JPS5910831A - クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置Info
- Publication number
- JPS5910831A JPS5910831A JP12043582A JP12043582A JPS5910831A JP S5910831 A JPS5910831 A JP S5910831A JP 12043582 A JP12043582 A JP 12043582A JP 12043582 A JP12043582 A JP 12043582A JP S5910831 A JPS5910831 A JP S5910831A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- scanning
- leak test
- robot
- controller
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクリーンルーム用高性能フィルタの自動リーク
・テスト方法およびその装置に関する。
・テスト方法およびその装置に関する。
半導体、精密機器、電子部品、医薬品などの製造工程、
病院の手術室、治療室などにおいては。
病院の手術室、治療室などにおいては。
じん埃や微生物が空気中から極力排除されていることが
必要である。そのため２通常、高度の清浄学問いわゆる
クリーンルームやバイオ・クリーンルームなどが使用さ
れている。
必要である。そのため２通常、高度の清浄学問いわゆる
クリーンルームやバイオ・クリーンルームなどが使用さ
れている。
クリーンルームやパイＡ・クリーンルームには。
天井面に取りつけた高性能フィルタ（ｉｆ Ｅ Ｐ Ａ
フィルタ）を吹出口とした垂直層流方式と壁面のに性能
フィルタを吹出口とした水平層流方式とがある。いづれ
も、性別に工夫されたフイＩレタ支持枠と特殊なシーリ
ング方法を採用して最も理想的なフィルタフレーム・シ
ステムを作シ、リークのない最高清浄度のクリーンルー
ムやバイオ・クリーンルームが形成されている。
フィルタ）を吹出口とした垂直層流方式と壁面のに性能
フィルタを吹出口とした水平層流方式とがある。いづれ
も、性別に工夫されたフイＩレタ支持枠と特殊なシーリ
ング方法を採用して最も理想的なフィルタフレーム・シ
ステムを作シ、リークのない最高清浄度のクリーンルー
ムやバイオ・クリーンルームが形成されている。
使用される高性能フィルタは、ｔべて、 ＨＯＴ＋Ｄ
ＯＰ テストにより０．３μｍ単分散ＤＯＰ（グイオク
ナルフタレート）粒子に対する捕集効率９９．９９％以
上が保証され、さらに、スキャンテストによシピンホー
ルのないことが確認されたうえで出荷される。
ＯＰ テストにより０．３μｍ単分散ＤＯＰ（グイオク
ナルフタレート）粒子に対する捕集効率９９．９９％以
上が保証され、さらに、スキャンテストによシピンホー
ルのないことが確認されたうえで出荷される。
しかし、出荷後の輸送、搬入あるいは支持枠への現場で
の取りつけなどにおいて、このフィルタＫ ｆ＆小など
ンホールの発生するおそれがある。それゆえ、取りつけ
後のフィルタについて現場でのリーク・テストが行われ
る。
の取りつけなどにおいて、このフィルタＫ ｆ＆小など
ンホールの発生するおそれがある。それゆえ、取りつけ
後のフィルタについて現場でのリーク・テストが行われ
る。
従来のリーク・テスト方法は、第１図に示すように、Ｄ
ＯＰ スモーク（エアロゾール）発生装置５からＤＯ
Ｐスモーク（粒子径０．３〜０．６ ／７［１１） ６
を発生させ、これを送風機７などの手段により窒素ガス
や空気流の気流と共にＨＥＰＡフイルり４の上流側４１
へ供給する。テスト・グローブ１００を手動で操作して
フィルタ上流側４２の０コ面を全面にわたって走査する
。このとき、テスト・フ゛ローブ１００によシ、このＤ
ＯＰ スモーク流をフィルタ上流側４１への供給速度と
等線速度で吸引する。
ＯＰ スモーク（エアロゾール）発生装置５からＤＯ
Ｐスモーク（粒子径０．３〜０．６ ／７［１１） ６
を発生させ、これを送風機７などの手段により窒素ガス
や空気流の気流と共にＨＥＰＡフイルり４の上流側４１
へ供給する。テスト・グローブ１００を手動で操作して
フィルタ上流側４２の０コ面を全面にわたって走査する
。このとき、テスト・フ゛ローブ１００によシ、このＤ
ＯＰ スモーク流をフィルタ上流側４１への供給速度と
等線速度で吸引する。
吸引された気体の光透過度をリーク・テスター１０１に
て測定し、フィルタ４にビシホールなどが存在するかど
うかを確認する。
て測定し、フィルタ４にビシホールなどが存在するかど
うかを確認する。
この従来の方法では、検査作業員がテスト・グローブ１
００を手に持ち規定の５ ｃｎｒ／ ｓｅｅ、の速度（
ＡＡＣＣＣ３−ＩＴ規格）で走査する。フィルりの大き
さにもよるが走査にはフィルり１枚当シ約５〜１０分の
時間を要する。フイｐりの枚数が多い場合には非常な疲
労と忍耐とを要する。通常、多人数が交代で数日間〜十
数日間にわたってリーク・テストに従事しているのが実
情である。このように走査作業は手作業であシ著しく疲
労しやすいため、ｙｌ定の速度で走査を継続することｄ
至難で。
００を手に持ち規定の５ ｃｎｒ／ ｓｅｅ、の速度（
ＡＡＣＣＣ３−ＩＴ規格）で走査する。フィルりの大き
さにもよるが走査にはフィルり１枚当シ約５〜１０分の
時間を要する。フイｐりの枚数が多い場合には非常な疲
労と忍耐とを要する。通常、多人数が交代で数日間〜十
数日間にわたってリーク・テストに従事しているのが実
情である。このように走査作業は手作業であシ著しく疲
労しやすいため、ｙｌ定の速度で走査を継続することｄ
至難で。
ある。しかも、フィルタの全面をくまなく正確に走査す
ることは極めてむづかしい。また、フィルタ取付は位置
は１通常、高所であるため、高い脚立上で作業を行わね
ばならず著しく危険である。
ることは極めてむづかしい。また、フィルタ取付は位置
は１通常、高所であるため、高い脚立上で作業を行わね
ばならず著しく危険である。
走査作業による目の疲労も無視できない。
不発１月の目的は、テストすべきフィルタの下流側をＸ
ｌ１ｌｌｌｌ−Ｙ軸方向に可動しフィルタ全面を自動走
査することによりリーク・テストの正確化と合理ｒヒを
達成するクリーンルーム用高性能フィルタの自動リーク
・テスト方法とその装置を提供することにある。本発明
の他の目的は、走査中にピンホールを検出するとたｔご
ちに警報を発しその位置をＣＲＴ（シンクロスコープ）
に表示するかもしくはプリント・アウトするクリーンル
ーム用高性能フィルりの自動リーク・テスト方法上その
装置を提供することにある。本発明のさらに他の目的は
、走査中にピンホールを検出するとたｊごちにその位置
で走査を自動的に停止しうるクリーンルーム用高性能フ
ィルタの自動リーク・テスト方法とその装置を提供する
ことにある。不発りＪのさらに他の目的は、ピンホール
位置の検出・表示によシその補修作業が迅速かつ確実に
行いつるリーク・テスト方法とその装置を提供すること
にある。
ｌ１ｌｌｌｌ−Ｙ軸方向に可動しフィルタ全面を自動走
査することによりリーク・テストの正確化と合理ｒヒを
達成するクリーンルーム用高性能フィルタの自動リーク
・テスト方法とその装置を提供することにある。本発明
の他の目的は、走査中にピンホールを検出するとたｔご
ちに警報を発しその位置をＣＲＴ（シンクロスコープ）
に表示するかもしくはプリント・アウトするクリーンル
ーム用高性能フィルりの自動リーク・テスト方法上その
装置を提供することにある。本発明のさらに他の目的は
、走査中にピンホールを検出するとたｊごちにその位置
で走査を自動的に停止しうるクリーンルーム用高性能フ
ィルタの自動リーク・テスト方法とその装置を提供する
ことにある。不発りＪのさらに他の目的は、ピンホール
位置の検出・表示によシその補修作業が迅速かつ確実に
行いつるリーク・テスト方法とその装置を提供すること
にある。
以下に本発明を実施例にもとづき図面を参照しつつ詳述
する。
する。
不発１夕ｊ装置は、フィルタ通過前後の気流中の粒子を
フォトメーターによる光透過によシフィルタのリークを
テストする例えばｌｌ０Ｔ ＤＯＰ テストに用い
られる。この装置を例えば垂直層流式クリーンルームの
フィルタのリーク・テストに採用する場合の例を第２図
に示す。本発明装置は、第２図および第３図に示すよう
に、スキャンニング・ロボン）ｌと、これに電気的に接
続され該ロボット１を例えばＣＰＵ方式によりコントロ
ー！しするコントローラ２と、これに電気的に接続され
たスモータセンヅなどの７オトメーター３とを有する。
フォトメーターによる光透過によシフィルタのリークを
テストする例えばｌｌ０Ｔ ＤＯＰ テストに用い
られる。この装置を例えば垂直層流式クリーンルームの
フィルタのリーク・テストに採用する場合の例を第２図
に示す。本発明装置は、第２図および第３図に示すよう
に、スキャンニング・ロボン）ｌと、これに電気的に接
続され該ロボット１を例えばＣＰＵ方式によりコントロ
ー！しするコントローラ２と、これに電気的に接続され
たスモータセンヅなどの７オトメーター３とを有する。
上記ロボット１は、第４図に示すように、矩形状枠体１
１と、移動レール１２と、テスト・１０−ブ１３とを有
する。この移動ター／Ｌ／１２は、枠体１１により形成
される平面上をこの枠体ｌの相対向する一対の二辺２例
えばＸ軸方向の二辺１４゜１４に沿って第１スライド用
モーター、例えばＸ軸スライド用モーター１２０によシ
移動する。テスト・１０−ブ１３は、移動レール１２上
をこの移動ター／ｖ１２に沿って例えばＹ軸方向に第２
スライド用モーター例えばＹ軸スライド用モーター１３
０によシ移動する。それゆえ、テスト・プローブ１３は
リーク・テストすべきフィルり４のｐ面をＸ軸・Ｙ軸方
向に自在に走査しうる。
１と、移動レール１２と、テスト・１０−ブ１３とを有
する。この移動ター／Ｌ／１２は、枠体１１により形成
される平面上をこの枠体ｌの相対向する一対の二辺２例
えばＸ軸方向の二辺１４゜１４に沿って第１スライド用
モーター、例えばＸ軸スライド用モーター１２０によシ
移動する。テスト・１０−ブ１３は、移動レール１２上
をこの移動ター／ｖ１２に沿って例えばＹ軸方向に第２
スライド用モーター例えばＹ軸スライド用モーター１３
０によシ移動する。それゆえ、テスト・プローブ１３は
リーク・テストすべきフィルり４のｐ面をＸ軸・Ｙ軸方
向に自在に走査しうる。
上記コントローラー２は、第５図に示すように。
走査デジタル入力手段り、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｌとリーク上限
値設定デジタノシ入力手段Ｂと警報手段Ｃとデジタル・
パネル・メータＡとを有する。
値設定デジタノシ入力手段Ｂと警報手段Ｃとデジタル・
パネル・メータＡとを有する。
上記走査デジタル入力手段り、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｌは、テス
ト・プローブ１３の走査動作および走査速度を入力する
手段である。走査賦化には、第６図（ａ＞および（ｂ＞
に示すように、モードｌとモード２の２種類がある。モ
ード１は全周動作であり、フィルタの全周を走査してフ
ィルタ取付は枠とフィμりとの間の気密性をナエックす
る。入力手段りはＸ軸方向の走査を、入力手段ＥはＹ４
１１１１方向の走査を担当する。モード２は矩形動作で
あシ。フィルタル面の全面を走査するためのものである
。入力手段ＦはＸ軸方向の走査を、入カ手ＧＧはＹ軸方
向の走査を担当する。入力手段りはプローブ１３の移動
速度を担当する。
ト・プローブ１３の走査動作および走査速度を入力する
手段である。走査賦化には、第６図（ａ＞および（ｂ＞
に示すように、モードｌとモード２の２種類がある。モ
ード１は全周動作であり、フィルタの全周を走査してフ
ィルタ取付は枠とフィμりとの間の気密性をナエックす
る。入力手段りはＸ軸方向の走査を、入力手段ＥはＹ４
１１１１方向の走査を担当する。モード２は矩形動作で
あシ。フィルタル面の全面を走査するためのものである
。入力手段ＦはＸ軸方向の走査を、入カ手ＧＧはＹ軸方
向の走査を担当する。入力手段りはプローブ１３の移動
速度を担当する。
上記リーク上限値設定デジタル入力手段Ｂは。
フォトメーター３に接続されリーク・テストｌ範囲の上
限値をある値２例えば９９．９９ （％）に入力する手
段である。
限値をある値２例えば９９．９９ （％）に入力する手
段である。
上記警報手段Ｃは、フォトメーター３に接続され上記上
限値を越えたとき警報ランプが点灯して異常を知らせる
。同時に、一時停止手段Ｋが作動してテスト・グローブ
１３をその位置で停止させることができる。自動スター
ト・スイツチＪをオンすることによシフ”ローブ１３は
再び＃Ｊ作を開始し、終了後は原点位置に復帰する。
限値を越えたとき警報ランプが点灯して異常を知らせる
。同時に、一時停止手段Ｋが作動してテスト・グローブ
１３をその位置で停止させることができる。自動スター
ト・スイツチＪをオンすることによシフ”ローブ１３は
再び＃Ｊ作を開始し、終了後は原点位置に復帰する。
上Ｓ己デジタル・パネル・メータＡは、フォトメー タ
ー ３ カら出力されるフィルタ４のリーク・データを
ＣＲＴを介して表示する。
ー ３ カら出力されるフィルタ４のリーク・データを
ＣＲＴを介して表示する。
その池、モード２における繰シ返えし回数を指定するだ
めの回数指定デジタル入力手段Ｈおよびモード２におけ
る動作順序を指定するための動作セレクト手段■がコン
トローラー２に設けられている。フ゛ローブ１３を手動
操作にょシ指定方向へ移動させるだめの移動スイッチは
第５図においてＭ、Ｎ、０．Ｐで示され、Ｑはグローブ
１３の原点復帰スイツチ、Ｒは電源表示ランプそしてＳ
は電源スイツチである。
めの回数指定デジタル入力手段Ｈおよびモード２におけ
る動作順序を指定するための動作セレクト手段■がコン
トローラー２に設けられている。フ゛ローブ１３を手動
操作にょシ指定方向へ移動させるだめの移動スイッチは
第５図においてＭ、Ｎ、０．Ｐで示され、Ｑはグローブ
１３の原点復帰スイツチ、Ｒは電源表示ランプそしてＳ
は電源スイツチである。
次１フィルタのリーク・テスト方法を述べる。
リーク・テストすべきフィルタ４のｐ面をＸ１１１１Ｉ
・Ｙ軸方向に走査するテスト・グローブ１３を設えたス
キャンニング・ロボットｌを該フィルタ４の下流側に配
置する。上限値設定デジタル入力手段ＢＫよりフィルタ
・リーク・テスト合格範囲の上限値を入力する。走査デ
ジタル入力手段り、Ｅ。
・Ｙ軸方向に走査するテスト・グローブ１３を設えたス
キャンニング・ロボットｌを該フィルタ４の下流側に配
置する。上限値設定デジタル入力手段ＢＫよりフィルタ
・リーク・テスト合格範囲の上限値を入力する。走査デ
ジタル入力手段り、Ｅ。
Ｆ、Ｇ、Ｌによシテスト・ブローヴ］３の走査動作およ
び走査速度をコントローラー２に入力する。
び走査速度をコントローラー２に入力する。
その他、所望のリーク・テストがなされるに必要な情報
をコントローラー２に入力する。次いで。
をコントローラー２に入力する。次いで。
テスト・フ“ローブ１３を入力動作と入力速度にもとづ
いてリーク・テストすべきフィルタ４の全周およびＦ面
金面にオ〕たって走査させフィルタのリーク・テストを
行う、所定のリーク上限値を越えたときＷ報手段Ｃが異
常を知らせ、同時に、そのときのフィルタのピンホール
などの位置がデジタル・パネル・メータＡに表示される
。
いてリーク・テストすべきフィルタ４の全周およびＦ面
金面にオ〕たって走査させフィルタのリーク・テストを
行う、所定のリーク上限値を越えたときＷ報手段Ｃが異
常を知らせ、同時に、そのときのフィルタのピンホール
などの位置がデジタル・パネル・メータＡに表示される
。
本発明方法および装置は、それゆえ、前記目的に対応す
る優れた効果を奏しうる。
る優れた効果を奏しうる。
第１図は従来のフィルタ・リーク・テスト方法の説明図
、第２図は本発明装置の一実施例の正面図、第３図はそ
の装置のブロック図、第４図はロボン）ｌの部分斜視図
、第５図はコントローラー２に設けられた各種人力手段
のデジタル・スイッチを配列するコントローラー・パネ
ルの正面図。 ＨＡ ６ 図（ａ３および（ｂ＞はプローブ１３の走査
動作のモードｌおよび２をそれぞれ説１列する説明図で
ある。 ｌ・・・スキＶンニング・ロボット、２・・・コントロ
ーラー、３・・・〕〕Ａトメーター４・・・フイｐり、
５・・・ＤＯＰスモークＱ ％ 装ｆｆ￥ 、 ６・
・・ＤＯＰスモーク。 ７・・・送風機、１１・・・矩形状枠体、１２・・・移
動し・−ｉｖ、 １３． １００・・・テスト・１０
−ブ、１４・・・ＸＮ方向の辺、１０１・・・リーク・
テスター、 １２０． １３０・・・スライド用モー
ター、Ａ・・・デジタル・パネル・メータ、Ｂ・・・リ
ーク上限値設定デジタル入力手段。 代理人 弁理士 山 本 秀 策 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 第３興 第４図 第５ｖＡ 第６図 手 続 抽 正 書（自発） 昭和５７年７月１７日 クリーンルーム用高性能フィルタの自動リーク・テスト
方法およびその装置 ３、補正をする者 ４、代理人［相］５３０ 住 所 大阪府大阪市北区天神橋２丁目４番１７号千
代田第１ビル９階
、第２図は本発明装置の一実施例の正面図、第３図はそ
の装置のブロック図、第４図はロボン）ｌの部分斜視図
、第５図はコントローラー２に設けられた各種人力手段
のデジタル・スイッチを配列するコントローラー・パネ
ルの正面図。 ＨＡ ６ 図（ａ３および（ｂ＞はプローブ１３の走査
動作のモードｌおよび２をそれぞれ説１列する説明図で
ある。 ｌ・・・スキＶンニング・ロボット、２・・・コントロ
ーラー、３・・・〕〕Ａトメーター４・・・フイｐり、
５・・・ＤＯＰスモークＱ ％ 装ｆｆ￥ 、 ６・
・・ＤＯＰスモーク。 ７・・・送風機、１１・・・矩形状枠体、１２・・・移
動し・−ｉｖ、 １３． １００・・・テスト・１０
−ブ、１４・・・ＸＮ方向の辺、１０１・・・リーク・
テスター、 １２０． １３０・・・スライド用モー
ター、Ａ・・・デジタル・パネル・メータ、Ｂ・・・リ
ーク上限値設定デジタル入力手段。 代理人 弁理士 山 本 秀 策 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 第３興 第４図 第５ｖＡ 第６図 手 続 抽 正 書（自発） 昭和５７年７月１７日 クリーンルーム用高性能フィルタの自動リーク・テスト
方法およびその装置 ３、補正をする者 ４、代理人［相］５３０ 住 所 大阪府大阪市北区天神橋２丁目４番１７号千
代田第１ビル９階
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 フィルタ通過前後の気流中の粒子をフォトメータ
ーによる光透過度によシフィルタのリークをテストする
方法であって。 ｍ リーク・テストすべきフィルタのｐ面をＸ軸・Ｙ
ｌｌ１１方向に走査するテスト・１０−ブを有スルスキ
ャンニング・ロボットを該フィルりの下流側に配置する
工程と。 （２） 該ロボットに電気的に接続され該ロボットを
コントロールするコントローラーに上限値設定デジタル
入力手段によりフィルり・リーク・テスト合格範囲の上
限値を入力する工程と。 （３１該コントロー、＞−に該テスト・プローブの走査
動作および走査速度を走査デジタル入力手段によ多入力
する工程さ。 （４） 該テスト・フ゛ローブを入力動作と入力速度
にもとづいてリーク・テストすべきフィルタの全周およ
びＰ面全面にオ）たって走査させフィルタのリーク・テ
ストを行う工程と。 （５） 該リーク上限値を越えたとき該コントローラ
ーの警報手段により異常を知らせる工程と。 （６） リーク・テスト・データを該フォトメータを
介して該コントローラーのデジタル・パネル。 ・メータに表示する工程と。 を包含するクリーンルー去月高性能フィルタの自動リー
ク・テスト方法。 ２、フィルタ通過前後の気流中の粒子をフォトメーター
による光透過度によりフィルタのリークをテストする装
置であって。 ＋ｌ） スキャンニング・ロボットと、これに電気的
に接続され該ロボットをコントロールするコントローラ
ーと、これに電気的に接続されたフォトメーターとを自
し。 （２）該ロボットは、矩形状枠体と、該枠体により形成
される平面上を該枠体の相対向する一対の二辺に沿って
第１スライド用モーターによ如スライドする移動レール
と、該移動レール上を該移動レールに沿って第２スライ
ド用モーターにより移動しリーク・テストすべきフィル
タの戸面をＸ軸・Ｙ軸方向に走査しうるテスト・プロー
ブとを有し。 （３）該コントローラーは、該テスト・グローブの走査
動ｆ￥−および走査速度を入力する走査デジタル入力手
段と、該フォトメーターに接続されリーク・テスト合格
範囲の上限値を入力する上限値設定デジタル入力手段と
、該フォトメーターに接続され該上限値を越えたとき異
常を知らせる警報手段と、該フォトメーターに接続され
リーク・テスト・データを表示するデジタル・パネル・
メータとを有するクリーンル−ム用高性能フィルりの自
動リーク・テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12043582A JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12043582A JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5910831A true JPS5910831A (ja) | 1984-01-20 |
| JPH0350210B2 JPH0350210B2 (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=14786135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12043582A Granted JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910831A (ja) |
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