JP5201086B2 - ワークの切断方法 - Google Patents
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Description
上記した切断時の摩擦熱が変動することによって、ウェーハの温度が変動して、ウェーハ表面にうねりが生じるという問題に対して、ワイヤとウェーハとが同時に接触している長さ2Lとワイヤ列数pとの積に応じた熱量を供給するスラリから吸熱することにより、ウェーハの切断部の温度を略一定に保つことでうねりを抑制するとされるワイヤソー切断方法が開示されている(特許文献1参照)。
また、ワークが円柱状のインゴットである場合、切断開始時においてはワークに侵入するワイヤ長が短いため発生する摩擦熱は低く、ワーク温度も低いが、切断の進行とともにワークに侵入するワイヤ長が長くなり、発生する摩擦熱が増加してワークは膨張する。一方、切断後半部ではワークに侵入するワイヤ長が縮小するため発生する摩擦熱が低下し、ワーク温度も低下するためワークは収縮する。
このようなワーク温度に起因したWarpの特徴として、ワークの長手方向の中央部を起点としてワークの両端近傍の形状が特に悪化する傾向にある。
このように、前記ワークの切断中に供給するスラリの温度を一定とすれば、簡単に実施することができる切断方法となり、切断中に複雑なスラリの温度制御を行わなくてもワークの温度の高低差を縮小させてワークの膨張収縮を抑制し、Warpを改善する効果を奏すことができる。
ワイヤソーで円柱状のワークを切断する際に発生するWarpは切断後の品質だけではなく最終製品の品質にも影響を与えている。そのため、デザインルールの微細化に伴い、ワイヤソーでのワークの切断における切断形状の品質向上が課題となっている。
このようなWarpには様々な発生要因があるが、その中でワークの温度変化に起因するWarpがあり、具体的には、切断中に供給するスラリとの接触や摩擦熱の発生などによるワークの温度上昇と、切断後半部にワークに侵入するワイヤ長が縮小するために発生する摩擦熱の低下に伴うワークの温度低下とによるワークの膨張収縮によって引き起こされる。
図1に示すように、このワイヤソー1は、主に、ワークWを切断するためのワイヤ2、ワイヤ2を巻回するワイヤガイド3、ワイヤ2に張力を付与するためのワイヤ張力付与機構4、4’、切断するワークWを相対的に下方へと送り出すワーク送り機構5、切断時にスラリを供給するスラリ供給機構6等で構成されている。
まず、図2に示すように、切断するワークWをワーク送り機構5により保持する。また、ワイヤ2に張力を付与して軸方向へ往復走行させる。
このように、切断開始前に加温するワークWの温度を、供給するスラリの切断開始時の温度以上にすれば、ワークとスラリの接触によるワークの温度が急激に上昇するのを抑制できる。また、この温度をワークWの切断中に達するワークWの最高温度以下とすれば、ワークとスラリの接触によるワークの温度が急激に低下するのを抑制できるし、加温のための時間の増加や、加温するための電力等にかかる経済性や作業性が悪化することもない。
またここで、使用するスラリの種類は特に限定されず、従来と同様のものを用いることができ、例えばGC(炭化珪素)砥粒を液体に分散させたものを用いることができる。
上記したように、本願の発明者等によって、切断中のワークの最高温度は、切断開始時のワークの温度に依存せず、さらに、ワークの切断中に供給するスラリの温度が一定であれば、このスラリの温度に切断時の摩擦熱を加えた温度でほぼ一定となることが発見されており、スラリの温度を一定とすることで、ワークの切断中に達するワークの最高温度を容易に求めることができる。そして、この求めた最高温度に応じて切断開始前に加温するワークWの温度を容易に設定することができ、切断中に複雑なスラリの温度制御を行うこともなく、Warpを簡単に抑制することができる切断方法となる。
図1に示すようなワイヤソーを用い、表1に示すような切断条件で、直径300mm、長さ200mmの円柱状のシリコンインゴットをウェーハ状に切断した。ここで、切断開始前に加温するワークWの温度を24.2℃とし、スラリの温度を24℃で切断中に一定となるように制御した。そして、切断開始前から切断完了までのワークの温度を測定し、切断したウェーハのWarpについて評価した。ワークの温度は、図3に示すように、ワークの両端面に設けた熱電対で測定し、それら測定した温度の平均値を採用した。
このように、本願のワークの切断方法は、切断開始から切断終了までのワークの温度の高低差を縮小させてワークの膨張収縮量を抑制することができ、Warpの発生を簡単に効果的に抑制することができることを確認できた。
切断開始前に加温するワークWの温度を28℃とした以外、実施例1と同様な条件でシリコンインゴットをウェーハ状に切断し、実施例1と同様に評価した。
測定した温度の結果を図4に示す。図4に示すように、切断中のワークの最高温度は38.9℃であり、後述する比較例1、2及び実施例1と比べ、切断開始から切断終了までのワークの温度の高低差が縮小されていることが分かった。また、切断後のウェーハ全体のWarpの平均値は5.2μmと実施例1よりもさらに良好な値を得ることができ、後述する比較例1より27%改善していた。
切断開始前にワークWを加温せずに切断を開始した以外実施例1と同様な条件でシリコンインゴットを切断し、実施例1と同様に評価した。
測定した温度の結果を図4に示す。図4に示すように、切断開始前のワークWは20.4℃であり、切断中のワークの最高温度は実施例1とほぼ同様の39.2℃であり、切断開始から切断終了までのワークの温度の高低差が実施例1、実施例2と比べ大きくなっていることが分かった。また、切断後のウェーハ全体のWarpの平均値は7.1μmと実施例1、実施例2と比べ悪化していることが分かった。
切断開始前にワークWを予想される切断中のワークの最高温度よりも高い温度、39.7℃に加温して切断を開始した以外実施例1と同様な条件でシリコンインゴットを切断し、実施例1と同様に評価した。このとき、切断中のワークの最高温度は実施例1とほぼ同様の39.2℃であった。尚、予想される切断中のワークの最高温度は事前に実験によって求めておいた。
測定した温度の結果を図4に示す。図4に示すように、切断開始後、ワークWの温度はスラリとの接触により急激に低下し、切り込み位置50mm付近でワーク温度が急激に反転していることが分かる。また、切断後のウェーハ全体のWarpの平均値は9.6μmと実施例1、実施例2と比べ大幅に悪化していることが分かった。
このように、Warpを改善するためには、切断開始前にワークWを加熱する温度を、供給するスラリの切断開始時の温度以上、ワークの切断中に達するワークの最高温度以下にする必要がある。
4、4’…ワイヤ張力付与機構、 5…ワーク送り機構、 6…スラリ供給機構、
7、7’…ワイヤリール、 8…トラバーサ、 9…定トルクモータ、
10…駆動用モータ、 11…ワーク保持部、 12…LMガイド、
13…ワーク送り本体部、 14…当て板、 15…ワークプレート、
16…スラリチラー、 17…ノズル、 18…スラリタンク。
Claims (1)
- 複数のワイヤガイド間に螺旋状にワイヤを巻回することによって形成されるワイヤ列に円柱状のワークを押圧し、前記ワークとワイヤとの接触部にスラリを供給しながら前記ワイヤを走行させることによって、前記ワークをウェーハ状に切断するワークの切断方法において、
切断開始前に前記ワークを、前記供給するスラリの切断開始時の温度以上、前記ワークの切断中に達するワークの最高温度以下の温度に加温してから該ワークを切断し、前記ワークの切断中に供給するスラリの温度を一定とすることを特徴とするワークの切断方法。
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