JP2019006567A - 物品搬送設備、及び、物品搬送車 - Google Patents

Abstract

【課題】他の物品搬送車に接触することを防止することができる物品搬送車を備えた物品搬送設備の提供。【解決手段】物品搬送車２は、物品Ｗを支持する支持部２６と、支持部２６を幅方向Ｙに移動させる駆動部と、前方検出部Ｓと、制御部と、を備え、駆動部は、物品搬送車２から幅方向に突出させた突出位置と、突出位置より物品搬送車２側に引退させた引退位置と、に支持部２６を移動させ、制御部は、前方検出部Ｓが第一検出エリアＥ１に存在する対象車２Ｂを検出した場合に、自車２Ａを第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させ、前方検出部Ｓが第二検出エリアＥ２に存在する対象支持部２６Ｂを検出した場合に、自車２Ａを停止させる。【選択図】図１１

Description

本発明は、軌道に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車、及び、この物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。

軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて、複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送設備の一例が、特開２００９−３５４０３号公報（特許文献１）に開示されている。この物品搬送設備は、天井に設けられた軌道（１００）に吊り下げられた物品搬送車（２００）を利用して、物品（５２０）を自動的に運搬する（背景技術において括弧付きで示す符号は特許文献１のもの。）。物品（５２０）を吊り下げる支持部（２３０）は、特許文献１の図２に示すように軌道（１００）の直下に位置した状態で物品（５２０）を吊り下げて昇降させて当該物品（５２０）を移載するだけでなく、特許文献１の図３に示すように軌道（１００）の延在方向に直交する幅方向に移動した位置で物品（５２０）を吊り下げて昇降させて当該物品（５２０）を移載することもできる。

特開２００９−３５４０３号公報

ところで、物品搬送設備では、多くの場合、軌道が並行する部分を有するが、空間使用効率を高くするなどの目的で、並行する軌道を走行する物品搬送車が接触することなくすれ違うことが可能な程度まで、並行する軌道の間隔が狭く設定される場合がある。このように並行する軌道の間隔が狭い場合には、一方の軌道上に位置する１台の物品搬送車が上述した支持部（２３０）を幅方向に突出させている状態で、他方の軌道上を別の物品搬送車が走行すると、支持部（２３０）と当該別の物品搬送車とが接触する可能性がある。

上記背景に鑑みて、他の物品搬送車に接触することを抑制することができる物品搬送車、及び、それを備えた物品搬送設備の提供が望まれる。

上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送し、
上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である点にある。

この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合は、制御部が第三制御を実行することで自車が停止するため、自車が対象支持部に接触することを防止できる。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。

また、上記に鑑みた物品搬送車の特徴構成は、軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、を備え、
自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている点にある。

この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合に、自車を停止させて自車が対象支持部に接触することを防止する等の対応が可能となる。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行軌跡に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送車を提供できる。

物品搬送設備の平面図 物品搬送車の前面図 物品搬送車の後面図 物品搬送車の側面図 制御ブロック図 第一センサの検出エリアを示す平面図 第二センサの検出エリアを示す平面図 第二センサの検出エリアを示す平面図 第三検出エリア及び第四検出エリアに先行車が存在している状態を示す平面図 第一検出エリアに対象車が存在している状態を示す平面図 第二検出エリアに対象支持部が存在している状態を示す平面図 フローチャート 別実施形態の第一センサの検出エリアを示す平面図

１．実施形態
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備は、軌道１に沿って複数の物品搬送車２を走行させて物品Ｗを搬送する。物品搬送設備には、処理装置に対応する位置に物品Ｗを支持する移載対象箇所Ｐが備えられており、物品搬送車２は、物品Ｗを移載対象箇所Ｐに搬送すると共に物品Ｗを移載対象箇所Ｐから搬送する。尚、本実施形態では、物品搬送車２は、レチクル（フォトマスク）を収容するレチクルポッドを物品Ｗとして搬送する。

物品搬送車２は、軌道１を予め設定された方向に走行する。尚、図１においては、物品搬送車２の走行方向を矢印で示している。また、物品搬送車２の走行方向を分かり易くするために物品搬送車２を三角形状のシンボルで示している。軌道１は、上下方向Ｚ視で直線状に設置された直線形状の直線部４と、上下方向Ｚ視で曲線状に設置された曲線形状の曲線部５と、を備えている。図２及び図３に示すように、軌道１は、左右一対のレール部３により構成されている。以下、軌道１に沿う方向を延在方向Ｘと称し、上下方向Ｚ視で、延在方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙと称して説明する。

図１に示すように、軌道１は、複数の直線部４が幅方向Ｙに第一設定間隔以下で且つ第二設定間隔以上で並行する区間である並行区間Ｇを有している。並行区間Ｇでは、幅方向Ｙに並ぶ直線部４は、同じ高さに平行状で設置されている。第一設定間隔は、幅方向Ｙに隣接する一対の直線部４のうちの一方の直線部４（対象軌道１Ｂ）を走行する物品搬送車２（対象車２Ｂ）が支持部２６（対象支持部２６Ｂ）を突出位置に突出させた場合に、支持部２６が他方の直線部４を走行する物品搬送車２（自車２Ａ）の軌跡（走行軌跡Ｔ）に進入する間隔に設定されている。また、第二設定間隔は、直線部４を走行する物品搬送車２の軌跡が重ならない間隔に設定されている。

次に、物品搬送車２について説明する。尚、物品搬送車２を説明するにあたり、物品搬送車２が走行する方向を前方側、その反対側を後方側と称して説明する。ちなみに、例えば、物品搬送車２が軌道１の直線部４を走行している場合は、物品搬送車２の前後方向と軌道１の延在方向Ｘとは同じ方向となり、物品搬送車２の左右方向と軌道１の幅方向Ｙとは同じ方向となる。

図２から図４に示すように、物品搬送車２は、天井から吊り下げ支持された軌道１上をその軌道１に沿って走行する走行部６と、軌道１の下方に位置して走行部６に吊り下げ支持された本体部７と、を備えている。尚、図２は、延在方向Ｘに沿って前方から後方に向かって物品搬送車２を見た前面図であり、図３は、延在方向Ｘに沿って後方から前方に向かって物品搬送車２を見た後面図である。また、図４は、幅方向Ｙに沿って物品搬送車２を見た側面図である。

図４に示すように、走行部６は、電動式の走行用モータ９と、この走行用モータ９により回転駆動される左右一対の走行輪１０と、が備えられている。この左右一対の走行輪１０は、軌道１（左右一対のレール部３）の上面を転動する。また、図２及び図３に示すように、走行部６には、上下方向Ｚに沿う上下軸心周りで回転自在な左右一対の案内輪１１が備えられている。この左右一対の案内輪１１は、左右一対のレール部３の間に位置して左右一対のレール部３の互いに対向する側面を転動する。走行部６は、案内輪１１が一対のレール部３により案内されることによって、幅方向Ｙでの位置が規制されながら、走行輪１０が走行用モータ９により回転駆動されることで、軌道１に沿って走行する。

図２から図４に示すように、本体部７は、物品Ｗを支持する支持機構１３と、支持機構１３を支持すると共に支持機構１３を昇降移動させる昇降操作機構１４と、昇降操作機構１４を走行部６の直下の引退位置（図２参照）及び当該引退位置から左右方向に移動させた突出位置（図３参照）に移動させるスライド操作機構１５と、支持機構１３を上昇高さに位置させ且つ昇降操作機構１４を引退位置に位置させた状態で支持機構１３に支持された物品Ｗの上方及び前後方向Ｘを覆うカバー体１６と、を備えている。

図３に示すように、支持機構１３は、ベルト２１の先端部が連結された昇降体１８と、物品Ｗを把持する姿勢と物品Ｗに対する把持を解除する姿勢とに姿勢変更自在な支持爪１９と、支持爪１９を姿勢変更させる支持用モータ２０（図５参照）と、を備えている。
昇降操作機構１４は、ベルト２１を巻回した巻回体２２と、巻回体２２を回転駆動させる昇降用モータ２３と、を備えている。昇降操作機構１４は、昇降用モータ２３の駆動により巻回体２２を回転させることで、支持機構１３を上昇高さとこの上昇高さより低い下降高さとに昇降させる。
スライド操作機構１５は、昇降操作機構１４を支持すると共に幅方向Ｙに移動自在なスライド体２４と、スライド体２４を走行部６に対して幅方向Ｙに移動させるスライド用モータ２５（図５参照）と、を備えている。スライド操作機構１５は、スライド用モータ２５の駆動によりスライド体２４を幅方向Ｙに移動させることで、物品搬送車２のカバー体１６から幅方向Ｙに突出させた突出位置（図３参照）と、突出位置より物品搬送車２のカバー体１６側に引退させた引退位置（図２参照）と、にスライド体２４、昇降操作機構１４及び支持機構１３を移動させる。
なお、物品搬送車２が走行する場合は、支持機構１３は上昇高さに位置し且つ引退位置に位置している。

物品搬送車２は、軌道１の真下に位置する移載対象箇所Ｐに搬送する場合は、当該移載対象箇所Ｐに対応する設定位置まで走行部６を走行させた状態で、昇降操作機構１４により支持機構１３を上昇高さから下降させて物品Ｗを移載対象箇所Ｐに降ろした後、支持機構１３により物品Ｗに対する把持を解除する。
移載対象箇所Ｐは、軌道１の真下に設置される場合に加えて、図１に示すように、上下方向Ｚに見て軌道１に対して軌道１の幅方向Ｙにずれた位置に設定される場合がある。物品搬送車２は、このように軌道１の真下に対して幅方向Ｙにずれた位置の移載対象箇所Ｐに搬送する場合は、当該移載対象箇所Ｐに対応する設定位置まで走行部６を走行させた状態で、図３に示すように、スライド操作機構１５により昇降操作機構１４を突出位置まで突出させた後、昇降操作機構１４により支持機構１３を上昇高さから下降させて物品Ｗを移載対象箇所Ｐに降ろし、その後、支持機構１３により物品Ｗに対する把持を解除する。
尚、スライド体２４、昇降操作機構１４及び支持機構１３が、物品Ｗを支持する支持部２６に相当し、カバー体１６が、物品Ｗを収容する収容部に相当する。また、スライド用モータ２５が、支持部２６を幅方向Ｙに移動させる駆動部に相当する。

物品搬送車２は、前方検出部Ｓ、反射体Ｍ、及び制御部Ｈを備えている。次に、前方検出部Ｓ、反射体Ｍ、及び制御部Ｈについて説明する。尚、図１０及び図１１に示すように、物品搬送車２の一つである自車２Ａが走行中の軌道１を走行中軌道１Ａとし、走行中軌道１Ａに対して幅方向Ｙに並んで配置された軌道１を対象軌道１Ｂとする。また、対象軌道１Ｂを走行する他の物品搬送車２を対象車２Ｂ（第一対象車）とし、当該対象車２Ｂの支持部２６を対象支持部２６Ｂとして説明し、走行中軌道１Ａにおける自車２Ａの前方側に存在する他の物品搬送車２を先行車２Ｃ（第二対象車）とする。また、走行中軌道１Ａに沿って自車２Ａが走行する軌跡を走行軌跡Ｔとする。

図２から図４に示すように、物品搬送車２は、反射体Ｍとして第一反射体Ｍ１と第二反射体Ｍ２とを備えている。
第一反射体Ｍ１は、物品搬送車２の前方を向く前面部及び後方を向く後面部、並びに、支持部２６の前方を向く前面部及び後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第一センサＳ１は、カバー体１６の前面部に備えられており、第一反射体Ｍ１は、カバー体１６の前面部及び後面部、並びに、スライド体２４の前面部及び後面部に備えられている。
第二反射体Ｍ２は、物品搬送車２の後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第二センサＳ２は、カバー体１６の前面部における第一センサＳ１より上方に備えられている。第二反射体Ｍ２は、カバー体１６の後面部における第一反射体Ｍ１より上方に備えられている。
このように、物品搬送車２は、当該物品搬送車２の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、支持部２６の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、に第一反射体Ｍ１を備えている。

前方検出部Ｓは、第一検出エリアＥ１の対象車２Ｂと第二検出エリアＥ２の対象支持部２６Ｂとを検出する第一センサＳ１と、第三検出エリアＥ３及び第四検出エリアＥ４の先行車２Ｃを検出する第二センサＳ２と、を備えている。前方検出部Ｓは、第一センサＳ１と第二センサＳ２とを備えることで、第一検出エリアＥ１に位置する対象車２Ｂを検出すると共に、第二検出エリアＥ２に位置する対象支持部２６Ｂを検出し、更に、第三検出エリアＥ３及び第四検出エリアＥ４に位置する先行車２Ｃを検出する。

第一センサＳ１は、物品搬送車２の前方を向く前面部に設置されており、前方側に向けて検出光を投光し、第一反射体Ｍ１からの反射光を検出することで、第一反射体Ｍ１（第一反射体Ｍ１を備えた対象車２Ｂや対象支持部２６Ｂ）を検出する。第一センサＳ１は、幅方向Ｙにおいて走行部６の中央（軌道１の中央に位置）に対して一方側に片寄った位置に設置されている。
第二センサＳ２は、物品搬送車２の前方を向く前面部に設置されており、前方側に向けて検出光を投光し、第二反射体Ｍ２からの反射光を検出することで、第二反射体Ｍ２（第二反射体Ｍ２を備えた先行車２Ｃ）を検出する。第二センサＳ２は、幅方向Ｙにおいて走行部６の中央（軌道１の中央に位置）と同じ位置となるように設置されている。

図４に示すように、第一センサＳ１は、検出光を前方側に向けて投光し、第二センサＳ２は、第一センサＳ１よりも高い位置で、検出光を前方側に向けて投光している。そのため、第一センサＳ１の検出エリアＥは、第二センサＳ２の検出エリアＥの上下幅から下方に外れた箇所に位置している。つまり、第二センサＳ２の検出エリアＥ（第三検出エリアＥ３及び第四検出エリアＥ４）は、第一センサＳ１の検出エリアＥ（第一検出エリアＥ１及び第二検出エリアＥ２）とは上下方向Ｚに異なるエリアである。

そして、自車２Ａと対象車２Ｂとが同じ高さに位置している場合において、第一反射体Ｍ１は、第一センサＳ１が投光する検出光を反射可能な高さに設置され、且つ、第二センサＳ２が投光する検出光を反射可能な高さより低い位置に設置されており、第一反射体Ｍ１は、第一センサＳ１の検出光は反射するが、第二センサＳ２の検出光は反射しない。これに対して、自車２Ａと対象車２Ｂとが同じ高さに位置している場合において、第二反射体Ｍ２は、第一センサＳ１が投光する検出光を反射可能な高さより高い位置に設置され、且つ、第二センサＳ２が投光する検出光を反射可能な高さに設置されており、第二反射体Ｍ２は、第一センサＳ１の検出光は反射しないが、第二センサＳ２の検出光は反射する。
そのため、自車２Ａの第一センサＳ１は、対象車２Ｂの第一反射体Ｍ１を検出するが、対象車２Ｂの第二反射体Ｍ２を検出しないようになっている。また、自車２Ａの第二センサＳ２は、対象車２Ｂの第二反射体Ｍ２を検出するが、対象車２Ｂの第一反射体Ｍ１を検出しないようになっている。

図６に示すように、第一センサＳ１の検出エリアＥは、自車２Ａに対して前方に形成されると共に、自車２Ａに対して幅方向Ｙの両側に広がるように形成されている。第一センサＳ１の検出エリアＥは、延在方向Ｘの長さが第一長さＬ１に設定されており、幅方向Ｙの長さが第二長さＬ２に設定されている。第一センサＳ１の検出エリアＥは、第一検出エリアＥ１とこの第一検出エリアＥ１に対して幅方向Ｙの両側に設定された第二検出エリアＥ２とに区分けされている。
図６に示すように、第二検出エリアＥ２の幅方向Ｙの長さである第三長さＬ３は、物品搬送車２の幅方向Ｙの長さである第四長さＬ４より長い。つまり、第二検出エリアＥ２は、自車２Ａに対して前方側で且つ走行軌跡Ｔ内に設定されていると共に、走行軌跡Ｔの幅方向Ｙの全幅に加えて走行軌跡Ｔの左右両側に走行軌跡Ｔに連続する状態で設定されている。また、第二検出エリアＥ２の延在方向Ｘの長さは第一長さＬ１に設定されている。
第一検出エリアＥ１は、第一センサＳ１の検出エリアＥにおける第二検出エリアＥ２以外の部分であり、自車２Ａに対して前方側で且つ走行軌跡Ｔに対して幅方向Ｙの外側に設定されている。この第一検出エリアＥ１は、走行軌跡Ｔから間隔を空けた状態で設定されている。第二長さＬ２及び第三長さＬ３は、並行区間Ｇにおいて、対象車２Ｂが走行する軌跡内まで第一検出エリアＥ１が設定されるが、第二検出エリアＥ２は対象車２Ｂが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。

図７に示すように、第二センサＳ２の検出エリアＥは、自車２Ａに対して前方に形成されると共に、自車２Ａに対して幅方向Ｙの両側に広がるように形成されている。第二センサＳ２の検出エリアＥは、延在方向Ｘの長さが第五長さＬ５に設定されており、幅方向Ｙの長さが第六長さＬ６に設定されている。第二センサＳ２の検出エリアＥは、第三検出エリアＥ３とこの第三検出エリアＥ３に対して前方側に設定された第四検出エリアＥ４とに区分けされている。
第三検出エリアＥ３の延在方向Ｘの長さは、第七長さＬ７に設定されており、第四検出エリアＥ４の延在方向Ｘの長さは、第八長さＬ８に設定されている。第六長さＬ６は、第四長さＬ４より長く、第二長さＬ２より短い。また、第五長さＬ６は、並行区間Ｇにおいて、第三検出エリアＥ３や第四検出エリアＥ４が、対象車２Ｂが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。そして、第五長さＬ５及び第八長さＬ８は、第一長さＬ１より長く、第七長さＬ７は、第一長さＬ１より短い。

第二センサＳ２の検出エリアＥは、自車２Ａが直線部４を走行する場合は、上述のような長さの形状に形成されているが、自車２Ａが曲線部５を走行する場合は、図８に示すように、直線部４で走行する場合の形状とは異なる形状となる。つまり、制御部Ｈは、物品搬送車２に備えられたロータリーエンコーダ等の走行距離センサの検出情報や、軌道１に沿って設置されているアドレス情報を示す表示体を検出するアドレス検出センサの検出情報に基づいて、自車２Ａが軌道１の直線部４を走行しているか曲線部５を走行しているかを判別可能であるとともに、自車２Ａの前方側の走行中軌道１Ａの形状を判別可能に構成されている。そして、第二センサＳ２は、制御部Ｈの制御により、自車２Ａの前方側の走行中軌道１Ａの形状に合わせて、第三検出エリアＥ３の形状及び第四検出エリアＥ４の形状を変化させる。また、第一センサＳ１は、制御部Ｈの制御により、自車２Ａが曲線部５に位置している場合は対象車２Ｂ及び対象支持部２６Ｂの検出を無効にし、自車２Ａが直線部４に位置している場合のみ対象車２Ｂ及び対象支持部２６Ｂの検出を有効にする。

図９に示すように、第二センサＳ２は、第三検出エリアＥ３や第四検出エリアＥ４に進入した場合に、先行車２Ｃに備えられている第二反射体Ｍ２を検出する。尚、自車２Ａと先行車２Ｃとは同じ方向を向いており、第二センサＳ２は、先行車２Ｃのカバー体１６における後面部に備えられている第二反射体Ｍ２を検出する。
図１０に示すように、第一センサＳ１は、第一検出エリアＥ１に対象車２Ｂが進入した場合に、対象車２Ｂのカバー体１６に設置された第一反射体Ｍ１を検出する。尚、自車２Ａと対象車２Ｂとが反対の方向に向いている場合は、第一センサＳ１は、対象車２Ｂのカバー体１６における前面部に備えられている第一反射体Ｍ１を検出し、自車２Ａと対象車２Ｂとが同じ方向を向いている場合は、第一センサＳ１は、対象車２Ｂのカバー体１６における後面部に備えられている第一反射体Ｍ１を検出する。
また、図１１に示すように、第一センサＳ１は、第二検出エリアＥ２に対象支持部２６Ｂが進入した場合に、対象支持部２６Ｂに備えられている第一反射体Ｍ１を検出する。尚、自車２Ａと対象車２Ｂとが反対の方向に向いている場合は、第一センサＳ１は、対象支持部２６Ｂの前面部に備えられている第一反射体Ｍ１を検出し、自車２Ａと対象車２Ｂとが同じ方向を向いている場合は、第一センサＳ１は、対象支持部２６Ｂの後面部に備えられている第一反射体Ｍ１を検出する。

図１２のフローチャートに示すように、制御部Ｈは、第一センサＳ１により第一検出エリアＥ１において反射体Ｍが検出された場合、及び、第二センサＳ２により第四検出エリアＥ４において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる減速制御を実行する。また、制御部Ｈは、第一センサＳ１により第二検出エリアＥ２において反射体Ｍが検出された場合、及び、第二センサＳ２により第三検出エリアＥ３において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを停止させる停止制御を実行する。そして、制御部Ｈは、第一センサＳ１により第一検出エリアＥ１及び第二検出エリアＥ２において反射体Ｍが検出されず、第二センサＳ２により第三検出エリアＥ３及び第四検出エリアＥ４において反射体Ｍが検出されない場合は、自車２Ａを第一設定速度で走行させる通常制御を実行する。

具体例を挙げて説明すると、図９に示すように、自車２Ａの第二センサＳ２の第四検出エリアＥ４に先行車２Ｃ（図９に示す２台の先行車２Ｃのうちの前方側の先行車２Ｃ）が侵入すると、先行車２Ｃの第二反射体Ｍ２が自車２Ａの第二センサＳ２により検出される。自車２Ａの制御部Ｈは、自車２Ａの第二センサＳ２により第四検出エリアＥ４において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを第二設定速度で走行させる減速制御を実行する。
また、図９に示すように、自車２Ａの第二センサＳ２の第三検出エリアＥ３に先行車２Ｃ（図９に示す２台の先行車２Ｃのうちの後方側の先行車２Ｃ）が侵入すると、先行車２Ｃの第二反射体Ｍ２が自車２Ａの第二センサＳ２により検出される。自車２Ａの制御部Ｈは、自車２Ａの第二センサＳ２により第三検出エリアＥ３において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを停止させる停止制御を実行する。尚、このように、第二センサＳ２により第三検出エリアＥ３において反射体Ｍが検出された場合の停止制御は、前方検出部Ｓが第三検出エリアＥ３に存在する先行車２Ｃを検出した場合に自車２Ａを停止させる第四制御に相当する。

また、図１０に示すように、自車２Ａの第一センサＳ１の第一検出エリアＥ１に対象車２Ｂが進入すると、対象車２Ｂの第一反射体Ｍ１が自車２Ａの第一センサＳ１により検出される。自車２Ａの制御部Ｈは、自車２Ａの第一センサＳ１により第一検出エリアＥ１において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを第二設定速度で走行させるように減速制御を実行する。尚、このように、第一センサＳ１により第一検出エリアＥ１において反射体Ｍが検出された場合の減速制御は、前方検出部Ｓが第一検出エリアＥ１に存在する対象車２Ｂを検出した場合に、自車２Ａを第二設定速度で走行させる第二制御に相当する。
また、図１１に示すように、自車２Ａの第一センサＳ１の第二検出エリアＥ２に対象支持部２６Ｂが進入すると、対象支持部２６Ｂの第一反射体Ｍ１が自車２Ａの第一センサＳ１により検出される。自車２Ａの制御部Ｈは、自車２Ａの第一センサＳ１により第二検出エリアＥ２において反射体Ｍが検出された場合は、自車２Ａを停止させるように停止制御を実行する。尚、このように、第一センサＳ１により第二検出エリアＥ２において反射体Ｍが検出された場合の停止制御は、前方検出部Ｓが第二検出エリアＥ２に存在する対象支持部２６Ｂを検出した場合に、自車２Ａを停止させる第三制御に相当する。

そして、自車２Ａの制御部Ｈは、自車２Ａの第一センサＳ１の第一検出エリアＥ１及び第二検出エリアＥ２において反射体Ｍが検出されず、且つ、自車２Ａの第二センサＳ２の第三検出エリアＥ３及び第四検出エリアＥ４において反射体Ｍが検出されない場合は、自車２Ａを第一設定速度で走行させる通常制御を実行する。尚、通常制御は、前方検出部Ｓが第一検出エリアＥ１において対象車２Ｂを検出せず且つ第二検出エリアＥ２において対象支持部２６Ｂを検出しない場合に、自車２Ａを第一設定速度で走行させる第一制御に相当する。

２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備及び物品搬送車のその他の実施形態について説明する。

（１）上記実施形態では、前方検出部Ｓが、第一センサＳ１と第二センサＳ２とを有したが、前方検出部Ｓが、第一センサＳ１と第二センサＳ２とのうちの第一センサＳ１のみを有してもよい。そして、前方検出部Ｓが第一センサＳ１のみを有する場合において、第一センサＳ１に、第二センサＳ２の機能を備えてもよい。

（２）上記実施形態では、第一検出エリアＥ１、第二検出エリアＥ２、第三検出エリアＥ３、及び第四検出エリアＥ４の形状や大きさは適宜変更してもよい。具体的には、例えば、図１３に示すように、第二検出エリアＥ２の延在方向Ｘの長さＬ９を第一センサＳ１の検出エリアＥの延在方向Ｘの長さＬ１より短くしてもよく、また、第二検出エリアＥ２の幅方向Ｙの長さＬ３を、物品搬送車２の幅方向Ｙの長さＬ４と同じ又は短くしてもよい。

（３）上記実施形態では、第一センサＳ１を、自車２Ａが直線部４に位置している場合のみ対象車２Ｂ及び対象支持部２６Ｂの検出を有効にしたが、第一センサＳ１を、自車２Ａが直線部４に位置している場合に加えて曲線部５に位置している場合も、対象車２Ｂ及び対象支持部２６Ｂの検出を有効にしてもよい。この場合、第一センサＳ１の検出エリアＥの形状を、自車２Ａの前方側の走行中軌道１Ａの形状に応じて変形させるようにしてもよい。

（４）上記実施形態では、スライド操作機構１５のスライド体２４に第一反射体Ｍ１を設置したが、支持機構１３の昇降体１８に第一反射体Ｍ１を設置する等、支持部２６におけるスライド体２４以外の箇所に第一反射体Ｍ１を設置してもよい。

（５）上記実施形態では、物品Ｗをレチクルポッドとしたが、物品Ｗとしては、ウェハを収容するＦＯＵＰ等の他の容器や、容器以外の搬送物であってもよい。

（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送車及び物品搬送設備の概要について説明する。

物品搬送設備は、軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送し、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である。

この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合は、制御部が第三制御を実行することで自車が停止するため、自車が対象支持部に接触することを防止できる。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。

ここで、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に第三検出エリアが設定され、
前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行すると好適である。

この構成によれば、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで前方検出部により先行車を検出できる。そして、前方検出部が、第三検出エリアに存在する先行車を検出した場合は、制御部が第四制御を実行することで自車が停止するため、自車が先行車に接触することを抑制できる。

また、前記前方検出部は、前記第一検出エリアの前記対象車と前記第二検出エリアの前記対象支持部とを検出する第一センサと、前記第三検出エリアの前記物品搬送車を検出する第二センサと、を有すると好適である。

この構成によれば、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。

また、前記軌道は、直線形状の直線部と曲線形状の曲線部とを有し、前記第二センサは、前記自車の前方側の前記走行中軌道の形状に合わせて前記第三検出エリアの形状を変化させ、前記第一センサは、前記自車が前記直線部に位置している場合のみ前記対象車及び前記対象支持部の検出を有効にすると好適である。

この構成によれば、自車の前方側の走行中軌道の形状に合わせて第三検出エリアの形状を変化させることで、自車が直線部に位置する場合及び曲線部に位置する場合の双方において第二センサにより先行車を適切に検出し易くなるため、自車が先行車に接触することを防止し易くなる。
また、曲線部において複数の軌道が並行することは少ないため、その直線部においてのみ第一センサによる検出を有効にすることで、第一センサについて第一検出エリアや第二検出エリアの形状を走行中軌道の形状に合わせて変化させる必要がない。このため、第一センサの機能を簡素化したり、検出精度を高めたりすることができる。

また、前記第二検出エリアの前記幅方向の長さは、前記物品搬送車の前記幅方向の長さより長いと好適である。

この構成によれば、対象車が対象支持部を自車の走行軌跡に向けて突出させた場合に、対象支持部が走行軌跡に進入する前に第一センサにより対象支持部を検出できる。そのため、走行軌跡に進入する対象支持部を早期に検出して第三制御を実行でき、自車が対象支持部に接触することを防止し易くなる。

また、前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、前記支持部の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、に配置された反射体を備え、前記前方検出部は、前記反射体からの反射光を検出することで前記物品搬送車及び前記支持部を検出すると好適である。

この構成によれば、自車の前方検出部は、反射体を備えた対象車や対象支持部を適切に検出し易くなる。また、反射体を物品搬送車や支持部の前面部や後面部に備えることで、対象車が自車と同じ方向に走行している場合と反対方向に走行している場合との双方において、自車の前方検出部により、反射体を備えた対象車や対象支持部を適切に検出し易くなる。

物品搬送車は、軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を移動させる駆動部と、前方検出部と、を備え、自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を前記幅方向に移動させ、前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている。

この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合に、自車を停止させて自車が対象支持部に接触することを防止する等の対応が可能となる。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行領域に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを防止できる物品搬送車を提供できる。

本開示に係る技術は、軌道に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車、及び、当該物品搬送車を備えた物品搬送設備に利用することができる。

１：軌道
１Ａ：走行中軌道
１Ｂ：対象軌道
２：物品搬送車
２Ａ：自車
２Ｂ：対象車（第一対象車）
２Ｃ：先行車（第二対象車）
４：直線部
５：曲線部
１６：カバー体（収容部）
２５：スライド用モータ（駆動部）
２６：支持部
２６Ｂ：対象支持部
Ｅ１：第一検出エリア
Ｅ２：第二検出エリア
Ｅ３：第三検出エリア
Ｈ：制御部
Ｍ：反射体
Ｓ：前方検出部
Ｓ１：第一センサ
Ｓ２：第二センサ
Ｔ：走行軌跡
Ｗ：物品
Ｘ：延在方向
Ｙ：幅方向
Ｚ：上下方向

Claims (7)

1. 軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送する物品搬送設備であって、
   上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
   前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、
   前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、
   前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、
   前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、
   前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
   前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
   前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、
   前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、
   前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、
   前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である物品搬送設備。
2. 前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に第三検出エリアが設定され、
   前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、
   前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行する請求項１に記載の物品搬送設備。
3. 前記前方検出部は、前記第一検出エリアの前記対象車と前記第二検出エリアの前記対象支持部とを検出する第一センサと、前記第三検出エリアの前記物品搬送車を検出する第二センサと、を有する請求項２に記載の物品搬送設備。
4. 前記軌道は、直線形状の直線部と曲線形状の曲線部とを有し、
   前記第二センサは、前記自車の前方側の前記走行中軌道の形状に合わせて前記第三検出エリアの形状を変化させ、
   前記第一センサは、前記自車が前記直線部に位置している場合のみ前記対象車及び前記対象支持部の検出を有効にする請求項３に記載の物品搬送設備。
5. 前記第二検出エリアの前記幅方向の長さは、前記物品搬送車の前記幅方向の長さより長い請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
6. 前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、前記支持部の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、に配置された反射体を備え、
   前記前方検出部は、前記反射体からの反射光を検出することで前記物品搬送車及び前記支持部を検出する請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
7. 軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を移動させる駆動部と、前方検出部と、を備えた物品搬送車であって、
   自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
   前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を前記幅方向に移動させ、
   前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、
   前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
   前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
   前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている物品搬送車。

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