JP2021091044A - ワイヤソーの運転再開方法 - Google Patents
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Abstract
Description
表2の砥石を用いて、表3の各条件になるようにワイヤを摩耗させてから、ワイヤの各列に対してワークの各切り込みを対応させて係合させて、ワイヤ列を切断中断時のワーク切り込み位置に配置することを試みた。
ワイヤを摩耗させることなく、ワイヤ各列に対してワークの各切り込みを対応させて係合させて、ワイヤ列をワークの切断中断時のワーク切り込み位置に配置することを試みた。
表2の砥石を用いて、表5の各条件になるようにワイヤを摩耗させてから、ワイヤの各列に対してワークの各切り込みを対応させて係合させて、ワイヤ列をワークの切断中断時のワーク切り込み位置に配置し、切断を再開させた。
103…溝付きローラ、
104、104’…ワイヤの張力を調整する機構、
105…ワークを下方へ送り出す機構、
106…クーラントを供給する機構、
107、107’…ワイヤリール、
108、108’…トラバーサ、
109、109’…プーリー、
110…溝付きローラ駆動モータ、
111、111’…ワイヤリール駆動モータ、
112…ワーク保持部、
113…ワークプレート、
114…ワーク保持手段、
120…接合部材(ビーム)、
201…ワイヤソー(遊離砥粒方式)、
202…ワイヤ(高張力鋼線)、
206…スラリを供給する機構、
402…固定砥粒ワイヤ、
W…ワーク、
G…砥粒。
103…溝付ローラ、
104、104’…張力調整機構、
105…ワークを下方へ送り出す機構、
106…クーラントを供給する機構、
107、107’…ワイヤリール、
108、108’…トラバーサ、
109、109’…プーリー、
110…溝付ローラ駆動モータ、
111、111’…ワイヤリール駆動モータ、
112…ワーク保持部、
113…ワークプレート、
114…ワーク保持手段、
120…接合部材(ビーム)、
201…ワイヤソー(遊離砥粒方式)、
202…ワイヤ(高張力鋼線)、
206…スラリを供給する機構、
402…固定砥粒ワイヤ、
W…ワーク、
G…砥粒。
Claims (5)
- 表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻き掛けることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークを相対的に前記ワイヤ列に対して押し当てて切り込み送りし、前記ワークをウェーハ状に切断するワイヤソーの運転において、
前記ワークの切断を前記ワークの途中で一旦中断した後、前記ワークの切断を再開する場合の運転再開方法であって、
前記砥粒を磨耗させた前記固定砥粒ワイヤを、前記ワークの切断を中断した前記ワークの切り込み位置に配置し、前記ワークの切断を再開することを特徴とするワイヤソーの運転再開方法。 - 前記固定砥粒ワイヤの芯線の直径をR、新線である前記固定砥粒ワイヤの直径をR1、前記砥粒を磨耗させた後のワイヤの直径をR2とした時に、前記R2がR≦R2≦R+(R1−R)×0.1 を満たす前記砥粒を摩耗させた前記固定砥粒ワイヤを、前記ワークの切断を中断した前記ワークの切り込み位置に配置し、前記ワークの切断を再開することを特徴とする請求項1に記載のワイヤソーの運転再開方法。
- 前記R2とは異なる、前記固定砥粒ワイヤの前記砥粒を磨耗させた後のワイヤ直径をR3とした時に、R3がR2<R3≦R2+(R1−R)×0.5 を満たす前記砥粒を摩耗させた前記固定砥粒ワイヤを、R2を満たす前記砥粒を摩耗させた前記固定砥粒ワイヤと供給する新線との間の位置に配置し、前記ワークの切断を再開することを特徴とする請求項2に記載のワイヤソーの運転再開方法。
- 前記固定砥粒ワイヤに砥石を相対的に押し当てて、前記砥粒を摩耗させることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のワイヤソーの運転再開方法。
- 前記砥石としてWA砥石を用いることを特徴とする請求項4に記載のワイヤソーの運転再開方法。
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