KR20210073450A - 와이어소의 운전재개방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 고정지립 와이어를 이용한 와이어소에 의한 워크의 절단에 있어서, 와이어의 단선 등의 이상에 의해 도중에 중단된 워크의 절단을 재개할 때에, 워크에 와이어가 걸려, 와이어의 단선이 발생하는 일이 없는 와이어소의 운전재개방법을 제공한다.
[해결수단] 표면에 지립이 고착된 고정지립 와이어를, 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립 와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 워크를 상대적으로 상기 와이어열에 대하여 대고 눌러 절입이송하고, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소의 운전에 있어서, 상기 워크의 절단을 상기 워크의 도중에 일단 중단한 후, 상기 워크의 절단을 재개하는 경우의 운전재개방법으로서, 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 와이어소의 운전재개방법이다.

Description

와이어소의 운전재개방법{METHOD OF REWORKING WIRE SAW}

본 발명은, 와이어에 의한 워크의 절단에 관한 것으로, 특히, 절단의 중단 시에 있어서 와이어소의 운전재개방법에 관한 것이다.

종래, 실리콘 잉곳이나 화합물 반도체 잉곳 등으로부터 웨이퍼를 잘라내는 수단으로서, 와이어소가 알려져 있다. 이 와이어소에서는, 예를 들어 유리지립(遊離砥粒) 방식에서는, 복수의 롤러의 주위에 절단용 와이어가 다수 감겨짐으로써, 와이어열이 형성되어 있고, 그 절단용 와이어가 축방향으로 고속구동되며, 또한, 슬러리가 적당히 공급되면서 와이어열에 대하여 워크가 절입이송됨으로써, 이 워크가 각 와이어의 위치에서 절단되고, 동시에 복수매의 웨이퍼를 잘라내도록 한 것이다(특허문헌 1).

여기서, 도 2에, 일반적인 와이어소의 일례를 나타낸다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 와이어소(201)는, 주로, 워크(W)를 절단하기 위한 와이어(202)(고장력강선), 와이어(202)를 감은 홈부착 롤러(103), 와이어(202)의 장력을 조정하는 장력조정기구(104), 절단되는 워크(W)를 하방으로 송출하는 기구(105), 절단시에 슬러리를 공급하는 기구(206)로 구성되어 있다.

와이어(202)는, 일방의 와이어릴(107)로부터 조출되고(繰り出され), 트래버서(108), 풀리(109), 장력조정기구(104)를 거져, 홈부착 롤러(103)에 300~500회 정도 감겨진 후, 또 다른 일방의 장력조정기구(104’), 풀리(109’), 트래버서(108’)를 거쳐 와이어릴(107’)에 권취되어 있다.

또한, 홈부착 롤러(103)는 철강제 원통의 주위에 폴리우레탄 수지를 압입하고, 그 표면에 대략 일정한 피치로 홈을 넣은 롤러이며, 감겨진 와이어(202)가 홈부착 롤러 구동모터(110)에 의해, 일방향 혹은, 미리 정해진 주기로 축방향으로 왕복구동할 수 있도록 되어 있다.

와이어릴(107, 107’)은 와이어릴 구동모터(111, 111’)에 의해 회전구동되며, 홈부착 롤러 구동모터(110)와 와이어릴 구동모터(111, 111’)의 속도를 각각 제어함으로써, 와이어(202)에 가해지는 장력을 조정할 수 있다.

또한, 도 2의 워크(W)를 하방으로 송출하는 기구(105)는, 도 3과 같이, 워크 유지부(112), 워크플레이트(113)로 구성되는 워크유지수단(114)을 갖고 있으며, 워크플레이트(113)에는, 워크(W)에 첩부된 접합부재(빔)(120)를 개재하여 워크(W)가 접착된다.

워크(W) 절단시에는, 워크(W)를 하방으로 송출하는 기구(105)에 의해 워크(W)는 유지되면서 상대적으로 압하되며, 홈부착 롤러(103)에 감겨진 와이어(202)로 이루어지는 와이어열에 대하여 송출된다.

이러한 와이어소(201)를 이용하고, 와이어(202)에 장력조정기구(104, 104’)를 이용하여 적당한 장력을 가하여, 와이어릴 구동모터(111, 111’)에 의해 와이어(202)를 축방향으로 왕복주행시키면서, 슬러리를 공급하는 기구(206)로부터 공급된 슬러리를 공급하고, 워크(W)를 하방으로 송출하는 기구(105)로 워크를 절입이송함으로써 워크를 절단한다.

그런데, 와이어소에 이용되고 있는 강선 와이어는, 내마모, 내장력성이 풍부하고, 또한, 홈부착 롤러에는, 와이어의 손상을 방지하기 위해 소정 경도의 수지롤러가 사용되고 있는데, 와이어의 경시적인 마모나, 피로에 의해 워크의 절단시에 와이어가 단선되어, 워크의 절단을 계속할 수 없는 경우가 있다.

이러한 경우, 종래는, 워크의 절입으로부터 와이어를 이탈시키는 이탈작업을 행하고 나서 단선 개소를 신선과 결선한다. 그 후, 결선 개소를 회수측의 와이어릴(107’)까지 이송하고 나서, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 단선시의 워크절입위치에 배치하여, 워크의 절단을 재개하는 방법이 행해지고 있었다.

한편, 도 1에 나타내는 바와 같이, 지립을 포함하는 슬러리를 사용하지 않고, 대신에 다이아몬드 지립 등을 와이어의 표면에 고착한 고정지립 와이어(402)를 사용하여, 워크를 절단하는 방법도 알려져 있으며, 직경 150mm 정도 이하의 소직경 잉곳의 절단에는 일부에서 실용화되어 있다.

이 고정지립 와이어(402)에 의한 절단에서는, 도 2에 나타낸 일반적인 와이어소(201)에 있어서의 강선 와이어(202) 대신에, 도 1에 나타내고 있는 바와 같이 고정지립 와이어(402)를 장착하고 있다. 또한, 도 2에 나타낸 일반적인 와이어소(201)에 있어서 공급하는 슬러리를, 도 1에 나타낸 와이어소(101)에서는, 지립이 포함되지 않는 냉각수 등의 쿨런트로 바꾼, 쿨런트를 공급하는 기구(106)를 포함하는 와이어소(101)를 이용하고 있다. 이와 같이, 이 고정지립 와이어(402)에 의한 절단에서는, 일반적인 와이어소를 그대로 사용할 수 있다.

고정지립 와이어에 관해서도 단선되는 경우가 있으며, 유리지립 와이어와 동일하게, 워크의 절입으로부터 와이어를 이탈시키는 이탈작업을 행하고, 단선 개소를 신선과 결선하여, 결선 개소를 회수측의 와이어릴(107’)까지 이송하고, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 단선시의 워크절입위치에 배치하여, 워크의 절단을 재개하는 방법이 필요해진다.

일본특허공개 H9-262826호 공보

상기 유리지립을 이용한 와이어소의 경우는. 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 유리지립(G)의 폭분만큼 와이어(202)와 워크(W)와의 사이에 극간(클리어런스)이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 단선시의 워크절입위치에 배치하는 것은 비교적 용이하였다. 그러나, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 상기 고정지립을 이용한 와이어소의 경우, 고정지립 와이어(402)와 워크(W)와의 사이에는 극간이 생기지 않으므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 곤란하다는 과제가 있었다.

또한, 와이어와 워크의 걸림이 큰 경우에는, 와이어 단선에 이르는 경우가 있다. 와이어 단선이 발생한 경우에는, 한번 더 와이어의 결선작업 등을 행하는 수고가 필요해지고, 또한 고쳐감는 만큼의 고정지립 와이어가 여분으로 필요해지는 등 손실이 크다.

본 발명은, 전술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 고정지립 와이어를 이용한, 와이어소에 의한 워크의 절단에 있어서, 와이어의 단선 등의 이상에 의해, 도중에 중단된 워크의 절단을 재개하는 경우라도, 와이어를 워크의 절단위치에 되돌릴 수 있고, 게다가, 절입위치에의 와이어의 설치시에, 와이어의 단선이 발생하는 일이 없는, 와이어소의 운전재개방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 표면에 지립(砥粒)이 고착된 고정지립(固定砥粒) 와이어를 복수의 홈(溝)부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립 와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 워크를 상대적으로 상기 와이어열에 대하여 대고 눌러(혹은, 꽉 눌러, 압착하여) 절입이송하고, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소의 운전에 있어서, 상기 워크의 절단을 상기 워크의 도중에 일단 중단한 후, 상기 워크의 절단을 재개하는 경우의 운전재개방법으로서, 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는, 와이어소의 운전재개방법을 제공한다.

본 발명의 와이어소의 운전재개방법이면, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킴으로써, 워크와 와이어의 사이에 극간이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 용이해지며, 절입위치에의 와이어의 설치 시에, 와이어가 단선되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 이 때, 상기 고정지립 와이어의 심선(芯線)의 직경을 R, 신선(新線)인 상기 고정지립 와이어의 직경을 R1, 상기 지립을 마모시킨 후의 와이어의 직경을 R2로 했을 때에, 상기 R2가 R≤R2≤R+(R1-R)×0.1을 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것이 바람직하다.

이러한 방법에 따르면, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킴으로써, 워크와 와이어의 사이에 극간(隙間)이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합(係合)시키는 것이 보다 용이해지며, 와이어가 단선되는 것을 보다 억제할 수 있다. 와이어열을 단선 시의 워크 절입위치에 배치할 때에, 워크와 접촉하여 걸림이 발생하지 않게 되어, 워크 절단면에 소 마크가 생기거나, Warp품질을 손상시키거나 하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 이 때, 상기 R2와는 상이한, 상기 고정지립 와이어의 상기 지립을 마모시킨 후의 와이어 직경을 R3으로 했을 때에, R3이 R2＜R3≤R2+(R1-R)×0.5를 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, R2를 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어와 공급하는 신선과의 사이의 위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것이 바람직하다.

이러한 방법에 따르면, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킴으로써, 워크와 와이어의 사이에 극간이 생기므로, 절입위치에의 와이어의 설치 시에, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 보다 용이해지며, 와이어가 단선되는 것을 보다 억제할 수 있다. 와이어열을 단선시의 워크절입위치에 배치할 때에, 워크와 접촉하여 걸림이 발생하지 않게 되어, 워크 절단면에 소 마크가 생기거나, Warp품질을 손상시키거나 하는 것을 억제할 수 있다. 그리고 또한, 와이어 직경의 변화가 작아져, 절입시에 와이어에의 부하가 급격하게 증대되는 일이 없어지므로, 절단 재개시의 단선도 방지할 수 있다.

또한, 이 때, 상기 고정지립 와이어에 지석(砥石)을 상대적으로 대고 눌러, 상기 지립(砥粒)을 마모시키는 것이 바람직하다.

이러한 방법에 따르면, 고정지립 와이어 표면의 고정지립을 효과적으로 제거가능하며, 와이어를 워크의 절단위치에 되돌리는 것이 보다 용이해진다. 그러므로, 운전재개 시에 재단선이 발생하지 않도록, 와이어 직경을 제어하는 것이 보다 용이해지며, 워크에 와이어가 걸려 소 마크가 생기거나, 워크의 품질을 손상시키거나, 와이어의 단선이 발생하거나 하는 것을 더욱 억제할 수 있다.

또한, 이 때, 상기 지석은 WA(White Alundum)지석을 이용하는 것이 바람직하다.

이러한 지석이면, 고정지립 와이어 표면의 고정지립을 효과적으로 제거가능하며, 와이어를 워크의 절단위치에 되돌리는 것이 보다 용이해진다. 그러므로, 운전재개시에 재단선이 발생하지 않도록, 와이어 직경을 제어하는 것이 보다 용이해지며, 워크에 와이어가 걸려 소 마크가 생기거나, 워크의 품질을 손상시키거나, 와이어의 단선이 발생하거나 하는 것을 더욱 억제할 수 있다.

이상과 같이, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킴으로써, 워크와 와이어의 사이에 극간이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 보다 용이해지며, 절입위치에의 와이어의 설치 시에, 와이어가 단선되는 것을 보다 억제할 수 있다. 와이어열을 단선 시의 워크절입위치에 배치할 때에, 워크와 접촉하여 걸림이 발생하지 않게 되어, 워크 절단면에 소 마크가 생기거나, Warp품질을 손상시키거나 하는 것을 억제할 수 있다. 그리고 또한, 와이어 직경의 변화가 작아져, 절입 시에 와이어에의 부하가 급격하게 증대되는 일이 없어지므로, 절단재개 시의 단선도 방지할 수 있다.

도 1은 고정지립방식의 와이어소의 일례를 나타낸다.
도 2는 유리지립방식의 와이어소의 일례를 나타낸다.
도 3은 워크를 하방으로 송출하는 기구를 나타낸다.
도 4는 워크의 절단을 재개하기 위해, 워크의 절입위치에 와이어를 배치했을 때의, 워크와 와이어의 단면도를 나타낸다.

이하, 본 발명을 상세하게 설명하나, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.

상술과 같이, 고정지립을 이용한 와이어소의 경우, 고정지립 와이어(402)와 워크(W)와의 사이에는 극간이 생기지 않기 때문에, 절입위치에의 와이어의 설치 시에, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 곤란하므로, 와이어의 단선이 발생하는 일이 없어지도록 하는 방법이 요구되고 있었다.

본 발명자들은, 상기 과제에 대해서 예의 검토를 거듭한 결과, 표면에 지립이 고착된 고정지립 와이어를, 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립 와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 워크를 상대적으로 상기 와이어열에 대하여 대고 눌러 절입이송하고, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소의 운전에 있어서, 상기 워크의 절단을 상기 워크의 도중에 일단 중단한 후, 상기 워크의 절단을 재개하는 경우의 운전재개방법으로서, 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하는 와이어소의 운전재개방법에 의해, 절입위치에의 와이어의 설치시에, 와이어의 단선이 발생하는 것을 억제할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하였다.

이하, 도면을 참조하여 설명한다.

유리지립방식을 이용한 와이어소의 경우는. 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 유리지립(G)의 폭분만큼 와이어(202)와 워크(W)와의 사이에 극간(클리어런스)이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 단선시의 워크절입위치에 배치하는 것은 비교적 용이하였다. 그러나, 상기 고정지립방식을 이용한 와이어소의 경우, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 고정지립 와이어(402)와 워크(W)와의 사이에는 극간이 생기지 않으므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 곤란하다.

이에, 본 발명자들은, 표면에 지립이 고착된 고정지립 와이어를, 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립 와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 워크를 상대적으로 상기 와이어열에 대하여 대고 눌러 절입이송하고, 상기 워크를 웨이퍼 상으로 절단하는 와이어소의 운전에 있어서, 상기 워크의 절단을 상기 워크의 도중에 일단 중단한 후, 상기 워크의 절단을 재개하는 경우의 운전재개방법으로서, 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법을 발견하였다.

본 발명의 와이어소의 운전재개방법이면, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킴으로써, 워크와 와이어의 사이에 극간이 생기므로, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키는 것이 용이해지며, 게다가, 절입위치에의 와이어의 설치시에, 와이어가 단선되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명자들은, 고정지립 와이어의 심선의 직경을 R, 신선인 고정지립 와이어의 직경을 R1, 지립을 마모시킨 후의 와이어의 직경을 R2로 했을 때에, R2가 R≤R2≤R+(R1-R)×0.1을 만족하는 지립을 마모시킨 고정지립 와이어를, 워크의 절단을 중단한 워크의 절입위치에 배치함으로써, 와이어가 단선되는 것을 더욱 억제할 수 있는 것을 발견하였다. 게다가, 워크와 접촉하여 걸림이 발생하지 않게 되어, 워크 절단면에 소 마크가 생기거나, Warp품질을 손상시키거나 하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 더욱 조사를 진행시켜 가는 중에, 워크절입위치에 배치할 때까지 문제는 없으나, 운전재개하여 곧 다시 단선이 발생하는 경우가 있는 것을 알 수 있었다.

단선된 개소를 조사하면, 고정지립 와이어의 직경을, R2를 만족하도록 마모시킨 부분과, 신선과의 경계 부근이 워크의 안을 지나는 타이밍에 단선이 발생하고 있는 것을 알 수 있었다. 이러한 점에서, 본 발명자들은, 고정지립 와이어를 마모시킨 개소와 신선에서 와이어 직경이 크게 상이한 경우, 그 단차부의 전후에서 워크에의 절입이 커지고, 와이어에의 부하가 급격하게 증대되어 단선이 발생하고 있는 것으로 추측하였다.

이에, 본 발명자들은, 운전재개 시의 재단선을 방지하는 방법으로서, R2와는 상이한, 고정지립 와이어의 지립을 마모시킨 후의 와이어 직경을 R3으로 했을 때에, R3이 R2＜R3≤R2+(R1-R)×0.5를 만족하는 지립을 마모시킨 고정지립 와이어를, R2를 만족하는 지립을 마모시킨 고정지립 와이어와 공급하는 신선과의 사이의 위치에 배치하여, 워크의 절단을 재개하는 와이어소의 운전재개방법을 발견하였다.

이러한 방법에 따르면, 와이어가 주행하여 워크의 안을 지날 때에, 와이어 직경은 R2⇒R3⇒신선(新線)의 순으로 커지므로, R2⇒신선(新線)의 순으로 계합시키는 경우보다 와이어 직경의 변화가 작아져, 절입 시에 와이어에의 부하가 급격하게 증대되는 일 없이, 와이어 단선을 방지할 수 있다.

또한, 고정지립 와이어를 마모시키기 위해, 고정지립 와이어에 지석을 상대적으로 대고누르는 것이 바람직하다. 또한, 지석은 WA(White Alundum)지석을 이용하는 것이 바람직하다.

이러한 운전재개방법이면, 고정지립 와이어 표면의 고정지립을 효과적으로 제거가능하며, 와이어를 워크의 절단위치에 되돌리는 것을 보다 용이하게 할 수 있고, 게다가, 절입위치에의 와이어의 설치 시나 운전재개 시의 재단선이 발생하지 않도록, 와이어 직경을 제어하는 것이 용이해진다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예 및 비교예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하나, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.

도 1에 나타내는 것과 같은 와이어소를 이용하여, 표 1의 공통조건으로 원기둥상의 워크의 절단을 개시하고, 도중에 절단을 중단하였다. 그 후, 와이어를 워크의 절입으로부터 이탈시키고, 와이어의 미사용부가 워크의 위치에 올 때까지 와이어를 회수측 릴에 이송하였다.

[표 1]

(실시예 1)

표 2의 지석을 이용하여, 표 3의 각 조건이 되도록 와이어를 마모시키고 나서, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 절단 중단 시의 워크절입위치에 배치하는 것을 시도하였다.

[표 2]

[표 3]

(비교예)

와이어를 마모시키는 일 없이, 와이어 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 워크의 절단 중단시의 워크절입위치에 배치하는 것을 시도하였다.

실시예 1과 비교예를 행한 결과, 표 4에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는 소 마크나 와이어 단선이 발생하였다. 실시예 1에 관해서는, 어느 조건에서도 와이어 단선은 발생하지 않고, 「R≤R2≤R+(R1-R)×0.1」을 만족하고 있는 조건 3~5는 소 마크도 와이어 단선도 발생하지 않았다.

[표 4]

(실시예 2)

표 2의 지석을 이용하여, 표 5의 각 조건이 되도록 와이어를 마모시키고 나서, 와이어의 각 열에 대하여 워크의 각 절입을 대응시켜 계합시키고, 와이어열을 워크의 절단 중단시의 워크절입위치에 배치하여, 절단을 재개시켰다.

[표 5]

실시예 2의 결과, 표 6에 나타내는 바와 같이, 「R2＜R3≤R2+(R1-R)×0.5」를 만족하는 조건 3~5에서는, 운전재개시의 단선의 발생은 없었다.

[표 6]

한편, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 가지며, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

101… 와이어소 (고정지립방식)
103… 홈부착 롤러
104, 104’… 장력조정기구
105… 워크를 하방으로 송출하는 기구
106… 쿨런트를 공급하는 기구
107, 107’… 와이어릴
108, 108’… 트래버서
109, 109’… 풀리
110… 홈부착 롤러 구동모터
111, 111’… 와이어릴 구동모터
112… 워크유지부
113… 워크플레이트
114… 워크유지수단
120… 접합부재(빔)
201… 와이어소(유리지립방식)
202… 와이어(고장력강선)
206… 슬러리를 공급하는 기구
402… 고정지립 와이어
W… 워크
G… 지립

Claims (5)

1. 표면에 지립이 고착된 고정지립 와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립 와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 워크를 상대적으로 상기 와이어열에 대하여 대고 눌러 절입이송하고, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소의 운전에 있어서,
   상기 워크의 절단을 상기 워크의 도중에 일단 중단한 후, 상기 워크의 절단을 재개하는 경우의 운전재개방법으로서,
   상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 고정지립 와이어의 심선의 직경을 R, 신선인 상기 고정지립 와이어의 직경을 R1, 상기 지립을 마모시킨 후의 와이어의 직경을 R2로 했을 때에, 상기 R2가 R≤R2≤R+(R1-R)×0.1을 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, 상기 워크의 절단을 중단한 상기 워크의 절입위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법.
3. 제2항에 있어서,
   상기 R2와는 상이한, 상기 고정지립 와이어의 상기 지립을 마모시킨 후의 와이어 직경을 R3으로 했을 때에, R3이 R2＜R3≤R2+(R1-R)×0.5를 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어를, R2를 만족하는 상기 지립을 마모시킨 상기 고정지립 와이어와 공급하는 신선과의 사이의 위치에 배치하여, 상기 워크의 절단을 재개하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 고정지립 와이어에 지석을 상대적으로 대고 눌러, 상기 지립을 마모시키는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법.
5. 제4항에 있어서,
   상기 지석으로서 WA지석을 이용하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 운전재개방법.

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