KR20190026653A - 와이어소 장치 및 워크의 절단방법 - Google Patents

와이어소 장치 및 워크의 절단방법 Download PDF

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신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 복수의 와이어가이드의 주위에 나선상으로 권회된 상기 와이어에 의해 형성되는 와이어열과, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 절단대상인 워크를 유지하는 워크유지부를 갖고, 적어도 전진후퇴를 1회 이상 반복하여 주행하는 상기 와이어열에 상기 워크유지부에 유지된 상기 워크를 압착하여 절단가공을 행하는 와이어소 장치에 있어서, 상기 워크유지부에 장착된 진동센서와, 상기 와이어의 장력을 검출하는 로드셀을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어소 장치이다. 이에 따라, 워크의 절단전에, 와이어의 장력이 날뛰거나, 와이어소 장치의 이상한 진동이 일어나는 상태를 판단하는 것이 가능하고, 워크로부터 잘라낸 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있는 와이어소 장치 및 워크의 절단방법이 제공된다.

Description

와이어소 장치 및 워크의 절단방법
본 발명은, 와이어소 절단기술에 관한 것으로, 워크, 예를 들어 실리콘 반도체 단결정 잉곳을 웨이퍼상으로 하는(슬라이스하는) 웨이퍼 절단공정 등에 적용가능한 와이어소 장치 및 워크의 절단방법에 관한 것이다.
예를 들어, 반도체 제조분야에 있어서는, 단결정 인상장치에 의해 인상된 실리콘 반도체 단결정 잉곳을 내주인 슬라이서에 의해 축직각방향으로 얇게 절단함으로써 복수의 실리콘 반도체 웨이퍼를 얻고 있다.
그런데, 최근의 반도체 웨이퍼의 대직경화의 경향은, 종래부터의 내주인 슬라이서에 의한 잉곳의 절단을 곤란하게 하고 있다. 또한, 내주인 슬라이서에 의한 절단방법은, 웨이퍼를 1매씩 잘라내기 때문에 비효율이고 생산성이 나쁘다는 문제가 있다.
이에, 와이어소(특히, 멀티 와이어소)에 의한 절단방법이 최근 주목받고 있다. 이 절단방법은, 복수개의 메인롤러(와이어가이드)간에 나선상으로 권회된 와이어열에 워크를 가압하고, 이 워크와 와이어의 접촉부에 슬러리를 공급하면서 와이어를 이동시킴으로써 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 방법이다(예를 들어, 특허문헌 1). 이러한 절단방법에 의해, 한번에 다수매(예를 들어 수100매)의 웨이퍼를 잘라낼 수 있다.
또한, 특허문헌 2와 같이, 홈부착롤러의 유지부에 진동계를 장착하고, 단선검지에 이용하고 있는 것이나, 특허문헌 3과 같이, 릴보빈의 베어링 하우징 또는 이 베어링 하우징의 브라켓에 진동계를 장착하고, 릴보빈의 이상회전검지에 진동센서가 이용되고 있는 것이 있다.
일본특허공개 H11-156694호 공보 일본특허공개 2013-035080호 공보 일본특허공개 2000-190196호 공보
그러나, 상기와 같은 와이어소를 이용한 절단방법에 있어서, 와이어장력이 일정하게 유지되지 않고, 크게 날뛰는 상태나, 이상한 진동이 일어나고 있는 상태로 워크를 절단한 경우, Warp품질에 악화가 보인다. 또한, 워크의 절단도중에 상기 이상을 알아채고, 메인터넌스를 위해 장치를 정지하면, 이번에는 온도변화에 의해 Warp품질이 악화된다. 어느 쪽에서건 한번에 다수매의 웨이퍼를 잘라내기 때문에, 대량 불량으로 이어질 가능성이 높다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 서술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 워크의 절단 전에, 와이어의 장력이 날뛰거나, 와이어소 장치의 이상한 진동이 일어나는 상태를 판단하는 것이 가능하고, 워크로부터 잘라낸 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있는 와이어소 장치 및 워크의 절단방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 복수의 와이어가이드의 주위에 나선상으로 권회된 상기 와이어에 의해 형성되는 와이어열과, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 절단대상인 워크를 유지하는 워크유지부를 갖고, 적어도 전진후퇴를 1회 이상 반복하여 주행하는 상기 와이어열에 상기 워크유지부에 유지된 상기 워크를 압착하여 절단가공을 행하는 와이어소 장치에 있어서,
상기 워크유지부에 장착된 진동센서와, 상기 와이어의 장력을 검출하는 로드셀을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어소 장치를 제공한다.
이러한 것이면, 워크의 절단전에, 로드셀에 의해 검출되는 와이어의 장력, 및 진동센서에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정값을 이용하여 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 따라서, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하면, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 본 발명의 와이어소 장치를 이용하여 워크를 절단하는 방법으로서,
상기 워크의 절단전에, 상기 워크를 상기 와이어에 접촉시키지 않은 상태로, 상기 와이어를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행시키면서, 상기 로드셀에 의해 검출되는 상기 와이어의 장력, 및 상기 진동센서에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정된 측정값을 이용하여 상기 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행하는 판단공정과,
상기 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 상기 워크의 절단을 행하는 절단공정을 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법을 제공한다.
이러한 워크의 절단방법은, 상기의 본 발명의 와이어소 장치를 이용하므로, 워크의 절단전에, 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 그리고, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하므로, 워크로부터 잘라낸 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
이때, 상기 판단공정에 있어서,
상기 측정값을 이용하여 관리도 관리를 행하고, 상기 측정값이 관리값 한계외에 있는 경우에 상기 와이어소 장치가 이상이라고 판단하여, 상기 워크의 절단전에 상기 와이어소 장치를 정지하고, 상기 관리값 한계내에 들어갈 때까지, 상기 와이어소 장치의 메인터넌스를 행하고 나서, 상기 워크를 절단하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 관리도(圖) 관리함으로써, 워크의 절단전에 와이어소 장치의 상태를 파악할 수 있고, 관리값 한계외의 이상상태의 경우에 메인터넌스함으로써, 워크로부터 잘라낸 웨이퍼의 품질악화나 품질악화에 의한 불량발생을 저감할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 본 발명의 와이어소 장치를 이용하여 워크를 절단하는 방법으로서, 상기 워크의 절단전에, 상기 워크를 상기 와이어에 접촉시키지 않은 상태로, 상기 와이어를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행시키면서, 상기 로드셀에 의해 검출되는 상기 와이어의 장력의 표준편차가 0.45N 이하, 또한, 상기 진동센서에 의해 검출되는 진동이 1.0mm/sec 이하인 것을 확인하고 나서, 상기 워크의 절단을 행하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법을 제공한다.
이와 같이, 와이어의 장력의 표준편차가 0.45N 이하, 또한, 진동이 1.0mm/sec 이하인 경우를 정상이라고 판단하고, 이 정상이 된 경우에만 워크의 절단을 행함으로써, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 보다 확실히 방지할 수 있다.
본 발명의 와이어소 장치이면, 워크의 절단전에, 로드셀에 의해 검출되는 와이어의 장력, 및 진동센서에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정값을 이용하여 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 따라서, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하면, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
또한, 이러한 본 발명의 와이어소 장치를 이용한 워크의 절단방법이면, 워크의 절단전에, 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 그리고, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하므로, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 와이어소 장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 워크의 절단방법의 일례를 나타낸 공정도이다.
도 3은 난기(暖機)시의 와이어장력불균일(σ)의 관리도이다.
도 4는 난기시의 와이어장력불균일(σ)이 관리값 한계외의 (a)이상시(비교예 1)와, 관리값 한계내의 (b)정상시(실시예 1)에 있어서, 워크를 절단했을 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 나타낸 그래프이다.
도 5는 난기시의 진동진폭의 평균값의 관리도이다.
도 6은 난기시의 진동진폭의 평균값이 관리값 한계외의 (a)이상시(비교예 2)와, 관리값 한계내의 (b)정상시(실시예 2)에 있어서, 워크를 절단했을 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명에 대하여 실시의 형태를 설명하는데, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다.
상기한 바와 같이, 와이어소 장치를 이용한 절단방법에 있어서, 와이어장력을 일정하게 유지할 수 없어, 크게 날뛰는 상태나, 이상한 진동이 일어나고 있는 상태로 워크를 절단한 경우, Warp품질에 악화가 보인다. 또한, 워크의 절단도중에 상기 이상을 알아채고, 메인터넌스를 위해 장치를 정지하면, 이번에는 온도변화에 따라 Warp품질이 악화된다. 어느 쪽에서건 한번에 다수매의 웨이퍼를 잘라내기 때문에, 대량 불량으로 이어질 가능성이 높다는 문제가 있었다.
이에, 본 발명자는 이러한 문제를 해결하기 위해 예의검토를 거듭하였다. 그 결과, 워크를 유지하는 부분에 장착된 진동센서와, 와이어장력을 검출하는 로드셀을 구비한 와이어소 장치이면, 워크의 절단전에, 로드셀에 의해 검출되는 와이어의 장력, 및 진동센서에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정값을 이용하여 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있고, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하면, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있는 것에 상도하였다. 그리고, 이들을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여 자세히 조사하여, 본 발명을 완성시켰다.
우선, 본 발명의 와이어소 장치에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 와이어소 장치(13)는, 와이어(8)를 연출하는 와이어공급릴(1)과, 복수의 와이어가이드(6)의 주위에 나선상으로 권회된 와이어(8)에 의해 형성되는 와이어열(9)과, 와이어(8)를 권취하는 와이어권취릴(7)과, 절단대상인 워크(W)를 유지하는 워크유지부(10)를 갖고, 적어도 전진후퇴를 1회 이상 반복하여 주행하는 와이어열(9)에 워크유지부(10)에 유지된 워크(W)를 압착하여 절단가공을 행하는 것이다. 그리고, 와이어소 장치(13)는, 워크유지부(10)에 장착된 진동센서(진동계)(11)와, 와이어(8)의 장력을 검출하는 로드셀(5)을 구비하고 있다.
이 와이어소 장치(13)에서는, 와이어(8)가 와이어공급릴(1)로부터 롱롤러(2), 트래버서(3), 복수의 풀리(P)를 통과하여, 와이어가이드(6)에 소정의 피치로 평행하게 감기고, 와이어열(9)을 형성한다. 그 와이어열(9)에, 워크유지부(10)에 유지된 워크(W)를 하강시킴으로써 워크(W)를 절단하는 구성으로 되어 있다. 그리고, 와이어가이드(6)를 나온 와이어(8)는, 복수의 풀리(P)와 트래버서(3)를 통과하여 와이어권취릴(7)에 권취된다.
본 실시형태의 와이어소 장치(13)에서는, 와이어공급릴(1)과 와이어가이드(6), 와이어가이드(6)와 와이어권취릴(7)의 사이에, 각각 로드셀(5)과 텐션기구(4)가 마련되어 있고, 로드셀(5)로 검출한 장력을 기초로 텐션기구(4)에 의해 와이어(8)의 장력을 제어하고 있다.
그리고, 워크유지부(10)에는, 진동센서(11)가 장착되어 있다. 진동센서(11)는, 예를 들어, 워크유지부(10)에 있어서의 워크(W)를 접착하고 있는 플레이트에 직접 장착하여, 진동을 모니터하는 구성으로 할 수 있다. 로드셀(5) 및 진동센서(11)는, 예를 들어, 감시PC(12)에 접속되어, 로드셀(5) 및 진동센서(11)로부터 출력되는 검출값을 상시 감시할 수 있다.
이러한 와이어소 장치(13)이면, 워크(W)의 절단전에, 로드셀(5)에 의해 검출되는 와이어(8)의 장력, 및 진동센서(11)에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정값을 이용하여 와이어소 장치(13)의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 따라서, 와이어소 장치(13)가 정상이라고 판단된 경우에, 워크(W)의 절단을 행하면, 워크(W)로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
다음에, 상기한 바와 같은 본 발명의 와이어소 장치를 이용한 본 발명의 워크의 절단방법에 대하여 설명한다. 여기서는, 상기 서술한 도 1에 나타낸 본 발명의 와이어소 장치(13)를 이용한 경우에 대하여 설명한다.
우선, 와이어소 장치(13)를 이용하여, 워크(W)의 절단을 행하기 전에, 워크(W)를 와이어(8)에 접촉시키지 않은 상태로, 와이어(8)를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행시키면서, 로드셀(5)에 의해 검출되는 와이어(8)의 장력, 및 진동센서(11)에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정된 측정값을 이용하여 와이어소 장치(13)의 정상 또는 이상의 판단을 행하는 판단공정을 행한다. 그리고, 이 판단공정에서, 와이어소 장치(13)가 정상이라고 판단된 경우에, 워크(W)의 절단을 행하는 절단공정을 행한다.
구체적으로는, 도 2의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 우선, 워크(W)를 절단하기 전에, 워크(W)가 와이어열(9)에 접촉되지 않은 상태로, 와이어(8)를 적어도 1회 이상 전진후퇴 주행시킨다. 이 작업을 난기운전(SP1)이라고 한다. 이 난기운전 중에, 장력과 진동 중 적어도 일방을 계측하고(SP2), 그 계측값(측정값)으로부터 와이어소 장치(13)가 정상인지 이상인지를 판단하는 판단공정(SP3)을 행한다. 그리고, 정상인 경우는, 난기계속(SP4)후, 그대로 워크(W)의 절단을 행한다(SP5). 한편, 이상인 경우는, 와이어소 장치(13)를 정지하고(SP6), 풀리(P)의 교환 등의 메인터넌스를 실시한다(SP7). 그 후, 재차 난기운전을 행하고(SP1), 정상이 될 때까지 이 플로우를 계속할 수 있다.
이때, 판단공정(SP3)에 있어서, 측정값을 이용하여 관리도 관리(SP8)를 행하고, 측정값이 관리값 한계외에 있는 경우에 와이어소 장치(13)가 이상이라고 판단(SP9)하여, 워크(W)의 절단전에 와이어소 장치(13)를 정지하고, 관리값 한계내에 들어갈 때까지, 와이어소 장치(13)의 메인터넌스를 행하고 나서, 워크(W)를 절단할 수 있다.
이와 같이 하면, 관리도 관리함으로써, 워크(W)의 절단전에 와이어소 장치(13)의 상태를 파악할 수 있고, 관리값 한계외의 이상상태의 경우에 메인터넌스함으로써, 워크(W)로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화나 품질악화에 의한 불량발생을 저감할 수 있다.
정상인지 이상인지의 판단의 일례로서, 구체적으로는, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시에 있어서, 로드셀(5)에 의해 검출되는 와이어(8)의 장력의 측정값을 이용하여 산출할 수 있는 장력불균일(σ)이나, 진동센서(11)에 의해 검출되는 진동의 측정값을 이용하여 산출할 수 있는 진동의 진폭을 관리도 관리(SP8)하고, 관리한계선내(관리값 한계내)는 정상, 벗어난 경우(관리값 한계외)는 이상이라고 판단하는(SP9) 방법이 있다.
보다 구체적으로는, 로드셀에 의해 검출되는 와이어의 장력의 표준편차가 0.45N 이하, 또한, 진동센서에 의해 검출되는 진동이 1.0mm/sec 이하인 것을 확인하고 나서, 워크의 절단을 행할 수 있다. 즉, 이 조건을 만족시키는 경우를 정상이라고 판단하고, 만족시키지 않는 경우를 이상이라고 판단한다.
이러한 본 발명의 와이어소 장치를 이용한 워크의 절단방법이면, 워크의 절단전에, 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행할 수 있다. 그리고, 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 워크의 절단을 행하므로, 워크로부터 잘라내는 웨이퍼의 품질악화를 방지할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 이것들로 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
도 1에 나타낸 바와 같은 본 발명의 와이어소 장치를 이용하여, 본 발명의 워크의 절단방법에 따라서 워크의 절단을 행하였다. 한편, CZ법(초크랄스키법)으로 제조된 직경 300mm의 잉곳을 워크(W)로 하여 사용하였다.
우선, 워크(W)의 절단을 행하기 전에, 워크(W)를 와이어(8)(와이어열(9))에 접촉시키지 않은 상태로, 와이어(8)를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행(난기운전)시키면서, 로드셀(5)에 의해 검출되는 와이어(8)의 장력의 측정을 행하였다.
그리고, 이 측정값을 이용하여 산출한 장력불균일(σ)의 관리도 관리를 행하였다. 도 3은, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시의 장력불균일(σ)의 관리도이다. 도 3의 각 점은, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시의 장력불균일(σ)을 나타내고 있다. 이때, 장력불균일(σ)이, UCL(Upper Control Limit: 상방관리한계선) 및 LCL(Lower Control Limit: 하방관리한계선)의 관리한계선내(관리값 한계내)인 경우는 와이어소 장치가 정상, 벗어난 경우(관리값 한계외)는 와이어소 장치가 이상이라고 판단하였다. 한편, 도 3 중의 CL(Central Line)은 중심선을 나타낸다.
그리고, 도 3의 아래 화살표(b)가 나타낸 장력불균일(σ)이 관리값 한계내에서, 정상이라고 판단된 경우에 있어서, 워크(W)의 절단을 행하였다. 이 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 측정한 결과를 도 4(b)에 나타냈다. Warp품질의 측정에는, SBW-330(코벨코과연제)을 사용하였다. 한편, 도 4 중의 에러바는, 측정한 슬라이스품 25매의 Warp의 표준편차(SD: standard deviation)를 나타낸다.
그 결과, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 실시예 1에서는, Warp품질이 평균 6.8μm였다.
(비교예 1)
비교예 1로서, 도 3의 아래 화살표(a)가 나타낸 바와 같은, 장력불균일(σ)이 관리한계선을 벗어나 있고, 이상이라고 판단된 경우에 있어서, 메인터넌스를 실시하지 않고, 그대로, 워크(W)의 절단을 행하였다. 도 3의 아래 화살표(a)가 나타낸 장력불균일(σ)은 관리한계선을 벗어난 0.46N이었다. 이 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 측정한 결과를 도 4(a)에 나타냈다.
그 결과, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 비교예 1에서는, Warp품질이 평균 9.7μm였다. 이와 같이, 장력불균일(σ)이 0.45N을 초과한 경우에 워크(W)의 절단을 행하였으므로, Warp품질이 악화되었다.
(실시예 2)
진동센서에 의해 검출되는 진동의 측정을 행하여 얻어진 측정값을 이용하여, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시의 진동진폭의 평균값을 산출하였다. 그리고, 이 진동진폭의 평균값을 이용하여, 관리도 관리를 행한 것 이외는, 실시예 1과 동일하게 하여 워크의 절단을 행하였다.
우선, 워크(W)의 절단을 행하기 전에, 워크(W)를 와이어(8)에 접촉시키지 않은 상태로, 와이어(8)를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행(난기운전)시키면서, 진동센서(11)에 의해 검출되는 진동의 측정을 행하였다.
그리고, 이 측정값을 이용하여 산출한 진동진폭의 평균값의 관리도 관리를 행하였다. 도 5는, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시의 진동진폭의 평균값의 관리도이다. 또한, 도 5의 각 점은, 난기시에 있어서의 전진후퇴 1사이클시의 진동진폭의 평균값을 나타내고 있다. 이 때, 진동진폭의 평균값이, UCL 및 LCL의 관리한계선내(관리값 한계내)인 경우는 와이어소 장치가 정상, 벗어난 경우(관리값 한계외)는 와이어소 장치가 이상이라고 판단하였다. 한편, 도 5 중의 CL은 중심선을 나타낸다.
그리고, 도 5의 아래 화살표(b)가 나타낸 진동진폭의 평균값이 관리값 한계내에서, 정상이라고 판단된 경우에 있어서, 워크(W)의 절단을 행하였다. 이 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 실시예 1과 동일하게 하여 측정한 결과를 도 6(b)에 나타냈다. 한편, 도 6 중의 에러바는, 측정한 슬라이스품 25매의 Warp의 표준편차(SD)를 나타낸다.
그 결과, 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 실시예 2에서는, Warp품질이 평균 7.1μm였다.
(비교예 2)
비교예 2로서, 도 5의 아래 화살표(a)가 나타낸, 진동진폭의 평균값이 관리한계선을 벗어나 있어, 이상이라고 판단된 경우에 있어서, 메인터넌스를 실시하지 않고, 그대로, 워크(W)의 절단을 행하였다. 도 5의 아래 화살표(a)가 나타낸 위치에서의 진동은 1.2mm/sec였다. 이 때의 슬라이스품 25매의 평균 Warp품질을 측정한 결과를 도 6(a)에 나타냈다.
그 결과, 도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 비교예 2에서는, Warp품질이 평균 10.2μm였다. 이와 같이, 진동이 1.0mm/sec를 초과한 경우에 워크(W)의 절단을 행하였으므로, Warp품질이 악화되었다.
이상의 결과로부터, 본 발명을 실시한 실시예 1, 2와 같이, 워크절단전의 와이어소 장치에 있어서, 진동과 장력의 적어도 일방의 측정결과를 이용하여, 관리도 관리함으로써, 워크(W)의 절단전에 와이어소 장치의 상태를 파악할 수 있고, 관리값 한계내의 정상인 상태를 유지함으로써, 워크의 품질악화나 품질악화에 의한 불량발생의 저감을 할 수 있는 것을 알 수 있었다.
한편, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (4)

  1. 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 복수의 와이어가이드의 주위에 나선상으로 권회된 상기 와이어에 의해 형성되는 와이어열과, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 절단대상인 워크를 유지하는 워크유지부를 갖고, 적어도 전진후퇴를 1회 이상 반복하여 주행하는 상기 와이어열에 상기 워크유지부에 유지된 상기 워크를 압착하여 절단가공을 행하는 와이어소 장치에 있어서,
    상기 워크유지부에 장착된 진동센서와, 상기 와이어의 장력을 검출하는 로드셀을 구비하는 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치.
  2. 제1항에 기재된 와이어소 장치를 이용하여 워크를 절단하는 방법으로서,
    상기 워크의 절단전에, 상기 워크를 상기 와이어에 접촉시키지 않은 상태로, 상기 와이어를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행시키면서, 상기 로드셀에 의해 검출되는 상기 와이어의 장력, 및 상기 진동센서에 의해 검출되는 진동 중 적어도 일방의 측정을 행하고, 이 측정된 측정값을 이용하여 상기 와이어소 장치의 정상 또는 이상의 판단을 행하는 판단공정과,
    상기 와이어소 장치가 정상이라고 판단된 경우에, 상기 워크의 절단을 행하는 절단공정을 갖는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 판단공정에 있어서,
    상기 측정값을 이용하여 관리도 관리를 행하고, 상기 측정값이 관리값 한계외에 있는 경우에 상기 와이어소 장치가 이상이라고 판단하여, 상기 워크의 절단전에 상기 와이어소 장치를 정지하고, 상기 관리값 한계내로 들어갈 때까지, 상기 와이어소 장치의 메인터넌스를 행하고 나서, 상기 워크를 절단하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  4. 제1항에 기재된 와이어소 장치를 이용하여 워크를 절단하는 방법으로서,
    상기 워크의 절단전에, 상기 워크를 상기 와이어에 접촉시키지 않은 상태로, 상기 와이어를 적어도 전진후퇴 1회 이상 반복하여 주행시키면서, 상기 로드셀에 의해 검출되는 상기 와이어의 장력의 표준편차가 0.45N 이하, 또한, 상기 진동센서에 의해 검출되는 진동이 1.0mm/sec 이하인 것을 확인하고 나서, 상기 워크의 절단을 행하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
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