JPH0616220A - 搬送方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は，ボールネジを駆動させて，物体を
移動させる搬送方式に関し，過負荷が発生したら，直ち
にその過負荷を検出し，過負荷に対応した措置を採る搬
送方式を得ることを目的とする。 【構成】 ボールネジ１に２か所で螺合する駆動枠２
と，一端が駆動枠２の内側に保持され, かつ, 他端が搬
送物体３の載置台４に保持された二つのバネ５とを有
し，搬送物体３の搬送をバネ５を介して, ボールネジ１
により行なうように，そして，バネ５の縮みをセンサ７
で感知して, 搬送物体３に対する過負荷検出を行なうよ
うに構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，ボールネジを駆動させ
て，物体を移動させる搬送方式に関する。近年，半導体
デバイスの高集積，大容量化にともない，試験装置のテ
ストヘッドも大型化し，その移動に機械力が必要とされ
ている。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来例の説明図である。図におい
て，１はボールネジ，３は搬送物体，６はモータ，９は
基台である。

【０００３】従来の技術においては，搬送物体３を移動
させる時の駆動方式として，ボールネジ１を使用した直
接搬送方式を採っていた。図３に示すように，従来のボ
ールネジ１による搬送方式では，モータ６の回転によ
り，基台９に取り付けたボールネジ１が軸中心で回転し
て，ボールネジ１に螺合した搬送物体３が移動する。

【０００４】搬送物体３が何らかの原因によって移動出
来ないような負荷（過負荷）が加わった場合，その負荷
が，搬送物体３を駆動する駆動源のモータ６にまで影響
を及ぼすとともに，その原因である障害物にもモータ６
の駆動が加わり，モータ６，及び障害物双方の破損につ
ながってしまう。

【０００５】特に，障害物が作業者であった場合を考え
ると，安全性の面においても，搬送方式において，危険
性に対する安全対策を充分考慮にいれる必要がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って，この場合，搬
送中に過負荷が加わったかどうかの判断は，規定時間が
経っても移動点に搬送物体３が到達しないことを検出し
て判断しているため，規定時間分は，モータ６は駆動を
停止せずにそのまま回転しているので，搬送物体３やモ
ータ６に何らかの障害が発生する危険がある。

【０００７】本発明は，過負荷が発生したら，直ちにそ
の過負荷を検出し，過負荷に対応した措置を採る搬送方
式を目的として提供される。

【０００８】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図１において，１はボールネジ，２は駆動
枠，３は搬送物体，４は載置台，５はバネ，６はモー
タ，７はセンサ，８はスリット，９は基台である。

【０００９】本発明では，障害物やモータに対する衝撃
を抑え，安全性を向上させる手段として，駆動部分と搬
送物体の間にバネを介在させる。これにより，障害物に
よる過負荷が発生した場合でも，バネの伸縮を検出する
ことにより，早期に過負荷検出が行なえるし，また，バ
ネの逃げにより過負荷時の衝撃を抑える事が出来，安全
性が向上する。

【００１０】即ち，本発明の目的は，図１（ａ）に示す
ように，ボールネジ１に２か所で螺合する駆動枠２と，
一端が駆動枠２の内側に保持され, かつ, 他端が搬送物
体３の載置台４に保持された二つのバネ５とを有し，図
１（ｂ）〜（ｃ）に示すように，搬送物体３の搬送をバ
ネ５を介して, ボールネジ１により行なうことにより，
更に，図１（ｄ）に示すように，バネ５の縮みをセンサ
７で感知して, 搬送物体３に対する過負荷検出を行なう
ことにより達成される。

【００１１】

【作用】本発明においては，図１（ａ）に示すように，
基台に固定されたボールネジ１に２か所で螺合する駆動
枠２と，一端が駆動枠２の内側に保持され, かつ, 他端
が搬送物体３の載置台４に保持された二つのバネ５とを
設けて，図１（ｂ）に示すように，ボールネジ１に軸で
直結するモータ６を回転して，駆動枠２を駆動する。す
ると搬送物体３は重量があるので，駆動枠２と同じ速度
では移動せず，載置台を保持するねじの内，後方のねじ
が次第に縮まってくる。

【００１２】すると，図１（ｃ）に示すように，後方の
バネ５ｂが圧縮限界で反発して元に復帰して，搬送物体
３は所定の位置まで移動する。このようにして，駆動枠
２の前進，搬送物体３の前進を交互に繰り返して，搬送
物体３がホールネジ１により，ネジ５を介して間接的に
搬送される。

【００１３】若し，作業者等の障害物に搬送物体３が接
触して，負荷が掛かった場合には，載置台４株のスリッ
ト８がセンサ７から外れて，センサ７が過負荷を検知
し，信号を送って，モータ６を直ちに停止させるので，
搬送物体３，障害物ともに損傷を免れることができる。

【００１４】

【実施例】図２は本発明の一実施例の説明図である。図
において，図１において，１はボールネジ，２は駆動
枠，４は載置台，５はバネ，６はモータ，７はセンサ，
８はスリット，９は基台，10は試験装置, 11はハンド
ラ, 12はテストヘッド, 13は作業者である。

【００１５】本発明の搬送方式を半導体工場の試験装置
のハンドラに適用した一実施例について説明する。量産
する半導体工場の試験部門では多数個の半導体デバイス
の測定を行なっているが，近年の高集積化の波にのり，
半導体デバイスの多ピン化，多機種，高機能化が進ん
で，多品種測定，ピン数や測定項目の増加が著しく，そ
れにともなって, 図２（ｂ）に，図２（ａ）のＡ−Ａ’
ラインでカットした側面図で示すように，試験装置10に
連結するハンドラ11のテストヘッド12も大型化し，重量
も重くなっている。

【００１６】試験装置は図２（ａ）に示すように多数並
列して設置されており，ハンドラのテストヘッド12も半
導体デバイスの測定品種毎に自動的に交換する必要があ
り，現在では全て自動化されている。

【００１７】テストヘッド12を交換する場合には, 前掲
の図１（ｂ）に示すように，ボールネジ１に軸で直結す
るモータ６を回転して，駆動枠２を駆動すると, テスト
ヘッド12は重量があるので，駆動枠２と同じ速度では移
動せず，載置台４を保持するねじの内，後方のバネ５ｂ
が次第に縮まって，図１（ｃ）に示すように，後方のバ
ネ５ｂが圧縮限界で反発して元に復帰して，テストヘッ
ド12が所定の位置まで前進する。このようにして，駆動
枠２の前進，テストヘッド12の前進を交互に繰り返し
て，テストヘッド12がホールネジ１により，ネジ５を介
して間接的にハンドラ11の固定位置から, テストヘッド
12の交換場所まで移動される。

【００１８】若し, テストヘッド12の交換のための搬送
中に作業者13がテストヘッド12に接触して, テストヘッ
ド12に過負荷が掛かった場合には，前述の図１（ｄ）に
示すように，テストヘッド12の載置台４下部に取り付け
たスリット８がフォトダイオードからなるセンサ７から
外れて，このセンサ７が過負荷を検知し，ハンドラ11の
制御装置に過負荷の信号を送って，ボールネジ1 を駆動
するモータ６の回転を直ちに停止させるので，作業者1
3, テストヘッド12とも, お互いに損傷を免れることが
できる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
搬送物体の搬送中に障害物により過負荷が生じた場合に
は，駆動源のモータがただちに停止するとともに，その
原因となる障害物に対してバネが衝撃を吸収するため
に，障害物に対して安全性が高く，過負荷の影響が直接
モータに伝わらないため，モータを壊す危険性が少な
い。

【００２０】更に，バネの逃げにより過負荷検出を行な
っているので，検出時間が短い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の原理説明図

【図２】 本発明の一実施例の説明図

【図３】 従来例の説明図

【符号の説明】

１ ボールネジ ２ 駆動枠 ３ 搬送物体 ４ 載置台 ５ バネ ６ モータ ７ センサ ８ スリット ９ 基台 10 試験装置 11 ハンドラ 12 テストヘッド 13 作業者

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 和明 福島県会津若松市門田町工業団地４番地 株式会社富士通東北エレクトロニクス内 (72)発明者 坂井 英次 福島県会津若松市門田町工業団地４番地 株式会社富士通東北エレクトロニクス内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボールネジ(1) に２か所で螺合する駆動
   枠(2) と，一端が該駆動枠(2) の内側に保持され, か
   つ, 他端が搬送物体(3) の載置台(4) に保持された二つ
   のバネ(5) とを有し，該搬送物体(3) の搬送を該バネ
   (5) を介して, 該ボールネジ(1) により行なうことを特
   徴とする搬送方式。
2. 【請求項２】 前記バネ(5) の縮みをセンサ(7) で感知
   して, 前記搬送物体(3) に対する過負荷検出を行なうこ
   とを特徴とする請求項１記載の搬送方式。