JPS637820A - クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置Info
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- JPS637820A JPS637820A JP15090286A JP15090286A JPS637820A JP S637820 A JPS637820 A JP S637820A JP 15090286 A JP15090286 A JP 15090286A JP 15090286 A JP15090286 A JP 15090286A JP S637820 A JPS637820 A JP S637820A
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 3
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- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、クリーンルームに敷設された防塵フィルタの
防塵性能を検査する検査装置に関するものである。
防塵性能を検査する検査装置に関するものである。
（従来の技術）
半導体装置等の精密部品を製造する工場等では部品に対
して塵などの粒子が混入して性能を劣化させないように
するため、天井側に防塵フィルタを敷設し、この防塵フ
ィルタから常に消浄な空気を吹込んで部屋全体を極めて
高い清浄度に保ったクリーンルームを設茸し、このクリ
ーンルームで上記のような精密部品を製造している。
して塵などの粒子が混入して性能を劣化させないように
するため、天井側に防塵フィルタを敷設し、この防塵フ
ィルタから常に消浄な空気を吹込んで部屋全体を極めて
高い清浄度に保ったクリーンルームを設茸し、このクリ
ーンルームで上記のような精密部品を製造している。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、防塵フィルタにピンホールなどの細かい穴が
発生すると、防塵性能が大きく低下するため、部屋全体
の清浄度が保てなくなる。
発生すると、防塵性能が大きく低下するため、部屋全体
の清浄度が保てなくなる。
そこで、従来はクリーンルームの竣工時あるいは定期検
査時に、係員が粒子計測器をクリーンルーム内に持込ん
で、この粒子計測器によって多くの防塵フィルタからの
吐出空気に含まれる粒子数を検査するようにしていた。
査時に、係員が粒子計測器をクリーンルーム内に持込ん
で、この粒子計測器によって多くの防塵フィルタからの
吐出空気に含まれる粒子数を検査するようにしていた。
しかしながら、この ゛ような係員による検査作業
では、人体からの発塵もあるため、精度の高い検査結果
が得られないうえ、時間がかかると同時に、粒子計測器
のプローブを同じ姿勢で保持するのに大きな苦痛を伴う
という問題があった。
では、人体からの発塵もあるため、精度の高い検査結果
が得られないうえ、時間がかかると同時に、粒子計測器
のプローブを同じ姿勢で保持するのに大きな苦痛を伴う
という問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は防塵フィルタの防塵性能を自動釣に高精度で炉時間
のうちに検査することができるクリーンルームの防塵フ
ィルタ検査装置を提供することにある。
的は防塵フィルタの防塵性能を自動釣に高精度で炉時間
のうちに検査することができるクリーンルームの防塵フ
ィルタ検査装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、各防塵フィルタの取付は枠に設けられた標識
を光学的に検出して該標識の位置を参照して予め設定さ
れた径路に沿って走行する無人走行車と、この無人走行
車に搭載され、アーム先端に取付けたプローブを走査し
て指定の防塵フィルタから空気を吸入するマニピュレー
タと、吸入した空気中に含まれる塵の粒子数を計測する
無人走行車搭載の粒子計測器と、計測された粒子数を防
塵フィルタ別に記ｌし、表示装置または印字装置に出力
する記憶装置とから構成したものである。
を光学的に検出して該標識の位置を参照して予め設定さ
れた径路に沿って走行する無人走行車と、この無人走行
車に搭載され、アーム先端に取付けたプローブを走査し
て指定の防塵フィルタから空気を吸入するマニピュレー
タと、吸入した空気中に含まれる塵の粒子数を計測する
無人走行車搭載の粒子計測器と、計測された粒子数を防
塵フィルタ別に記ｌし、表示装置または印字装置に出力
する記憶装置とから構成したものである。
（作用）
無人走行車は防塵フィルタの取付は枠に設けた標識を参
考にして予め設定された径路で走行する。
考にして予め設定された径路で走行する。
この走行途中で防塵フィルタの吐出空気がマニピュレー
タに取付けたプローブによって吸入され、その中に含ま
れる粒子数が計測される。そして、その計測値は防塵フ
ィルタ別に記憶装置に記憶された後、印字装置で印字、
または表示Ｈｆ１２に表示される。
タに取付けたプローブによって吸入され、その中に含ま
れる粒子数が計測される。そして、その計測値は防塵フ
ィルタ別に記憶装置に記憶された後、印字装置で印字、
または表示Ｈｆ１２に表示される。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示すクリーンルームと無人
走行車の斜視図であり、クリーンルーム１の天井には所
望の形状の多数の防塵フィルタ２が取付は枠３に整然と
取付けられており、さらに取付は枠３には無人走行車４
を誘導するための再帰反射性材料等の高反射率を有する
標識５がそれぞれの防塵フィルタ単位で設けられている
。
走行車の斜視図であり、クリーンルーム１の天井には所
望の形状の多数の防塵フィルタ２が取付は枠３に整然と
取付けられており、さらに取付は枠３には無人走行車４
を誘導するための再帰反射性材料等の高反射率を有する
標識５がそれぞれの防塵フィルタ単位で設けられている
。
第２図（ａ）はクリーンルームの天井の透視図であり、
無人走行車４は矢印で示すように２列の防塵フィルタ２
の間の通路に沿って進んで標識５で示される計測基準位
１ｆｆＰｏで一旦停止し、位置ＰＯにおける左右両側に
ある計測対象の２枚の防塵フィルタからの吐出粒子数を
マニピュレータ６のアーム先端に取付けたプローブ７を
走査することによって計測する。この計測が終了したな
らば次の計測基準位置Ｐ１に進んで同様の計測を行う。
無人走行車４は矢印で示すように２列の防塵フィルタ２
の間の通路に沿って進んで標識５で示される計測基準位
１ｆｆＰｏで一旦停止し、位置ＰＯにおける左右両側に
ある計測対象の２枚の防塵フィルタからの吐出粒子数を
マニピュレータ６のアーム先端に取付けたプローブ７を
走査することによって計測する。この計測が終了したな
らば次の計測基準位置Ｐ１に進んで同様の計測を行う。
このような計測は矢印で示す通路に沿って無人走行車を
走行させることにより、全ての防塵フィルタについて実
施される。
走行させることにより、全ての防塵フィルタについて実
施される。
この場合、標識５は無人走行車４の前方側に設けた＆ｌ
カメラで検出するが、第２図（ｂ）に示すように無人走
行車４が逆行方向前方のクリーンルーム壁面に最も近い
計測基準位置Ｐ１まで達すると、その前方の標識が実在
しなくなり、走行径路を判断できなくなる。そこで、第
２図＜Ｃ＞に示すようにクリーンルーム１のほぼ手分の
距離を進んだら無人走行車４を後進状態に切替え、隣り
の列の通路に侵入したならば再び前進状態に切替えて各
列の防塵フィルタ２を検査するようにしている。
カメラで検出するが、第２図（ｂ）に示すように無人走
行車４が逆行方向前方のクリーンルーム壁面に最も近い
計測基準位置Ｐ１まで達すると、その前方の標識が実在
しなくなり、走行径路を判断できなくなる。そこで、第
２図＜Ｃ＞に示すようにクリーンルーム１のほぼ手分の
距離を進んだら無人走行車４を後進状態に切替え、隣り
の列の通路に侵入したならば再び前進状態に切替えて各
列の防塵フィルタ２を検査するようにしている。
第３図は無人走行車４に搭載する各種は器の構成を示す
ブロック図であり、走行コントローラ１０はＦＭ送受信
□１１を介して検査開始指令を受信すると、無人走行車
の左右の車輪に対する回転指令を出力し、該指令をサー
ボアンプ１２．１３を介して車輪軸のモータ１４，１５
に入力する。
ブロック図であり、走行コントローラ１０はＦＭ送受信
□１１を介して検査開始指令を受信すると、無人走行車
の左右の車輪に対する回転指令を出力し、該指令をサー
ボアンプ１２．１３を介して車輪軸のモータ１４，１５
に入力する。
これにより、左右の車輪が回転し始め、走行車は走行開
始となる。−方、視覚コントローラ１６は囮像カメラ１
７から入力された進行方向前方の映像信号によって標識
５を検出すると共に、走行車４が予め設定された走行径
路に対してどれだけの横ずれ（ε）および偏角（φ）を
有しているかを複数側の標識５を結んだ線画像によって
判定し、その判定結果を走行コントローラ１０に転送す
る。
始となる。−方、視覚コントローラ１６は囮像カメラ１
７から入力された進行方向前方の映像信号によって標識
５を検出すると共に、走行車４が予め設定された走行径
路に対してどれだけの横ずれ（ε）および偏角（φ）を
有しているかを複数側の標識５を結んだ線画像によって
判定し、その判定結果を走行コントローラ１０に転送す
る。
すると、走行コントローラ１０は検出された横ずれ（ε
）と偏角（φ）とに基づいてε＝φ＝０となるように操
舵角δを制御する。操舵角δは左右の車輪の回転数を変
えることによって制御する。
）と偏角（φ）とに基づいてε＝φ＝０となるように操
舵角δを制御する。操舵角δは左右の車輪の回転数を変
えることによって制御する。
このようにして設定の走行径路に沿って進み始めたこと
により、走行車４が第ｎ番目（ｎ＝１゜２・・・）の計
測基準位置ｐｎに到着すると、走行コントローラ１ｏは
車輪の回転を一旦停止させ、現在位置における防塵フィ
ルタ２の防塵性能の検査を開始させるべくアームコント
ローラ１８に対して計測開始指令を入力する。すると、
アームコントローラ１８はマニピュレータ６のベースの
旋回角θ１．第１アームの傾斜角θ２．第２アームの傾
斜角θ３をそれぞれ制御するための信号をサーボアンプ
１９．２０．２１を介してモータ２２゜２３．２４に供
給し、これらのモータ２２〜２４の回転量によって６１
．θ２．θ３を制御し、第２アームの先端に取付けたプ
Ｏ−プ７を計測対象の防塵フィルタ２の表面で走査させ
る。これにより、プローブ７からの吐出空気に含まれる
粒子数が粒子計測器２５によって計測される。この計測
値は液晶表示器、キーボードおよび外部記憶装置とから
成るターミナル２６に転送されて防塵フィルタの番号と
取付は位置の情報が付加された形式で記憶される。
により、走行車４が第ｎ番目（ｎ＝１゜２・・・）の計
測基準位置ｐｎに到着すると、走行コントローラ１ｏは
車輪の回転を一旦停止させ、現在位置における防塵フィ
ルタ２の防塵性能の検査を開始させるべくアームコント
ローラ１８に対して計測開始指令を入力する。すると、
アームコントローラ１８はマニピュレータ６のベースの
旋回角θ１．第１アームの傾斜角θ２．第２アームの傾
斜角θ３をそれぞれ制御するための信号をサーボアンプ
１９．２０．２１を介してモータ２２゜２３．２４に供
給し、これらのモータ２２〜２４の回転量によって６１
．θ２．θ３を制御し、第２アームの先端に取付けたプ
Ｏ−プ７を計測対象の防塵フィルタ２の表面で走査させ
る。これにより、プローブ７からの吐出空気に含まれる
粒子数が粒子計測器２５によって計測される。この計測
値は液晶表示器、キーボードおよび外部記憶装置とから
成るターミナル２６に転送されて防塵フィルタの番号と
取付は位置の情報が付加された形式で記憶される。
このような動作が計測基準点毎に行なわれることにより
、全ての防塵フィルタ２の防塵性能が検査される。
、全ての防塵フィルタ２の防塵性能が検査される。
この場合、無人走行車４の走行距離およびマニピュレー
タ６によるブ０−７７の走査動作を制御するために、天
井高さ、防塵フィルタ寸法（Ｘ。
タ６によるブ０−７７の走査動作を制御するために、天
井高さ、防塵フィルタ寸法（Ｘ。
ｙ方向）、取付は枠の幅（ｘ、ｙ方向）がターミナル部
２６のキーボードから走行コントローラ１０、視覚コン
トローラ１６およびアームコントローラ１８に与えられ
る。さらに各計測位置におけるプローブ７の走査速度９
粒子計測器２５の計測時間等のデータがキーボードから
アームコントローラ１８および粒子計測器２５に与えら
れる。
２６のキーボードから走行コントローラ１０、視覚コン
トローラ１６およびアームコントローラ１８に与えられ
る。さらに各計測位置におけるプローブ７の走査速度９
粒子計測器２５の計測時間等のデータがキーボードから
アームコントローラ１８および粒子計測器２５に与えら
れる。
ここで、取付は枠の数を入力しているのは、Ｘ方向およ
びｙ方向の取付は枠の数ｆｘ、ｆｙに１を加えたものが
防塵フィルタのＸ方向およびｙ方向の数に一致するから
である。
びｙ方向の取付は枠の数ｆｘ、ｆｙに１を加えたものが
防塵フィルタのＸ方向およびｙ方向の数に一致するから
である。
走行コントローラ１０は゛以上のような必要なデータが
入力されると自動的に走行シーケンスと走行径路を設定
し、検査開始指令を待って走行開始となるが、ｆｘの値
に応じて走行径路の両側の防塵フィルタ２を検査しなが
ら進むか、または片側だけ検査しながら進むかを決定し
、効率良（全ての防塵フィルタの検査できるように走行
路決定用のアルゴリズムが設定されている。
入力されると自動的に走行シーケンスと走行径路を設定
し、検査開始指令を待って走行開始となるが、ｆｘの値
に応じて走行径路の両側の防塵フィルタ２を検査しなが
ら進むか、または片側だけ検査しながら進むかを決定し
、効率良（全ての防塵フィルタの検査できるように走行
路決定用のアルゴリズムが設定されている。
なお、ターミナル部２６の外部記憶装置に記憶された粒
子数の計測値は、検査終了後クリーンルームの外で液晶
表示器に表示させたり、印字装置に印字していずれの防
塵フィルタの性能が劣化しているかを確認することがで
きる。
子数の計測値は、検査終了後クリーンルームの外で液晶
表示器に表示させたり、印字装置に印字していずれの防
塵フィルタの性能が劣化しているかを確認することがで
きる。
また、クリーンルーム全体だけでなく、特定のエリアの
みを検査できることは言うまでもない。
みを検査できることは言うまでもない。
（発明の効果）
以上説明したように本光明は、無人走行車に粒子計測器
を搭載して防塵フィルタの性能を自動的に検査するもの
であるため、人体などの光度に影響されることなく精度
良く防塵フィルタの性能を検査することができる。また
、防塵フィルタの配置に応じて自助的に検査用の走行径
路が設定されるため、効率良く短時間のうちに検査を終
了させることができる。
を搭載して防塵フィルタの性能を自動的に検査するもの
であるため、人体などの光度に影響されることなく精度
良く防塵フィルタの性能を検査することができる。また
、防塵フィルタの配置に応じて自助的に検査用の走行径
路が設定されるため、効率良く短時間のうちに検査を終
了させることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は無人
走行車の走行径路を説明するためのクリーンルーム天井
の透視図、第３図は無人走行車に搭載する各種礪器の構
成を示すブロック図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・防塵フィルタ、３・
・・取付は枠、４・・・無人走行車、５・・・標識、６
・・・マニピュレータ、７・・・プローブ、１０・・・
走行コントローラ、１６・・・視覚コントロ〜う、１８
・・・アームコントローラ、２５・・・粒子計測器。 第２０（０） 第２図（ｂ） 第２図（Ｃ）
走行車の走行径路を説明するためのクリーンルーム天井
の透視図、第３図は無人走行車に搭載する各種礪器の構
成を示すブロック図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・防塵フィルタ、３・
・・取付は枠、４・・・無人走行車、５・・・標識、６
・・・マニピュレータ、７・・・プローブ、１０・・・
走行コントローラ、１６・・・視覚コントロ〜う、１８
・・・アームコントローラ、２５・・・粒子計測器。 第２０（０） 第２図（ｂ） 第２図（Ｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 クリーンルームに敷設された複数の防塵フィルタの防塵
性能を検査する装置であって、 各防塵フィルタの取付け枠に設けられた標識を光学的に
検出して該標識の位置を参照して予め設定された径路に
沿って走行する無人走行車と、この無人走行車に搭載さ
れ、アーム先端に取付けたプローブを走査して指定の防
塵フィルタから空気を吸入するマニピュレータと、 吸入した空気中に含まれる塵の粒子数を計測する無人走
行車搭載の粒子計測器と、計測された粒子数を防塵フィ
ルタ別に記憶し、表示装置または印字装置に出力する記
憶装置と を備たクリーンルームの防塵フィルタ検査装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15090286A JPS637820A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置 |
| EP19900116813 EP0405623A3 (en) | 1986-05-21 | 1987-05-21 | System for inspecting a dust proofing property |
| DE87903418T DE3787003T2 (de) | 1986-05-21 | 1987-05-21 | Lenkvorrichtung für sich unbemannt bewegende körper. |
| EP87903418A EP0273976B1 (en) | 1986-05-21 | 1987-05-21 | Guiding apparatus for unmanned movable bodies |
| US07/157,510 US4862047A (en) | 1986-05-21 | 1987-05-21 | Apparatus for guiding movement of an unmanned moving body |
| PCT/JP1987/000324 WO1987007403A1 (en) | 1986-05-21 | 1987-05-21 | Guiding apparatus for unmanned movable bodies |
| US07/335,057 US4924153A (en) | 1986-05-21 | 1989-04-07 | Apparatus for guiding movement of an unmanned moving body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15090286A JPS637820A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637820A true JPS637820A (ja) | 1988-01-13 |
Family
ID=15506881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15090286A Pending JPS637820A (ja) | 1986-05-21 | 1986-06-27 | クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637820A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01151235U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-19 | ||
| JPH0546155U (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-18 | 日立プラント建設株式会社 | 情報交換装置 |
| US6305401B1 (en) | 1997-02-06 | 2001-10-23 | Smc Kabushiki Kaisha | Pneumatic pressure regulator |
| WO2008034300A1 (en) * | 2006-09-20 | 2008-03-27 | Institute Of Air Conditioning China Academy Of Building Research | Safe exhaust |
| US7669490B2 (en) | 2004-08-27 | 2010-03-02 | Taikisha Ltd. | Apparatus and method for testing filters in a clean room |
| KR20220072549A (ko) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | 한국전력공사 | 접촉식 탐촉자를 이용한 tbm 디스크커터 마모도 측정장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910831A (ja) * | 1982-07-10 | 1984-01-20 | Nitta Kk | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
| JPS60211315A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP15090286A patent/JPS637820A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5910831A (ja) * | 1982-07-10 | 1984-01-20 | Nitta Kk | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
| JPS60211315A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP2072925A1 (en) * | 2006-09-20 | 2009-06-24 | Institute Of Air Conditioning China Academy Of Building Research | Safe exhaust |
| EP2072925A4 (en) * | 2006-09-20 | 2015-01-14 | China Academy Of Building Res | SAFE EXHAUST SYSTEM |
| KR20220072549A (ko) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | 한국전력공사 | 접촉식 탐촉자를 이용한 tbm 디스크커터 마모도 측정장치 |
| KR20230098120A (ko) * | 2020-11-25 | 2023-07-03 | 한국전력공사 | 접촉식 탐촉자를 이용한 tbm 디스크커터 마모도 측정장치 |
| KR20230098119A (ko) * | 2020-11-25 | 2023-07-03 | 한국전력공사 | 접촉식 탐촉자를 이용한 tbm 디스크커터 마모도 측정장치 |
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