JP3845090B2 - 高性能エアフィルタ用リーク検査装置 - Google Patents
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- B01D2273/18—Testing of filters, filter elements, sealings
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Description
マスカーを水平方向に移動させるシフト機構をトラバース機構に隣接して配置すれば、移動台車が部屋の隅にきたときに、マスカーをシフトさせて、部屋の隅に位置するフィルタを検査することも可能になる。
以下、添付図面の実施例を参照しながら、本発明についてさらに詳述する。
昇降機構50は、昇降ハンドル52を操作することにより、タイミングベルト54とプーリーを介して、マスカー32と吸引プローブ34を上下方向に動かすことができる。トラバース機構を駆動するモータ66は外部電源で駆動され、それを制御する中央制御部60はパーソナルコンピュータ等で構成されている。なお、移動台車30上にバッテリを搭載することもできる。
図1Bに示すように、マスカー32は、トラバース機構36の上部に設けられた手動式のシフト機構70によって水平方向左右に移動することが可能で、これにより部屋の隅に配置されたフィルタを検査する際に、装置を壁に寄せ切ることができる。
(1)装置本体を検査するフィルタの直下に移動させる
(2)昇降機構により、プローブ、トラバース機構、シフト機構及びマスカーを上昇させ、マスカー上面のパッキンをフィルタの拡散板の周囲に接触させる
(3)タッチパネルの操作によりプローブを自動走査する
(4)走査開始と同時にパーティクルカウンタが起動する
(5)カウンタ値が予め設定した条件を超過した場合、リークと判定し検査を中断、操作画面に表示する
(6)測定データ(日時、フィルタ番号、カウント値、判定結果)を記憶媒体に保存する。
なお、必要に応じてシフト機構を手動操作してマスカーを水平移動させる。
12 拡散板
20 チャンバー
30 移動台車
32 マスカー
34 吸引プローブ
36 トラバース機構
38 パーティクルカウンタ
50 昇降機構
60 中央制御部
66 モータ
70 シフト機構
Claims (2)
- クリーンルームの天井面に任意の間隔をあけて設置された多数の高性能エアフィルタからのリークを検査する装置であって、
手押し式又は自走式の移動台車の上に、
少なくとも1個のエアフィルタの下面を完全に包囲した状態で天井面に密着可能な垂直仕切壁を有するマスカーと、
前記マスカー内に位置してエアフィルタからの空気を吸引する吸引プローブと、
前記吸引プローブを水平方向左右及び/又は前後に走査するトラバース機構と、
前記吸引プローブで吸引した空気内の粒子数を計測するパーティクルカウンタと、
前記マスカー及び吸引プローブを垂直方向に動かす昇降機構と、
前記トラバース機構を駆動するモータと、
前記各部を操作し制御するための中央制御部とが搭載されており、
前記垂直仕切壁は非帯電性の材質で周囲の空気の混入を防止できる高さを有しており、
測定対象のエアフィルタ下で移動台車を停止させ、マスカーを天井面に密着させてエアフィルタを包囲した状態で吸引プローブを水平方向左右及び/又は前後に走査し、パーティクルカウンタで粒子数を測定することにより、リークを検出しかつリーク個所を特定することを特徴とする高性能エアフィルタ用リーク検査装置。 - 前記マスカーを水平方向左右及び/又は前後に走査するシフト機構が前記トラバース機構に隣接して設けられている請求項1記載のリーク検査装置。
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