径向通孔与油缸缸体上的定位孔轴向位置相对。
进一步地，所述的线轮部分还包括滑销，压簧，顶丝及把手；滑销、压簧、顶丝依次设置在压线盘的径向通孔内，顶丝顶住压簧，使滑销的端部嵌入油缸缸体上的定位孔内；把手固定在滑销的中部。
进一步地，所述锥形轮的后端设置有挡边结构，其中部的内腔尺寸与油缸缸体的外径配合设置。
进一步地，所述的压线盘上设置有拆卸孔，其包括圆形孔槽，椭圆形槽及连接在圆形、椭圆形槽之间的方形槽；在锁紧状态时，把手装卡在方形槽内。
上述多线切割设备锥线轮机构的使用方法，包括以下步骤：
S1，在液压调节部分作用下，油缸缸体的内侧为进油腔，油缸缸体受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘压紧锥形轮端面，切割线在压线盘和锥形轮的挡边结构组成的容线槽内排列；
S2，通过电磁阀调整液压调节部分的进油压力，使油缸缸体的推力始终大于切割线对压线盘的侧压力；
S3，由伺服电机驱动传动部分，使主轴做高速正反转运动，完成切割线切割；
S4，在液压调节部分作用下，油缸缸体的外侧为进油腔，油缸缸体受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘脱离锥形轮端面，切割线蓬松发散；
S5，拆除锁紧法兰，使用把手将滑销向外侧滑移，使滑销的端部脱离油缸缸体上的定位孔，拆除压线盘；旋下长螺杆，拆除锥形轮，切割线可手动去除。
本发明有益效果：
本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1不含锁紧法兰的左视图；
图3是本发明之锥形轮结构示意图；
图4是图3的剖视图；
图5是本发明之压线盘的结构示意图；
图6是图1的局部放大图；
图7是把手装卡在方形槽时滑销固定状态剖视图；
图8是压线盘压紧锥形轮的结构示意图；
图9是压线盘脱离锥形轮的结构示意图；
图10是把手旋转90°后滑销固定剖视图。
其中：
1.轴承座；2.主轴；3.圆锥滚子轴承；4.锥形轮；5.长螺杆；6.油缸静活塞；7.压环；8.压盖；9.油缸缸体；10.压线盘；11.锁紧法兰；12.锁紧螺母；13.滑销；14.把手；15.拆卸孔；16.挡边结构；17.螺杆孔；18.压簧；19.顶丝；20.轴向孔；21.径向通孔。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明的多线切割设备锥线轮机构进行详细说明：
图1所示的多线切割设备锥线轮机构包括传动部分，液压调节部分，线轮部分。
传动部分包括轴承座1、主轴2、圆锥滚子轴承3，主轴2由一对圆锥滚子轴承3背对背支撑固定在底座上的轴承座1上；左侧的圆锥滚子轴承3由主轴2的轴肩轴向定位，右侧的圆锥滚子轴承3由锁紧螺母12轴向定位。
液压调节部分包括油缸缸体9、油缸静活塞6，油缸静活塞6设置在油缸缸体9的内腔，油缸静活塞6的前端为锥形，油缸静活塞6前端的锥形与主轴2中部的锥孔配合设置；由电磁阀控制液压调节部分进油的方向，以控制油缸缸体9作用力方向，从而控制锥形轮4的压紧与松开。
线轮部分包括锥形轮4、压线盘10、锁紧法兰11，锥形轮4内部设置有空腔，油缸缸体9设置在锥形孔4的空腔内，压线盘10内侧依靠在油缸缸体9的轴肩上，并由锁紧法兰11锁紧。
所述的液压调节部分还包括压环7、压盖8，油缸静活塞6上设置有中间槽，压环7装卡在中间槽内，压盖8压紧压环7，并通过螺钉固定在主轴2上。
图2是图1不含锁紧法兰的左视图，压线盘10上设置有拆卸孔15，其包括圆形槽，椭圆形槽及连接在圆形、椭圆形槽之间的方形槽；在锁紧状态时，把手14装卡在方形槽内。
图3是本发明之锥形轮的结构示意图，锥形轮4的后端设置有挡边结构16，其中部设置有内腔，其内腔尺寸与油缸缸体9的外径配合设置；锥形轮4内腔的外部环形分布有螺杆孔17，长螺杆5穿过锥形轮4上的螺杆孔17与主轴2连接；图4是锥形轮的剖视图。
图5是压线盘的结构示意图，压线盘10为环状圆柱形，其中心设置有轴向孔20，轴向孔20的内圈与油缸缸体9端部的外圈尺寸配合设置，压线盘10的柱状面径向相对位置设置有径向通孔21；所述的油缸缸体9的端部径向相对位置设置有定位孔，压线盘10上的径向通孔21与油缸缸体9上的定位孔轴向位置相对。
图6是图1的局部放大图，所述线轮部分还包括滑销13，压簧18，顶丝19及把手14；其中，滑销13、压簧18、顶丝19依次设置在压线盘10的径向通孔21内，顶丝19顶住压簧18，使滑销13的端部嵌入油缸缸体9上的定位孔内；图7是把手装卡在方形槽时滑销固定状态剖视图，把手14固定在滑销13的中部。
上述多线切割设备锥线轮机构的使用方法，包括以下步骤：
S1，在液压调节部分作用下，油缸缸体9的内侧为进油腔，油缸缸体9受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘10压紧锥形轮4端面，切割线在压线盘10和锥形轮4的挡边结构16组成的容线槽内排列；
图8是压线盘压紧锥形轮的结构示意图，油缸静活塞6的上端位于油缸缸体9的中部位置，油缸缸体9的内侧为进油腔，油缸缸体9受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘10压紧锥形轮4端面。
S2，通过电磁阀调整液压调节部分的进油压力，使油缸缸体9的推力始终大于切割线对压线盘10的侧压力；
油缸缸体9的推力始终大于切割线对压线盘10的侧压力，可以保证切割线不脱离锥形轮4。
S3，由伺服电机驱动传动部分，使主轴2做高速正反转运动，完成切割线切割；
S4，在液压调节部分作用下，油缸缸体9的外侧为进油腔，油缸缸体9受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘10脱离锥形轮4端面，切割线蓬松发散；
图9是压线盘脱离锥形轮的结构示意图，油缸静活塞6的上端位于油缸缸体9的端部位置，油缸缸体9的外侧为进油腔，油缸缸体9受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘10脱离锥形轮4端面。
S5，拆除锁紧法兰11，使用把手14将滑销13向外侧滑移，使滑销13的端部脱离油缸缸体9上的定位孔，拆除压线盘10；旋下长螺杆5，拆除锥形轮4，切割线可手动去除。
压线盘10的拆卸具体步骤如下：
首先，使用手指插入拆卸孔15中的圆形槽内，拨动把手14旋转90°，使把手14脱离拆卸孔15中方形槽的限制；图10是把手旋转90°后滑销固定剖视图。
接着，使用手指将把手14向外推开，从而带动与把手14固定的滑销13向外滑移；
当滑销13的端部脱开油缸缸体9上的定位孔时，压线盘10脱开油缸缸体9。
本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。
本发明不局限于上述实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，包括传动部分，液压调节部分，线轮部分；其中，传动部分包括轴承座（1）、主轴（2）、圆锥滚子轴承（3），主轴（2）由一对圆锥滚子轴承（3）背对背支撑固定在底座上的轴承座（1）上；液压调节部分包括油缸缸体（9）、油缸静活塞（6），油缸静活塞（6）设置在油缸缸体（9）的内腔，油缸静活塞（6）的前端为锥形，油缸静活塞（6）前端的锥形与主轴（2）中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮（4）、压线盘（10）、锁紧法兰（11），锥形轮（4）内部设置有空腔，油缸缸体（9）设置在锥形孔（4）的空腔内，压线盘（10）内侧依靠在油缸缸体（9）的轴肩上，并由锁紧法兰（11）锁紧；锥形轮（4）通过长螺杆（5）与主轴（2）连接。
2.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的液压调节部分还包括压环（7）、压盖（8），油缸静活塞（6）上设置有中间槽，压环（7）装卡在中间槽内，压盖（8）压紧压环（7），并通过螺钉固定在主轴（2）上。
3.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的压线盘（10）为环状圆柱形，其中心设置有轴向孔（20），轴向孔（20）的尺寸与油缸缸体（9）端部的外径尺寸配合设置，压线盘（10）的柱状面径向相对位置设置有径向通孔（21）；所述的油缸缸体（9）的端部径向相对位置设置有定位孔，压线盘（10）上的径向通孔（21）与油缸缸体（9）上的定位孔轴向位置相对。
4.根据权利要求3所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的线轮部分还包括滑销（13），压簧（18），顶丝（19）及把手（14）；滑销（13）、压簧（18）、顶丝（19）依次设置在压线盘（10）的径向通孔（21）内，顶丝（19）顶住压簧（18），使滑销（13）的端部嵌入油缸缸体（9）上的定位孔内；把手（14）固定在滑销（13）的中部。
5.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述锥形轮（4）的后端设置有挡边结构（16），其中部的内腔尺寸与油缸缸体（9）的外径配合设置。
6.根据权利要求4所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的压线盘（10）上设置有拆卸孔（15），其包括圆形孔槽，椭圆形槽及连接在圆形、椭圆形槽之间的方形槽；在锁紧状态时，把手（14）装卡在方形槽内。
7.权利要求1～6中任意一项所述多线切割设备锥线轮机构的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，在液压调节部分作用下，油缸缸体（9）的内侧为进油腔，油缸缸体（9）受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘（10）压紧锥形轮（4）端面，切割线在压线盘（10）和锥形轮（4）的挡边结构（16）组成的容线槽内排列；
S2，通过电磁阀调整液压调节部分的进油压力，使油缸缸体（9）的推力始终大于切割线对压线盘（10）的侧压力；
S3，由伺服电机驱动传动部分，使主轴（2）做高速正反转运动，完成切割线切割；
S4，在液压调节部分作用下，油缸缸体（9）的外侧为进油腔，油缸缸体（9）受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘（10）脱离锥形轮（4）端面，切割线蓬松发散；
S5，拆除锁紧法兰（11），使用把手（14）将滑销（13）向外侧滑移，使滑销（13）的端部脱离油缸缸体（9）上的定位孔，拆除压线盘（10）；旋下长螺杆（5），拆除锥形轮（4），切割线可手动去除。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000190196A (ja) * 1998-12-28 2000-07-11 Nippei Toyama Corp ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造
US6925923B2 (en) * 2001-10-05 2005-08-09 Hycorr Machine Corporation Rotary cutting die mounting system
CN201801240U (zh) * 2010-07-16 2011-04-20 新余市银龙机电科技有限公司 圆锥形分体收线轮
CN102114672A (zh) * 2010-11-25 2011-07-06 新余市银龙机电科技有限公司 圆锥形分体收线轮
CN202399419U (zh) * 2011-12-31 2012-08-29 株洲德瑞佳科技有限公司 多线硅片切割机用收线装置
CN202592561U (zh) * 2012-01-01 2012-12-12 株洲德瑞佳科技有限公司 一种硅片切割机放线轴承箱

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000190196A (ja) * 1998-12-28 2000-07-11 Nippei Toyama Corp ワイヤソ―のリ―ルボビンの異常回転検知構造
US6925923B2 (en) * 2001-10-05 2005-08-09 Hycorr Machine Corporation Rotary cutting die mounting system
CN201801240U (zh) * 2010-07-16 2011-04-20 新余市银龙机电科技有限公司 圆锥形分体收线轮
CN102114672A (zh) * 2010-11-25 2011-07-06 新余市银龙机电科技有限公司 圆锥形分体收线轮
CN202399419U (zh) * 2011-12-31 2012-08-29 株洲德瑞佳科技有限公司 多线硅片切割机用收线装置
CN202592561U (zh) * 2012-01-01 2012-12-12 株洲德瑞佳科技有限公司 一种硅片切割机放线轴承箱

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