JPH0727603A - 可動部の異常振動検査装置 - Google Patents
可動部の異常振動検査装置Info
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- JPH0727603A JPH0727603A JP5192992A JP19299293A JPH0727603A JP H0727603 A JPH0727603 A JP H0727603A JP 5192992 A JP5192992 A JP 5192992A JP 19299293 A JP19299293 A JP 19299293A JP H0727603 A JPH0727603 A JP H0727603A
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- Japan
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- abnormal vibration
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 異常振動検査装置において、可動部と関係す
るワークに損傷を与える前にその可動部の異常振動の発
生を検出して警報を発するようにする。 【構成】 複数軸方向の振動素子８ｘ，８ｙを有し検査
対象となる可動部（３）の所定部位に設けられて該可動
部（３）の複数軸方向の振動を検出する振動検出部６
と、この振動検出部６からの出力信号を入力して上記可
動部（３）の振動波形を計測すると共に予め設定した所
定範囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つ
その異常振動の発生について警報を出力する振動波形検
出処理器７とから成るものである。これにより、可動部
と関係するワークに損傷を与える前にその可動部の異常
振動の発生を検出して警報を発することができる。
るワークに損傷を与える前にその可動部の異常振動の発
生を検出して警報を発するようにする。 【構成】 複数軸方向の振動素子８ｘ，８ｙを有し検査
対象となる可動部（３）の所定部位に設けられて該可動
部（３）の複数軸方向の振動を検出する振動検出部６
と、この振動検出部６からの出力信号を入力して上記可
動部（３）の振動波形を計測すると共に予め設定した所
定範囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つ
その異常振動の発生について警報を出力する振動波形検
出処理器７とから成るものである。これにより、可動部
と関係するワークに損傷を与える前にその可動部の異常
振動の発生を検出して警報を発することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
などにおいてウェハ等のワークを搬送する搬送アームな
どの可動部の異常振動を検査する異常振動検査装置に関
し、特に可動部と関係するワークに損傷を与える前にそ
の可動部の異常振動の発生を検出して警報を発すること
ができる可動部の異常振動検査装置に関する。
などにおいてウェハ等のワークを搬送する搬送アームな
どの可動部の異常振動を検査する異常振動検査装置に関
し、特に可動部と関係するワークに損傷を与える前にそ
の可動部の異常振動の発生を検出して警報を発すること
ができる可動部の異常振動検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造装置などにおいてウェ
ハ等のワークを搬送する従来のワーク搬送装置は、図４
に示すように、図示省略の駆動源に連結され上下方向に
移動する上下動部材１と、この上下動部材１の上端部に
設けられた駆動機構２から水平方向に突出し左右に移動
する搬送アーム３とを有し、この搬送アーム３のワーク
保持部４で例えばウェハ５を保持して、そのウェハ５を
或る作業ステーションから他の作業ステーションへ搬送
していた。
ハ等のワークを搬送する従来のワーク搬送装置は、図４
に示すように、図示省略の駆動源に連結され上下方向に
移動する上下動部材１と、この上下動部材１の上端部に
設けられた駆動機構２から水平方向に突出し左右に移動
する搬送アーム３とを有し、この搬送アーム３のワーク
保持部４で例えばウェハ５を保持して、そのウェハ５を
或る作業ステーションから他の作業ステーションへ搬送
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のワーク搬送装置においては、その搬送アームなどの
可動部について異常振動の発生を事前に検査する手段は
何ら講じていなかったので、前記上下動部材１及び駆動
機構２並びに搬送アーム３などの駆動系の例えばオイル
切れ、摩耗、動作不良等により不意に異常振動が発生す
るのを知ることができなかった。そして、この異常振動
がウェハ５の搬送中に発生すると、上記ウェハ５の角部
が欠けるチッピングが生じたり、上記駆動系から異物が
飛んでウェハ５に付着することがあった。従って、ウェ
ハ５に不良品が発生し、製品の品質が低下すると共に歩
留りが低下することがあった。
来のワーク搬送装置においては、その搬送アームなどの
可動部について異常振動の発生を事前に検査する手段は
何ら講じていなかったので、前記上下動部材１及び駆動
機構２並びに搬送アーム３などの駆動系の例えばオイル
切れ、摩耗、動作不良等により不意に異常振動が発生す
るのを知ることができなかった。そして、この異常振動
がウェハ５の搬送中に発生すると、上記ウェハ５の角部
が欠けるチッピングが生じたり、上記駆動系から異物が
飛んでウェハ５に付着することがあった。従って、ウェ
ハ５に不良品が発生し、製品の品質が低下すると共に歩
留りが低下することがあった。
【０００４】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、可動部と関係するワークに損傷を与える前にその
可動部の異常振動の発生を検出して警報を発することが
できる可動部の異常振動検査装置を提供することを目的
とする。
処し、可動部と関係するワークに損傷を与える前にその
可動部の異常振動の発生を検出して警報を発することが
できる可動部の異常振動検査装置を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による可動部の異常振動検査装置は、複数軸
方向の振動素子を有し検査対象となる可動部の所定部位
に設けられて該可動部の複数軸方向の振動を検出する振
動検出部と、この振動検出部からの出力信号を入力して
上記可動部の振動波形を計測すると共に予め設定した所
定範囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つ
その異常振動の発生について警報を出力する振動波形検
出処理器とから成るものである。
に、本発明による可動部の異常振動検査装置は、複数軸
方向の振動素子を有し検査対象となる可動部の所定部位
に設けられて該可動部の複数軸方向の振動を検出する振
動検出部と、この振動検出部からの出力信号を入力して
上記可動部の振動波形を計測すると共に予め設定した所
定範囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つ
その異常振動の発生について警報を出力する振動波形検
出処理器とから成るものである。
【０００６】また、上記振動検出部は、検査対象となる
可動部の所定部位に検査時にのみ着脱可能にセットする
ようにしてもよい。
可動部の所定部位に検査時にのみ着脱可能にセットする
ようにしてもよい。
【０００７】
【作用】このように構成された可動部の異常振動検査装
置は、複数軸方向の振動素子を有し検査対象となる可動
部の所定部位に設けられた振動検出部で上記可動部の複
数軸方向の振動を検出し、振動波形検出処理器で上記振
動検出部からの出力信号を入力して上記可動部の振動波
形を計測すると共に予め設定した所定範囲の振動よりも
大きい異常振動の発生を検出し且つその異常振動の発生
について警報を出力するように動作する。これにより、
可動部と関係するワークに損傷を与える前にその可動部
の異常振動の発生を検出して警報を発することができ
る。
置は、複数軸方向の振動素子を有し検査対象となる可動
部の所定部位に設けられた振動検出部で上記可動部の複
数軸方向の振動を検出し、振動波形検出処理器で上記振
動検出部からの出力信号を入力して上記可動部の振動波
形を計測すると共に予め設定した所定範囲の振動よりも
大きい異常振動の発生を検出し且つその異常振動の発生
について警報を出力するように動作する。これにより、
可動部と関係するワークに損傷を与える前にその可動部
の異常振動の発生を検出して警報を発することができ
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による可動部の異常振動
検査装置の第一実施例を示す斜視図である。この異常振
動検査装置は、例えば半導体製造装置などにおいてウェ
ハ等のワークを搬送するワーク搬送装置の搬送アームな
どの可動部について異常振動を検査するものである。こ
こで、上記ワーク搬送装置は、図４に示すと同様に、上
下動部材１と、駆動機構２と、搬送アーム３とを有して
成り、この搬送アーム３のワーク保持部４で例えばウェ
ハを保持して、或る作業ステーションから他の作業ステ
ーションへ搬送するようになっている。
詳細に説明する。図１は本発明による可動部の異常振動
検査装置の第一実施例を示す斜視図である。この異常振
動検査装置は、例えば半導体製造装置などにおいてウェ
ハ等のワークを搬送するワーク搬送装置の搬送アームな
どの可動部について異常振動を検査するものである。こ
こで、上記ワーク搬送装置は、図４に示すと同様に、上
下動部材１と、駆動機構２と、搬送アーム３とを有して
成り、この搬送アーム３のワーク保持部４で例えばウェ
ハを保持して、或る作業ステーションから他の作業ステ
ーションへ搬送するようになっている。
【０００９】このようなワーク搬送装置の搬送アーム３
などの可動部について異常振動を検査する異常振動検査
装置は、図１に示すように、振動検出部６と、振動波形
検出処理器７とから成る。上記振動検出部６は、例えば
搬送アーム３の２軸方向の振動を検出するもので、Ｘ軸
方向の振動素子８ｘとＹ軸方向の振動素子８ｙを互いに
直交配置して納めた箱体を、上記搬送アーム３の先端部
から下方に向けて伸びるワーク保持部４，４，…の下端
部に取り付けて成る。また、振動波形検出処理器７は、
上記振動検出部６からの出力信号を入力して上記搬送ア
ーム３の振動波形を計測すると共に予め設定した所定範
囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つその
異常振動の発生について警報を出力するもので、振動検
出部６内の各振動素子８ｘ，８ｙから伸びる信号線９
ａ，９ｂが入力端子に接続されると共に、その内部には
従来公知の検出回路や記憶回路、演算回路、警報回路な
どが設けられている。そして、この振動波形検出処理器
７に対して、検出した振動波形の振幅について正常範囲
と異常範囲とを区別するしきい値を設定しておき、正常
値と異常値との差を計算してその差がワークに影響を与
える振動レベル差以上になった場合は、異常振動につい
て音又は光で警報を発するようになっている。
などの可動部について異常振動を検査する異常振動検査
装置は、図１に示すように、振動検出部６と、振動波形
検出処理器７とから成る。上記振動検出部６は、例えば
搬送アーム３の２軸方向の振動を検出するもので、Ｘ軸
方向の振動素子８ｘとＹ軸方向の振動素子８ｙを互いに
直交配置して納めた箱体を、上記搬送アーム３の先端部
から下方に向けて伸びるワーク保持部４，４，…の下端
部に取り付けて成る。また、振動波形検出処理器７は、
上記振動検出部６からの出力信号を入力して上記搬送ア
ーム３の振動波形を計測すると共に予め設定した所定範
囲の振動よりも大きい異常振動の発生を検出し且つその
異常振動の発生について警報を出力するもので、振動検
出部６内の各振動素子８ｘ，８ｙから伸びる信号線９
ａ，９ｂが入力端子に接続されると共に、その内部には
従来公知の検出回路や記憶回路、演算回路、警報回路な
どが設けられている。そして、この振動波形検出処理器
７に対して、検出した振動波形の振幅について正常範囲
と異常範囲とを区別するしきい値を設定しておき、正常
値と異常値との差を計算してその差がワークに影響を与
える振動レベル差以上になった場合は、異常振動につい
て音又は光で警報を発するようになっている。
【００１０】次に、このように構成された可動部の異常
振動検査装置の動作について説明する。まず、ワーク搬
送装置で図４に示すと同様にウェハ５を搬送するとし
て、該ワーク搬送装置を駆動させる。すると、これによ
り上下動部材１及び駆動機構２がそれぞれＸ軸方向及び
Ｙ軸方向に適宜運動して、搬送アーム３が所望の方向へ
移動し、上記ウェハ５を或る作業ステーションから他の
作業ステーションへ搬送する。このとき、上記搬送アー
ム３の移動により、その運動時の振動が振動検出部６内
の二つの振動素子８ｘ，８ｙで検出され、この検出信号
が信号線９ａ，９ｂを介して振動波形検出処理器７に入
力する。次に、この振動波形検出処理器７により、上記
搬送アーム３の振動波形が計測され、予め設定されたし
きい値により上記振動波形について異常振動の有無を演
算し、異常振動が発生したら警報を出力する。これによ
り、操作者は上記ワーク搬送装置の駆動を停止させ、所
要の手入れ又は部品交換等をして異常振動の原因を取り
除く。その後、再び上記ワーク搬送装置を駆動してウェ
ハ５を所望のステーション間で搬送する。
振動検査装置の動作について説明する。まず、ワーク搬
送装置で図４に示すと同様にウェハ５を搬送するとし
て、該ワーク搬送装置を駆動させる。すると、これによ
り上下動部材１及び駆動機構２がそれぞれＸ軸方向及び
Ｙ軸方向に適宜運動して、搬送アーム３が所望の方向へ
移動し、上記ウェハ５を或る作業ステーションから他の
作業ステーションへ搬送する。このとき、上記搬送アー
ム３の移動により、その運動時の振動が振動検出部６内
の二つの振動素子８ｘ，８ｙで検出され、この検出信号
が信号線９ａ，９ｂを介して振動波形検出処理器７に入
力する。次に、この振動波形検出処理器７により、上記
搬送アーム３の振動波形が計測され、予め設定されたし
きい値により上記振動波形について異常振動の有無を演
算し、異常振動が発生したら警報を出力する。これによ
り、操作者は上記ワーク搬送装置の駆動を停止させ、所
要の手入れ又は部品交換等をして異常振動の原因を取り
除く。その後、再び上記ワーク搬送装置を駆動してウェ
ハ５を所望のステーション間で搬送する。
【００１１】図２は本発明の第二実施例を示す斜視図で
ある。この実施例は、振動検出部６を図１に示すワーク
保持部４の下端部ではなく、搬送アーム３の先端部に直
接取り付けたものである。この場合は、ワーク保持部４
自体の振動は検出できないが、搬送アーム３の振動につ
いては直接的によく検出することができる。なお、図２
においては、振動波形検出処理器７は図示省略してい
る。
ある。この実施例は、振動検出部６を図１に示すワーク
保持部４の下端部ではなく、搬送アーム３の先端部に直
接取り付けたものである。この場合は、ワーク保持部４
自体の振動は検出できないが、搬送アーム３の振動につ
いては直接的によく検出することができる。なお、図２
においては、振動波形検出処理器７は図示省略してい
る。
【００１２】図３は本発明の第三実施例を示す斜視図で
ある。この実施例は、３軸ロボットから成るワーク搬送
装置に本発明を適用した場合であり、その搬送アーム
３′の先端部に、Ｘ軸方向の振動素子８ｘとＹ軸方向の
振動素子８ｙとＺ軸方向の振動素子８ｚとを直交配置し
て成る振動検出部６′を取り付けたものである。この場
合は、上記搬送アーム３′の３軸方向の振動を検出し
て、異常振動の有無を検査することができる。なお、図
３においても、振動波形検出処理器７は図示省略してい
る。
ある。この実施例は、３軸ロボットから成るワーク搬送
装置に本発明を適用した場合であり、その搬送アーム
３′の先端部に、Ｘ軸方向の振動素子８ｘとＹ軸方向の
振動素子８ｙとＺ軸方向の振動素子８ｚとを直交配置し
て成る振動検出部６′を取り付けたものである。この場
合は、上記搬送アーム３′の３軸方向の振動を検出し
て、異常振動の有無を検査することができる。なお、図
３においても、振動波形検出処理器７は図示省略してい
る。
【００１３】なお、図１〜図３においては、振動検出部
６，６′はそれぞれワーク保持部４又は搬送アーム３，
３′に固定し、異常振動の有無を常時検査しうるものと
したが、本発明はこれに限らず、例えば一定の使用期間
ごとに行う定期検査などの場合にのみ装着するように、
上記振動検出部６，６′をワーク保持部４又は搬送アー
ム３，３′に着脱可能にセットするようにしてもよい。
この場合は、ワークを搬送する通常の使用状態において
は付属品等を少なくすることができる。また、図１〜図
３においては、可動部として、例えばワーク搬送装置の
搬送アーム３，３′を一例として示したが、これに限ら
ず、上記可動部としては、各種の駆動系のどのような可
動部分であっても、本発明は適用可能である。
６，６′はそれぞれワーク保持部４又は搬送アーム３，
３′に固定し、異常振動の有無を常時検査しうるものと
したが、本発明はこれに限らず、例えば一定の使用期間
ごとに行う定期検査などの場合にのみ装着するように、
上記振動検出部６，６′をワーク保持部４又は搬送アー
ム３，３′に着脱可能にセットするようにしてもよい。
この場合は、ワークを搬送する通常の使用状態において
は付属品等を少なくすることができる。また、図１〜図
３においては、可動部として、例えばワーク搬送装置の
搬送アーム３，３′を一例として示したが、これに限ら
ず、上記可動部としては、各種の駆動系のどのような可
動部分であっても、本発明は適用可能である。
【００１４】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
複数軸方向の振動素子を有し検査対象となる可動部の所
定部位に設けられた振動検出部で上記可動部の複数軸方
向の振動を検出し、振動波形検出処理器で上記振動検出
部からの出力信号を入力して上記可動部の振動波形を計
測すると共に予め設定した所定範囲の振動よりも大きい
異常振動の発生を検出し且つその異常振動の発生につい
て警報を出力することができる。これにより、可動部と
関係するワークに損傷を与える前にその可動部の異常振
動の発生を検出して警報を発することができる。従っ
て、上記ワークに不良品が発生したり、製品の品質が低
下し、歩留りが低下するのを防止することができる。
複数軸方向の振動素子を有し検査対象となる可動部の所
定部位に設けられた振動検出部で上記可動部の複数軸方
向の振動を検出し、振動波形検出処理器で上記振動検出
部からの出力信号を入力して上記可動部の振動波形を計
測すると共に予め設定した所定範囲の振動よりも大きい
異常振動の発生を検出し且つその異常振動の発生につい
て警報を出力することができる。これにより、可動部と
関係するワークに損傷を与える前にその可動部の異常振
動の発生を検出して警報を発することができる。従っ
て、上記ワークに不良品が発生したり、製品の品質が低
下し、歩留りが低下するのを防止することができる。
【図１】本発明による可動部の異常振動検査装置の第一
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の第二実施例を示す斜視図である。
【図３】本発明の第三実施例を示す斜視図である。
【図４】従来のワーク搬送装置の一例を示す斜視図であ
る。
る。
１…上下動部材 ２…駆動機構 ３，３′…搬送アーム ４…ワーク保持部 ５…ウェハ ６，６′…振動検出部 ７…振動波形検出処理器 ８ｘ，８ｙ，８ｚ…振動素子 ９ａ，９ｂ…信号線
Claims (2)
- 【請求項１】 複数軸方向の振動素子を有し検査対象と
なる可動部の所定部位に設けられて該可動部の複数軸方
向の振動を検出する振動検出部と、この振動検出部から
の出力信号を入力して上記可動部の振動波形を計測する
と共に予め設定した所定範囲の振動よりも大きい異常振
動の発生を検出し且つその異常振動の発生について警報
を出力する振動波形検出処理器とから成ることを特徴と
する可動部の異常振動検査装置。 - 【請求項２】 上記振動検出部は、検査対象となる可動
部の所定部位に検査時にのみ着脱可能にセットするよう
にしたことを特徴とする請求項１記載の可動部の異常振
動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5192992A JPH0727603A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 可動部の異常振動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5192992A JPH0727603A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 可動部の異常振動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727603A true JPH0727603A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16300428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5192992A Pending JPH0727603A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 可動部の異常振動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727603A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018012313A1 (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置及びワークの切断方法 |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP5192992A patent/JPH0727603A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018012313A1 (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置及びワークの切断方法 |
| CN109153104A (zh) * | 2016-07-13 | 2019-01-04 | 信越半导体株式会社 | 线锯装置及工件的切断方法 |
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