JP2018051741A - ワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法 - Google Patents

Abstract

【課題】砥粒が表面に固定されたワイヤの摩耗を抑制することのできるワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法を提供する。【解決手段】ワイヤソーは、固定砥粒のワイヤ１０が巻き回された第１ボビン１１と、ワイヤ１０が巻き回される第２ボビン１２と、第１ボビン１１の回転駆動と第２ボビンの回転駆動とをそれぞれ制御する制御装置とを備える。制御装置は、第１ボビン１１に巻き回されたワイヤ１０が第２ボビン１２へ送られる準備送りを行うとともに、準備送りしたワイヤ１０の一部が第１ボビン１１へ戻される復動と、復動で戻されたワイヤ１０の一部が第２ボビン１２へ送られる往動とを交互に繰り返させて、第２ボビン１２に準備送りしたワイヤ１０で被加工物１００をスライスする。制御装置は、準備送りされるワイヤ１０を第２ボビン１２に単層であるように巻き回す。【選択図】図１

Description

本発明は、ワイヤ素線の表面に砥粒が固定されたワイヤによって被加工物をスライスするワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法に関する。

ワイヤソーは、第１ボビンから送られるワイヤを第２ボビンに巻き回す動作と、第２ボビンから送られるワイヤを第１ボビンに巻き回す動作とを交互に繰り返し、そのワイヤに被加工物を押し当てることによって被加工物を切断（スライス）する。

固定砥粒方式のワイヤソーは、ワイヤ素線の表面にダイヤモンドなどの砥粒が固定された固定砥粒ワイヤを用いて被加工物をスライスするため、砥粒と切削液とを含むスラリーをワイヤに供給して被加工物をスライスする遊離砥粒方式のワイヤソーよりもワイヤ線速度を高くできる利点を有する（例えば、特許文献１）。

国際公開第２０１３／０１１８５４号

ところで、固定砥粒方式のワイヤソーでは、ワイヤを送ることと巻き回すこととがボビンで繰り返されるとき、ボビンに巻き回される固定砥粒ワイヤと、ボビンに巻かれている固定砥粒ワイヤとが擦れ、また、ボビンに巻かれている固定砥粒ワイヤと、ボビンから送られる固定砥粒ワイヤとが擦れ、それによって、固定砥粒ワイヤが摩耗してしまう。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、砥粒が表面に固定されたワイヤの摩耗を抑制することを可能としたワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法を提供することにある。

上記課題を解決するワイヤソーは、砥粒が表面に固定されているワイヤが多層に巻かれている第１ボビンと、前記ワイヤが巻き回される第２ボビンと、前記ワイヤに対する前記第１ボビンの回転駆動と、前記ワイヤに対する前記第２ボビンの回転駆動とをそれぞれ制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記第１ボビンに巻かれているワイヤが前記第２ボビンへ送られる準備送りを行うとともに、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤの一部が前記第１ボビンへ戻される復動と、前記復動によって前記第１ボビンに戻されたワイヤの一部が前記第２ボビンへ送られる往動とを前記ワイヤに交互に繰り返させて、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤによって被加工物をスライスするものであって、前記制御装置は、前記準備送りされたワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記準備送りされるワイヤを前記第２ボビンに巻き回す。

上記課題を解決するワイヤソーの駆動方法は、砥粒が表面に固定されているワイヤが巻かれている第１ボビンと、前記ワイヤが巻き回される第２ボビンと、前記ワイヤに対する前記第１ボビンの回転駆動と、前記ワイヤに対する前記第２ボビンの回転駆動とをそれぞれ制御する制御装置と、を備えたワイヤソーを駆動する方法であって、前記制御装置が、前記第１ボビンに巻かれているワイヤを前記第２ボビンへ送る準備送りを行う工程とともに、前記制御装置が、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤの一部を前記第１ボビンへ戻す復動と、前記復動によって前記第１ボビンに戻されたワイヤの一部を前記第２ボビンへ送る往動とを、前記ワイヤに交互に繰り返させて、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤによって被加工物をスライスする工程とを備え、前記準備送りを行う工程においては、前記制御装置が、前記準備送りされたワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記準備送りされるワイヤを前記第２ボビンに巻き回す。

このような構成または方法によれば、砥粒が表面に固定されているワイヤが、第１ボビンから第２ボビンに準備送りによって送られる。準備送りされたワイヤは、１回の復動を通じて、被加工物のスライスに１度使用される。１度使用されたワイヤの一部は、第２ボビンへ再び送られ、１度使用されたワイヤの他部は、第１ボビンに残り続ける。そして、往動と復動との繰り返される回数が所定回数に到達するまでは、第１ボビンに巻き回されるワイヤの使用回数が１回ずつ増加する。この際、第１ボビンに巻き回されるワイヤにおいては、復動の回数が増えるほど、ワイヤから離脱した砥粒が多く、その表面はワイヤ素線に近づく。そのため、第１ボビンに巻かれているワイヤに対しては、ワイヤを送ることとワイヤを戻すこととが繰り返されるとはいえ、砥粒が表面に固定されたワイヤ同士の摩擦と比べて、第１ボビンに巻かれているワイヤと、第１ボビンに巻き回されるワイヤとの摩耗を軽減させることができる。また、ワイヤ素線に近い表面を有したワイヤが、使用中のワイヤの下層に位置する場合には、使用中のワイヤに対する摩耗を軽減させることもできる。そのうえ、第２ボビンにおいては、ワイヤが単層であるようにワイヤが巻き回されるため、第２ボビンにおいても、ワイヤの摩耗を軽減させることができる。

上記ワイヤソーは、前記各往動するワイヤの巻き回される位置を前記第２ボビンのなかで定める第２の位置決め部をさらに備え、前記制御装置は、前記第２ボビンの回転駆動と前記第２の位置決め部による位置決めとを制御することによって、前記各往動したワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記各往動するワイヤを前記第２ボビンに巻き回してもよい。

このような構成によれば、往動するワイヤが第２ボビンにおいて単層であるように、往動するワイヤが第２ボビンに巻き回される。そのため、第２ボビンにおけるワイヤの摩耗を、準備送りされたワイヤと往動したワイヤとの間、および、往動したワイヤ同士において軽減させることができる。

上記ワイヤソーにおいて、前記往動ごとに前記第１ボビンに残るワイヤの長さと、前記被加工物のスライスを完了するための前記往動の回数との乗算値が、前記被加工物ごとの供給長さであり、前記第１ボビンと前記第２ボビンとの間の引き回しに要する前記ワイヤの長さと前記供給長さとの合計が、前記被加工物ごとの使用量であり、前記制御装置は、前記準備送りするワイヤの長さを前記使用量としてもよい。

このような構成によれば、被加工物のスライスの開始から完了まで、上述した効果を継続的に得られる。
なお、第１ボビンに巻かれている未使用のワイヤにおいては、例えば、第１ボビンをワイヤソーに搭載する作業などに際して、上層のワイヤが下層内に食い込んでしまう場合がある。結果として、上層のワイヤを第１ボビンから第２ボビンへ送るときに、上層のワイヤにおいて断線を招く場合がある。そして、被加工物のスライスが行われている途中でワイヤのこうした断線が生じた場合には、被加工物そのものを廃棄せざるを得ない。この点、スライスの開始に先駆けて使用量のワイヤの全てが準備送りされる上記構成であれば、上述のようなスライス途中での断線を抑えることもできる。また、使用量よりも長いワイヤが準備送りされる構成と比べて、準備送りされるワイヤを単層で巻くための領域を縮小すること、また、準備送りされるワイヤを単層で巻くために要する時間を短縮することができる。

上記ワイヤソーにおいて、前記準備送りされるワイヤを単層で巻くための領域は、前記第１ボビンにおいて前記ワイヤを巻くための領域よりも広くてもよい。
このような構成によれば、準備送りされたワイヤを単層で巻くことが容易となる。

本発明のワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法によれば、固定砥粒ワイヤの摩耗を抑制することができる。

ワイヤソーを具体化した一実施形態について、その概略構造を示す概略図。 同実施形態のワイヤソーにおける電気的構成を示すブロック図。 同実施形態のワイヤソーにおけるスライス工程の流れを説明するフローチャート。 同実施形態のワイヤソーにおける加工位置と準備送り、復動および往動によるワイヤの配置との関係を模式的に示す模式図。 同実施形態のワイヤソーにおける準備送り後のワイヤの配置の概略を示す概略図。 同実施形態のワイヤソーにおける準備送り後の第２ボビンでのワイヤの配置構造を一部断面で示す一部断面図。 同実施形態のワイヤソーにおいて準備送り後の第１ボビンでのワイヤの配置構造を一部断面で示す一部断面図。 同実施形態のワイヤソーにおいてワイヤが往復移動する毎に第１ボビンに巻き残されるワイヤの使用回数を模式的に示すグラフ。 同実施形態のワイヤソーにおいてスライスが完了したときに第１ボビンに巻き残されるワイヤの配置構造を一部断面で示す一部断面図。 従来例のワイヤソーのスライス工程において、ワイヤが往復移動するとき、第１ボビンに対して巻き回され、および、送られるワイヤについて各部分の使用された回数を模式的に示すグラフ。 ワイヤソーを具体化した他の実施形態について、その第２ボビンの概略構造を示す概略図。 ワイヤソーを具体化したまた他の実施形態について、その第２ボビンの概略構造を示す概略図。 ワイヤソーを具体化したさらに他の実施形態について、その第１ボビンの概略構造を示す概略図。

ワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法を具体化した一実施形態を説明する。
図１に示すように、ワイヤソーは、図示しないフレームを有し、フレームには、未使用のワイヤ１０を貯線する第１ボビン１１と、使用済みのワイヤ１０を回収する第２ボビン１２とを備えている。

ワイヤ１０の基端は第１ボビン１１に固定され、ワイヤ１０の先端は第２ボビン１２に固定されている。第１ボビン１１、および、第２ボビン１２は、図示しないフレームに間隔をおいて回転可能に支持されている。第１ボビン１１には、正逆回転可能な第１ボビン用モータ１３の出力軸１７が接続されている。第２ボビン１２には、正逆回転可能な第２ボビン用モータ１５の出力軸１８が接続されている。

第１ボビン１１、および、第２ボビン１２の間に引き回されるワイヤ１０の配線経路中には、一対の加工用ローラ２０，２１が間隔をおいて上記フレームに支持されている。一対の加工用ローラ２０，２１は、支持されたフレームにおいて回転可能である。加工用ローラ２０，２１は、紙面を貫通する方向に軸長を有するローラであって、加工用ローラ２０，２１の外周面には、ワイヤ１０を案内するための溝が形成されている。ワイヤ１０は、加工用ローラ２０，２１の外周面では溝に沿って配置されるとともに、２つの加工用ローラ２０，２１に架け渡されるようにして、一対の加工用ローラ２０，２１に周回されている。具体的には、一対の加工用ローラ２０，２１の間には、所定のピッチで複数列のワイヤ１０が張架されている。ワイヤ列の所定のピッチは、被加工物１００をスライスする厚みに応じて設定され、ワイヤ列の列数は、被加工物１００をスライスする枚数に応じて設定される。

加工用ローラ２０，２１の間であって、ワイヤ列の上方には、被加工物１００を支持・運搬するサドル３９が昇降可能に配置されている。サドル３９の下面には、被加工物１００が装着される。サドル３９は、ワイヤ列が被加工物１００を貫通する位置までワイヤ列に対して下降可能に構成されている。サドル３９は、被加工物１００をワイヤ列に押し付け、そのワイヤ１０の往復移動によって被加工物１００をスライスする。サドル３９は、１または複数の被加工物１００を搬送可能であり、被加工物１００の有無を示す信号をワイヤソーに出力する。

加工用ローラ２０，２１は、ワイヤ１０の往復移動の速度が安定するように、ローラ用モータ２２，２３（図２参照）によって、第１ボビン１１、および、第２ボビン１２と同期して回転する。加工用ローラ２０，２１が回転することによって、加工用ローラ２０，２１の間に架け渡された複数列のワイヤ１０は、第１ボビン１１、および、第２ボビン１２の間であってワイヤ１０の延びる方向に往複する。

第１ボビン１１、および、第２ボビン１２の近傍となる位置には、第１、および、第２トラバーサローラ２４，２５が、ワイヤ１０の往復移動の速度に併せて自転するとともに、第１ボビン１１、および、第２ボビン１２の軸線方向に沿って往復動可能に配置されている。第１ボビン１１の近傍に位置する第１トラバーサローラ２４は、第１ボビン１１へ巻き回されるワイヤ１０を案内するとともに、第１ボビン１１から送られるワイヤ１０を加工用ローラ２０の方向へ案内する。第２ボビン１２の近傍に位置する第２の位置決め部としての第２トラバーサローラ２５は、第２ボビン１２へ巻き回されるワイヤ１０を案内するとともに、第２ボビン１２から送られるワイヤ１０を加工用ローラ２１方向へ案内する。ワイヤ１０の往復移動時には、第１トラバーサローラ２４に接続された第１トラバーサ用モータ２６、および、第２トラバーサローラ２５に接続された第２トラバーサ用モータ２７（図２参照）によって、第１トラバーサローラ２４、および、第２トラバーサローラ２５が自転、および、往復動する。そして、第１ボビン１１、および、第２ボビン１２に対して巻き回されるワイヤ１０が案内される。

加工用ローラ２０と第１ボビン１１との間には第１ダンサアーム２８が、加工用ローラ２１と第２ボビン１２との間には第２ダンサアーム２９がそれぞれ揺動可能に設けられている。第１ダンサアーム２８、および、第２ダンサアーム２９の先端部には、ワイヤ１０の張力を調節するための第１ダンサローラ３０、および、第２ダンサローラ３１が、ワイヤ１０の往復移動の速度に併せて自転可能に支持されている。第１ダンサアーム２８、および、第２ダンサアーム２９の基端部には、第１ダンサアーム用モータ３２（図２参照）、および、第２ダンサアーム用モータ３３（図２参照）が接続されている。

第１ダンサローラ３０、および、加工用ローラ２０の間には、ワイヤ１０を案内するためのガイドローラ３４が設けられ、第２ダンサローラ３１、および、加工用ローラ２１の間には、ワイヤ１０を案内するためのガイドローラ３５が設けられている。

ワイヤ１０は、固定砥粒ワイヤであって、ワイヤ素線１０ａ（図６参照）と、該ワイヤ素線１０ａに固定された砥粒１０ｂ（図６参照）と、ワイヤ素線１０ａと砥粒１０ｂとを固着しているバインダーとを有している。砥粒１０ｂは、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ：Ｃｕｂｉｃ ｂｏｒｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、緑色炭化ケイ素（ＧＣ）、アルミナ等の材料からなる。なお、砥粒１０ｂの固着方法は、電着、熱硬化などの公知の方法が用いられる。

第１ボビン１１が備えるボビン本体４０は、１対のフランジ部４１の間に、円筒面である貯線面４３を含む胴部を備えている。第２ボビン１２が備えるボビン本体５０は、１対のフランジ部５１の間に、円筒面である貯線面５３を含む胴部を備えている。第１ボビン１１のボビン本体４０には、スライスの開始時において未使用のワイヤ１０が貯線され、第２ボビン１２のボビン本体５０には、スライスの終了時において使用済みとなったワイヤ１０が貯線される。

第２ボビン１２の貯線面５３が有する面積は、第１ボビン１１の貯線面４３が有する面積よりも大きい。例えば、第２ボビン１２の軸方向の長さである軸長は、第１ボビン１１の軸方向の長さである軸長よりも長い。第２ボビン１２の軸長は、第１ボビン１１の軸長の２倍の長さであり、第２ボビン１２の貯線面５３の表面積が第１ボビン１１の貯線面４３の２倍の表面積を有している。こうした貯線面５３の構成によって、第２ボビン１２の貯線面５３は、単一の被加工物１００に対して、そのスライスを完了するために要する使用量のワイヤ１０を単層で貯線面５３に巻き回すことを容易とする。

第１ボビン１１は、ボビン本体４０がワイヤ１０を送る方向に回転することで、貯線面４３の外周面に巻かれた未使用のワイヤ１０を第１ボビン１１から送る。ボビン本体４０がワイヤ１０を送るときの回転を、第１ボビン１１の正転とする。ボビン本体４０が正転すると、第１ボビン１１のワイヤ１０が第２ボビン１２に送られる。被加工物１００のスライスが開始された状態で、第１ボビン１１から第２ボビン１２にワイヤ１０が送られることを、ワイヤ１０の往復移動のうちの往動とする。

第１ボビン１１は、ボビン本体４０がワイヤ１０を巻き回す方向に回転することで、貯線面４３の外周面にワイヤ１０を巻き回す。ボビン本体４０がワイヤ１０を巻き回すときの回転を、第１ボビン１１の逆転という。ボビン本体４０が逆転すると、第２ボビン１２から送られたワイヤ１０が第１ボビン１１に巻き回される。被加工物１００のスライスが開始された状態で、第２ボビン１２から第１ボビン１１にワイヤ１０が送られることを、ワイヤ１０の往復移動のうちの復動とする。

第２ボビン１２は、ボビン本体５０がワイヤ１０を巻き回す方向に回転することで、ボビン本体５０の貯線面５３の外周面にワイヤ１０を巻き回す。ボビン本体５０がワイヤ１０を巻き回すときの回転を、第２ボビン１２の正転という。ボビン本体５０が正転すると、第１ボビン１１から送られたワイヤ１０が第２ボビン１２に巻き回される。

第２ボビン１２は、ボビン本体５０がワイヤ１０を送る方向に回転することで、貯線面５３の外周面に巻かれたワイヤ１０を第２ボビン１２から送る。ボビン本体５０がワイヤ１０を送るときの回転を、第２ボビン１２の逆転という。ボビン本体５０が逆転すると、第２ボビン１２に巻かれているワイヤ１０が第１ボビン１１に送られる。

次に、図２を参照して、ワイヤソーの電気的構成について説明する。
ワイヤソーは、ワイヤ１０の往復移動を制御する制御装置６０を備える。制御装置６０は、第１，第２ボビン用モータ１３，１５、第１，第２トラバーサ用モータ２６，２７、第１，第２ダンサアーム用モータ３２，３３、および、ローラ用モータ２２，２３を、ワイヤ１０の往復移動の速度が安定するように、同期させながら駆動する。

次に、図３〜図１０を参照して、ワイヤソーの動作について説明する。なお、図５〜図８に示すワイヤ１０の態様は、その巻き回されている密度や巻き数を便宜的に示されており、実際に巻き回されている密度や巻き数は、図５〜図８に示す態様に限定されない。また、ワイヤソーにおいて、第１ボビン１１から第２ボビン１２までワイヤ１０が引き回されていることを前提に説明する。

ワイヤソーは、単一の被加工物１００に対して、そのスライスを完了させるために要する長さのワイヤ１０を、そのスライスの開始に先立ち、第１ボビン１１から第２ボビン１２へ送る処理である準備送りを行う。そして、ワイヤソーは、第２ボビン１２へ準備送りされたワイヤ１０を第１ボビン１１と第２ボビン１２との間で往復移動させることによって、被加工物１００をワイヤ１０の研磨によってスライスする。

以下、スライス加工の動作について詳しく説明する。
図３に示すように、ワイヤソーを作動させるための条件が成立すると、制御装置６０は、ワイヤ１０の往復移動に関する長さを設定する（ステップＳ１０）。ワイヤ１０の往復移動に関する長さは、例えば、新線供給長「ＬＡ」である。復動長「ＬＢ」、往動長「ＬＣ」、および、巻き残し長「ＬＤ」は、第１ボビン用モータ１３や第２ボビン用モータ１５に関して設定された時定数や最高速度に従って定まる。また、制御装置６０は、設定された往復移動に関する長さの他に、被加工物１００をスライスするために要する時間である加工時間を設定する。ワイヤ１０が往復する回数である最大往復回数「ｎ」は、設定された加工時間に従って定まる。なお、最大往復回数「ｎ」、巻き残し長「ＬＤ」、往動長「ＬＣ」は、ワイヤ１０の仕様や被加工物１００の仕様等に応じて適切な値である。適切な値は、実験や経験、理論に基づいてその範囲が定められる。

図４を参照して、準備長、新線供給長「ＬＡ」、復動長「ＬＢ」、往動長「ＬＣ」、巻き残し長「ＬＤ」について説明する。なお、図４に示される加工位置は、被加工物１００と接触するワイヤ１０の長さを含み、第１ボビンと第２ボビンとの間の長さを有するが、説明の便宜上、一点として図示する。また、図４においては、復動長「ＬＢ」、往動長「ＬＣ」、巻き残し長「ＬＤ」の各符号に、数値が付加されているものがある。これら符号に付加された数値は、ワイヤ１０の往復移動した回数に対応する。数値は、最大往復回数が「ｎ」（ｎ：正の整数）であり、「１〜ｎ」の間の任意の整数が「ｘ」であり、「ｍ」は「ｎ−１」である。新線供給長「ＬＡ」は、巻き残し長「ＬＤ」×最大往復回数「ｎ」である。

図４に示すように、ワイヤソーは、ワイヤ１０を復動させる長さである復動長「ＬＢ」を、往動させる長さである往動長「ＬＣ」よりも長くする。こうした長さの差異によって、ワイヤ１０が往復移動する都度、復動長「ＬＢ」と往動長「ＬＣ」との差である巻き残し長「ＬＤ」のワイヤ１０が第１ボビン１１に残る。

単一の被加工物１００に対して、そのスライスを完了するための往動の回数である最大往復回数「ｎ」と、巻き残し長「ＬＤ」との乗算値が、被加工物１００ごとの供給長さの一例である新線供給長「ＬＡ」である。また、第１ボビン１１と第２ボビン１２との間の引き回しに要するワイヤ１０の長さ「Ｌ」と、新線供給長「ＬＡ」との合計が、被加工物１００ごとの使用量であり、各被加工物１００に対して１回ずつ行われる順送りにおいて、準備送りされるワイヤ１０の長さである。そして、第２ボビン１２に準備送りしたワイヤ１０のなかの新線供給長「ＬＡ」の全長が第１ボビン１１に巻き残されるまでの間に、被加工物１００のスライスが完了する。

図３に示すように、準備長を定めるための新線供給長「ＬＡ」が設定されると、制御装置６０は、ワイヤ１０を第１ボビン１１から第２ボビン１２に準備送りする準備送り工程を行う（ステップＳ１４）。準備送り工程では、第２ボビン１２の近傍の第２トラバーサローラ２５が、ワイヤ１０の直径φ（図６参照）よりも広いピッチｄ（図６参照）で第２ボビン１２の貯線面５３にワイヤ１０を案内する。

図５に示すように、準備送りされたワイヤ１０は、第２ボビン１２においてそれが単層であるように巻き回される。ここで、１回目の準備送りにおいて単層であるようにとは、準備送りされるワイヤ１０が第２ボビン１２の貯線面５３で積み重ならないように、準備送りされるワイヤ１０が巻き回されることをいう。また、２回目以降の準備送りにおいて単層であるようにとは、第２ボビン１２の貯線面５３にすでに巻かれている使用済みのワイヤ１０を下層として、準備送りされるワイヤ１０同士が積み重ならないように、準備送りされるワイヤ１０が巻き回されることをいう。

図６には、１回目の準備送りで第２ボビン１２の貯線面５３に単層で巻き回されたワイヤ１０を示す。第２ボビン１２は、ワイヤ素線１０ａの直径φよりも長い間隔であるピッチｄでワイヤ１０が巻かれている。第２ボビン１２に案内されたワイヤ１０同士は接触しないため、貯線面５３においてワイヤ１０同士の接触のおそれが低減され、ワイヤ１０同士の接触によって生じるそれらワイヤ１０の摩耗が抑制される。ここで、ピッチｄは、ワイヤ素線１０ａの直径φよりも長く、好ましくは、隣接するワイヤ素線１０ａの表面に接着されている砥粒１０ｂ同士が擦れ合わない程度の間隔である。なお、説明の便宜上、第２ボビン１２において予め下層に使用済みのワイヤ１０が巻き回されている場合についての説明については割愛する。

図３に示すように、準備送り工程が終了すると、制御装置６０は、２つの加工用ローラ２０，２１の間に架け渡されたワイヤ１０に、被加工物１００を所定の力で押し付ける。また制御装置６０は、２つの加工用ローラ２０，２１の間でワイヤ１０を往復移動させる。これによって、ワイヤ１０の最大往復回数「ｎ」回以下の往復移動で被加工物１００がスライスされる。詳述すると、制御装置６０は、第２ボビン１２に準備送りしたワイヤ１０を第１ボビン１１に復動させる復動工程を行う（ステップＳ１５）。復動工程では、ワイヤ１０が復動長「ＬＢ」だけ復動されることで被加工物１００の一部が削り取られる。続いて、制御装置６０は、第１ボビン１１に巻き回したワイヤ１０を第２ボビン１２に往動させる往動工程を行う（ステップＳ１６）。往動工程では、ワイヤ１０が往動長「ＬＣ」だけ往動されることによって、被加工物１００の一部がさらに削り取られる。

復動工程と往動工程とが終了すると、制御装置６０は、ワイヤ１０の往復移動を繰り返すか否かを判断する（ステップＳ１７）。ここで、スライスの開始から経過した時間が加工時間に到達していなければ往復移動を繰り返すと判断され、逆に、スライスの開始から経過した時間が加工時間に到達していれば往復移動を繰り返さないと判断される。

往復移動を繰り返すと判断した場合（ステップＳ１７でＹＥＳ）、制御装置６０は、処理をステップＳ１５に戻し、復動工程、および、往動工程の処理を実行する。
一方、往復移動を繰り返さないと判断した場合（ステップＳ１７でＮＯ）、制御装置６０は、被加工物１００のスライスを終了し、ワイヤソーから被加工物１００を離脱させるようにするとともに、次のスライス対象である被加工物１００があるか否かを判断する（ステップＳ１８）。スライス対象があるか否かは、サドル３９からの信号等に基づいて判断する。例えば、次の被加工物１００がセットされている信号に基づいて次の被加工物１００があると判断し、逆に、次の被加工物１００がセットされていない信号に基づいて次の被加工物１００がないと判断する。

次の被加工物１００があると判断した場合（ステップＳ１８でＹＥＳ）、制御装置６０は、準備長を定めるためのステップ（ステップＳ１４）に戻るとともに、それ以降の処理を実行する。一方、次の被加工物１００がないと判断した場合（ステップＳ１８でＮＯ）、制御装置６０は、スライスを行うための処理を終了する。

図７〜図９を参照して、第１ボビン１１におけるワイヤ１０の動作について説明する。
図７に示すように、被加工物１００のスライスを開始する前において、第１ボビン１１には、未使用のワイヤ１０のみが巻かれている。未使用のワイヤ１０は、１回目の準備送り工程で、準備長の長さだけ、第１ボビン１１から送られ、第２ボビン１２へ巻き回される。例えば、図７に示すように、１回目の準備送りでは、第１ボビン１１の第１層目Ｊ１と第２層目Ｊ２とから未使用のワイヤ１０が準備送りされる。

その後、１回目の往復移動が行われる。復動工程で、第１ボビン１１には、被加工物１００をスライスしたワイヤ１０が復動長「ＬＢ」だけ巻き回される。続いて、往動工程で、第１ボビン１１は、ワイヤ１０を往動長「ＬＣ」だけ往動させる。この往復移動によってワイヤ１０による被加工物１００のスライスが実行される。また、準備送りされたワイヤ１０のなかで巻き残し長「ＬＤ」のワイヤ１０が、第１ボビン１１に巻き残される。このとき、１回目の往復移動による巻き残し長「ＬＤ１」は、巻き残し長「ＬＤ」である。

次に、２回目の往復移動が行われる。復動工程で、第１ボビン１１には、被加工物１００をスライスしたワイヤ１０が復動長「ＬＢ」だけ巻き回される。続いて、往動工程で、第１ボビン１１は、ワイヤ１０を往動長「ＬＣ」だけ往動させる。この往復移動によってワイヤ１０による被加工物１００のスライスが実行される。また、準備送りされたワイヤ１０のなかで巻き残し長「ＬＤ」のワイヤ１０が、さらに第１ボビン１１に巻き残される。このとき、２回目の往復移動による巻き残し長「ＬＤ２」は、巻き残し長「ＬＤ」である。そして、１回目の往復移動、および、２回目の往復移動によって、巻き残し長「ＬＤ」×２の長さに相当するワイヤ１０が、第１ボビン１１に巻き残される。

以降、スライスのための３回目以降の往復移動が行われ、往復移動の都度、巻き残し長「ＬＤ」の長さのワイヤ１０が、第１ボビン１１に巻き残される。ここで、往復回数を「ｘ」とすれば、「ｘ」回目の往復移動では、巻き残し長「ＬＤｘ」が「ＬＤ×ｘ」の長さになる。そして、往復移動回数が最大往復回数「ｎ」のとき、ワイヤ１０の巻き残し長「ＬＤｎ」の長さが「ＬＤ×ｎ」の長さになる。すなわち、新線供給長「ＬＡ」に相当するワイヤ１０が、第１ボビン１１に巻き残される。

図８に示すように、ワイヤ１０が往復移動を繰り返す過程において、第１ボビン１１に巻き回されるワイヤ１０におけるスライスに使用された回数は、往復移動の回数が増加することに応じて増加する。例えば、スライスに使用された回数は、１回目の復動時では１回であり、それ以降は、往復移動毎に２回ずつ増加する。また、第２ボビンに巻かれているワイヤ１０は、各往復移動において、巻き残し長「ＬＤ」ずつ、第１ボビン１１の方向に移動する。このことから、ワイヤ１０上のある１点についての使用回数は、最大で「（復動長「ＬＢ」／巻き残し長「ＬＤ」）×２−１」回になる。図８では、１点当たりの最大往復回数「ｕ」を「復動長「ＬＢ」／巻き残し長「ＬＤ」」としている。そして、スライスに使用されたワイヤ１０は、被加工物１００との摩擦等によって、ワイヤ素線１０ａの表面に固定された砥粒１０ｂが脱落したり、摩耗したりしている。よって、最大使用回数だけ使用された場合も含めて、使用中、および、使用済みのワイヤ１０の表面は、未使用のワイヤ１０の表面と比べて、凹凸が少なく、滑らかであり、ワイヤ素線１０ａの表面に近い表面を有する。

図９に示すように、第１ボビン１１には、復動長「ＬＢ」のワイヤ１０が巻き回され、巻き残し長「ＬＤ」のワイヤ１０が巻き残される。例えば、復動工程では、準備送り後に最外周となる第１ボビン１１の第３層目Ｊ３の未使用のワイヤ１０の上に、使用中、および、使用済みのワイヤ１０が巻き回されて、第２層目Ｊ２、および、第１層目Ｊ１を構成する。このとき、上述のように、使用中、および、使用済みのワイヤ１０の表面は、未使用のワイヤ１０の表面に比べて摩擦が小さくなっている。よって、往復移動する使用中、および、使用済みのワイヤ１０と、また未使用のワイヤ１０との相互の摩擦が低く抑えられ、第１ボビン１１で繰り返されるワイヤ１０の巻き回し、および、ワイヤ１０の送りにおいて、未使用のワイヤ１０や、使用中、および、使用済みのワイヤ１０が摩耗するおそれが抑制される。

図１０には、第１ボビン１１と第２ボビン１２との間でワイヤ１０を往復移動させながら、第１ボビン１１に巻かれているワイヤ１０を少しずつ第２ボビン１２に送る例を従来例として、この従来例におけるワイヤ１０の使用回数を示す。使用回数は、整数値であり、所定の長さ毎に変化するため、これを図示すると階段状になるが、図１０においては、説明の便宜上、直線によって示す。

従来例において、ワイヤ１０の使用回数は、ワイヤ１０の長さ方向において、第１ボビン１１に近い部分で常に少なく、第１ボビン１１から離れるほど多く、第２ボビン１２に近い部分で最大使用回数ｑに到達する。このため、従来例では、ワイヤ１０が往復移動する都度、スライスに使用中であってまだ高い研磨力を有する使用中のワイヤ１０が、第１ボビン１１における未使用のワイヤ１０に重ね合わされる。結果として、ワイヤ１０が往復移動する都度、高い研磨力を有したワイヤ１０が、同じく高い研磨力を有した他のワイヤ１０を研磨してしまう。そのため、使用中のワイヤ１０、および、未使用のワイヤ１０が被加工物をスライスすること以外のことを要因として、ワイヤ１０の研磨力が低下したり、強度が低下したりする。

一方、本実施形態のワイヤソーにおいて、第１ボビン１１に巻き回されるワイヤ１０は、所定回の往復移動した後には、最大使用回数だけ使用されたものになる。つまり、本実施形態のワイヤソーによれば、往復移動するワイヤ１０が第１ボビン１１に巻き回されるとしても、その巻き回されるワイヤ１０がワイヤ素線１０ａに近い状態であるため、高い研磨力を有したワイヤ１０が、同じく高い研磨力を有した他のワイヤ１０を研磨することが抑えられる。よって、巻き回される使用中、および、使用済みのワイヤ１０、および、未使用のワイヤ１０について、それらワイヤ１０の研磨力や強度が高く維持される。

次に、第２ボビン１２におけるワイヤ１０の動作について説明する。
図６に示すように、第２ボビン１２は、１回目のスライスでは、貯線面５３に単層で巻き回される。往復移動するワイヤ１０は、この貯線面５３に対して接触しながら、巻き回しと送りとを繰り返す。ここで、貯線面５３は、ワイヤ１０を巻き回すための面であって、ワイヤ１０のような研磨力を有しない摩擦の小さな面である。よって、貯線面５３に巻き回されたワイヤ１０が貯線面５３によって研磨されるおそれは低く、ワイヤ１０に研磨力や強度の低下が生じるおそれがない。

また、第２ボビン１２は、２回目かそれ以降の往復移動以降のスライスでは、使用済みのワイヤ１０が下層として巻かれている。つまり、ワイヤ１０が往復移動するとき、第２ボビン１２に巻き回されている使用済みワイヤ１０の上に、使用中のワイヤ１０の巻き回しと送りとが繰り返される。ここで、使用済みワイヤ１０は研磨力が低下していることから、この使用済みワイヤ１０の上層に巻き回されたワイヤ１０が同使用済みワイヤ１０によって研磨されるおそれは低く、使用中のワイヤ１０に研磨力の低下や強度の低下が生じるおそれが低下する。

以上、本実施形態のワイヤソー、および、ワイヤソーの駆動方法によれば、以下に列挙する効果が得られる。
（１）被加工物１００をスライスできる長さのワイヤ１０が一旦、第２ボビン１２に準備送りで送られる。そして、被加工物１００のスライスに使用されたワイヤ１０が第１ボビン１１に巻き回される。使用されたワイヤ１０の表面においては、それがスライスに使用される毎に、固定された砥粒が摩耗したり離脱したりする。そのため、ワイヤ１０の巻き回しおよび送りが第１ボビン１１に対して行われるとしても、第１ボビン１１に巻かれている未使用のワイヤ１０の摩耗、および、使用中や使用済みのワイヤ１０の摩耗は軽減される。これにより、被加工物１００のスライスに要する時間の短縮、必要なワイヤ長の短縮、スライス面の精度向上等が図られるようになる。

（２）また、ワイヤ１０が第２ボビン１２に単層であるように巻き回されることから、第２ボビン１２においても、巻き回しおよび送られるワイヤ同士が接触することがないため、ワイヤ１０の摩耗が軽減する。また、使用済みのワイヤ１０が下層に巻き回されていたとしても、使用済みのワイヤ１０の表面は使用中のワイヤ１０の表面よりも滑らかであるため、この上に巻き回しおよび送られる使用中のワイヤ１０の摩耗も軽減される。これによっても、被加工物１００のスライスに要する時間の短縮、必要なワイヤ長の短縮、スライス面の精度向上等が図られるようになる。

（３）第２トラバーサローラ２５によって、往動されるワイヤ１０が第２ボビン１２に単層であるように巻き回されるようになる。そのため、第２ボビン１２におけるワイヤ１０の摩耗を、準備送りされたワイヤ１０と往動したワイヤ１０との間、および、往動したワイヤ１０同士において軽減させることもできる。

（４）第２ボビン１２のワイヤ１０の巻き回される面（貯線面５３）が第１ボビン１１のワイヤ１０の巻き回される面（貯線面４３）よりも広いため、第２ボビン１２にワイヤ１０を単層で巻き回すことが容易である。また、第２ボビン１２に単層でワイヤ１０を巻き回せる長さを長くすることができるため、より大きな被加工物１００のスライスに対応することもできる。

（５）第１ボビン１１と第２ボビン１２との間の引き回しに要するワイヤ１０の長さ「Ｌ」と、新線供給長「ＬＡ」との合計が、被加工物１００ごとの使用量であり、準備送りするワイヤの長さは、この使用量に設定される。そのため、被加工物１００のスライスの開始から完了まで、上記（１）から（３）に準じた効果を継続的に得られる。

（６）第１ボビン１１に巻かれている未使用のワイヤにおいては、例えば、第１ボビン１１をワイヤソーに搭載する作業などに際して、上層のワイヤ１０が下層内に食い込んでしまう場合がある。結果として、上層のワイヤ１０を第１ボビン１１から第２ボビン１２へ送るときに、上層のワイヤ１０において断線を招く場合がある。そして、被加工物１００のスライスが行われている途中でワイヤ１０のこうした断線が生じた場合には、被加工物１００そのものを廃棄せざるを得ない。この点、スライスの開始に先駆けて使用量のワイヤ１０の全てが準備送りされるため、上述のようなスライスの途中での断線を抑えることもできる。また、使用量よりも長いワイヤが準備送りされる構成と比べて、準備送りされるワイヤを単層で巻くための領域を縮小すること、また、準備送りされるワイヤを単層で巻くために要する時間を短縮することができる。

（７）制御装置６０は、各被加工物１００に対して１回ずつ準備送りを行うと共に、準備送りするワイヤ１０の全てを第１ボビン１１に巻かれている未使用のワイヤ１０とする。そのため、（５）に準じた効果が、各被加工物１００において得られると共に、各被加工物１００のスライスに使用されるワイヤ１０の性状に対する再現性を高めることも可能である。すなわち、各被加工物１００のスライスにおけるバラツキを抑えることが可能でもある。

（その他の実施形態）
なお上記実施形態は、以下の態様で実施することもできる。
［被加工物］
・上記実施形態でインゴットを特に限定していないが、インゴットは、例えば、半導体用シリコン、太陽電池用シリコン、サファイアガラス等からできたものであってもよい。

［制御装置］
・制御装置６０は、第１ボビン１１および第２ボビン１２の回転を制御する装置としたが、第１ボビン１１の回転を制御する装置と、第２ボビン１２の回転を制御する装置とを別に設け、各装置によって制御装置６０が構成されてもよい。

［ボビン］
・上記実施形態では、第１ボビン１１にはワイヤ１０が多層に巻き残される場合について例示した。これに限らず、第１ボビンにワイヤ１０が単層に巻き残されてもよい。これによれば、第１ボビンにおける使用中のワイヤ相互の接触が抑制されて、ワイヤの摩耗が抑制されるようになる。

・上記実施形態では、第２ボビン１２のサイズが第１ボビン１１のサイズよりも大きい場合について例示した。これに限らず、準備送りされるワイヤ１０を単層に巻き回すことができる広さを第２ボビン１２の貯線面５３が有するのであれば、第２ボビン１２のサイズよりも第１ボビン１１のサイズが大きくてもよい。この際、制御装置６０は、第１ボビン１１に復動するワイヤ１０同士が重ならないように巻き回す。

こうした構成においては、復動するワイヤ１０を第１ボビン１１に単層で巻き回すことが可能ともなるため、第１ボビン１１に対して巻き回される、および、送られるワイヤ１０同士が摩耗を生じさせるおそれが低減される。なお、第１ボビン１１のサイズは、例えば第２ボビン１２よりも径を大きくしたり、第２ボビン１２よりも軸方向の長さを長くしたりすることによって、第２ボビン１２のサイズより大きくすることができる。

・上記実施形態では、第２ボビン１２の軸長が第１ボビン１１の軸長よりも長い場合について例示した。これに限らず、被加工物１００をスライスするワイヤ１０を単層に巻き回すことができる広さを第２ボビン１２の貯線面５３が有するのであれば、第２ボビン１２の外径が第１ボビン１１の外径よりも大きくてもよい。第２ボビン１２の外周面を形成する径を大きくすることによって、第２ボビン１２にワイヤ１０を単層であるように巻き回すことのできる面を増大させることができる。

例えば、図１１に示すように、第２ボビン１２の外径が第１ボビン１１の外径の約２倍であってもよい。
また、第２ボビン１２の軸長、および、外径が第１ボビン１１の軸長、および、外径よりも大きくてもよい。

例えば、図１２に示すように、第２ボビン１２が第１ボビン１１に対して、軸長が約２倍、軸径が約２倍であってもよい。
さらに、第２ボビン１２の数量が２つであって、準備送りされるワイヤ１０を２つの第２ボビン１２に架け渡すことも可能である。要は、準備送りされるワイヤ１０を単層で巻くための領域は、準備送りされるワイヤ１０を単層に巻き回すことができる広さを有していればよく、相互に隣り合うワイヤ１０の間の距離を長くして巻き回すことを容易なものとできる観点において、第１ボビン１１におけるワイヤ１０を巻くための領域よりも広いことが好ましい。

・上記実施形態では、第２ボビン１２のサイズが第１ボビン１１のサイズよりも大きい場合について例示した。これに限らず、準備送りされるワイヤ１０を単層に巻き回すことができる広さを第２ボビン１２の貯線面５３が有するのであれば、第２ボビン１２のサイズが第１ボビン１１のサイズと同じ大きさであってもよいし、第１ボビン１１のサイズよりも小さくてもよい。

例えば、図１３に示すように、第１ボビン１１のサイズは、準備送りされるワイヤ１０を単層に巻き回すことができる大きさと同様であってもよい。
・上記実施形態では、第２ボビン１２の貯線面５３の面積は、第１ボビン１１の貯線面４３よりも広い場合について例示した。これに限らず、第２ボビン１２の貯線面５３において準備送りしたワイヤ１０を単層で巻き回すことができるのであれば、第２ボビン１２の貯線面５３の面積が第１ボビン１１の貯線面４３の面積と同じ、もしくは、それより小さくてもよい。

［ワイヤ長］
・上記実施形態では、復動長に対して往動長が短い場合について例示したが、これに限らず、制御装置６０は、往復移動の１回おき、もしくは、往復移動の２回以上おき毎に、復動長に対して往動長を短くする制御を行ってもよい。こうしたワイヤ長の制御によっても、第２ボビン１２に準備送りされたワイヤ１０が第１ボビン１１に巻き残されるようになる。

・上記実施形態では、準備送りされるワイヤ１０の長さが、第１ボビン１１と第２ボビン１２との間の引き回しに要するワイヤ１０の長さ「Ｌ」と、新線供給長「ＬＡ」との合計である使用量である場合について例示した。これに限らず、準備送りされるワイヤ１０の長さは、使用量未満であってもよいし、あるいは、複数回分の使用量であってもよい。準備送りされるワイヤ１０の長さは、第１ボビン１１と第２ボビン１２との間の引き回しに要するワイヤ１０の長さ「Ｌ」と、復動長「ＬＢ」との合計以上であればよい。

・上記実施形態において、制御装置６０は、各被加工物に対して１回ずつ準備送りを行うと共に、準備送りするワイヤの全てを第１ボビン１１に巻かれている未使用のワイヤとしてもよい。あるいは、制御装置６０は、各被加工物に対して１回ずつ準備送りを行うと共に、準備送りするワイヤの一部が、第１ボビン１１に巻かれている未使用のワイヤであって、準備送りするワイヤの他部が、前回の準備送りされたワイヤ１０の一部であってもよい。

［単層巻き］
・上記実施形態では、第２ボビン１２には、準備送り、および、各往動のとき、ワイヤ１０が単層であるように巻き回される場合について例示した。これに限らず、少なくとも準備送りのときにワイヤ１０が単層であるように巻き回されれば、使用前、および、使用直後のワイヤ１０同士の接触が抑制されてワイヤの摩耗が抑制される。

・上記実施形態では、第１トラバーサローラ２４が第１ボビン１１へ巻き回されるワイヤ１０を案内し、第２トラバーサローラ２５が第２ボビン１２へ巻き回されるワイヤ１０を案内する場合について例示した。これに限らず、第１ボビン１１へ巻き回されるワイヤ１０を適切に案内することができるのであれば、第１ボビン１１へ巻き回されるワイヤを第１トラバーサローラ以外の構造で案内してもよい。また、第２ボビン１２へ巻き回されるワイヤ１０を適切に案内することができるのであれば、第２ボビン１２へ巻き回されるワイヤ１０を第２トラバーサローラ以外の構造で案内してもよい。トラバーサローラ以外の構造であれ、巻き回されるワイヤ１０をボビンの適切な位置に案内できればよい。

また、巻き回されるワイヤ１０をボビンの適切な位置に案内できる構造であれば、第１、および、第２トラバーサローラ２４，２５のうちの少なくとも一方がトラバーサローラ以外の構造であってもよい。

１０…ワイヤ、１０ａ…ワイヤ素線、１０ｂ…砥粒、１１…第１ボビン、１２…第２ボビン、１３…第１ボビン用モータ、１５…第２ボビン用モータ、１７，１８…出力軸、２０，２１…加工用ローラ、２２，２３…ローラ用モータ、２４…第１トラバーサローラ、２５…第２トラバーサローラ、２６…第１トラバーサ用モータ、２７…第２トラバーサ用モータ、２８…第１ダンサアーム、２９…第２ダンサアーム、３０…第１ダンサローラ、３１…第２ダンサローラ、３２…第１ダンサアーム用モータ、３３…第２ダンサアーム用モータ、３４，３５…ガイドローラ、３９…サドル、４０…ボビン本体、４１…フランジ部、４３…貯線面、５０…ボビン本体、５１…フランジ部、５３…貯線面、６０…制御装置、１００…被加工物。

Claims (5)

1. 砥粒が表面に固定されているワイヤが多層に巻かれている第１ボビンと、
   前記ワイヤが巻き回される第２ボビンと、
   前記ワイヤに対する前記第１ボビンの回転駆動と、前記ワイヤに対する前記第２ボビンの回転駆動とをそれぞれ制御する制御装置と、を備え、
   前記制御装置は、前記第１ボビンに巻かれているワイヤが前記第２ボビンへ送られる準備送りを行うとともに、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤの一部が前記第１ボビンへ戻される復動と、前記復動によって前記第１ボビンに戻されたワイヤの一部が前記第２ボビンへ送られる往動とを前記ワイヤに交互に繰り返させて、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤによって被加工物をスライスするものであって、
   前記制御装置は、前記準備送りされたワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記準備送りされるワイヤを前記第２ボビンに巻き回す
   ことを特徴とするワイヤソー。
2. 前記各往動するワイヤの巻き回される位置を前記第２ボビンのなかで定める第２の位置決め部をさらに備え、
   前記制御装置は、前記第２ボビンの回転駆動と前記第２の位置決め部による位置決めとを制御することによって、前記各往動したワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記各往動するワイヤを前記第２ボビンに巻き回す
   請求項１に記載のワイヤソー。
3. 前記往動ごとに前記第１ボビンに残るワイヤの長さと、前記被加工物のスライスを完了するための前記往動の回数との乗算値が、前記被加工物ごとの供給長さであり、
   前記第１ボビンと前記第２ボビンとの間の引き回しに要する前記ワイヤの長さと前記供給長さとの合計が、前記被加工物ごとの使用量であり、
   前記制御装置は、前記準備送りするワイヤの長さを前記使用量とする
   請求項１または２に記載のワイヤソー。
4. 前記準備送りされるワイヤを単層で巻くための領域は、前記第１ボビンにおいて前記ワイヤを巻くための領域よりも広い
   請求項１〜３のいずれか一項に記載のワイヤソー。
5. 砥粒が表面に固定されているワイヤが巻かれている第１ボビンと、
   前記ワイヤが巻き回される第２ボビンと、
   前記ワイヤに対する前記第１ボビンの回転駆動と、前記ワイヤに対する前記第２ボビンの回転駆動とをそれぞれ制御する制御装置と、を備えたワイヤソーを駆動する方法であって、
   前記制御装置が、前記第１ボビンに巻かれているワイヤを前記第２ボビンへ送る準備送りを行う工程とともに、前記制御装置が、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤの一部を前記第１ボビンへ戻す復動と、前記復動によって前記第１ボビンに戻されたワイヤの一部を前記第２ボビンへ送る往動とを、前記ワイヤに交互に繰り返させて、前記第２ボビンに準備送りされたワイヤによって被加工物をスライスする工程とを備え、
   前記準備送りを行う工程においては、前記制御装置が、前記準備送りされたワイヤが前記第２ボビンにおいて単層であるように、前記準備送りされるワイヤを前記第２ボビンに巻き回す
   ことを特徴とするワイヤソーの駆動方法。