CN109110361B - 物品输送设备以及物品输送车 - Google Patents

物品输送设备以及物品输送车 Download PDF

Info

Publication number
CN109110361B
CN109110361B CN201810668806.6A CN201810668806A CN109110361B CN 109110361 B CN109110361 B CN 109110361B CN 201810668806 A CN201810668806 A CN 201810668806A CN 109110361 B CN109110361 B CN 109110361B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vehicle
article transport
detection area
control
track
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810668806.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109110361A (zh
Inventor
富田大地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to CN202110748991.1A priority Critical patent/CN113428593B/zh
Publication of CN109110361A publication Critical patent/CN109110361A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109110361B publication Critical patent/CN109110361B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt

Abstract

在本发明中,物品输送车(2)具备支承物品(W)的支承部(26)、使支承部(26)沿宽度方向(Y)移动的驱动部、前方检测部(S)以及控制部,驱动部使支承部(26)向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从物品输送车(2)沿宽度方向突出的位置,所述退避位置是比突出位置向物品输送车(2)侧退避的的位置,控制部在前方检测部(S)检测出存在于第一检测区域(E1)的对象车(2B)的情况下,使本车(2A)以比第一设定速度低速的第二设定速度行进,在前方检测部(S)检测出存在于第二检测区域(E2)的对象支承部(26B)的情况下,使本车(2A)停止。

Description

物品输送设备以及物品输送车
技术领域
本发明涉及沿轨道行进而输送物品的物品输送车以及具备该物品输送车的物品输送设备。
背景技术
在日本特开2009-35403号公报(专利文献1)中公开了使多个物品输送车沿轨道行进、在多个移载对象场所之间输送物品的物品输送设备的一例。该物品输送设备利用吊挂在设置于顶棚的轨道(100)的物品输送车(200)自动地输送物品(520)(背景技术中带括号地表示的附图标记是专利文献1中的部件)。物品输送车(200)具备吊挂物品(520)的支承部(230)。物品输送车(200)不仅能够如专利文献1的图2所示那样在支承部(230)位于轨道(100)的正下方的状态下使支承部(230)升降从而移载物品(520),而且能够如专利文献1的图3所示那样在支承部(230)位于在与轨道(100)的延伸方向正交的宽度方向上移动了的位置的状态下使支承部(230)升降从而移载物品(520)。
然而,在物品输送设备中,在多数情况下,轨道具有平行的部分,但是为了提高空间使用效率的目的等,有时以在平行的轨道中行进的物品输送车能够在不接触的情况下错开的程度将平行的轨道的间隔设定得较窄。如此,在平行的轨道的间隔较窄的情况下,如果在位于一方的轨道上的一台物品输送车使上述的支承部沿宽度方向突出的状态下,其它物品输送车在另一方的轨道上行进,则有可能支承部与该其它物品输送车接触。
发明内容
鉴于上述背景,期待提供一种能够抑制与其它物品输送车接触的物品输送车以及具备该物品输送车的物品输送设备。
鉴于上述内容,物品输送设备的特征结构在于,使多个物品输送车沿轨道行进而输送物品,将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,前述物品输送车具备:支承部,其支承物品;驱动部,其使前述支承部沿前述宽度方向移动;前方检测部;以及控制部,前述驱动部使前述支承部向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述物品输送车沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述物品输送车侧退避的位置,将作为多个前述物品输送车中的一个的本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将相对于前述行进中轨道平行的前述轨道作为对象轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将在前述对象轨道中行进的其它前述物品输送车作为对象车,将该对象车的前述支承部作为对象支承部,前述前方检测部检测位于第一检测区域的前述对象车,并且检测位于第二检测区域的前述对象支承部,前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧并且设定于前述行进轨迹内,前述控制部执行第一控制、第二控制以及第三控制,前述第一控制是下述控制:在前述前方检测部在前述第一检测区域中未检测出前述对象车并且在前述第二检测区域中未检测出前述对象支承部的情况下,使前述本车以第一设定速度行进,前述第二控制是下述控制:在前述前方检测部检测出存在于前述第一检测区域的前述对象车的情况下,使前述本车以比前述第一设定速度低速的第二设定速度行进,前述第三控制是在前述前方检测部检测出存在于前述第二检测区域的前述对象支承部的情况下、使前述本车停止的控制。
根据该结构,在对象轨道中行进的对象车的对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于该进入的支承对象部进入第二检测区域,因此能够借助前方检测部检测出支承对象部。并且,在前方检测部检测出存在于第二检测区域的对象支承部的情况下,通过控制部执行第三控制,本车停止,因此能够防止本车与对象支承部接触。此外,在对象轨道中行进的对象车存在于本车的前方侧的情况下,由于该对象车进入第一检测区域,因此能够借助前方检测部检测出该对象车。并且,在前方检测部检测出存在于第一检测区域的对象车的情况下,控制部执行第二控制,所述第二控制使本车以比第一设定速度低速的第二设定速度行进。因此,在对象车使对象支承部朝向突出位置突出而对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于在执行第三控制使本车停止时能够缩短制动距离,因此容易防止本车与对象支承部接触。如此,根据本结构,能够提供一种物品输送设备,所述物品输送设备能够抑制物品输送车与其它物品输送车接触。
此外,鉴于上述内容的物品输送车的特征结构在于,具备:行进部,其沿轨道行进;支承部,其支承物品;收纳部,其收纳物品;驱动部,其使前述支承部沿前述宽度方向移动;以及前方检测部,将本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,前述驱动部使前述支承部向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述收纳部沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述收纳部侧退避的位置,前述前方检测部具有:第一传感器,其检测第一检测区域的作为其它物品输送车的第一对象车和第二检测区域的前述第一对象车的前述支承部;以及第二传感器,其检测第三检测区域的作为其它物品输送车的第二对象车,前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧且设定于前述行进轨迹内,前述第三检测区域设定于与前述第二检测区域在上下方向上不同的区域,并且相对于前述本车设定于前方侧且设定于前述行进轨迹内。
根据该结构,在对象轨道中行进的对象车的对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于该进入的支承对象部进入第二检测区域,因此能够借助第一传感器检测出支承对象部。因此,在第一传感器检测出存在于第二检测区域的对象支承部的情况下,能够进行使本车停止从而防止本车与对象支承部接触等的应对。此外,在对象轨道中行进的第一对象车存在于本车的前方侧的情况下,由于该对象车进入第一检测区域,因此能够借助第一传感器检测出该对象车。因此,能够进行下述应对:在第一传感器检测出存在于第一检测区域的对象车的情况下,能够预先使本车减速,在对象支承部进入行进轨迹的情况下,能够迅速地使本车停止等。此外,在行进中轨道中行进的在前行驶车存在于本车的前方侧的情况下,由于该在前行驶车进入第三检测区域,因此能够借助第二传感器检测该在前行驶车。并且,在第二传感器检测出存在于第三检测区域的第二对象车的情况下,能够进行使本车停止从而防止本车与第二对象车接触等应对。而且,由于能够将前方检测部的功能分配到第一传感器和第二传感器,因此与借助一个传感器分别进行第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的检测的情况相比,例如,能够简化各传感器的功能,或者能够提高各传感器的检测精度。如此,根据本结构,能够提供一种物品输送车,所述物品输送车能够借助比较简单的结构,抑制与其它物品输送车接触。
附图说明
图1是物品输送设备的俯视图。
图2是物品输送车的主视图。
图3是物品输送车的后视图。
图4是物品输送车的侧视图。
图5是控制框图。
图6是表示第一传感器的检测区域的俯视图。
图7是表示第二传感器的检测区域的俯视图。
图8是表示第二传感器的检测区域的俯视图。
图9是表示在第三检测区域以及第四检测区域存在在前行驶车的状态的俯视图。
图10是表示在第一检测区域存在对象车的状态的俯视图。
图11是表示在第二检测区域存在对象支承部的状态的俯视图。
图12是流程图。
图13是表示其它实施方式的第一传感器的检测区域的俯视图。
具体实施方式
1.实施方式
基于附图对物品输送设备的实施方式进行说明。如图1所示,物品输送设备使多个物品输送车2沿轨道1行进并输送物品W。在物品输送设备中,在与处理装置对应的位置处具备支承物品W的移载对象场所P,物品输送车2将物品W输送至移载对象场所P并且从移载对象场所P输送物品W。另外,在本实施方式中,物品输送车2将收纳中间掩模(光掩模)的中间掩模盒作为物品W进行输送。
物品输送车2在轨道1中朝向预先设定的方向行进。另外,在图1中,用箭头表示物品输送车2的行进方向。此外,为了容易理解物品输送车2的行进方向,用三角形的符号表示物品输送车2。轨道1具备从上下方向Z观察时以直线状设置的直线形状的直线部4和从上下方向Z观察时以曲线状设置的曲线形状的曲线部5。如图2以及图3所示,轨道1由左右一对的轨道部3构成。以下,将沿轨道1的方向称作延伸方向X,将从上下方向Z观察时相对于延伸方向X正交的方向称作宽度方向Y来进行说明。
如图1所示,轨道1具有平行区间G,该平行区间G是多个直线部4在宽度方向Y上按照第一设定间隔以下且第二设定间隔以上平行设置的区间。在平行区间G中,沿宽度方向Y排列的直线部4以相同的高度呈平行状设置。第一设定间隔被设定为以下间隔:在宽度方向Y上相邻的一对直线部4中的一方的直线部4(对象轨道1B)中行进的物品输送车2(对象车2B)使支承部26(对象支承部26B)向突出位置突出的情况下,支承部26进入在另一方的直线部4中行进的物品输送车2(本车2A)的轨迹(行进轨迹T)。此外,第二设定间隔被设定为以下间隔:在一方的直线部4中行进的物品输送车2的轨迹与在另一方的直线部4中行进的物品输送车2的轨迹不重叠。
接下来,对物品输送车2进行说明。另外,在说明物品输送车2时,将物品输送车2行进的方向称作前方侧、将与前方侧相反的一侧称作后方侧来进行说明。顺便说明,例如,在物品输送车2在轨道1的直线部4中行进的情况下,物品输送车2的前后方向和轨道1的延伸方向X是相同的方向,物品输送车2的左右方向和轨道1的宽度方向Y是相同的方向。
如图2至图4所示,物品输送车2具备:行进部6,在从顶棚吊挂并被支承的轨道1上沿该轨道1行进;和主体部7,位于轨道1的下方并且吊挂并被支承于行进部6。另外,图2是沿延伸方向X从前方朝向后方观察物品输送车2的主视图,图3是沿延伸方向X从后方朝向前方观察物品输送车2的后视图。此外,图4是沿宽度方向Y观察物品输送车2的侧视图。
如图4所示,行进部6具备电动式的行进用马达9和借助该行进用马达9旋转驱动的左右一对行进轮10。该左右一对行进轮10在轨道1(左右一对轨道部3)的上表面转动。此外,如图2以及图3所示,在行进部6具备绕沿上下方向Z的上下轴心旋转自如的左右一对引导轮11。该左右一对引导轮11位于左右一对轨道部3之间并在左右一对轨道部3的彼此相向的侧面上转动。引导轮11被一对轨道部3引导,从而行进部6的宽度方向Y上的位置被限制,行进轮10借助行进用马达9旋转驱动,从而行进部6沿轨道1行进。
如图2至图4所示,主体部7具备:支承物品W的支承机构13;升降操作机构14,对支承机构13进行支承并使支承机构13升降移动;滑动操作机构15,使升降操作机构14向行进部6的正下方的退避位置(参照图2)以及从该退避位置沿左右方向移动的突出位置(参照图3)移动;以及罩体16,在使支承机构13位于上升高度并且使升降操作机构14位于退避位置的状态下,覆盖被支承于支承机构13的物品W的上方以及前后方向X。
如图3所示,支承机构13具备:与传送带21的末端部连结的升降体18;支承爪19,能够自由地在握持物品W的姿势和解除对物品W的握持的姿势之间进行姿势变更;以及使支承爪19进行姿势变更的支承用马达20(参照图5)。升降操作机构14具备缠绕了传送带21的缠绕体22和使缠绕体22旋转驱动的升降用马达23。升降操作机构14借助升降用马达23的驱动使缠绕体22旋转,从而使支承机构13升降至上升高度和比该上升高度低的下降高度。滑动操作机构15具备:支承升降操作机构14并且在宽度方向Y上移动自如的滑动体24;以及使滑动体24相对于行进部6沿宽度方向Y移动的滑动用马达25(参照图5)。滑动操作机构15借助滑动用马达25的驱动使滑动体24沿宽度方向Y移动,从而使滑动体24、升降操作机构14以及支承机构13向突出位置(参照图3)和退避位置(参照图2)移动,所述突出位置是从物品输送车2的罩体16沿宽度方向Y突出的位置,所述退避位置是比突出位置向物品输送车2的罩体16侧退避的位置。另外,在物品输送车2行进的情况下,支承机构13位于上升高度且位于退避位置。
物品输送车2在向位于轨道1的正下方的移载对象场所P输送的情况下,在使行进部6行进至与该移载对象场所P对应的设定位置的状态下,借助升降操作机构14使支承机构13从上升高度下降并将物品W卸到移载对象场所P,之后,解除由支承机构13对物品W的握持。移载对象场所P除了设置于轨道1的正下方的情况,如图1所示,还存在设定于从上下方向Z观察时相对于轨道1沿轨道1的宽度方向Y偏离的位置的情况。物品输送车2在向像这样相对于轨道1的正下方沿宽度方向Y偏离的位置的移载对象场所P输送的情况下,在使行进部6行进至与该移载对象场所P对应的设定位置的状态下,如图3所示,借助滑动操作机构15使升降操作机构14突出至突出位置,之后借助升降操作机构14使支承机构13从上升高度下降并将物品W卸到移载对象场所P,然后,解除由支承机构13对物品W的握持。另外,滑动体24、升降操作机构14以及支承机构13相当于支承物品W的支承部26,罩体16相当于收纳物品W的收纳部。此外,滑动用马达25相当于使支承部26沿宽度方向Y移动的驱动部。
物品输送车2具备前方检测部S、反射体M以及控制部H。接下来,对前方检测部S、反射体M以及控制部H进行说明。另外,如图10以及图11所示,将作为物品输送车2的一个的本车2A行进中的轨道1作为行进中轨道1A,将相对于行进中轨道1A沿宽度方向Y排列配置的轨道1作为对象轨道1B。此外,将在对象轨道1B中行进的其它物品输送车2作为对象车2B(第一对象车),将该对象车2B的支承部26作为对象支承部26B进行说明。此外,如图9所示,将行进中轨道1A中的存在于本车2A的前方侧的其它物品输送车2作为在前行驶车2C(第二对象车)。此外,将本车2A沿行进中轨道1A行进的轨迹作为行进轨迹T。
如图2至图4所示,物品输送车2作为反射体M具备第一反射体M1和第二反射体M2。第一反射体M1分别装配于物品输送车2的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部、以及支承部26的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部。若进一步说明,则第一传感器S1装配于罩体16的前表面部,第一反射体M1装配于罩体16的前表面部及后表面部、以及滑动体24的前表面部及后表面部。第二反射体M2装配于物品输送车2的朝向后方的后表面部。若进一步说明,则第二传感器S2装配于罩体16的前表面部中的比第一传感器S1靠上方的位置。第二反射体M2装配于罩体16的后表面部中的比第一反射体M1靠上方的位置。如此,物品输送车2分别在该物品输送车2的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部、和支承部26的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部上具备第一反射体M1。
前方检测部S具备:第一传感器S1,检测第一检测区域E1的对象车2B和第二检测区域E2的对象支承部26B;和第二传感器S2,检测第三检测区域E3以及第四检测区域E4的在前行驶车2C。前方检测部S通过具备第一传感器S1和第二传感器S2,检测位于第一检测区域E1的对象车2B,并且检测位于第二检测区域E2的对象支承部26B,而且检测位于第三检测区域E3以及第四检测区域E4的在前行驶车2C。
第一传感器S1设置于物品输送车2的朝向前方的前表面部,通过朝向前方侧投射检测光,检测来自第一反射体M的反射光,从而检测第一反射体M1(具备第一反射体M1的对象车2B、对象支承部26B)。第一传感器S1在宽度方向Y上设置于相对于行进部6的中央(位于轨道1的中央的位置)偏向一方侧的位置。第二传感器S2设置于物品输送车2的朝向前方的前表面部,通过朝向前方侧投射检测光,检测来自第二反射体M2的反射光,从而检测第二反射体M2(具备第二反射体M2的在前行驶车2C)。第二传感器S2以在宽度方向Y上与行进部6的中央(位于轨道1的中央的位置)为相同位置的方式设置。
如图4所示,第一传感器S1朝向前方侧投射检测光,第二传感器S2在比第一传感器S1高的位置朝向前方侧投射检测光。因此,第一传感器S1的检测区域E位于从第二传感器S2的检测区域E的上下宽度向下方偏离的场所。也就是说,第二传感器S2的检测区域E(第三检测区域E3以及第四检测区域E4)是与第一传感器S1的检测区域E(第一检测区域E1以及第二检测区域E2)在上下方向Z上不同的区域。
并且,在本车2A和对象车2B位于相同高度的情况下,对象车2B的第一反射体M1设置于能够对本车2A的第一传感器S1投射的检测光进行反射的高度,并且设置于比能够对本车2A的第二传感器S2投射的检测光进行反射的高度低的位置,对象车2B的第一反射体M1反射本车2A的第一传感器S1的检测光,但是不反射本车2A的第二传感器S2的检测光。与此相对,在本车2A和对象车2B位于相同高度的情况下,对象车2B的第二反射体M2设置于比能够对本车2A的第一传感器S1投射的检测光进行反射的高度高的位置,并且设置于能够对本车2A的第二传感器S2投射的检测光进行反射的高度,对象车2B的第二反射体M2不反射本车2A的第一传感器S1的检测光,但是反射本车2A的第二传感器S2的检测光。因此,本车2A的第一传感器S1成为检测对象车2B的第一反射体M1,但是不检测对象车2B的第二反射体M2。此外,本车2A的第二传感器S2成为检测对象车2B的第二反射体M2,但是不检测对象车2B的第一反射体M1。
如图6所示,第一传感器S1的检测区域E相对于本车2A形成于前方,并且以相对于本车2A向宽度方向Y的两侧扩展的方式形成。第一传感器S1的检测区域E的延伸方向X的长度被设定为第一长度L1,宽度方向Y的长度被设定为第二长度L2。第一传感器S1的检测区域E划分为第二检测区域E2和相对于该第二检测区域E2设定于宽度方向Y的两侧的第一检测区域E1。如图6所示,作为第二检测区域E2的宽度方向Y的长度的第三长度L3比作为物品输送车2的宽度方向Y的长度的第四长度L4长。也就是说,第二检测区域E2相对于本车2A设定于前方侧并且至少一部分设定于行进轨迹T内,并且在除了行进轨迹T的宽度方向Y的整个宽度、在行进轨迹T的左右两侧与行进轨迹T连续的状态下设定。此外,第二检测区域E2的延伸方向X的长度被设定为第一长度L1。第一检测区域E1是第一传感器S1的检测区域E中的除了第二检测区域E2以外的部分,相对于本车2A设定于前方侧且相对于行进轨迹T设定于宽度方向Y的外侧。该第一检测区域E1在从行进轨迹T空着间隔的状态下设定。第二长度L2以及第三长度L3设定为以下的长度:在平行区间G中,第一检测区域E1设定至对象车2B行进的轨迹内,但是第二检测区域E2没有设定于对象车2B行进的轨迹内。
如图7所示,第二传感器S2的检测区域E相对于本车2A形成于前方,并以相对于本车2A向宽度方向Y的两侧扩展的方式形成。第二传感器S2的检测区域E的延伸方向X的长度被设定为第五长度L5,宽度方向Y的长度被设定为第六长度L6。第二传感器S2的检测区域E被划分为第三检测区域E3和相对于该第三检测区域E3设定于前方侧的第四检测区域E4。第三检测区域E3的延伸方向X的长度被设定为第七长度L7,第四检测区域E4的延伸方向X的长度被设定为第八长度L8。第六长度L6比第四长度L4长且比第二长度L2短。此外,第五长度L5被设定为以下长度:在平行区间G中,第三检测区域E3、第四检测区域E4没有设定于对象车2B行进的轨迹内。并且,第五长度L5以及第八长度L8比第一长度L1长,第七长度L7比第一长度L1短。
第二传感器S2的检测区域E在本车2A在直线部4中行进的情况下,形成为上述那样的较长的形状,但是在本车2A在曲线部5中行进的情况下,如图8所示,成为与本车2A在直线部4中行进的情况不同的形状。也就是说,控制部H构成为能够基于物品输送车2所具备的旋转编码器等行进距离传感器的检测信息、对显示体进行检测的地址检测传感器的检测信息,判断本车2A在轨道1的直线部4中行进还是在曲线部5中行进,并且能够判断本车2A的前方侧的行进中轨道1A的形状,所述显示体表示沿轨道1设置的地址信息。并且,第二传感器S2借助控制部H的控制,根据本车2A的前方侧的行进中轨道1A的形状,使第三检测区域E3的形状以及第四检测区域E4的形状变化。此外,第一传感器S1借助控制部H的控制,在本车2A位于曲线部5时使对象车2B以及对象支承部26B的检测无效,仅在本车2A位于直线部4时使对象车2B以及对象支承部26B的检测有效。
如图9所示,第二传感器S2在在前行驶车2C进入第三检测区域E3、第四检测区域E4的情况下,检测在前行驶车2C具备的第二反射体M2。另外,本车2A和在前行驶车2C朝向相同的方向,第二传感器S2检测在前行驶车2C的罩体16中的后表面部所具备的第二反射体M2。如图10所示,第一传感器S1在对象车2B进入第一检测区域E1的情况下,检测设置于对象车2B的罩体16的第一反射体M1。另外,在本车2A和对象车2B朝向相反的方向的情况下,第一传感器S1检测对象车2B的罩体16中的前表面部所具备的第一反射体M1,在本车2A和对象车2B朝向相同的方向的情况下,第一传感器S1检测对象车2B的罩体16中的后表面部所具备的第一反射体M1。此外,如图11所示,第一传感器S1在对象支承部26B进入第二检测区域E2的情况下,检测对象支承部26B具备的第一反射体M1。另外,在本车2A和对象车2B朝向相反的方向的情况下,第一传感器S1检测对象支承部26B的前表面部具备的第一反射体M1,在本车2A和对象车2B朝向相同的方向的情况下,第一传感器S1检测对象支承部26B的后表面部具备的第一反射体M1。
如图12的流程图所示,控制部H在借助第一传感器S1在第一检测区域E1中检测出反射体M的情况下以及在借助第二传感器S2在第四检测区域E4中检测出反射体M的情况下,执行使本车2A以比第一设定速度低速的第二设定速度行进的减速控制。此外,控制部H在借助第一传感器S1在第二检测区域E2中检测出反射体M的情况下以及在借助第二传感器S2在第三检测区域E3中检测出反射体M的情况下,执行使本车2A停止的停止控制。并且,控制部H在借助第一传感器S1在第一检测区域E1以及第二检测区域E2中未检测出反射体M并且借助第二传感器S2在第三检测区域E3以及第四检测区域E4中未检测出反射体M的情况下,执行使本车2A以第一设定速度行进的通常控制。
若举具体例子进行说明,则如图9所示,如果在前行驶车2C(图9所示的两台在前行驶车2C中的前方侧的在前行驶车2C)进入本车2A的第二传感器S2的第四检测区域E4,则在前行驶车2C的第二反射体M2被本车2A的第二传感器S2检测出。本车2A的控制部H在借助本车2A的第二传感器S2在第四检测区域E4中检测出反射体M的情况下,执行使本车2A以第二设定速度行进的减速控制。此外,如图9所示,如果在前行驶车2C(图9所示的两台在前行驶车2C中的后方侧的在前行驶车2C)进入本车2A的第二传感器S2的第三检测区域E3,则在前行驶车2C的第二反射体M2被本车2A的第二传感器S2检测出。本车2A的控制部H在借助本车2A的第二传感器S2在第三检测区域E3中检测出反射体M的情况下,执行使本车2A停止的停止控制。另外,像这样借助第二传感器S2在第三检测区域E3中检测出反射体M的情况下的停止控制相当于前方检测部S在检测出存在于第三检测区域E3的在前行驶车2C的情况下使本车2A停止的第四控制。
此外,如图10所示,如果对象车2B进入本车2A的第一传感器S1的第一检测区域E1,则对象车2B的第一反射体M1被本车2A的第一传感器S1检测出。本车2A的控制部H在借助本车2A的第一传感器S1在第一检测区域E1中检测出反射体M的情况下,以使本车2A以第二设定速度行进的方式执行减速控制。另外,像这样借助第一传感器S1在第一检测区域E1中检测出反射体M的情况下的减速控制相当于前方检测部S在检测出存在于第一检测区域E1的对象车2B的情况下使本车2A以第二设定速度行进的第二控制。此外,如图11所示,如果对象支承部26B进入本车2A的第一传感器S1的第二检测区域E2,则对象支承部26B的第一反射体M1被本车2A的第一传感器S1检测出。本车2A的控制部H在借助本车2A的第一传感器S1在第二检测区域E2中检测出反射体M的情况下,以使本车2A停止的方式执行停止控制。另外,像这样借助第一传感器S1在第二检测区域E2中检测出反射体M的情况下的停止控制相当于前方检测部S在检测出存在于第二检测区域E2的对象支承部26B的情况下使本车2A停止的第三控制。
并且,在本车2A的控制部H在本车2A的第一传感器S1的第一检测区域E1以及第二检测区域E2中未检测出反射体M并且在本车2A的第二传感器S2的第三检测区域E3以及第四检测区域E4中未检测出反射体M的情况下,执行使本车2A以第一设定速度行进的通常控制。另外,通常控制相当于前方检测部S在第一检测区域E1中未检测出对象车2B并且在第二检测区域E2中未检测出对象支承部26B的情况下使本车2A以第一设定速度行进的第一控制。
2.其它实施方式
接下来,对物品输送设备以及物品输送车的其它实施方式进行说明。
(1)在上述实施方式中,前方检测部S具有第一传感器S1和第二传感器S2,但是前方检测部S也可以仅具有第一传感器S1和第二传感器S2中的第一传感器S1。并且,在前方检测部S仅具有第一传感器S1的情况下,也可以使第一传感器S1具备第二传感器S2的功能。
(2)在上述实施方式中,第一检测区域E1、第二检测区域E2、第三检测区域E3以及第四检测区域E4的形状、大小也可以适当变更。具体而言,例如,如图13所示,也可以使第二检测区域E2的延伸方向X的长度L9比第一传感器S1的检测区域E的延伸方向X的长度L1短,此外,也可以使第二检测区域E2的宽度方向Y的长度L3与物品输送车2的宽度方向Y的长度L4相同或者比物品输送车2的宽度方向Y的长度L4短。
(3)在上述实施方式中,仅在本车2A位于直线部4的情况下使第一传感器S1对对象车2B以及对象支承部26B的检测有效,但也可以是,除了本车2A位于直线部4的情况之外,在本车2A位于曲线部5的情况下也使第一传感器S1对对象车2B以及对象支承部26B的检测有效。在这种情况下,也可以根据本车2A的前方侧的行进中轨道1A的形状使第一传感器S1的检测区域E的形状变形。
(4)在上述实施方式中,在滑动操作机构15的滑动体24上设置第一反射体M1,但是也可以在支承机构13的升降体18上设置第一反射体M1等,在支承部26中的除了滑动体24以外的场所设置第一反射体M1。
(5)在上述实施方式中,将物品W设成中间掩模盒,但是物品W也可以是收纳晶圆的前开式统集盒 (Front Opening Unified Pod,FOUP)等其它容器、除了容器以外的输送物。
(6)此外,上述各实施方式中公开的结构只要不产生矛盾,还能够与在其它实施方式中公开的结构组合应用。关于其它结构,在本说明书中公开的实施方式的全部方面只是例示。因此,在不脱离本公开的主旨的范围内能够适当进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下,对上述说明的物品输送车以及物品输送设备的概要进行说明。
物品输送设备使多个物品输送车沿轨道行进而输送物品,将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,前述物品输送车具备:支承部,其支承物品;驱动部,其使前述支承部沿前述宽度方向移动;前方检测部;以及控制部,前述驱动部使前述支承部向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述物品输送车沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述物品输送车侧退避的位置,将作为前述物品输送车的一个的本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将相对于前述行进中轨道平行的前述轨道作为对象轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将在前述对象轨道中行进的其它前述物品输送车作为对象车,将该对象车的前述支承部作为对象支承部,前述前方检测部检测位于第一检测区域的前述对象车,并且检测位于第二检测区域的前述对象支承部,前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧并且设定于前述行进轨迹内,前述控制部执行第一控制、第二控制以及第三控制,前述第一控制是下述控制:在前述前方检测部在前述第一检测区域中未检测出前述对象车并且在前述第二检测区域中未检测出前述对象支承部的情况下,使前述本车以第一设定速度行进,前述第二控制是下述控制:在前述前方检测部检测出存在于前述第一检测区域的前述对象车的情况下,使前述本车以比前述第一设定速度低速的第二设定速度行进,前述第三控制是在前述前方检测部检测出存在于前述第二检测区域的前述对象支承部的情况下、使前述本车停止的控制。
根据该结构,在对象轨道中行进的对象车的对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于该进入的支承对象部进入第二检测区域,因此能够借助前方检测部检测出支承对象部。并且,在前方检测部检测出存在于第二检测区域的对象支承部的情况下,通过控制部执行第三控制,本车停止,因此能够防止本车与对象支承部接触。此外,在对象轨道中行进的对象车存在于本车的前方侧的情况下,由于该对象车进入第一检测区域,因此能够借助前方检测部检测出该对象车。并且,在前方检测部检测出存在于第一检测区域的对象车的情况下,控制部执行第二控制,所述第二控制使本车以比第一设定速度低速的第二设定速度行进。因此,在对象车使对象支承部朝向突出位置突出而对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于在执行第三控制使本车停止时能够缩短制动距离,因此容易防止本车与对象支承部接触。如此,根据本结构,能够提供一种物品输送设备,所述物品输送设备能够抑制物品输送车与其它物品输送车接触。
在此,优选的是,相对于前述本车在前方侧且在前述行进轨迹内设定第三检测区域,前述前方检测部检测位于前述第三检测区域内的作为其它前述物品输送车的在前行驶车,前述控制部除了前述第一控制、前述第二控制以及前述第三控制之外,还执行第四控制,所述第四控制在前述前方检测部检测出存在于前述第三检测区域的前述在前行驶车的情况下,使前述本车停止。
根据该结构,在行进中轨道上行进的在前行驶车存在于本车的前方侧的情况下,由于该在前行驶车进入第三检测区域,因此能够借助前方检测部检测出在前行驶车。并且,在前方检测部检测出存在于第三检测区域的在前行驶车的情况下,通过控制部执行第四控制,本车停止,因此能够抑制本车与在前行驶车接触。
此外,优选的是,前述前方检测部具有:第一传感器,其检测前述第一检测区域的前述对象车和前述第二检测区域的前述对象支承部;以及第二传感器,其检测前述第三检测区域的前述物品输送车。
根据该结构,由于能够将前方检测部的功能分配到第一传感器和第二传感器,因此与借助一个传感器分别进行第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的检测的情况相比,例如,能够简化各传感器的功能,或者提高各传感器的检测精度。
此外,优选的是,前述轨道具有直线形状的直线部和曲线形状的曲线部,前述第二传感器根据前述本车的前方侧的前述行进中轨道的形状,使前述第三检测区域的形状变化,前述第一传感器仅在前述本车位于前述直线部的情况下,使前述对象车以及前述对象支承部的检测有效。
根据该结构,根据本车的前方侧的行进中轨道的形状使第三检测区域的形状变化,从而在本车位于直线部的情况以及位于曲线部的情况这两者下,容易借助第二传感器适当地检测在前行驶车,因此容易防止本车与在前行驶车接触。此外,由于在曲线部中多个轨道平行的情况很少,因此通过仅在该直线部中使借助第一传感器的检测有效,从而第一传感器不必根据行进中轨道的形状使第一检测区域、第二检测区域的形状变化。因此,能够简化第一传感器的功能、或者能够提高检测精度。
此外,优选的是,前述第二检测区域的前述宽度方向的长度比前述物品输送车的前述宽度方向的长度长。
根据该结构,在对象车使对象支承部朝向本车的行进轨迹突出的情况下,能够在对象支承部进入行进轨迹之前借助第一传感器检测出对象支承部。因此,能够提前检测出进入行进轨迹的对象支承部而执行第三控制,容易防止本车与对象支承部接触。
此外,优选的是,前述物品输送车具备反射体,前述反射体分别配置于前述物品输送车的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部、和前述支承部的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部,前述前方检测部通过检测来自前述反射体的反射光而检测前述物品输送车以及前述支承部。
根据该结构,本车的前方检测部容易适当地检测出具备反射体的对象车、对象支承部。此外,通过在物品输送车、支承部的前表面部、后表面部具备反射体,在对象车与本车朝向相同的方向行进的情况和对象车与本车朝向相反的方向行进的情况这两者下,容易借助本车的前方检测部适当地检测出具备反射体的对象车、对象支承部。
物品输送车具备:行进部,其沿轨道行进;支承部,其支承物品;收纳部,其收纳物品;驱动部,其使前述支承部移动;以及前方检测部,将本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,前述驱动部使前述支承部沿前述宽度方向向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述收纳部沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述收纳部侧退避的位置,前述前方检测部具有:第一传感器,其检测第一检测区域的作为其它物品输送车的第一对象车和第二检测区域的前述第一对象车的前述支承部;以及第二传感器,其检测第三检测区域的作为其它物品输送车的第二对象车,前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧且设定于前述行进轨迹内,前述第三检测区域设定于与前述第二检测区域在上下方向上不同的区域,并且相对于前述本车设定于前方侧且设定于前述行进轨迹内。
根据该结构,在对象轨道中行进的对象车的对象支承部进入本车的前方侧的行进轨迹的情况下,由于该进入的支承对象部进入第二检测区域,因此能够借助第一传感器检测出支承对象部。因此,在第一传感器检测出存在于第二检测区域的对象支承部的情况下,能够进行使本车停止从而防止本车与对象支承部接触等的应对。此外,在对象轨道中行进的第一对象车存在于本车的前方侧的情况下,由于该对象车进入第一检测区域,因此能够借助第一传感器检测出该对象车。因此,能够进行下述应对:在第一传感器检测出存在于第一检测区域的对象车的情况下,能够预先使本车减速,在对象支承部进入行进区域的情况下,能够迅速地使本车停止等。此外,在行进中轨道中行进的在前行驶车存在于本车的前方侧的情况下,由于该在前行驶车进入第三检测区域,因此能够借助第二传感器检测该在前行驶车。并且,在第二传感器检测出存在于第三检测区域的第二对象车的情况下,能够进行使本车停止从而防止本车与第二对象车接触等应对。而且,由于能够将前方检测部的功能分配到第一传感器和第二传感器,因此与借助一个传感器分别进行第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的检测的情况相比,例如,能够简化各传感器的功能,或者能够提高各传感器的检测精度。如此,根据本结构,能够提供一种物品输送车,所述物品输送车能够借助比较简单的结构,防止与其它物品输送车接触。
本公开所涉及的技术能够用于沿轨道行进而输送物品的物品输送车以及具备该物品输送车的物品输送设备。
附图标记说明
1 轨道;1A 行进中轨道;1B 对象轨道;2 物品输送车;2A 本车;2B 对象车(第一对象车);2C 在前行驶车(第二对象车);4 直线部;5 曲线部;16 罩体(收纳部);25 滑动用马达(驱动部);26 支承部;26B 对象支承部;E1 第一检测区域;E2 第二检测区域;E3 第三检测区域;H 控制部;M 反射体;S 前方检测部;S1 第一传感器;S2 第二传感器;T 行进轨迹;W 物品;X 延伸方向;Y 宽度方向;Z 上下方向。

Claims (7)

1.一种物品输送设备,所述物品输送设备使多个物品输送车沿轨道行进而输送物品,前述物品输送设备的特征在于,
将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,
前述物品输送车具备:支承部,其支承物品;驱动部,其使前述支承部沿前述宽度方向移动;前方检测部;以及控制部,
前述驱动部使前述支承部向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述物品输送车沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述物品输送车侧退避的位置,
将作为多个前述物品输送车中的一个的本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将相对于前述行进中轨道平行的前述轨道作为对象轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将在前述对象轨道中行进的其它前述物品输送车作为对象车,将该对象车的前述支承部作为对象支承部,
前述前方检测部检测位于第一检测区域的前述对象车,并且检测位于第二检测区域的前述对象支承部,
前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,
前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧并且设定于前述行进轨迹内,
前述控制部执行第一控制、第二控制以及第三控制,
前述第一控制是下述控制:在前述前方检测部在前述第一检测区域中未检测出前述对象车并且在前述第二检测区域中未检测出前述对象支承部的情况下,使前述本车以第一设定速度行进,
前述第二控制是下述控制:在前述前方检测部检测出存在于前述第一检测区域的前述对象车的情况下,使前述本车以比前述第一设定速度低速的第二设定速度行进,
前述第三控制是在前述前方检测部检测出存在于前述第二检测区域的前述对象支承部的情况下、使前述本车停止的控制,
相对于前述本车在前方侧且在前述行进轨迹内设定第三检测区域,
前述前方检测部检测位于前述第三检测区域内的作为其它前述物品输送车的在前行驶车,
前述控制部除了前述第一控制、前述第二控制以及前述第三控制之外,还执行第四控制,所述第四控制在前述前方检测部检测出存在于前述第三检测区域的前述在前行驶车的情况下,使前述本车停止,
前述前方检测部具有:
第一传感器,其检测前述第一检测区域的前述对象车和前述第二检测区域的前述对象支承部;以及
第二传感器,其检测前述第三检测区域的前述物品输送车,
前述轨道具有直线形状的直线部和曲线形状的曲线部,
前述第二传感器根据前述本车的前方侧的前述行进中轨道的形状,使前述第三检测区域的形状变化,
前述第一传感器仅在前述本车位于前述直线部的情况下,使前述对象车以及前述对象支承部的检测有效。
2.如权利要求1所述的物品输送设备,其特征在于,
前述第二检测区域的前述宽度方向的长度比前述物品输送车的前述宽度方向的长度长。
3.一种物品输送设备,所述物品输送设备使多个物品输送车沿轨道行进而输送物品,前述物品输送设备的特征在于,
将从上下方向观察时相对于前述轨道的延伸方向正交的方向作为宽度方向,
前述物品输送车具备:支承部,其支承物品;驱动部,其使前述支承部沿前述宽度方向移动;前方检测部;以及控制部,
前述驱动部使前述支承部向突出位置和退避位置移动,所述突出位置是从前述物品输送车沿前述宽度方向突出的位置,所述退避位置是比前述突出位置向前述物品输送车侧退避的位置,
将作为多个前述物品输送车中的一个的本车行进中的前述轨道作为行进中轨道,将相对于前述行进中轨道平行的前述轨道作为对象轨道,将前述本车沿前述行进中轨道行进的轨迹作为行进轨迹,将在前述对象轨道中行进的其它前述物品输送车作为对象车,将该对象车的前述支承部作为对象支承部,
前述前方检测部检测位于第一检测区域的前述对象车,并且检测位于第二检测区域的前述对象支承部,
前述第一检测区域相对于前述本车设定于前方侧,并且相对于前述行进轨迹设定于前述宽度方向的外侧,
前述第二检测区域相对于前述本车设定于前方侧并且设定于前述行进轨迹内,
前述控制部执行第一控制、第二控制以及第三控制,
前述第一控制是下述控制:在前述前方检测部在前述第一检测区域中未检测出前述对象车并且在前述第二检测区域中未检测出前述对象支承部的情况下,使前述本车以第一设定速度行进,
前述第二控制是下述控制:在前述前方检测部检测出存在于前述第一检测区域的前述对象车的情况下,使前述本车以比前述第一设定速度低速的第二设定速度行进,
前述第三控制是在前述前方检测部检测出存在于前述第二检测区域的前述对象支承部的情况下、使前述本车停止的控制,
前述物品输送车具备反射体,
前述反射体分别配置于前述物品输送车的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部、和前述支承部的朝向前方的前表面部以及朝向后方的后表面部,
前述前方检测部通过检测来自前述反射体的反射光而检测前述物品输送车以及前述支承部。
4.如权利要求3所述的物品输送设备,其特征在于,
相对于前述本车在前方侧且在前述行进轨迹内设定第三检测区域,
前述前方检测部检测位于前述第三检测区域内的作为其它前述物品输送车的在前行驶车,
前述控制部除了前述第一控制、前述第二控制以及前述第三控制之外,还执行第四控制,所述第四控制在前述前方检测部检测出存在于前述第三检测区域的前述在前行驶车的情况下,使前述本车停止。
5.如权利要求4所述的物品输送设备,其特征在于,
前述前方检测部具有:
第一传感器,其检测前述第一检测区域的前述对象车和前述第二检测区域的前述对象支承部;以及
第二传感器,其检测前述第三检测区域的前述物品输送车。
6.如权利要求5所述的物品输送设备,其特征在于,
前述轨道具有直线形状的直线部和曲线形状的曲线部,
前述第二传感器根据前述本车的前方侧的前述行进中轨道的形状,使前述第三检测区域的形状变化,
前述第一传感器仅在前述本车位于前述直线部的情况下,使前述对象车以及前述对象支承部的检测有效。
7.如权利要求3至6中任意一项所述的物品输送设备,其特征在于,
前述第二检测区域的前述宽度方向的长度比前述物品输送车的前述宽度方向的长度长。
CN201810668806.6A 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车 Active CN109110361B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110748991.1A CN113428593B (zh) 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-124502 2017-06-26
JP2017124502A JP6693481B2 (ja) 2017-06-26 2017-06-26 物品搬送設備、及び、物品搬送車

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110748991.1A Division CN113428593B (zh) 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109110361A CN109110361A (zh) 2019-01-01
CN109110361B true CN109110361B (zh) 2021-12-24

Family

ID=64822560

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810668806.6A Active CN109110361B (zh) 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车
CN202110748991.1A Active CN113428593B (zh) 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110748991.1A Active CN113428593B (zh) 2017-06-26 2018-06-26 物品输送设备以及物品输送车

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6693481B2 (zh)
KR (1) KR102463268B1 (zh)
CN (2) CN109110361B (zh)
TW (1) TWI781180B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG11202104302QA (en) * 2018-10-29 2021-05-28 Murata Machinery Ltd Ceiling traveling vehicle, ceiling traveling vehicle system, and method for detecting obstacle
WO2020195240A1 (ja) * 2019-03-22 2020-10-01 村田機械株式会社 搬送車システム
KR102303109B1 (ko) * 2019-07-05 2021-09-15 세메스 주식회사 반송체 제어 장치 및 이를 구비하는 반송체 제어 시스템
CN110296716A (zh) * 2019-07-29 2019-10-01 广东联城住工装备信息科技有限公司 有轨运输车行程检测系统
KR102316936B1 (ko) * 2019-11-07 2021-10-25 세메스 주식회사 비히클 및 비히클의 속도 조절 방법
JP7327174B2 (ja) * 2020-01-14 2023-08-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN116620802B (zh) * 2023-07-19 2023-10-24 中建安装集团有限公司 一种利用室内施工智能物料运输系统的运输方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5011025B1 (zh) * 1968-04-19 1975-04-26
JPS6063617A (ja) * 1983-09-17 1985-04-12 Tsubakimoto Chain Co 無人走行車の走行制御方法
JPH09300252A (ja) * 1996-05-15 1997-11-25 Denso Corp 移動ロボット
JPH10161745A (ja) * 1996-11-29 1998-06-19 Murata Mach Ltd 無人走行車の制御装置
JPH1185282A (ja) * 1997-09-08 1999-03-30 Murata Mach Ltd 走行台車の走行制御システム
JP2002132347A (ja) * 2000-10-23 2002-05-10 Shinko Electric Co Ltd 自動搬送システム
KR100729986B1 (ko) * 1999-12-20 2007-06-20 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 자동반송시스템
JP2004106945A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Nippon Yusoki Co Ltd 自動倉庫
JP4058543B2 (ja) * 2003-05-21 2008-03-12 株式会社ダイフク 保守作業用吊り架台
JP4482804B2 (ja) 2004-08-27 2010-06-16 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2008137738A (ja) * 2006-11-30 2008-06-19 Asyst Technologies Japan Inc 天井走行搬送装置
JP2008262414A (ja) * 2007-04-12 2008-10-30 Tokai Rika Co Ltd 車両脇移動体すり抜け検出装置
JP5266683B2 (ja) * 2007-08-03 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法
CN102037422B (zh) * 2008-05-22 2016-08-03 村田机械株式会社 行驶车系统及行驶车系统中的行驶控制方法
US9168930B2 (en) * 2009-11-27 2015-10-27 Daifuku Co., Ltd. Ceiling transport vehicle
JP5390419B2 (ja) * 2010-01-18 2014-01-15 日本車輌製造株式会社 自動搬送車
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
EP2485010B1 (en) * 2011-02-03 2014-08-06 DMA S.r.l. Method for measuring a rail profile by optical triangulation and corresponding measuring system
CN102830703B (zh) * 2012-09-19 2016-01-06 安徽松科信息科技有限公司 单机驱动自动装卸agv控制系统
CN105009013A (zh) * 2013-02-15 2015-10-28 村田机械株式会社 输送系统
JP6179406B2 (ja) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク 搬送装置
CN103935365B (zh) * 2014-05-14 2016-04-13 袁培江 一种新型物料搬运自动引导车智能防撞系统
CN104555308B (zh) * 2014-12-03 2017-02-01 南京航空航天大学 有轨输送车、轨道及控制方法
CN104627029B (zh) * 2015-03-06 2017-03-08 南京拓控信息科技有限公司 一种铁路电力机车车载自动过分相检测装置
JP6278341B2 (ja) * 2015-04-06 2018-02-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN104828450B (zh) * 2015-04-16 2017-03-08 昆山华恒工程技术中心有限公司 智能搬运车及智能搬运车用交叉口防撞系统

Also Published As

Publication number Publication date
KR102463268B1 (ko) 2022-11-03
TW201904833A (zh) 2019-02-01
TWI781180B (zh) 2022-10-21
KR20190001553A (ko) 2019-01-04
JP6693481B2 (ja) 2020-05-13
JP2019006567A (ja) 2019-01-17
CN109110361A (zh) 2019-01-01
CN113428593A (zh) 2021-09-24
CN113428593B (zh) 2023-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109110361B (zh) 物品输送设备以及物品输送车
US10083847B2 (en) Ceiling transport vehicle
US9221604B2 (en) Article storage facility and method of operation therefor
JP4378653B2 (ja) 物品搬送装置
US10431485B2 (en) Article transport facility
CN103381605B (zh) 用于机器人装置的位置监测的监测装置及含其的生产系统
JP2007126254A (ja) 搬送装置
KR102390053B1 (ko) 물품 반송 설비
JP2005089059A (ja) 物品移載装置
US11904915B2 (en) Article transport facility
JP2019049447A (ja) 検査システム
KR102141194B1 (ko) 센서 간섭 방지 장치
JP2021046287A (ja) 走行車システム
JP2012150588A (ja) 有軌道台車システム
JP5445399B2 (ja) 移載装置および先入品判断方法
JP6263416B2 (ja) 駐車システムにおける搬送台車の停止方法
JP3562439B2 (ja) 荷積みシステム
JP4399737B2 (ja) 物品移載装置
JP2001301986A (ja) 荷積みシステム
TWI487652B (zh) Automatic warehouse and item confirmation control method
JP2005067870A (ja) 物品搬送車
JPH09100006A (ja) 搬出入設備

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant