KR20080025463A

KR20080025463A - 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치

Info

Publication number: KR20080025463A
Application number: KR1020060089962A
Authority: KR
Inventors: 김영길; 김창수; 라상일; 유재우; 한완택; 한형규
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-09-18
Filing date: 2006-09-18
Publication date: 2008-03-21

Abstract

본 발명은 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 천정에 설치되면서 곡선 구간과 직선 구간을 연결하여 폐회로를 이루는 궤도(10)와; 상기 궤도(10)를 따라 주행하면서 클램핑한 웨이퍼 캐리어를 공정 설비에 로딩/언로딩하도록 이동시키는 대차(20)와; 상기 대차(20)의 주행 방향의 정면 일측에서 전방의 대차를 감지하도록 구비되는 메인 센서(30)와; 상기 궤도(10)가 설치되는 천정에 고정 부재(41)를 이용하여 고정되도록 하며, 상기 궤도(10)의 상기 대차(20)가 주행하는 직선 구간 중 상기 대차(20)의 직하부에 진입하는 장애물을 감지하도록 구비되는 장애물 감지 센서(40)와; 상기 장애물 감지 센서(40)를 통해 감지되는 신호에 의해 장애물의 유무를 판단하는 컨트롤러(51)와 상기 컨트롤러(51)로부터 출력되는 신호에 의해 구동되는 모터(52)와 상기 모터(52)에 의해 회전하면서 주행 중인 상기 대차(20)의 메인 센서(30)에 의한 감지 영역에 위치되는 패드(53)로서 이루어지는 센서 제어부(50)로서 구비되어 상기 메인 센서(30)에서 상기 패드(53)가 감지되면 주행 중인 상기 대차(20)의 주행을 중단시키도록 하여 주행 중인 대차(20)와의 충돌로 인한 대형 사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 것이다.

반송 장치, 궤도, 대차, 장애물

Description

반도체 제조 장치의 자동 반송 장치{Automatic transferring device for semiconductor manufacturing apparatus}

도 1은 종래의 천정을 주행하는 자동 반송 장치의 일례를 도시한 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치를 도시한 평면 구조도,

도 3은 본 발명에 따라 대차가 궤도에 주행 가능하게 설치된 상태를 도시한 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 장애물 감지 센서의 장착 구조를 도시한 정면도,

도 5는 본 발명에 따른 장애물 감지 센서의 장착 구조를 도시한 측면도,

도 6은 본 발명에 따른 자동 반송 장치에 센서 제어부를 적용한 장착 구조의 요부 확대 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 궤도

20 : 대차

30 : 메인 센서

40 : 장애물 감지 센서

50 : 센서 제어부

51 : 컨트롤러

52 : 모터

53 : 패드

본 발명은 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 궤도의 일측에서 주행하는 대차에 간섭하지 않으면서 대차의 주행 경로에 진입하는 장애물을 감지하여 장애물과의 충돌 전에 미리 대차의 주행이 중단되게 함으로써 안전하면서 안정되고 경제적인 설비 유지 관리가 가능하도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치에 관한 것이다.

일반적으로 공장 내에서 부품의 반송을 위하여 무인으로 작동하는 자동 반송 장치가 보편화되고 있다.

특히 반도체 장치나 LCD 기판 등을 제조하는 설비에서는 다양한 공정 설비의 사이로 자동 반송 장치가 사용되며, 자동 반송 장치는 통상 하나의 궤도로 이루어지도록 하고 있다.

반도체 장치나 LCD 기판 제조를 위한 공정의 수행 중에는 매우 유독한 가스를 사용하기도 하고, 공정 수행 중에는 미세한 사이즈의 오염물에 의해서도 제품 수율에 치명적일 수가 있으므로 작업장 관리가 그 어느 곳보다도 매우 세밀하게 이루어지도록 하고 있으며, 이를 위하여 인력 수요를 최소화할 수 있도록 하는 무인 자동화가 보다 적극적으로 적용되도록 하고 있다.

궤도식 반송장치는 천정 또는 바닥면에 설치되는 궤도를 따라 대차(vehicle)가 주행하도록 하며, 궤도의 측방으로는 각종 공정 설비들이 구비되도록 하여 대차를 이동시키면서 각종 공정들이 순차적으로 수행되도록 한다.

이러한 궤도식 자동 반송 장치 중에서도 가장 대표적인 것이 천정을 주행하도록 구비되는 OHT(Overhead Hoist Transfer)와 OHS(Overhead Hoist Suttle)이다.

도 1은 종래의 천정을 주행하는 자동 반송 장치의 일례를 도시한 것이다.

천정에는 일정한 경로를 따라 궤도(1)가 설치되고, 이 궤도(1)에는 대차(2)가 주행 가능하게 설치되며, 대차(2)는 통상 하나 이상을 구비하고 있다.

대차(2)는 다시 궤도(1)를 따라 주행하는 주행부(2a)와 이 주행부(2a)로부터 승강이 가능하게 구비되는 핸드(2b)의 결합에 의해 구비된다.

전기한 도면은 자동 반송 장치를 반도체 제조 장치에 적용한 예를 도시한 것으로, 도면에서 반도체 제조 장치의 로드 포트(3)에 얹게 될 웨이퍼 캐리어(4)를 핸드(2b)에 의해 파지하여 궤도(1)를 따라 이동시키고, 주행부(2a)로부터 승강시켜 필요로 하는 위치에 웨이퍼 캐리어(4)가 안치되도록 한다.

즉 웨이퍼 캐리어(4)를 파지하거나 필요로 하는 위치에 안치시키고자 할 때에는 주행부(2a)로부터 핸드(2b)를 승강시킴에 의해 수행되도록 하고, 웨이퍼 캐리어(4)를 파지한 상태에서 안치시킬 위치까지의 이동은 궤도(1)를 따라 주행부(2a) 가 주행함에 의해서 수행되도록 하는 것이다.

한편 자동 반송 장치는 최근 작업 수행 효율을 보다 향상시키기 위한 목적으로 주행 속도가 더욱 빠르게 수행되도록 하고 있으나 작업 도중 작업자 및 엔지니어의 실수 등으로 자동 반송 장치와 사람 및 설비가 충돌하는 사례가 빈번하게 발생하고 있다.

즉 대차(2)가 주행하는 영역에 사다리를 이용하여 작업자 또는 엔지니어에 의해 별도의 작업을 하던 중 주행하고 있는 대차(2)가 매우 빠른 속도로 소리없이 다가와 사람이나 장비에 충돌하는 사례가 자주 발생되면서 전체적인 공정 수행을 중단시키기도 한다.

이와 같은 충돌 사고는 자칫 대형사고로 발전하기도 하면서 심각한 인명 사상과 설비의 손상 및 공정 진행 중단에 따라 막대한 비용의 손실을 초래하는 문제가 있다.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 주된 목적은 궤도에서 대차가 주행하는 중에 주행 영역 내에 장애물 진입이 감지되면 즉시 대차의 이동이 중단되도록 하여 미연에 충돌 사고를 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치를 제공하는데 있다.

또한 본 발명은 대차와의 충돌로 인한 인명 사고 및 대차의 손상이 방지되도록 경제적 손실을 최소화하도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치를 제공하 는데 다른 목적이 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 대차와의 충돌 사고를 미연에 방지되게 함으로써 안전하면서 안정된 공정 수행이 될 수 있도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 천정에 설치되면서 곡선 구간과 직선 구간을 연결하여 폐회로를 이루는 궤도와; 상기 궤도를 따라 주행하면서 클램핑한 웨이퍼 캐리어를 공정 설비에 로딩/언로딩하도록 이동시키는 대차와; 상기 대차의 주행 방향의 정면 일측에서 전방의 대차를 감지하도록 구비되는 메인 센서와; 상기 궤도가 설치되는 천정에 고정 부재를 이용하여 고정되도록 하며, 상기 궤도의 상기 대차가 주행하는 직선 구간 중 상기 대차의 직하부를 감지하도록 구비되는 장애물 감지 센서와; 상기 장애물 감지 센서를 통해 감지되는 신호에 의해 장애물의 유무를 판단하는 컨트롤러와 상기 컨트롤러로부터 출력되는 신호에 의해 구동되는 모터와 상기 모터에 의해 회전하면서 주행 중인 상기 대차의 메인 센서에 의한 감지 영역에 위치되는 패드로서 이루어지는 센서 제어부로서 구비되어 상기 메인 센서에서 상기 패드가 감지되면 주행 중인 상기 대차의 주행을 중단시킬 수 있도록 하는 것이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치를 도시한 평면 구조도이다.

본 발명의 자동 반송 장치는 대차가 이동하는 방향에 대차와 충돌이 예상되는 장애물이 존재하면 이를 즉시 감지하여 대차의 진행이 중단될 수 있도록 하는 것이다.

본 발명의 자동 반송 장치는 천정에 궤도(10)를 설치한 OHT 및 OHS를 개선한 구성이다.

궤도(10)는 천정에서 직선 구간과 곡선 구간을 연결한 폐회로로서 이루어지도록 설치되는 구성이다. 즉 양끝의 곡선 구간을 양측에서 각각 직선 구간에 의해 연결되도록 하여 일정한 순환 경로를 갖도록 설치한 구성이다.

궤도(10)에는 통상 한 대 이상의 대차(20)가 주행 가능하도록 설치되며, 대차(20)는 일방향으로만 순환 회전하도록 한다.

도 3은 본 발명에 따라 대차가 궤도에 주행 가능하게 설치된 상태를 도시한 사시도이다.

대차(20)는 궤도(10)를 따라 주행하는 상부의 주행부(21)와 이 주행부(21)로부터 승강이 가능하게 구비되는 핸드(22)를 구비하는 구성이다.

즉 대차(20)는 주행부(21)의 상단부가 궤도(10)에 주행 가능하게 연결되고, 이 주행부(21)의 내부에는 대차(20)의 주행을 단속하도록 하는 모터(미도시)와 함께 이 모터를 제어하는 각종 제어장치들이 내장되도록 하고 있다.

핸드(22)는 통상 대차(20)의 주행 방향에서 바깥측으로 구비되면서 자동 반 송 장치의 하부에서 바깥측에 연하도록 구비되는 각 공정 설비로 웨이퍼 캐리어의 로딩/언로딩을 수행하도록 한다.

주행부(21)로부터 핸드(22)는 승강이 가능하게 구비되며, 핸드(22)는 웨이퍼 캐리어를 클램핑할 수 있도록 형성되어 클램핑한 웨이퍼 캐리어를 일정 높이로 상승시킨 상태에서 궤도(10)를 따라 이동시킬 수 있도록 한다.

이러한 핸드(22)는 주행부(21)의 하부에서 바깥측으로 승강 가능하게 구비되도록 하고 있고, 궤도(10)의 바깥측으로 설치되는 각 공정 설비에서 로드 포트는 핸드(22)의 직하부에 위치되도록 하고 있다.

한편 핸드(22)의 내측을 이루는 주행부(21)의 대차(20)가 주행하는 방향의 정면에는 전방의 장애물을 감지할 수 있도록 하는 메인 센서(30)가 형성되도록 하고 있다.

메인 센서(30)는 통상 수광 센서와 발광 센서가 한 쌍으로 이루어지는 광센서를 사용하며, 주로 앞서 있는 대차(20)와의 충돌을 피하기 위해 장착되는 구성이다.

즉 궤도(10)에서 복수의 대차(20)가 구비되는 경우 앞에 있는 대차(20)가 서 있는 상태에서 뒤쪽의 대차(20)가 진행하는 경우 뒤쪽의 대차(20)에서 앞에 있는 대차(20)를 인지하여 진행이 멈춰지게 함으로써 충돌이 방지될 수 있도록 하는 것이다.

한편 메인 센서(30)는 전방의 대차(20)에 보낸 빛이 되돌아오는 것을 감지하여 대차(20)간 충돌을 방지하도록 하는 것이다.

이때의 메인 센서(30)는 대차(20)간 충돌 방지를 위한 최소한의 거리 즉 3~4m 거리 정도의 감지 능력을 갖도록 구비하고 있다.

상기와 같은 구성은 종전의 자동 반송 장치와 동일하다.

다만 본 발명에서는 대차(20)가 주행하는 영역내에 장애물이 진입하게 되면 이를 즉시 감지할 수 있도록 하여 이 장애물과의 충돌이 방지될 수 있도록 하는 것이다.

이를 위해 궤도(10)에서 직선 구간의 스타트 위치에는 대차(20)가 주행하는 경로에서의 장애물을 감지할 수 있도록 장애물 감지 센서(40)가 구비되도록 한다.

장애물 감지 센서(40)는 궤도(10)가 설치되는 천정에 별도의 고정 부재(41)를 이용하여 고정되도록 하며, 도 4에서와 같이 고정 부재(41)는 대차(20)의 주행에 간섭을 받지 않도록 구비한다.

특히 장애물 감지 센서(40)는 도 4 및 도 5에서와 같이 대차(20)의 직하부에 구비되도록 하되 대차(20)의 주행과 핸드(22)의 승강 작용에 간섭을 받지 않도록 하는 것이 가장 바람직하다.

장애물 감지 센서(40)는 궤도(10)의 직선 구간에서 대차(20)가 주행하는 직선 구간을 모두 감지할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 이를 위하여 장애물 감지 센서(40)는 레이저 센서를 사용하는 것이 가장 바람직하다.

한편 본 발명은 장애물 감지 센서(40)와 함께 이 장애물 감지 센서(40)에 의해 감지된 신호에 의해 작동하도록 하는 센서 제어부(50)가 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.

센서 제어부(50)는 대차(20)가 주행 중 장애물 감지 센서(40)에 의해 장애물이 감지되면 대차(20)의 주행 상태가 그 즉시 중단될 수 있도록 하는 것이다.

센서 제어부(50)는 다시 장애물 감지 센서(40)를 통해 감지되는 신호를 체크하여 장애물 유무를 판단하는 컨트롤러(51)와 이 컨트롤러(51)로부터 출력되는 신호에 의해 구동이 제어되는 모터(52) 및 모터(52)에 의해 회전하면서 메인 센서(30)에 의한 장애물 유무를 감지할 수 있도록 하는 패드(53)로서 구비되는 구성이다.

이때 모터(52)는 일정한 각도를 정역회전하는 스텝 모터로서 구비되도록 하는 것이 가장 바람직하며, 이 모터(52)의 회전축에는 패드(53)가 일방향으로만 즉 대차(20)의 이동 방향으로만 탄력적으로 회전 가능하게 축고정되도록 한다.

도 6은 본 발명에 따른 센서 제어부의 설치 구조를 도시한 일부 확대도이다.

이러한 센서 제어부(50)에서 모터(52)와 패드(53)는 별도의 고정 부재(54)에 의해서 장착되도록 하면서 장애물 감지 센서(40)와 마찬가지로 대차(20)의 주행에 간섭을 받지 않도록 한다.

모터(52)와 패드(53)가 결합되는 고정 부재(54)는 궤도(10)를 따라 일정한 간격으로 복수개가 설치되도록 하며, 특히 궤도(10) 중에서도 직선 구간을 따라 구비되도록 하는 것이 가장 바람직하다.

이때 모터(52)의 구동에 의해 패드(53)는 일정한 각도를 회전하도록 구비되고, 패드(53)에 의해서는 대차(20)의 주행부(21)에 설치된 메인 센서(30)에 마주보면서 메인 센서(30)에 의해 대차(20)를 감지할 때와 동일한 감지 신호가 체크되도 록 하여 대차(20)의 주행이 중단될 수 있도록 하는 것이다.

즉 모터(52)에 의해 패드(53)를 회전시키게 되면 패드(53)는 메인 센서(30)의 정면에 위치되고, 그러면 메인 센서(30)에 의해서는 대차(20)를 인지할 때와 동일하게 감지 신호를 발생하면서 대차(20)의 이동을 중지시키게 된다.

한편 센서 제어부(50)에서 컨트롤러(51)는 한 곳에 설치되게 할 수도 있으며, 궤도(10)의 직진 구간에서 스타트 위치에 구비되는 장애물 감지 센서(40)로부터 장애물이 감지되면 동시에 복수의 모터(52)들을 구동시켜 패드(53)가 한꺼번에 회전하도록 함으로써 고속으로 주행하는 대차(20)에 구비된 메인 센서(30)에서 패드(53)를 감지하여 메인 센서(30)의 내부에서 대차(20)의 주행을 중지시킬 수 있도록 하는 것이다.

이와 함께 본 발명에서는 컨트롤러(51)에서 장애물 감지가 체크되면 별도의 경고 수단 즉 램프나 버저 등이 동작되게 할 수가 있으며, 이러한 경고 수단은 "충돌 주의하세요"와 같은 음성 경고로 발생되게 하면 더욱 효과적이다.

이와 같은 구성에 따른 본 발명의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 대차(20)의 주행 경로 안에 충돌 예상 장애물이 감지되는 순간 대차(20)의 주행이 중지될 수 있도록 하는 것이다.

즉 공정이 진행되는 중에 특정한 상황이 발생되면 엔지니어나 작업자가 직접 작업을 해야 하는 경우가 발생되며, 이러한 작업이 특히 자동 반송 장치의 대차(20)가 주행하는 영역 내에서 이루어지게 되는 경우에는 주행하는 대차(20)에 작업하던 엔지니어나 작업자 또는 작업 장비가 충돌할 수가 있게 된다.

특히 공정 수행 중 대차(20)는 매우 빠른 속도로 주행하게 되므로 자칫 시간을 놓치면 큰 불상사를 낳을 수 있는 문제가 발생된다.

이에 본 발명은 대차(20)의 주행 경로 내에 장애물의 진입 상태가 감지되면 그 즉시 대차(20)의 주행이 중지되도록 하는 것이다.

다시 말해 대차(20)가 주행하게 되면 장애물 감지 센서(40)는 작동 온 상태가 되므로 장애물 감지 센서(40)에 의해 궤도(10)의 대차(20)가 주행하는 직진 경로에서의 장애물 유무를 감지하게 된다.

따라서 대차(20)의 주행 영역에 엔지니어나 작업자 또는 작업 장비가 진입하여 장애물이 감지되는 즉시 장애물 감지 센서(40)로부터 감지 신호는 센서 제어부(50)의 컨트롤러(51)에 전달된다.

컨트롤러(51)에서는 장애물 감지 신호가 체크되는 순간 센서 제어부(50)에서는 모터(52)가 구동되기 시작하고, 각 모터(52)의 구동에 의해서 각 모터(52)에 축고정된 패드(53)를 회전시키게 된다.

각 패드(53)들이 회전하면 이들 패드(53)들 중 주행 중인 대차(20)의 전방에 위치되는 패드(53)에 의해 주행 중이던 대차(20)의 정면에 구비한 메인 센서(30)에 의해 전방의 패드(53)가 인지되는 순간 메인 센서(30)에서 감지된 신호는 대차(20)의 내부에 장착된 대차 주행 모터(미도시)의 구동을 정지시켜 대차(20)의 주행이 그 즉시 정지되도록 한다.

한편 컨트롤러(51)에서 장애물 감지 센서(40)를 통해 장애물이 감지되거나 메인 센서(30)에서 패드(53)가 감지되는 순간 별도의 경고 수단 즉 램프나 버저 또 는 "충돌 주의하세요"와 같은 음성 경고가 발생되도록 하면 보다 편리하다.

따라서 자동 반송 장치의 영역 내에서 작업 도중 또는 특정 장비 등을 운반하는 중에 대차(20)가 주행하는 영역 내에 사람이나 장비와 같은 장애물이 위치되면 장애물 감지 센서(40)를 통해 감지하여 고속으로 주행하는 대차(20)의 주행이 중지되게 함으로써 사람이나 장비와의 충돌을 미연에 방지시킬 수가 있게 되는 것이다.

특히 대차 이동 영역 내로 장애물이 진입하면 이를 대차(20)와는 별도로 구비되는 장애물 감지 센서(40)와 센서 제어부(50)를 통해 메인 센서(30)에서 전방의 대차(20)를 감지할 때와 동일하게 패드(53)를 감지하여 대차(20)의 이동을 중단시킬 수가 있게 함으로써 굳이 대차(20)에서의 복잡한 구조 변경을 방지할 수가 있도록 한다.

이와 같이 대차(20)가 주행하는 궤도(10)의 안쪽 즉 반도체 공정 설비가 구비되는 궤도(10)의 바깥쪽과는 대응되는 위치에 간단히 장애물 감지 센서(40)와 센서 제어부(50)가 설치되도록 함으로써 현재의 설비에서도 적용이 매우 용이하고, 정확한 대차(20)의 주행 제어가 되도록 하여 인명 보호 및 각종 설비와 대차(20)의 안전한 유지 관리가 가능하도록 한다.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특 허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 대차가 주행하는 과정에서 궤도의 일측으로 대차가 주행하는 영역 내에 특정한 장애물이 진입하게 되면 그 즉시 장애물 감지 신호에 의해 복수의 패드가 회전하면서 대차에 설치된 메인 센서에 의해 패드가 감지되도록 하여 앞선 대차를 감지할 때와 동일한 신호의 출력에 의해 주행 중이던 대차를 멈추게 하여 장애물들과의 충돌이 미연에 방지될 수 있도록 하는 것이다.

또한 본 발명은 대차와의 충돌에 의한 인사상 대형 사고를 방지하는 동시에 대단히 고가의 장비인 대차의 손상을 방지함으로써 치명적인 경제적 손실을 방지할 수가 있도록 한다.

특히 본 발명은 공정 수행 도중 대차와의 충돌로 인해 전체의 공정이 중단되는 심각한 사고를 예방할 수 있도록 한다.

Claims

천정에 설치되면서 곡선 구간과 직선 구간을 연결하여 폐회로를 이루는 궤도와;

상기 궤도를 따라 주행하면서 클램핑한 웨이퍼 캐리어를 공정 설비에 로딩/언로딩하도록 이동시키는 대차와;

상기 대차의 주행 방향의 정면 일측에서 전방의 대차를 감지하도록 구비되는 메인 센서와;

상기 궤도가 설치되는 천정에 고정 부재를 이용하여 고정되도록 하며, 상기 궤도의 상기 대차가 주행하는 직선 구간 중 상기 대차의 직하부를 감지하도록 구비되는 장애물 감지 센서와;

상기 장애물 감지 센서를 통해 감지되는 신호에 의해 장애물의 유무를 판단하는 컨트롤러와, 상기 컨트롤러로부터 출력되는 신호에 의해 구동되는 모터와, 상기 모터에 의해 회전하면서 주행 중인 상기 대차의 메인 센서에 의한 감지 영역에 위치되는 패드로 이루어지는 센서 제어부;

로서 구비되어 상기 메인 센서에서 상기 패드가 감지되면 주행 중인 상기 대차의 주행을 중단시킬 수 있도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 장애물 감지 센서는 상기 대차의 공정 설비가 구비 되는 외측에서 승강 가능하게 결합되는 핸드의 승강 작용에 간섭받지 않는 위치에 설치되는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 장애물 감지 센서는 레이저 센서로서 이루어지는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 센서 제어부의 상기 패드를 축회전 가능하게 결합한 모터는 고정 부재에 의해서 상기 궤도가 설치되는 천정에 고정되도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 센서 제어부의 상기 모터와 패드는 상기 궤도의 직선 구간에 일정한 간격을 두고 복수개가 설치되는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서 제어부의 패드는 상기 대차에서 정면에 설치되는 메인 센서와 동일한 높이에 형성되는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 센서 제어부의 모터는 일정한 각도를 정역회전하는 스텝 모터로 이루어지는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 장애물 감지 센서를 통해 장애물이 체크되면 램프 또는 버저와 같은 경고 수단을 작동시키도록 하는 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치.