JP6185280B2 - クリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用いたリーク試験方法 - Google Patents
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Description
2 HEPAフィルタ
3 スクリーンメッシュ
4 リーク試験装置
5 ガイドレール
6 開閉扉
7 エアロゾル発生器
8 PAO注入口
9 PAO濃度測定口
10 ガイドレール保持部
41 センサ(吸引プローブ)
42 スキャンユニット
43 ローラ
44 コンベア
45 コンベアホルダー
46 コントローラ
47 パーティクルカウンタ
Claims (3)
- クリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用いたリーク試験方法であって、
上記クリーンブースには、その天井付近に配設された上記エアフィルタと該エアフィルタの下流方向に配設されたスクリーンメッシュとの間の空間に、当該エアフィルタのリークを検知するセンサを備えたリーク試験装置を着脱可能に取り付け可能なガイドレールが設けられ、上記リーク試験装置は、上記ガイドレール上を走行するための手段をその両端部に備えるとともに、上記センサを該ガイドレールと平行な方向及び直交する方向に走査させる駆動手段を備えている上記クリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用い、
前記センサを前記ガイドレールと平行な方向または直交する方向のいずれか一方向に走査し、該センサが前記エアフィルタのリークを検知した時の当該センサの第1位置座標と、該センサを、当該第1位置座標から該ガイドレールと平行な方向または直交する方向のいずれか他方向に平行移動させて走査し、該センサが該エアフィルタのリークが検知されなくなったところの直前の当該センサの第2位置座標とに基づいて、該エアフィルタのリーク箇所の位置を特定することを特徴とするクリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用いたリーク試験方法。 - 前記ガイドレールが着脱可能に設置されるガイドレール保持手段が備えられていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用いたリーク試験方法。
- 前記ガイドレールの設置間隔は、前記エアフィルタの幅とほぼ同じであることを特徴とする請求項1または2に記載のクリーンブースにおけるエアフィルタの自動リーク試験システムを用いたリーク試験方法。
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