JPH1190883A - 多軸ロボットの軸ズレ検知装置 - Google Patents

多軸ロボットの軸ズレ検知装置

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JPH1190883A
JPH1190883A JP27972897A JP27972897A JPH1190883A JP H1190883 A JPH1190883 A JP H1190883A JP 27972897 A JP27972897 A JP 27972897A JP 27972897 A JP27972897 A JP 27972897A JP H1190883 A JPH1190883 A JP H1190883A
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JP
Japan
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light
robot
robot arm
axis
arm
Prior art date
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Pending
Application number
JP27972897A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuhiro Tamada
光弘 玉田
Eiji Hosobuchi
英治 細渕
Naoya Kobayashi
直也 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shinko Electric Co Ltd filed Critical Shinko Electric Co Ltd
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Publication of JPH1190883A publication Critical patent/JPH1190883A/ja
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  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多軸ロボットアームの軸ズレをハンドリング
前に検知できるようにする。 【解決手段】 ワークW移載前に、無人車3の荷台4側
に取り付けた投光器6、およびロボットアーム7のフィ
ンガ8側に取り付けた受光器10から構成される投受光
型センサにより軸ズレを検知する。センサがON状態な
らば、軸ズレがなく、センサがOFF状態ならば、軸ズ
レが大であることを示している。軸ズレが大の場合は、
警報が発せられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、アームの軸ズレ
を検知する多軸ロボットの軸ズレ検知装置に関する。
【0002】
【従来の技術】多軸ロボットにおいては、被移載物(以
下、ワークと称する)をロボットアームでつかみ上げて
移載する(以下、ハンドリングと称する)際に、操作ミ
スなどによって、ロボットアームまたはワークが周辺装
置と干渉してアームに軸ズレが発生する場合がある。こ
の軸ズレは外観的に判断しにくいため、軸ズレを起こし
たままハンドリングを行ってしまうことが多い。そし
て、アームが軸ズレを起こした状態でハンドリングを行
うと、ワークが周辺装置に接触して破損するなどの事故
が発生する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明はこのような
点を考慮してなされたもので、多軸ロボットの軸ズレを
検知することができる軸ズレ検知装置を提供することを
目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ロボットアームの先端部に取り付けられた投光器(また
は受光器)と、ロボット本体に取り付けられた受光器
(または投光器)と、軸ズレ検出時において、前記ロボ
ットアーム先端部を前記受光器(または投光器)に対向
する特定位置へ移動させるアーム駆動手段と、前記ロボ
ットアームが前記特定位置へ移動した時前記受光器の出
力に基づいて前記ロボットアームに軸ズレが発生してい
るか否かを判断する判断手段とを具備してなる多軸ロボ
ットの軸ズレ検知装置である。
【0005】請求項2記載の発明は、ロボットアームの
先端部に取り付けられた投光器および受光器(または反
射体)と、ロボット本体に取り付けられた反射体(また
は投光器および受光器)と、軸ズレ検出時において、前
記ロボットアーム先端部を前記反射体(または投光器お
よび受光器)に対向する特定位置へ移動させるアーム駆
動手段と、前記ロボットアームが前記特定位置へ移動し
た時前記受光器の出力に基づいて前記ロボットアームに
軸ズレが発生しているか否かを判断する判断手段とを具
備してなる多軸ロボットの軸ズレ検知装置である。
【0006】請求項3記載の発明は、請求項1または2
記載の多軸ロボットの軸ズレ検知装置において、前記判
断手段が、軸ズレ発生と判断した場合、警報を発生する
警報手段を具備することを特徴としている。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施形態について説明する。図1はこの発明の一実施
形態による軸ズレ検知装置を適用した移動ロボットの本
体部およびその制御系の構成を示す図である。この図に
おいて、符号1はステーション(例えば、クリーンルー
ム内の半導体処理装置など)であり、ステーション1に
は移載台2が設けられ、移載台2上にはワークWが置か
れている。符号3は車輪3aを有する移動ロボット本体
であり、この本体3の上面には、ワークWが載置される
荷台4が設置されている。また、この荷台4の左端部に
L字状のブラケット5が取り付けられ、このブラケット
5の上端に投光器6が取り付けられている。荷台4の右
上面には多軸ロボットアーム7(以下、ロボットアーム
と称する)が取り付けられ、このロボットアーム7の先
端にフィンガ8が取り付けられ、このフィンガ8の上方
にCCDカメラ9が設置されている。また、フィンガ8
の端部には投光器6からの光を受ける受光器10が取り
付けられている。
【0008】ここで、受光器10の取り付け位置は、フ
ィンガ8が予め決められた特定位置へロボットアーム7
によって移動された時、受光器10の受光面がちょうど
投光器6からの光を受ける位置となっている。(この時
のフィンガ8の位置を、基準位置と称する。)
【0009】また、制御系20において、21は軸ズレ
検出回路であり、受光器10の出力を増幅した後、その
レベルを予め設定されたスレショルドレベルと比較する
ことによって軸ズレがあるか否かを検出し、検出結果を
制御装置23へ出力する。制御装置23は、予め教示さ
れたプログラムに従って車輪駆動部を制御すると共に、
同プログラムに従ってロボットアーム駆動信号を形成
し、ロボットアーム駆動装置22へ逐次出力する。ロボ
ットアーム駆動装置22は制御装置23から出力される
駆動信号に従って各アームおよびフィンガ8を駆動す
る。なお、軸ズレ検出回路21については、例えば受光
器10に内蔵されることもある。
【0010】次に上記構成における移動ロボットの動作
を説明する。移動ロボットがステーション1の前に停車
すると、まず、制御装置23がロボットアーム駆動装置
22へ逐次駆動命令を出力し、これにより、フィンガ8
を上述した基準位置へ移動させる。フィンガ8が基準位
置へ移動すると、受光器10が投光器6のほぼ真上に位
置する。ここで、もし、ロボットアーム7に軸ズレが全
くない場合は、投光器6からの光が十分に受光器10に
到達し、この結果、受光器10の出力信号のレベルが前
述したスレショルドレベルより高くなり、軸ズレ検出回
路21から軸ズレがないことを示す信号が制御装置23
へ出力される。制御装置23は、以後、所定のワーク移
載動作を行う。
【0011】一方、ロボットアーム7に軸ズレが発生し
ていた場合は、フィンガ8の位置が本来の位置からずれ
てしまい、このため、投光器6からの光が十分に受光器
10に到達しない。この結果、受光器10の出力信号の
レベルが前述したスレショルドレベルより低くなり、軸
ズレ検出回路21から軸ズレが発生していることを示す
信号が制御装置23へ出力される。制御装置23はこの
信号を受け、警報を発すると共に、以後の移載動作を中
止する。このように、上記実施形態によれば、ロボット
アーム7がハンドリング動作を開始する前に、軸ズレの
有無を検出することができ、したがって、軸ズレによる
ワーク破損等の問題を未然に防ぐことができる。
【0012】なお、上記実施形態によれば、ブラケット
5の上端部に投光器6を取り付け、フィンガ8に受光器
10を取り付けたが、この取り付けを逆にし、ブラケッ
ト5に受光器10を、フィンガ8に投光器6を各々取り
付けてもよい。
【0013】また、上記実施形態によれば、投光器6−
受光器10による光センサを用いているが、投光器6に
代えて反射型の光センサを用い、受光器10に代えて反
射板を設けてもよく、またその逆でもよい。
【0014】
【発明の効果】以上説明した様に、この発明によれば、
ロボットアーム先端部に受光器を、ロボット本体に投光
器を取り付けて、ワークの移動開始前にロボットアーム
を基準位置へ移動させ、その時の受光器の出力に基づい
て多軸ロボットアームの軸ズレの有無を判断するので、
他装置およびワークを破損することを未然に防ぐことが
でき、また移載異常がなくなるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態による移動ロボットの
本体部およびその制御系を示す図である。
【符号の説明】
1.ステーション、2.移載台、3.無人車、3a.車
輪、4.荷台、5.ブラケット、6.投光器、7.多軸
ロボットアーム、8.フィンガ、9.CCDカメラ、1
0.受光器、20.移動ロボット制御系、21.軸ズレ
検出回路、22.ロボットアーム駆動装置、23.制御
装置、W.ワーク

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ロボットアームの先端部に取り付けられ
    た投光器(または受光器)と、 ロボット本体に取り付けられた受光器(または投光器)
    と、 軸ズレ検出時において、前記ロボットアーム先端部を前
    記受光器(または投光器)に対向する特定位置へ移動さ
    せるアーム駆動手段と、 前記ロボットアームが前記特定位置へ移動した時前記受
    光器の出力に基づいて前記ロボットアームに軸ズレが発
    生しているか否かを判断する判断手段、を具備してなる
    多軸ロボットの軸ズレ検知装置。
  2. 【請求項2】 ロボットアームの先端部に取り付けられ
    た投光器および受光器(または反射体)と、 ロボット本体に取り付けられた反射体(または投光器お
    よび受光器)と、 軸ズレ検出時において、前記ロボットアーム先端部を前
    記反射体(または投光器および受光器)に対向する特定
    位置へ移動させるアーム駆動手段と、 前記ロボットアームが前記特定位置へ移動した時前記受
    光器の出力に基づいて前記ロボットアームに軸ズレが発
    生しているか否かを判断する判断手段、を具備してなる
    多軸ロボットの軸ズレ検知装置。
  3. 【請求項3】 前記判断手段は、軸ズレ発生と判断した
    場合、警報を発生する警報手段を具備する請求項1また
    は2記載の多軸ロボットの軸ズレ検知装置。
JP27972897A 1997-09-25 1997-09-25 多軸ロボットの軸ズレ検知装置 Pending JPH1190883A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000296193A (ja) * 1999-04-13 2000-10-24 Sumitomo Rubber Ind Ltd アイアンゴルフクラブ及びアイアンゴルフクラブセット
WO2010090351A1 (en) * 2009-02-09 2010-08-12 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot system
WO2010106937A1 (ja) * 2009-03-17 2010-09-23 川崎重工業株式会社 ロボット及びオートゼロイング方法
CN113232003A (zh) * 2020-01-23 2021-08-10 精工爱普生株式会社 移动机器人的控制方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000296193A (ja) * 1999-04-13 2000-10-24 Sumitomo Rubber Ind Ltd アイアンゴルフクラブ及びアイアンゴルフクラブセット
JP4612130B2 (ja) * 1999-04-13 2011-01-12 Sriスポーツ株式会社 アイアンゴルフクラブ及びアイアンゴルフクラブセット
WO2010090351A1 (en) * 2009-02-09 2010-08-12 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot system
JP2012517353A (ja) * 2009-02-09 2012-08-02 川崎重工業株式会社 ロボットシステム
US8478443B2 (en) 2009-02-09 2013-07-02 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot system
WO2010106937A1 (ja) * 2009-03-17 2010-09-23 川崎重工業株式会社 ロボット及びオートゼロイング方法
JP2010214533A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd ロボット、及びオートゼロイング方法
US8358422B2 (en) 2009-03-17 2013-01-22 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot and auto-zeroing method
TWI406748B (zh) * 2009-03-17 2013-09-01 Kawasaki Heavy Ind Ltd Automatic operation machine
CN113232003A (zh) * 2020-01-23 2021-08-10 精工爱普生株式会社 移动机器人的控制方法
CN113232003B (zh) * 2020-01-23 2023-10-27 精工爱普生株式会社 移动机器人的控制方法

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