JP3231344B2 - 基板の位置決め装置 - Google Patents
基板の位置決め装置Info
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- JP3231344B2 JP3231344B2 JP02074791A JP2074791A JP3231344B2 JP 3231344 B2 JP3231344 B2 JP 3231344B2 JP 02074791 A JP02074791 A JP 02074791A JP 2074791 A JP2074791 A JP 2074791A JP 3231344 B2 JP3231344 B2 JP 3231344B2
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- Japan
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- substrate
- sensor
- conveyor
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- chip
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板の位置決め装置に係
り、詳しくは、コンベヤによりチップの搭載ステージに
搬送される基板を、所定位置に停止させるための装置に
関する。
り、詳しくは、コンベヤによりチップの搭載ステージに
搬送される基板を、所定位置に停止させるための装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の基板の位置決め装置を示
している。図中、１はコンベヤ、２は基板、３は前工程
においてクリーム半田４により基板２に搭載されたチッ
プ、５は基板観察用カメラ、６はカメラ５の移動手段、
７はノズル８にチップ３を吸着して基板２に搭載する移
載ヘッド、９はシリンダ、１０はそのロッドである。次
に動作の説明を行う。
している。図中、１はコンベヤ、２は基板、３は前工程
においてクリーム半田４により基板２に搭載されたチッ
プ、５は基板観察用カメラ、６はカメラ５の移動手段、
７はノズル８にチップ３を吸着して基板２に搭載する移
載ヘッド、９はシリンダ、１０はそのロッドである。次
に動作の説明を行う。
【０００３】コンベヤ１により基板２が搬送されてくる
と、シリンダ９のロッド１０がコンベヤ１上へ突出して
基板２を停止させ、クランプ部材（図示せず）が基板２
をクランプして、基板２を位置決めする。次いでカメラ
５により、基板２に形成された認識マークを観察し、基
板２のＸＹθ方向の位置ずれを検出する。次いで移載ヘ
ッド７がＸＹ方向に移動しながら、チップ３を基板２に
搭載する。
と、シリンダ９のロッド１０がコンベヤ１上へ突出して
基板２を停止させ、クランプ部材（図示せず）が基板２
をクランプして、基板２を位置決めする。次いでカメラ
５により、基板２に形成された認識マークを観察し、基
板２のＸＹθ方向の位置ずれを検出する。次いで移載ヘ
ッド７がＸＹ方向に移動しながら、チップ３を基板２に
搭載する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来手段では、ロ
ッド１０をストッパーとし、このロッド１０に基板２が
衝突することにより、基板２をチップ３の搭載ステージ
に位置させるようになっていた。
ッド１０をストッパーとし、このロッド１０に基板２が
衝突することにより、基板２をチップ３の搭載ステージ
に位置させるようになっていた。
【０００５】ところが基板２の搬送速度はかなり速く
（例えば毎秒２００ミリメートル）、このため衝突時に
かなりの衝撃が発生し、この衝撃のために、前工程にお
いてクリーム半田４により基板２に搭載されたチップ３
が位置ずれしやすい問題点があった。
（例えば毎秒２００ミリメートル）、このため衝突時に
かなりの衝撃が発生し、この衝撃のために、前工程にお
いてクリーム半田４により基板２に搭載されたチップ３
が位置ずれしやすい問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、上記のような従来手段の
問題点を解消した基板の位置決め装置を提供することを
目的とする。
問題点を解消した基板の位置決め装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、コンベヤと、
このコンベヤを駆動するモータと、このコンベヤにより
搬送される基板を検出し、その検出信号に基づいて、上
記モータの駆動を停止させる第１のセンサと、基板の停
止位置を検出する第２のセンサと、この第２のセンサの
信号に基づいて、基板観察用カメラを上記基板に形成さ
れた認識マークの上方に位置させるべく、このカメラと
基板を相対的にＸＹ方向へ移動させる移動手段とから基
板の位置決め装置を構成している。
このコンベヤを駆動するモータと、このコンベヤにより
搬送される基板を検出し、その検出信号に基づいて、上
記モータの駆動を停止させる第１のセンサと、基板の停
止位置を検出する第２のセンサと、この第２のセンサの
信号に基づいて、基板観察用カメラを上記基板に形成さ
れた認識マークの上方に位置させるべく、このカメラと
基板を相対的にＸＹ方向へ移動させる移動手段とから基
板の位置決め装置を構成している。
【０００８】
【作用】上記構成において、コンベヤに搬送されてきた
基板を第１のセンサが検出すると、モータは一定時間
後、あるいは所定量回転後、その駆動を停止する。その
状態で、第２のセンサにより基板の停止位置が検出され
る。次いでこの第２のセンサの信号により、基板に対し
てカメラがＸＹ方向に相対的に移動し、このカメラによ
り基板の認識マークを観察して、基板のＸＹθ方向の停
止位置誤差を検出する。次いでその位置ずれを補正しな
がら、移載ヘッドによりチップを基板に搭載する。
基板を第１のセンサが検出すると、モータは一定時間
後、あるいは所定量回転後、その駆動を停止する。その
状態で、第２のセンサにより基板の停止位置が検出され
る。次いでこの第２のセンサの信号により、基板に対し
てカメラがＸＹ方向に相対的に移動し、このカメラによ
り基板の認識マークを観察して、基板のＸＹθ方向の停
止位置誤差を検出する。次いでその位置ずれを補正しな
がら、移載ヘッドによりチップを基板に搭載する。
【０００９】
【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１０】図１は基板の位置決め装置の側面図であ
る。１はベルトコンベヤであり、基板２をチップの搭載
ステージへ搬送する。３はチップであり、前工程におい
て、クリーム半田４により基板２に搭載されている。基
板２はリフロー前であって、クリーム半田４はペースト
状であり、基板２がショックを受けると、チップ３は位
置ずれしやすい状態にある。１１は第１のセンサ、１２
は第２のセンサであり、基板２の前端部などの特徴部を
検出する。
る。１はベルトコンベヤであり、基板２をチップの搭載
ステージへ搬送する。３はチップであり、前工程におい
て、クリーム半田４により基板２に搭載されている。基
板２はリフロー前であって、クリーム半田４はペースト
状であり、基板２がショックを受けると、チップ３は位
置ずれしやすい状態にある。１１は第１のセンサ、１２
は第２のセンサであり、基板２の前端部などの特徴部を
検出する。
【００１１】１３はコンベヤ１を駆動するモータ、１４
は制御部である。第１のセンサ１１がコンベヤ１により
搬送されてきた基板２を検出すると、所定時間後、ある
いはモータ１３が更に所定量回転した後、モータ１３の
駆動を停止させる。また第２のセンサ１２は、基板２の
停止位置を検出する。基板２の停止位置にはばらつきが
あり、基板２の停止位置が一定の範囲内でばらついて
も、基板２の前端部を検出できるように、第２のセンサ
１２は基板２の搬送方向にかなりの長さを有するリニヤ
センサが採用される。
は制御部である。第１のセンサ１１がコンベヤ１により
搬送されてきた基板２を検出すると、所定時間後、ある
いはモータ１３が更に所定量回転した後、モータ１３の
駆動を停止させる。また第２のセンサ１２は、基板２の
停止位置を検出する。基板２の停止位置にはばらつきが
あり、基板２の停止位置が一定の範囲内でばらついて
も、基板２の前端部を検出できるように、第２のセンサ
１２は基板２の搬送方向にかなりの長さを有するリニヤ
センサが採用される。
【００１２】６はＸＹテーブルから成る移動手段であっ
て、基板観察用カメラ５と、移載ヘッド７が装着されて
いる。８はチップ３を吸着するノズルである。
て、基板観察用カメラ５と、移載ヘッド７が装着されて
いる。８はチップ３を吸着するノズルである。
【００１３】カメラ５は基板２の上方に移動し、基板２
に検出された認識マークを検出して、基板２のＸＹθ方
向の位置ずれを検出する。また移載ヘッド７はＸＹ方向
に移動し、チップ３を基板２に搭載する。基板２のＸＹ
方向の位置ずれは、移載ヘッド７の移動ストロークを加
減することにより補正する。またθ方向の位置ずれは、
ノズル８をθ回転させることにより補正する。
に検出された認識マークを検出して、基板２のＸＹθ方
向の位置ずれを検出する。また移載ヘッド７はＸＹ方向
に移動し、チップ３を基板２に搭載する。基板２のＸＹ
方向の位置ずれは、移載ヘッド７の移動ストロークを加
減することにより補正する。またθ方向の位置ずれは、
ノズル８をθ回転させることにより補正する。
【００１４】本装置は上記のような構成より成り、次に
動作の説明を行う。コンベヤ１により基板２が搬送され
てくると、第１のセンサ１１が基板２を検出する。する
とその検出信号により、モータ１３は一定時間後、ある
いは所定量回転後、その駆動を停止する。次いでクラン
プ部材（図示せず）により、基板２をクランプして位置
決めし、その状態で、第２のセンサ１２により、基板２
の停止位置が検出される。
動作の説明を行う。コンベヤ１により基板２が搬送され
てくると、第１のセンサ１１が基板２を検出する。する
とその検出信号により、モータ１３は一定時間後、ある
いは所定量回転後、その駆動を停止する。次いでクラン
プ部材（図示せず）により、基板２をクランプして位置
決めし、その状態で、第２のセンサ１２により、基板２
の停止位置が検出される。
【００１５】次いで、このセンサ１２の検出信号に基づ
いて、移動手段６が駆動し、カメラ５は基板２の認識マ
ークの上方に移動する（図１鎖線参照）。次いでカメラ
５により、認識マークを観察して、基板２のＸＹθ方向
の停止位置誤差を検出する。次いで移載ヘッド７がチッ
プをピックアップし、基板２のＸＹθ方向の位置ずれを
補正しながら、基板２にチップ３が搭載される。
いて、移動手段６が駆動し、カメラ５は基板２の認識マ
ークの上方に移動する（図１鎖線参照）。次いでカメラ
５により、認識マークを観察して、基板２のＸＹθ方向
の停止位置誤差を検出する。次いで移載ヘッド７がチッ
プをピックアップし、基板２のＸＹθ方向の位置ずれを
補正しながら、基板２にチップ３が搭載される。
【００１６】本手段は、基板２に衝撃を与えることな
く、基板２を停止させ、このために生じる基板２の停止
位置誤差は、カメラ５により検出したうえで、チップ３
を基板２に搭載する際にこの停止位置誤差を補正するよ
うにしているので、上記従来手段のように、基板停止時
の衝撃により、前工程で搭載された基板２上のチップ３
が位置ずれすることはない。
く、基板２を停止させ、このために生じる基板２の停止
位置誤差は、カメラ５により検出したうえで、チップ３
を基板２に搭載する際にこの停止位置誤差を補正するよ
うにしているので、上記従来手段のように、基板停止時
の衝撃により、前工程で搭載された基板２上のチップ３
が位置ずれすることはない。
【００１７】上記実施例は、固定された基板２に対し
て、カメラ５や移載ヘッド７をＸＹ方向に移動させる方
式の実装装置に適用した場合を例にとって説明したが、
本発明は、基板２をＸＹテーブル上に位置決めし、この
ＸＹテーブルにより基板２をＸＹ方向に移動させなが
ら、基板の観察やチップの搭載を行う方式の実装装置に
も適用できる。
て、カメラ５や移載ヘッド７をＸＹ方向に移動させる方
式の実装装置に適用した場合を例にとって説明したが、
本発明は、基板２をＸＹテーブル上に位置決めし、この
ＸＹテーブルにより基板２をＸＹ方向に移動させなが
ら、基板の観察やチップの搭載を行う方式の実装装置に
も適用できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、コンベヤ
と、このコンベヤを駆動するモータと、このコンベヤに
より搬送される基板を検出し、その検出信号に基づい
て、上記モータの駆動を停止させる第１のセンサと、基
板の停止位置を検出する第２のセンサと、この第２のセ
ンサの信号に基づいて、基板観察用カメラを上記基板に
形成された認識マークの上方に位置させるべく、このカ
メラと基板を相対的にＸＹ方向へ移動させる移動手段と
から基板の位置決め装置を構成しているので、基板に衝
撃を与えることなく搭載ステージに停止させ、チップを
この基板に正しく搭載することができる。
と、このコンベヤを駆動するモータと、このコンベヤに
より搬送される基板を検出し、その検出信号に基づい
て、上記モータの駆動を停止させる第１のセンサと、基
板の停止位置を検出する第２のセンサと、この第２のセ
ンサの信号に基づいて、基板観察用カメラを上記基板に
形成された認識マークの上方に位置させるべく、このカ
メラと基板を相対的にＸＹ方向へ移動させる移動手段と
から基板の位置決め装置を構成しているので、基板に衝
撃を与えることなく搭載ステージに停止させ、チップを
この基板に正しく搭載することができる。
【図１】本発明の基板の位置決め装置の側面図
【図２】従来例の側面図
１ コンベヤ ２ 基板 ３ チップ ５ カメラ ６ 移動手段 ７ 移載ヘッド １１ 第１のセンサ １２ 第２のセンサ １３ モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−234499（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−12518（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−77981（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−6900（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−303200（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−172688（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−137834（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 コンベヤと、このコンベヤを駆動するモ
ータと、このコンベヤにより搬送される基板を検出し、
その検出信号に基づいて、上記モータの駆動を停止させ
る第１のセンサと、基板の停止位置を検出する第２のセ
ンサと、この第２のセンサの信号に基づいて、基板観察
用カメラを上記基板に形成された認識マークの上方に位
置させるべく、このカメラと基板を相対的にＸＹ方向へ
移動させる移動手段とから成ることを特徴とする基板の
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02074791A JP3231344B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 基板の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02074791A JP3231344B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 基板の位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04261718A JPH04261718A (ja) | 1992-09-17 |
| JP3231344B2 true JP3231344B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=12035787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02074791A Expired - Fee Related JP3231344B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 基板の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3231344B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5721072B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-05-20 | Ｊｕｋｉオートメーションシステムズ株式会社 | 部品実装装置、情報処理装置、位置検出方法及び基板製造方法 |
| CN109358439A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-02-19 | 深圳晶华显示器材有限公司 | 贴片机及贴片系统 |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP02074791A patent/JP3231344B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04261718A (ja) | 1992-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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