JP3328651B2 - 電子部品の実装方法 - Google Patents
電子部品の実装方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品の実装方法に係
り、熱等によるカメラの位置ずれを、予め求められたノ
ズルのセンター位置と、所定時間運転後にカメラにより
観察された同センター位置とを比較して求め、この位置
ずれに基づいて基板が位置決めされているＸＹテーブル
の移動ストロークを補正して、この基板に電子部品を搭
載することにより、電子部品の実装精度を向上するよう
にしたものである。
り、熱等によるカメラの位置ずれを、予め求められたノ
ズルのセンター位置と、所定時間運転後にカメラにより
観察された同センター位置とを比較して求め、この位置
ずれに基づいて基板が位置決めされているＸＹテーブル
の移動ストロークを補正して、この基板に電子部品を搭
載することにより、電子部品の実装精度を向上するよう
にしたものである。
【０００２】
【従来の技術】ロータリーヘッド式電子部品実装装置
は、ロータリーヘッドをインデックス回転させながら、
このロータリーヘッドに設けられた移載ヘッドのノズル
により、パーツフィーダの電子部品をピックアップし、
この移載ヘッドの移動路の途中に設けられたカメラによ
り、このノズルに吸着された電子部品の位置ずれを検出
した後、この電子部品をＸＹテーブルに位置決めされた
基板に搭載するようになっている。
は、ロータリーヘッドをインデックス回転させながら、
このロータリーヘッドに設けられた移載ヘッドのノズル
により、パーツフィーダの電子部品をピックアップし、
この移載ヘッドの移動路の途中に設けられたカメラによ
り、このノズルに吸着された電子部品の位置ずれを検出
した後、この電子部品をＸＹテーブルに位置決めされた
基板に搭載するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ロータリーヘッド式実
装装置は、毎秒５個以上の電子部品実装が可能なことか
ら、高速実装装置として広く普及している。ところが、
この電子部品の実装精度が十分に上がりにくい問題点が
あった。その原因の一つは、周辺に配設されたモータな
どの熱源の影響により、構成部品が熱膨張してカメラの
位置がずれてしまい、認識誤差を生じる点にあることを
本発明者は突き止めた。勿論カメラの位置ずれの原因と
しては、熱による変形以外にも、機械的な変形も考えら
れる。
装装置は、毎秒５個以上の電子部品実装が可能なことか
ら、高速実装装置として広く普及している。ところが、
この電子部品の実装精度が十分に上がりにくい問題点が
あった。その原因の一つは、周辺に配設されたモータな
どの熱源の影響により、構成部品が熱膨張してカメラの
位置がずれてしまい、認識誤差を生じる点にあることを
本発明者は突き止めた。勿論カメラの位置ずれの原因と
しては、熱による変形以外にも、機械的な変形も考えら
れる。
【０００４】そこで本発明は、熱等によるカメラの位置
ずれを補正して、電子部品の実装精度を向上することが
できる電子部品の実装方法を提供することを目的とす
る。
ずれを補正して、電子部品の実装精度を向上することが
できる電子部品の実装方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ロ
ータリーヘッドをインデックス回転させながら、このロ
ータリーヘッドに設けられた移載ヘッドのノズルによ
り、パーツフィーダの電子部品をピックアップし、この
移載ヘッドの移動路の途中に設けられたカメラにより、
このノズルに吸着された電子部品の位置ずれを検出した
後、この電子部品をＸＹテーブルに位置決めされた基板
に搭載するようにした電子部品の実装方法において、上
記カメラにより上記ノズルのセンター位置を予め求め
て、このセンター位置をコンピュータに登録しておき、
運転中に上記ノズルを上記カメラにより再度観察してそ
のセンター位置を検出し、このセンター位置と、上記登
録されたセンター位置を比較して、このセンター位置の
位置ずれを求め、この位置ずれに基づいて上記ＸＹテー
ブルの移動ストロークを補正して、この基板に上記電子
部品を搭載するようにしたものである。
ータリーヘッドをインデックス回転させながら、このロ
ータリーヘッドに設けられた移載ヘッドのノズルによ
り、パーツフィーダの電子部品をピックアップし、この
移載ヘッドの移動路の途中に設けられたカメラにより、
このノズルに吸着された電子部品の位置ずれを検出した
後、この電子部品をＸＹテーブルに位置決めされた基板
に搭載するようにした電子部品の実装方法において、上
記カメラにより上記ノズルのセンター位置を予め求め
て、このセンター位置をコンピュータに登録しておき、
運転中に上記ノズルを上記カメラにより再度観察してそ
のセンター位置を検出し、このセンター位置と、上記登
録されたセンター位置を比較して、このセンター位置の
位置ずれを求め、この位置ずれに基づいて上記ＸＹテー
ブルの移動ストロークを補正して、この基板に上記電子
部品を搭載するようにしたものである。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、予めカメラにより移載ヘッ
ドのノズルのセンター位置を求めて、このセンター位置
をコンピュータに登録しておき、運転中にこのノズルを
上記カメラにより再度観察してそのセンター位置を検出
し、このセンター位置と、上記登録されたセンター位置
を比較して、このセンター位置の位置ずれを求め、この
位置ずれに基づいて基板が位置決めされたＸＹテーブル
の移動ストロークを補正して、この基板に電子部品を搭
載することにより、熱によるカメラの位置ずれを補正し
て、この電子部品の実装精度を向上させることができ
る。
ドのノズルのセンター位置を求めて、このセンター位置
をコンピュータに登録しておき、運転中にこのノズルを
上記カメラにより再度観察してそのセンター位置を検出
し、このセンター位置と、上記登録されたセンター位置
を比較して、このセンター位置の位置ずれを求め、この
位置ずれに基づいて基板が位置決めされたＸＹテーブル
の移動ストロークを補正して、この基板に電子部品を搭
載することにより、熱によるカメラの位置ずれを補正し
て、この電子部品の実装精度を向上させることができ
る。
【０００７】
【実施例】（実施例１）次に、図面を参照しながら本発
明の実施例を説明する。
明の実施例を説明する。
【０００８】図１は本発明に係る電子部品実装装置の平
面図である。１はロータリーヘッドであり、それぞれ４
本のノズル２が装着されたマルチノズルヘッド式の移載
ヘッド３を多数個備えている。この移載ヘッド３は、パ
ルスモータ（図外）により軸心を中心に回転して、使用
するノズル２を選択できるようになっている。４は電子
部品供給装置であり、ロータリーヘッド１の周縁部の下
方に配設されて、この移載ヘッド３にパーツフィーダ５
の電子部品を供給する。６はボールねじ、７はモータで
あり、このモータ７の駆動によりボールねじ６を回転さ
せパーツフィーダ５を横方向に移動させながら、ピック
アップ位置に到達したこのパーツフィーダ５の電子部品
を、移載ヘッド３を昇降させてノズル２により吸着して
ピックアップする。
面図である。１はロータリーヘッドであり、それぞれ４
本のノズル２が装着されたマルチノズルヘッド式の移載
ヘッド３を多数個備えている。この移載ヘッド３は、パ
ルスモータ（図外）により軸心を中心に回転して、使用
するノズル２を選択できるようになっている。４は電子
部品供給装置であり、ロータリーヘッド１の周縁部の下
方に配設されて、この移載ヘッド３にパーツフィーダ５
の電子部品を供給する。６はボールねじ、７はモータで
あり、このモータ７の駆動によりボールねじ６を回転さ
せパーツフィーダ５を横方向に移動させながら、ピック
アップ位置に到達したこのパーツフィーダ５の電子部品
を、移載ヘッド３を昇降させてノズル２により吸着して
ピックアップする。
【０００９】８は電子部品Ｐが搭載される基板、９はこ
の基板８が位置決めされるＸＹテーブルであり、ロータ
リーヘッド１の下方の電子部品供給装置４に対向する側
に配設されている。このＸＹテーブル９には、Ｘ方向の
モータＭＸ１、Ｙ方向のモータＭＹ１が配設されてい
る。これらのモータＭＸ１、ＭＹ１を駆動することで、
基板８を載置したＸＹテーブル９がＸＹ方向に移動し、
基板８の所定位置に電子部品Ｐが搭載される。
の基板８が位置決めされるＸＹテーブルであり、ロータ
リーヘッド１の下方の電子部品供給装置４に対向する側
に配設されている。このＸＹテーブル９には、Ｘ方向の
モータＭＸ１、Ｙ方向のモータＭＹ１が配設されてい
る。これらのモータＭＸ１、ＭＹ１を駆動することで、
基板８を載置したＸＹテーブル９がＸＹ方向に移動し、
基板８の所定位置に電子部品Ｐが搭載される。
【００１０】図２において、１０はこの移載ヘッド３の
移動路の途中に設けられたカメラであり、このノズル２
に吸着された電子部品の位置ずれを検出する。このカメ
ラ１０は、取付部材１１を介してＸＹテーブル１３上に
載置されている。このＸＹテーブル１３にはＸ方向のモ
ータＭＸ２、Ｙ方向のモータＭＹ２が配設されている。
これらのモータＭＸ２、ＭＹ２を駆動することで、カメ
ラ１０はＸＹ方向に移動し、その視野を切り換える。図
１において、１４は上記モータＭＸ１、ＭＹ１等の本装
置を制御するコンピュータである。
移動路の途中に設けられたカメラであり、このノズル２
に吸着された電子部品の位置ずれを検出する。このカメ
ラ１０は、取付部材１１を介してＸＹテーブル１３上に
載置されている。このＸＹテーブル１３にはＸ方向のモ
ータＭＸ２、Ｙ方向のモータＭＹ２が配設されている。
これらのモータＭＸ２、ＭＹ２を駆動することで、カメ
ラ１０はＸＹ方向に移動し、その視野を切り換える。図
１において、１４は上記モータＭＸ１、ＭＹ１等の本装
置を制御するコンピュータである。
【００１１】本装置は上記のような構成により成り、次
に動作を説明する。図１および図３に示すように、まず
ＸＹテーブル１３を駆動してカメラ１０をＸＹ方向に移
動させ、カメラ１０を任意に選択されたノズル２の直下
に位置させて、ノズル２のセンター位置Ｃを予め求め、
このセンター位置Ｃをコンピュータ１４に登録してお
く。具体的には、図３に示すようにカメラ１０の視野Ｅ
１のセンター位置Ｅ１′を、ノズル２のセンター位置Ｃ
に合わせて、これをコンピュータ１４に登録しておく。
勿論、ノズル２のセンター位置Ｃの検出方法は、この方
法に限定されない。
に動作を説明する。図１および図３に示すように、まず
ＸＹテーブル１３を駆動してカメラ１０をＸＹ方向に移
動させ、カメラ１０を任意に選択されたノズル２の直下
に位置させて、ノズル２のセンター位置Ｃを予め求め、
このセンター位置Ｃをコンピュータ１４に登録してお
く。具体的には、図３に示すようにカメラ１０の視野Ｅ
１のセンター位置Ｅ１′を、ノズル２のセンター位置Ｃ
に合わせて、これをコンピュータ１４に登録しておく。
勿論、ノズル２のセンター位置Ｃの検出方法は、この方
法に限定されない。
【００１２】このようにしてノズル２のセンター位置Ｃ
を求めたならば、通常の実装運転を開始する。すなわち
図１において、ロータリーヘッド１を反時計回りにイン
デックス回転させながら、移載ヘッド３のノズル２によ
り、パーツフィーダ５の電子部品をピックアップし、基
板８へ向かって移送する。この移載ヘッド３の移動路の
途中で、上記カメラ１０により、このノズル２に吸着さ
れた電子部品の位置ずれを検出し、次いでこの電子部品
をＸＹテーブル９上の基板８に搭載する。なお、上記位
置ずれがあった場合には、検出データに基づいてコンピ
ュータ１４からモータＭＸ１、ＭＹ１に指令を出し、そ
の位置ずれに応じてＸＹテーブル９をＸＹ方向の移動ス
トロークを調整して、この位置ずれの補正を行う。
を求めたならば、通常の実装運転を開始する。すなわち
図１において、ロータリーヘッド１を反時計回りにイン
デックス回転させながら、移載ヘッド３のノズル２によ
り、パーツフィーダ５の電子部品をピックアップし、基
板８へ向かって移送する。この移載ヘッド３の移動路の
途中で、上記カメラ１０により、このノズル２に吸着さ
れた電子部品の位置ずれを検出し、次いでこの電子部品
をＸＹテーブル９上の基板８に搭載する。なお、上記位
置ずれがあった場合には、検出データに基づいてコンピ
ュータ１４からモータＭＸ１、ＭＹ１に指令を出し、そ
の位置ずれに応じてＸＹテーブル９をＸＹ方向の移動ス
トロークを調整して、この位置ずれの補正を行う。
【００１３】図３において、所定の運転時間が経過した
後、上記選択されたノズル２をカメラ１０により再度観
察してそのセンター位置Ｃを検出し、コンピュータ１４
において、このセンター位置Ｃと、上記登録されたセン
ター位置Ｃを比較して、このセンター位置ＣのＸＹ方向
の位置ずれΔＸ、ΔＹを求める。具体的には、再観察時
におけるカメラ１０の視野Ｅ２のセンター位置Ｅ２′
と、予め記憶されたセンター位置Ｅ１′を比較すること
で、間接的にカメラ１０の位置ずれΔＸ、ΔＹを求め
る。なお、複数個のノズルをカメラ１０により観察し
て、それぞれの位置ずれを求め、これらの位置ずれの平
均値を算出して、これをカメラ１０の位置ずれとしても
よく、このようにすれば、位置ずれ検出精度を上げるこ
とができる。
後、上記選択されたノズル２をカメラ１０により再度観
察してそのセンター位置Ｃを検出し、コンピュータ１４
において、このセンター位置Ｃと、上記登録されたセン
ター位置Ｃを比較して、このセンター位置ＣのＸＹ方向
の位置ずれΔＸ、ΔＹを求める。具体的には、再観察時
におけるカメラ１０の視野Ｅ２のセンター位置Ｅ２′
と、予め記憶されたセンター位置Ｅ１′を比較すること
で、間接的にカメラ１０の位置ずれΔＸ、ΔＹを求め
る。なお、複数個のノズルをカメラ１０により観察し
て、それぞれの位置ずれを求め、これらの位置ずれの平
均値を算出して、これをカメラ１０の位置ずれとしても
よく、このようにすれば、位置ずれ検出精度を上げるこ
とができる。
【００１４】次いで、コンピュータ１４からの指令によ
り、この位置ずれΔＸ、ΔＹに基づいて上記ＸＹテーブ
ル９の移動ストロークを補正して、この基板８に上記電
子部品Ｐを搭載する。このようにすることで、周辺配設
されたモータなどの熱により、取付部材１１などが熱変
形するなどして生じたカメラ１０の位置ずれを補正し
て、この電子部品Ｐの実装精度を向上させることができ
る。
り、この位置ずれΔＸ、ΔＹに基づいて上記ＸＹテーブ
ル９の移動ストロークを補正して、この基板８に上記電
子部品Ｐを搭載する。このようにすることで、周辺配設
されたモータなどの熱により、取付部材１１などが熱変
形するなどして生じたカメラ１０の位置ずれを補正し
て、この電子部品Ｐの実装精度を向上させることができ
る。
【００１５】（実施例２） ところで、使用するノズルを選択するために移載ヘッド
３を回転させるとノズルの回転停止位置に誤差が発生
し、その回転角度の誤差により、ノズルにはＸＹ方向の
位置ずれが生じる。すなわち図５において、Ｏは移載ヘ
ッド３の回転中心、２は回転停止位置誤差のないノズ
ル、２′は回転停止位置誤差のあるノズル、Δθは回転
角度の誤差である。図から明らかなように、Ｘ軸上のノ
ズル２（移載ヘッド３の回転中心Ｏから見てＸ方向に位
置するノズル）は、Ｘ方向の誤差ΔＸ′はきわめて小さ
く、Ｙ方向の誤差ΔＹ′は大きい。またＹ軸上のノズル
２（移載ヘッド３の回転中心Ｏから見てＹ方向に位置す
るノズル）は、Ｙ方向の誤差ΔＹ′はきわめて小さく、
Ｘ方向の誤差ΔＸ′は大きい。換言すれば、Ｘ軸上のノ
ズル２を観察してＸ方向の上記位置ずれΔＸ′を検出す
れば、これにはＹ方向の大きな誤差ΔＹ′は含まれず、
Ｘ方向のきわめて小さな誤差ΔＸ′のみが含まれる。同
様に、Ｙ軸上のノズル２を観察すれば、Ｘ方向の大きな
誤差ΔＸ′は含まれず、Ｙ方向のきわめて小さな誤差Δ
Ｙ′のみが含まれることとなる。そこでこのような点を
勘案して、次に上記回転角度の誤差Δθに起因する誤差
ΔＸ′，ΔＹ′の解消方法を説明する。
３を回転させるとノズルの回転停止位置に誤差が発生
し、その回転角度の誤差により、ノズルにはＸＹ方向の
位置ずれが生じる。すなわち図５において、Ｏは移載ヘ
ッド３の回転中心、２は回転停止位置誤差のないノズ
ル、２′は回転停止位置誤差のあるノズル、Δθは回転
角度の誤差である。図から明らかなように、Ｘ軸上のノ
ズル２（移載ヘッド３の回転中心Ｏから見てＸ方向に位
置するノズル）は、Ｘ方向の誤差ΔＸ′はきわめて小さ
く、Ｙ方向の誤差ΔＹ′は大きい。またＹ軸上のノズル
２（移載ヘッド３の回転中心Ｏから見てＹ方向に位置す
るノズル）は、Ｙ方向の誤差ΔＹ′はきわめて小さく、
Ｘ方向の誤差ΔＸ′は大きい。換言すれば、Ｘ軸上のノ
ズル２を観察してＸ方向の上記位置ずれΔＸ′を検出す
れば、これにはＹ方向の大きな誤差ΔＹ′は含まれず、
Ｘ方向のきわめて小さな誤差ΔＸ′のみが含まれる。同
様に、Ｙ軸上のノズル２を観察すれば、Ｘ方向の大きな
誤差ΔＸ′は含まれず、Ｙ方向のきわめて小さな誤差Δ
Ｙ′のみが含まれることとなる。そこでこのような点を
勘案して、次に上記回転角度の誤差Δθに起因する誤差
ΔＸ′，ΔＹ′の解消方法を説明する。
【００１６】図４において、上述した方法と同様の手法
により、まずＸ軸上のノズル２のＸ方向の位置ずれΔＸ
を検出する。次いで、カメラ１０を９０°移動させて、
Ｙ軸上にあるノズル２′のＹ方向の位置ずれΔＹを検出
する。このように、Ｘ軸上のノズル２でＸ方向の位置ず
れΔＸを検出し、またＹ軸上のノズル２′でＹ方向の位
置ずれΔＹを個別に検出することにより、上記回転角度
誤差Δθに起因する位置ずれΔＸ′，ΔＹ′を実質的に
解消し、ノズルの位置ずれΔＸ，ΔＹを正確に求めるこ
とができる。
により、まずＸ軸上のノズル２のＸ方向の位置ずれΔＸ
を検出する。次いで、カメラ１０を９０°移動させて、
Ｙ軸上にあるノズル２′のＹ方向の位置ずれΔＹを検出
する。このように、Ｘ軸上のノズル２でＸ方向の位置ず
れΔＸを検出し、またＹ軸上のノズル２′でＹ方向の位
置ずれΔＹを個別に検出することにより、上記回転角度
誤差Δθに起因する位置ずれΔＸ′，ΔＹ′を実質的に
解消し、ノズルの位置ずれΔＸ，ΔＹを正確に求めるこ
とができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、予めカメ
ラにより移載ヘッドのノズルのセンター位置を求めてコ
ンピュータに登録しておき、運転中に上記ノズルを上記
カメラにより再度観察してそのセンター位置を検出し、
このセンター位置と、上記登録されたセンター位置を比
較して、このセンター位置の位置ずれを求め、この位置
ずれに基づいて基板が位置決めされたＸＹテーブルの移
動ストロークを補正して基板に電子部品を搭載するに際
し、上記位置ずれのうち、Ｘ方向の位置ずれは移載ヘッ
ドの回転中心から見てＸ方向に位置するノズルをカメラ
で観察して検出し、Ｙ方向の位置ずれはＹ方向に位置す
るノズルをカメラで観察して検出するので、移載ヘッド
の回転角度の誤差が生じた場合でも熱等によるカメラの
位置ずれを正確に検出して補正を行うので電子部品の実
装精度を向上させることができる。
ラにより移載ヘッドのノズルのセンター位置を求めてコ
ンピュータに登録しておき、運転中に上記ノズルを上記
カメラにより再度観察してそのセンター位置を検出し、
このセンター位置と、上記登録されたセンター位置を比
較して、このセンター位置の位置ずれを求め、この位置
ずれに基づいて基板が位置決めされたＸＹテーブルの移
動ストロークを補正して基板に電子部品を搭載するに際
し、上記位置ずれのうち、Ｘ方向の位置ずれは移載ヘッ
ドの回転中心から見てＸ方向に位置するノズルをカメラ
で観察して検出し、Ｙ方向の位置ずれはＹ方向に位置す
るノズルをカメラで観察して検出するので、移載ヘッド
の回転角度の誤差が生じた場合でも熱等によるカメラの
位置ずれを正確に検出して補正を行うので電子部品の実
装精度を向上させることができる。
【図１】本発明に係る電子部品実装装置の平面図
【図２】同装置の要部正面図
【図３】本発明に係るノズルの位置ずれ検出の説明図
【図４】本発明に係るノズルの位置ずれ検出の説明図
【図５】本発明に係るノズルの回転誤差の解消方法の説
明図
明図
２ ノズル ３ 移載ヘッド ８ 基板 ９ ＸＹテーブル １０ カメラ １４ コンピュータ Ｃ センター位置 Ｐ 電子部品
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−215100（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−191400（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】ロータリーヘッドをインデックス回転させ
ながら、このロータリーヘッドに設けられた移載ヘッド
の回転中心から離れた位置に装着されたノズルにより、
パーツフィーダの電子部品をピックアップし、この移載
ヘッドの移動路の途中に設けられたカメラにより、この
ノズルに吸着された電子部品の位置ずれを検出した後、
この電子部品をＸＹテーブルに位置決めされた基板に搭
載するようにした電子部品の実装方法において、上記カ
メラにより上記ノズルのセンター位置を予め求めて、こ
のセンター位置をコンピュータに登録しておき、運転中
に上記ノズルを上記カメラにより再度観察してそのセン
ター位置を検出し、このセンター位置と、上記登録され
たセンター位置を比較して、このセンター位置の位置ず
れを求め、この位置ずれに基づいて上記ＸＹテーブルの
移動ストロークを補正して、この基板に上記電子部品を
搭載するようにし、前記位置ずれのうちＸ方向の位置ず
れは前記移載ヘッドの回転中心から見てＸ方向に位置す
るノズルを前記カメラで観察して検出し、Ｙ方向の位置
ずれは前記移載ヘッドの回転中心から見てＹ方向に位置
するノズルを前記カメラで観察して検出することを特徴
とする電子部品の実装方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20783691A JP3328651B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 電子部品の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20783691A JP3328651B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 電子部品の実装方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0548298A JPH0548298A (ja) | 1993-02-26 |
| JP3328651B2 true JP3328651B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=16546329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20783691A Expired - Fee Related JP3328651B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 電子部品の実装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3328651B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2823481B2 (ja) * | 1993-05-26 | 1998-11-11 | 三洋電機株式会社 | 電子部品自動装着装置 |
| JP6600243B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2019-10-30 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装装置、表面実装機および部品の実装方法 |
-
1991
- 1991-08-20 JP JP20783691A patent/JP3328651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0548298A (ja) | 1993-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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