CN202592561U - 一种硅片切割机放线轴承箱 - Google Patents
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Abstract
一种硅片切割机放线轴承箱,包括一根主轴,主轴通过轴承安装在壳体内,壳体的两端分别安装有前端盖和后端盖,由主轴、壳体与前端盖和后端盖组合在轴承所处的空腔内形成一个封闭腔体;其特征在于,所述的主轴分两段,其中位于壳体内的部分为支撑段,在壳体和前端盖以外的部分为工作段,所述的支撑段与工作段为连接在一起的一体结构;在壳体上设有压缩空气注入口,封闭腔体内注入有压缩空气,并保证封闭腔体内的压力高于壳体外的外界的压力。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片切割技术,具体涉及一种硅片切割机的放线轴承箱。
背景技术
在硅片切割机中,放线轴承箱是切割机的重要部件,它是顺利切割的保证与前提。由于现在一般硅片切割都是连续不间断的作业,在8小时的切割过程中轴承一直在高速运动,很容易发热,因此需要对其进行散热处理,但在散热时既要避免轴承运动产生大量的热量无法带走,又要防止切割液的进入,可以现有国内的硅片切割机放线轴承箱对此都缺乏考虑,没有达到此要求,因此经常出现过热现象。
国外的放线轮轴承箱为了避免出现上述问题,普遍采取的是主轴分前后两段,用螺丝固定,且一般都是采取主轴中空,加油压方式,但是这种结构复杂,而且为了保证两段轴的同心度,制作精度要求高,国内制作水平难以达到。
因此,需要对此加以改进。
实用新型内容
针对现有硅片切割机放线轴承箱所存在的不足,本实用新型的目的是提供一种新的硅片切割机放线轴承箱,该种硅片切割机放线轴承箱既能有消散效轴承运动产生大量的热量,又可有效防止切割液的进入轴承箱内,且结构简单,适应性强。
实现本实用新型目的所采取的技术实施方案是:一种硅片切割机放线轴承箱,包括一根主轴,主轴通过轴承安装在壳体内,壳体的两端分别安装有前端盖和后端盖,由主轴、壳体与前端盖和后端盖组合在轴承所处的空腔内形成一个封闭腔体;其特征在于,所述的主轴分两段,其中位于壳体内的部分为支撑段,在壳体和前端盖以外的部分为工作段,所述的支撑段与工作段为连接在一起的一体结构;在壳体上设有压缩空气注入口,封闭腔体内注入有压缩空气,并保证封闭腔体内的压力高于壳体外的外界的压力。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的轴承有两个,分别设在主轴支撑段的两头,且在两轴承之间设有调整轴承之间距离的套筒,在前端轴承外圈的内面位置设有调整垫,在后端轴承内圈外的主轴位置设有锁紧螺母。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的前端盖与壳体之间设有密封垫,密封垫延伸到轴承与主轴的轴间挡圈之间,在前端盖与主轴的轴间挡圈之间还设有径向密封圈,当密封腔体内的压缩空气超过径向密封圈密封压力时将通过径向密封圈外泄,带走轴承处的发热热量。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的壳体外设有防震垫,防震垫紧套在壳体的外壳上。
本实用新型的有益效果在于:采取了主轴一体的方式,省去了油压系统,有效地确保了放线轮的长周期运行;且增加了进气装置,在壳体内采用了密闭腔体,并充入压缩气体,气体从注入口进入轴承箱,再由径向密封处出来,这样可以把部分由于轴承高速旋转产生的热量带走,又可防止切割液的进入。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图和实施例度本实用新型做进一步的描述。
附图1给出了本实用新型的一个具体实施例,通过附图可以看出,本实用新型涉及一种硅片切割机放线轴承箱,包括一根主轴11,主轴11通过轴承5安装在壳体14内,壳体14的两端分别安装有前端盖3和后端盖10,由主轴11、壳体14与前端盖3和后端盖10组合在轴承5所处的空腔内形成一个封闭腔体;其特征在于,所述的主轴11分包括两段,其中位于壳体14内的部分为支撑段12,在壳体14和前端盖3以外的部分为工作段1,所述的支撑段12与工作段1为连接在一起的一体结构;在壳体14上设有压缩空气注入口13,封闭腔体内注入有压缩空气,并保证封闭腔体内的压力高于壳体14外的外界的压力。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的轴承5有两个,分别设在主轴支撑段12的两头,且在两轴承之间设有调整轴承5之间距离的套筒7,在前端轴承外圈的内面位置设有调整垫6,在后端轴承内圈外的主轴位置设有锁紧螺母9。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的前端盖3与壳体14之间设有密封垫4,密封垫4延伸到轴承5与主轴11的轴间挡圈之间,在前端盖3与主轴11的轴间挡圈之间还设有径向密封圈2,当密封腔体内的压缩空气超过径向密封圈2密封压力时将通过径向密封圈2外泄,带走轴承处的发热热量。
作为本实用新型的进一步技术实施方案,所述的壳体14外设有防震垫8,防震垫8紧套在壳体14的外壳上。
Claims (4)
1.一种硅片切割机放线轴承箱,包括一根主轴,主轴通过轴承安装在壳体内,壳体的两端分别安装有前端盖和后端盖,由主轴、壳体与前端盖和后端盖组合在轴承所处的空腔内形成一个封闭腔体;其特征在于,所述的主轴分两段,其中位于壳体内的部分为支撑段,在壳体和前端盖以外的部分为工作段,所述的支撑段与工作段为连接在一起的一体结构;在壳体上设有压缩空气注入口,封闭腔体内注入有压缩空气,并保证封闭腔体内的压力高于壳体外的外界的压力。
2.如权利要求1所述的硅片切割机放线轴承箱,其特征在于,所述的轴承有两个,分别设在主轴支撑段的两头,且在两轴承之间设有调整轴承之间距离的套筒,在前端轴承外圈的内面位置设有调整垫,在后端轴承内圈外的主轴位置设有锁紧螺母。
3.如权利要求2所述的硅片切割机放线轴承箱,其特征在于,所述的前端盖与壳体之间设有密封垫,密封垫延伸到轴承与主轴的轴间挡圈之间,在前端盖与主轴的轴间挡圈之间还设有径向密封圈,当密封腔体内的压缩空气超过径向密封圈密封压力时将通过径向密封圈外泄,带走轴承处的发热热量。
4.如权利要求4所述的硅片切割机放线轴承箱,其特征在于,所述的壳体外设有防震垫,防震垫紧套在壳体的外壳上。
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CN105538528A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 多线切割设备锥线轮机构 |
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