CN109791086B - 泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法 - Google Patents

泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法 Download PDF

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Abstract

提供泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法，能够在无尘室内的过滤器的泄漏检查时，使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。具有投影装置，将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着过滤器的表面在相互正交的X‑Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式投影于无尘室内的过滤器的表面，作业者根据吸引点的运动而使吸引探测器进行扫描。

Description

泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法
技术领域
本发明涉及在对设置于无尘室等清洁环境中的空气净化用过滤器进行泄漏检查时与泄漏检查装置一起使用的泄漏检查辅助装置。另外，本发明涉及使用了该泄漏检查辅助装置的泄漏检查方法。
背景技术
在清洁的环境气中实施的作业、例如医药品的制造阶段的作业或者半导体或电子元件的制造阶段的作业中，在将内部保持为无尘、无菌状态的清洁的作业环境中实施作业，以避免污染物质从外部环境进入。作为这样的作业环境，一般使用无尘室。在该无尘室内，由身着无尘服的作业者实施作业。
从空气供给装置经由HEPA过滤器或ULPA过滤器等(以下都简称为“过滤器”)而向该无尘室的内部供给清洁空气。由此，无尘室的内部保证医药品制造等所要求的A级(厚生劳动省无菌医药品制造方针)或者依照于此的清洁度。为了维持上述清洁度，定期对设置于无尘室内的过滤器实施泄漏检查。
一般而言，泄漏检查是在过滤器的上游侧投入含有PAO(聚α烯烃)等微粒的气雾剂，在过滤器的下游侧利用泄漏检查装置对漏泄(以下称为“泄漏”)了的微粒进行检测。该泄漏检查装置具备捕捉微粒的吸引探测器和对捕捉到的微粒进行检测的颗粒计数器等微粒检测器。实际的泄漏检查作业由一个作业者用手保持吸引探测器，沿着过滤器面在X-Y轴方向上扫描。与此配合，由其他作业者确认微粒检测器的微粒检测和检测数(参照图3)。并且，在微粒检测器检测出了微粒时，由正在确认微粒检测器的作业者向使吸引探测器进行扫描的作业者发信号。并且，再次确认该部分，而确定出过滤器的泄漏部位。
在这样的泄漏检查的方向上，难以将吸引探测器的扫描速度和扫描间隔维持成恒定，因此也很有可能在泄漏检查的精度上产生偏差而没看出来泄漏。另外，作业者需要至少两人或者两人以上的人数，从而成为由多人实施的大型的作业。对此，在下述专利文献1中提出了在过滤器的下游侧配置有使吸引探测器以恒定速度沿X-Y轴方向移动的扫描机器人的自动泄漏测试装置。另外，在下述专利文献2中提出了对下述专利文献1的自动泄漏测试装置进行了改进发展的泄漏检查装置。此外，在下述专利文献3及下述专利文献4中，还提出了在无尘室的整个顶棚面预先固定有扫描机器人的泄漏检查系统及自动泄漏试验系统。
现有技术文献
专利文献1：日本特开昭59-010831号公报
专利文献2：日本特开2001-108606号公报
专利文献3：日本特开2005-300263号公报
专利文献4：日本特开2014-219135号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，在上述专利文献1及专利文献2中提出的自动泄漏测试装置及泄漏检查装置中，都能将扫描速度和扫描间隔维持成恒定。另外，具有能够由操作扫描机器人的一个作业者进行应对的优点。但是，需要预先准备扫描机器人，费用负担较大。另外，需要根据进行泄漏检查的无尘室的过滤器的位置、尺寸来进行设计或调整。另外，在泄漏检查时，需要进行向无尘室内的各过滤器配置扫描机器人的作业。
另外，在上述专利文献3及专利文献4中提出的泄漏检查系统及自动泄漏试验系统中，在整个顶棚面预先固定有扫描装置，因此无需在泄漏检查时实施向无尘室内的各过滤器配置扫描机器人的作业。但是，上述系统需要大型的装置和无尘室内的附带工程，致使费用负担进一步增大。
因此，本发明解决上述各问题，其目的在于提供一种泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法，在对无尘室内的过滤器进行泄漏检查时，能够使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小，且能够由较少的作业者实施准确的泄漏检查。
用于解决课题的技术方案
在解决上述课题时，本发明者们经过锐意研究，发现能够通过在泄漏检查中使用投影映射技术来解决上述各问题，从而完成了本发明。
即，本发明的泄漏检查辅助装置如第一技术方案记载的那样是在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用的泄漏检查辅助装置(50)，上述作业室在顶棚壁面或侧壁面设置有一个或者多个过滤器(20)而在上述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，
该泄漏检查辅助装置(50)的特征在于，
具有投影装置(51)，上述投影装置(51)将附属于实施泄漏检查的泄漏检查装置(30)的吸引探测器(31)的吸引点(54)以沿着过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式投影于上述过滤器的表面。
另外，根据本发明的第二技术方案，其特征在于，在第一技术方案所述的泄漏检查辅助装置的基础上，
通过上述投影装置将由附属于上述泄漏检查装置的微粒检测器(32)检测出的泄漏信息(55)投影于上述过滤器的表面。
另外，根据本发明的第三技术方案，其特征在于，在第一或第二技术方案所述的泄漏检查辅助装置的基础上，
直接或间接地载置于上述作业室的地面上的上述投影装置具有投影修正单元，上述投影修正单元对该投影装置与设于顶棚壁面或侧壁面(11)的上述过滤器的表面之间的位置关系进行修正，
在通过该投影修正单元的作用，从上述投影装置的投影窗(51b)向上述过滤器的表面投影的投影图像(53)示出的扫描线的轮廓(33b)与该过滤器的轮廓(23)相匹配而被投影的状态下，
将上述吸引点投影于该过滤器的表面。
另外，根据本发明的第四技术方案，其特征在于，在第一或第二技术方案所述的泄漏检查辅助装置的基础上，具有：
过滤器位置检测装置(56)，检测直接或间接地载置于上述作业室的地面上的上述投影装置与设于顶棚壁面或侧壁面的上述过滤器的表面之间的位置关系；及
信息处理装置(52)，根据检测出的位置关系计算出从上述投影装置的投影窗至上述过滤器的轮廓的各位置为止的方向和距离，并进行修正以使投影图像示出的扫描线的轮廓与该过滤器的轮廓相匹配而被投影，
在通过上述信息处理装置的修正，上述投影图像示出的扫描线的轮廓与上述过滤器的轮廓相匹配而被投影的状态下，
将上述吸引点投影于该过滤器的表面。
另外，本发明的泄漏检查方法如第一技术方案记载的那样是在作业室中使用泄漏检查装置进行过滤器的泄漏检查的泄漏检查方法，上述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个上述过滤器，在上述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，
上述泄漏检查方法的特征在于，
上述泄漏检查装置具有微粒检测器及与该微粒检测器连接的吸引探测器，
在使用该吸引探测器扫描上述过滤器的表面时，使用第一至第四技术方案中任一项所述的泄漏检查辅助装置，
从而使上述吸引探测器以追踪吸引点的方式进行扫描，上述吸引点以沿着上述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影。
发明效果
根据上述结构，本发明的泄漏检查辅助装置具有投影装置。该投影装置向设于作业室的壁面的过滤器的表面投影吸引探测器的吸引点。向过滤器的表面投影的吸引点沿着过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动。此时，实施泄漏检查的作业者只要与吸引点的移动对应地使吸引探测器行进即可。
由此，能够使吸引探测器沿着过滤器的表面以恒定的间隔及恒定的速度移动，能够准确地进行过滤器的泄漏检查。另外，如果使用该泄漏检查辅助装置，则能够使用通常的泄漏检查装置，从而无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，泄漏检查的费用负担变小。
另外，根据上述结构，在本发明的泄漏检查辅助装置中还可以设定为，通过投影装置将附属于泄漏检查装置的微粒检测器检测出的泄漏信息投影于过滤器的表面。当将泄漏信息向过滤器的表面投影时，能够由同一作业者一边使吸引探测器进行扫描一边确认泄漏信息，从而能够准确地确定出泄漏位置。由此，除了上述效果以外，还能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。
由此，根据上述各构成，能够提供一种泄漏检查辅助装置，在无尘室内的过滤器的泄漏检查时能够使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小，且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。
另外，根据上述结构，在本发明的泄漏检查辅助装置中，投影装置具有投影修正单元。该投影修正单元以修正直接或间接地载置于作业室的地面上的投影装置的位置与过滤器的表面之间的位置关系的方式发挥作用。该投影修正单元进行修正，以使从投影装置的投影窗向过滤器的表面投影的投影图像示出的扫描线的轮廓与该过滤器的轮廓相匹配而被投影。
这样，通过使投影图像所示出的扫描线的轮廓与过滤器的轮廓相匹配，投影的吸引点能够沿着过滤器的表面以恒定的间隔及恒定的速度移动。由此，即使直接或间接地载置于作业室的地面上的投影装置的位置是从过滤器的正下方偏移了的位置，也能够进行准确的泄漏检查。由此，能够更加具体地发挥上述各效果。
另外，根据上述结构，本发明的泄漏检查辅助装置具有过滤器位置检测装置和信息处理装置。过滤器位置检测装置检测直接或间接地载置于作业室的地面上的投影装置与设于顶棚壁面或侧壁面的过滤器的表面之间的位置关系。另一方面，信息处理装置根据由过滤器位置检测装置检测出的位置关系，计算出从投影装置的投影窗至过滤器的轮廓的各位置为止的方向和距离，并进行修正以使投影图像所示出的扫描线的轮廓与过滤器的轮廓相匹配而被投影。
这样，通过使投影图像所示出的扫描线的轮廓与过滤器的轮廓相匹配，由此能够使所投影的吸引点沿着过滤器的表面以恒定的间隔及恒定的速度移动。由此，直接或间接地载置于作业室的地面上的投影装置的位置无论是作业室内的哪个位置，都能进行准确的泄漏检查。由此，能够更加具体地发挥上述各效果。
另外，根据上述结构，在本发明的泄漏检查方法中使用具有微粒检测器及与该微粒检测器连接的吸引探测器的泄漏检查装置。另外，在该泄漏检查方法中使用第一至第四技术方案中任一项所述的泄漏检查辅助装置。由此，能够提供一种泄漏检查方法，能够使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小，且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。
由此，根据上述结构，能够提供一种泄漏检查方法，在无尘室内的过滤器的泄漏检查时能够使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小，且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。
附图说明
图1是示出一般的泄漏检查方法的概要图。
图2是示出使吸引探测器在过滤器的排气侧表面的滤材面上进行扫描的方向的概要图。
图3是示出以往的泄漏检查的作业状况的概要图。
图4是示出使用了本实施方式的泄漏检查辅助装置的泄漏检查的作业状况的概要图。
图5是示出从本实施方式的泄漏检查辅助装置向过滤器的排气侧表面投影的投影图像的概要图。
图6是示出实施例1中利用投影修正功能修正投影装置与过滤器的表面之间的位置关系的情况的概略图。
图7是示出在实施例2中利用过滤器位置检测装置检测投影装置与过滤器的各部位之间的位置关系的情况的概略图。
具体实施方式
首先，说明泄漏检查方法。另外，在此说明的是最简单且一般广泛采用的基于手动操作的泄漏检查方法。另外，在此不言及如上述专利文献1至专利文献4那样的需要扫描机器人、大型的装置及附带工程等的特殊的泄漏检查方法。
图1是示出一般的泄漏检查方法的概要图。在图1中，对配置于无尘室(未图示)的顶棚壁面11的HEPA过滤器20进行泄漏检查。另外，在图1中，使用HEPA过滤器，但也可以是ULPA过滤器等其他过滤器。在图1中，HEPA过滤器20的下侧是无尘室的内部。在泄漏检查中，首先，在使供气装置(未图示)工作的状态下，在HEPA过滤器20的下游侧12(图示下侧)配置泄漏检查装置30的吸引探测器31。通过泄漏检查装置的微粒检测器即颗粒计数器32检测从在该吸引探测器31的上部形成了开口的吸引口吸引到的微粒(从过滤器泄漏的微粒)的数量。
接下来，向HEPA过滤器20的上游侧13(图示上侧)投入检测用微粒、例如含有PAO(聚α烯烃)的微粒的气雾剂40，而开始进行泄漏检查。泄漏检查为无尘室内的作业者(未图示)使吸引探测器31以恒定的间隔和恒定的速度进行扫描。在图1中，单箭头33表示吸引探测器31的操作方向，双箭头34示出吸引探测器31的吸引口与HEPA过滤器20之间的维持间隔。
在此，图2是示出使吸引探测器在过滤器的排气侧表面的滤材面上进行扫描的方向的概要图。在图2中，HEPA过滤器20由长方形的安装框21和张设于其内侧的滤材22构成。设置于无尘室的顶棚壁面等的HEPA过滤器20的数量根据无尘室的大小来设计，但在多数情况下，在顶棚壁面并列地设置有多个HEPA过滤器20。因此，也需要检查HEPA过滤器20的安装框21与相邻的HEPA过滤器或顶棚壁面之间的气密性(有无泄漏)。
因此，如图2所示，作业者使吸引探测器31在滤材22的表面的扫描线33a及安装框21的外周部(过滤器的轮廓)的扫描线33b上沿箭头方向移动，来实施泄漏检查。另外，相邻的各操作线33a、33b的间隔需要使吸引探测器31以吸引探测器31的吸引口(参见图1)稍微重叠的方式进行扫描。
在这样的过滤器的泄漏检查中，严格地规定了各种标准。作为上述标准，有美国环境科学技术协会(IEST：Institute of Environmental Sciences and Technology)的标准(IEST-RP-CC006.2)、国际标准化组织的标准(ISO 29463)及日本工业标准(JIS B9917-3)等。在本发明中，也以能够实施基于这些标准的泄漏检查为前提。
例如，在IEST标准中，上游侧颗粒计数器为吸引量0.1cft/min.(立方英尺/分钟)或者0.2cft/min.(立方英尺/分钟)，能够检测出粒径0.3μm以上的微粒。另一方面，下游侧颗粒计数器为吸引量1.0cft/min，能够检测出粒径0.3μm以上的微粒。另外，上游侧的微粒产生量设定为0.5μm以上的微粒为1，000，000个/cf。
另外，使吸引探测器靠近至距测定面(过滤器表面)为25mm(1inch)以内，将扫描速度设为5cm/sec.(10ft/min.)以内，进行全面扫描。在扫描过程中，在连续计测到0.5μm以上的微粒的情况下，在该位置处进行连续测定。如果持续没有检测出0.5μm以上的微粒，则判断为附着灰尘，而继续进行扫描。另外，在IEST标准中，也如上所述地要求吸引探测器必须以吸引探测器的吸引口重叠的方式进行扫描。
在IEST标准中，HEPA过滤器的判定基准设为没有表示超过上游侧微粒数的0.01％的泄漏的持续检测部位(继续计数点)。例如，在上游侧微粒数为1，000，000个/cf的情况下，其0.01％为100个/cf。该情况下的容许微粒数为100个(0.5μm以上)。
在此，对使用了泄漏检查装置的泄漏检查的作业进行说明。图3是示出以往的泄漏检查的作业状况的概要图。在图3中，在无尘室内10有两个作业者W1、W2，正在对配置于顶棚壁面11上的HEPA过滤器20进行泄漏检查。另外，在HEPA过滤器20的下游侧12，构成有基于塑料片材14的养护。
在图3中，在使供气装置F工作的状态下，以HEPA过滤器20的上游侧13为一次侧，投入含有PAO(聚α烯烃)的微粒的气雾剂40。另一方面，以HEPA过滤器20的下游侧12为二次侧，对泄漏的微粒进行检测。在泄漏检查中，使用泄漏检查装置30。泄漏检查装置30由吸引一次侧和二次侧的空气中所包含的微粒并检测出数量的两个颗粒计数器32、36构成。
一次侧的颗粒计数器36具备在一次侧(上游侧13)形成开口的吸引口35及连结该吸引口35与颗粒计数器36的配管35a。从吸引口35吸引到的一次侧的微粒经由配管35a而向颗粒计数器36输送，检测每单位容量的微粒的数量。检测出的微粒的数量显示于颗粒计数器36的监视器上，从而作业者W2确认到在一次侧放出了预定量的含有微粒的气雾剂40。
二次侧的颗粒计数器32具备扫描二次侧(下游侧12)的吸引探测器31及连结该吸引探测器31与颗粒计数器32的配管31a。由作业者W1手动地使吸引探测器31沿着过滤器面在X-Y轴方向上进行扫描。该作业如上所述，依据IEST标准等，使吸引探测器31以恒定的间隔及恒定的速度进行扫描是很重要的，泄漏检查的精度很大程度上依赖于作业者W1的经验。从吸引探测器31吸引到的二次侧的微粒(从过滤器泄漏了的微粒)经由配管31a而向颗粒计数器32输送，检测每单位容量的微粒的数量。检测出的微粒的数量显示于颗粒计数器32的监视器上，从而作业者W2确认在二次侧泄漏的微粒的检测。
在显示于颗粒计数器32的监视器上的微粒的数量超过了预定的基准的情况下，确认到这一情况的作业者W2通知使吸引探测器31进行扫描的作业者W1。被通知的作业者W1在当前的吸引探测器31的位置上进行连续测定，如果持续没有检测出，则判断为附着灰尘，而继续进行扫描。另一方面，如果在连续测定中持续地检测出，则确定为当前的吸引探测器31的位置是泄漏部位。这样，在以往的泄漏检查的作业中，需要至少需要两个作业者W1、W2，尤其是使吸引探测器31进行扫描的作业者W1需要丰富的经验。
与此相对，对与泄漏检查装置一起使用了本实施方式的泄漏检查辅助装置的泄漏检查的作业进行说明。图4是示出使用了本实施方式的泄漏检查辅助装置的泄漏检查的作业状况的概要图。在图4中，无尘室内10有一个作业者W1，对配置于顶棚壁面11上的HEPA过滤器20进行泄漏检查。另外，在HEPA过滤器20的下游侧12，构成有基于塑料片材14的养护。
在图4中，在使供气装置F工作的状态下，以HEPA过滤器20的上游侧13为一次侧，投入含有PAO(聚α烯烃)的微粒的气雾剂40。另一方面，以HEPA过滤器20的下游侧12为二次侧，对泄漏的微粒进行检测。在泄漏检查中使用泄漏检查装置30及泄漏检查辅助装置50。泄漏检查装置30由吸引一次侧和二次侧的空气中所包含的微粒并检测出数量的两台颗粒计数器32、36构成。
一次侧的颗粒计数器36具备在一次侧(上游侧13)形成开口的吸引口35及连结该吸引口35与颗粒计数器36的配管35a。从吸引口35吸引到的一次侧的微粒经由配管35a而向颗粒计数器36输送，检测每单位容量的微粒的数量。检测出的微粒的数量显示于颗粒计数器36的监视器上，并且作为电子信息经由连接线路52a而向个人计算机52(后述)发送。
二次侧的颗粒计数器32具有扫描二次侧(下游侧12)的吸引探测器31及连结该吸引探测器31与颗粒计数器32的配管31a。如上所述，由作业者W1手动使吸引探测器31沿着过滤器面在X-Y轴方向上进行扫描(参见图2)。从吸引探测器31吸引到的二次侧的微粒(从过滤器泄漏的微粒)经由配管31a而向颗粒计数器32输送，检测每单位容量的微粒的数量。检测出的微粒的数量显示于颗粒计数器32的监视器上，并且作为电子信息经由连接线路52a而向个人计算机52(后述)发送。
另一方面，泄漏检查辅助装置50由作为投影装置的投影仪51及作为信息处理装置的个人计算机52构成。另外，投影仪51也可以内置有信息处理装置。在图4中，投影仪51经由连接线路51a而与个人计算机52连接。该投影仪51从投影窗51b向HEPA过滤器20的表面投影投影图像53。另外，作为投影图像53而向HEPA过滤器20的表面投影的内容预先被编程，并搭载于个人计算机52中。
接下来，对在图4的状态下向HEPA过滤器20的表面投影的投影图像53进行说明。在个人计算机52中编程了的投影图像53与供该投影图像53投影的HEPA过滤器20的表面之间的关系应用基于投影映射的动画投影的基本技术。在此，投影映射是指使用由个人计算机生成的CG(计算机图形)和像投影仪那样的投影装置向建筑物、物体或者空间等放映影像的技术的通称。投影映射并不是投射这样的单纯投影，而是附加了映射这一用语而成的术语，在此有使影像对合于所投影的对象的含义，是具有使对象与影像精确地重合这一含义的投影方法。
在本实施方式中，投影的对象是HEPA过滤器20的表面，所投影的影像是吸引探测器31的吸引位置和微粒检测信息。图5是示出从本实施方式的泄漏检查辅助装置向过滤器的排气侧表面投影的投影图像的概要图。在图5中，在HEPA过滤器20的排气侧表面(无尘室的内侧)上，有长方形的安装框21及张设于其内侧的滤材22。另外安装框21的外周部23表示与相邻的HEPA过滤器或顶棚壁面之间的边界。另外，在滤材22的表面投影有吸引探测器(未图示)的吸引点54及微粒检测信息55。
吸引点54以沿着与安装框21平行或者正交的X-Y轴方向，依据IEST标准等以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影(参见图2)。此外，在图5中，示出吸引点54移动的扫描线(图2中的33a及33b)的一部分。
微粒检测信息55在HEPA过滤器20的表面投影于从作业者W1来看容易目视确认的位置。因此，也可以设为伴随着吸引点54的移动而改变微粒检测信息55的投影位置。作为微粒检测信息55中表示的信息，按照次序显示在当前的吸引点54处颗粒计数器32检测出的二次侧的微粒的数量55b。作为其他信息，也可以显示当前泄漏检查中的过滤器的编号55a、颗粒计数器36检测出的一次侧的微粒的数量(未图示)等。在图5中，按照每个粒径显示过滤器的编号及检测出的二次侧的微粒的数量。
另外，也可以设为，在由颗粒计数器32检测出的微粒的数量超过了预定的基准的情况下，通过个人计算机52而在微粒检测信息55中显示异常警告。另一方面，也可以是，在根据颗粒计数器36的检测，向一次侧放出的微粒的数量发生了变化的情况下，通过个人计算机52在微粒检测信息55中显示异常警告。此外，上述警告也可以在微粒检测信息55中的显示的基础上或者取代在微粒检测信息55中的显示，而采用警报等其他手段进行表示。
这样，能够通过在以往所使用的泄漏检查装置30中并用本实施方式的泄漏检查辅助装置50，而一个作业者W1使吸引探测器31进行依据IEST标准等的准确的扫描。由此，能够准确地确定出过滤器的表面及安装部分的泄漏位置。另外，泄漏检查的作业者不需要特别的技术和丰富的经验。
接下来，对使从投影仪51的投影窗51b投影的投影图像53与HEPA过滤器20的表面相匹配的方法进行说明。具体而言，使投影图像53所示出的扫描线的轮廓(图2中的扫描线33b)与HEPA过滤器20的轮廓(图5中的外周部23)相匹配地进行投影。在本发明中，上述匹配方法不作特别限定，也可以使用投影仪所具有的投影修正方法。另外，还可以使用基于投影映射的基本技术。作为它们的例子，通过以下各实施例来进行说明。
实施例1
在本实施例1中，对在图4所示的泄漏检查装置30及泄漏检查辅助装置50的构成中使用泄漏检查辅助装置50所具备的投影修正功能来使投影图像53与HEPA过滤器20的表面相匹配的方法进行说明。
在泄漏检查辅助装置50中，将从投影仪51投影的投影图像53预先编程并搭载于个人计算机52中。通过向该程序输入进行泄漏检查的HEPA过滤器的编号、纵横尺寸、安装框的尺寸、吸引探测器的吸引口的尺寸等信息，来设定投影图像53的扫描线33a、33b的设定、配置及吸引点54的速度等。
图6是示出在本实施例1中利用投影修正功能对投影装置与过滤器的表面之间的位置关系进行修正的情况的概略图。图6示出从无尘室的地面侧(HEPA过滤器20的正下方)观察配置于无尘室的顶棚壁面的HEPA过滤器20的排气侧表面而得到的情况。另外，在图6中，仅显示一个HEPA过滤器20，省略在该HEPA过滤器20的周围(图示上下左右)相邻的HEPA过滤器或者顶棚壁面。因此，一个HEPA过滤器20在安装框21的外周部23处与相邻的HEPA过滤器或者顶棚壁面接触，该边界为HEPA过滤器20的安装部分，在该部分也需要进行泄漏检查。
另外，在图6中，以与HEPA过滤器20的表面重叠的方式投影投影图像53。该投影图像53呈比过滤器表面大的大致梯形，没有与HEPA过滤器20的表面匹配。即便是在投影仪51的投影窗51b位于HEPA过滤器20的正下方的情况下，投影图像53成为长方形而与HEPA过滤器20的表面匹配也是可能的，但现实中很难实现。在图6中，投影仪51相对于图位于近前下侧。
因此，投影仪51的位置不在HEPA过滤器20的正下方，而是偏移开，由此投影图像53成为梯形或单纯的四边形，未与HEPA过滤器20的表面匹配。因此，需要使投影于无尘室的顶棚壁面的投影图像53与HEPA过滤器20的表面匹配。
在此，在向无尘室的顶棚壁面投影的投影图像53中设定有用于对HEPA过滤器20的安装框21的外周部23(与相邻的HEPA过滤器或者顶棚壁面的边界)进行泄漏检查的扫描线33b(参见图2)。在图6中，该扫描线33b也沿着投影图像53的外周框53a而呈大致梯形。因此，使用泄漏检查辅助装置50具备的投影修正功能来进行修正，以使配置于无尘室的顶棚壁面的HEPA过滤器20的轮廓(安装框21的外周部23)与投影图像53所示出的扫描线的轮廓(扫描线33b)相匹配。
具体而言，在图6中，修正投影图像53，使扫描线33b的四个角部d1、d2、d3、d4移动至HEPA过滤器20的外周部23的四个角部P1、P2、P3、P4的位置。该移动机构可以使用投影仪51具备的修正功能，或者还可以使用搭载于个人计算机52中的程序的投影映射功能。
这样，在从投影仪51的投影窗51b向HEPA过滤器20的表面投影的投影图像53所示出的扫描线的轮廓(扫描线33b)与HEPA过滤器20的轮廓(安装框21的外周部23)相匹配而被投影的状态下，吸引探测器31的吸引点54以在HEPA过滤器20的表面沿与安装框21平行或者正交的X-Y轴方向以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影(参见图2)。
另外，通过对大致梯形的投影图像53进行长方形的修正，而泄漏检查辅助装置50能够检测出投影仪51的位置从HEPA过滤器20的正下方偏移了多大程度。也可以根据该偏移的程度来修正投影图像53，以使向HEPA过滤器20的表面投影的吸引点54的扫描速度成为恒定。另外，只要和投影仪51的位置与HEPA过滤器20的位置之间的偏移相应的吸引点54的扫描速度为设定值±10％以内偏差，就无需修正投影图像53。
实施例2
在本实施例2中，对在图4所示的泄漏检查装置30及泄漏检查辅助装置50的结构中使用泄漏检查辅助装置50具有的过滤器位置检测装置来使投影图像53与HEPA过滤器20的表面匹配的方法进行说明。
在泄漏检查辅助装置50中，从投影仪51投影的投影图像53被预先编程并搭载于个人计算机52中。通过向该程序输入泄漏检查的HEPA过滤器的编号、纵横尺寸、安装框的尺寸、吸引探测器的吸引口的尺寸等信息，来设定投影图像53的扫描线33a、33b的设定、配置及吸引点54的速度等。
图7是示出在本实施例2中通过过滤器位置检测装置检测投影装置与过滤器的各部位之间的位置关系的情况的概略图。图7表示从侧面观察配置于无尘室的顶棚壁面的HEPA过滤器20与配置于地面上的投影仪51之间的位置关系的情况。另外，在图7中，投影仪51的位置并不在HEPA过滤器20的正下方而是偏移开，由此来自投影仪51的投影图像53成为梯形或单纯的四边形，而没有与HEPA过滤器20的表面匹配(未图示)。因此，需要使向无尘室的顶棚壁面投影的投影图像53与HEPA过滤器20的表面匹配。
在图7中，投影仪51内置有过滤器位置检测装置56，配置于其一部分与投影窗51b接触的位置上。过滤器位置检测装置56检测从投影窗51b至HEPA过滤器20的外周部23的四个角部P1、P2、P3、P4(参见图6)的位置为止的距离和方向角(垂直方向角和水平方向角)。检测距离和方向角的方法可以是任何方法，可以使用各种传感器或者投影映射功能。
具体而言，在图7中，对从投影窗51b至HEPA过滤器20的一个角部P1为止的距离L1、其垂直方向角θ1及水平方向角(未图示)进行检测。另外，对从投影窗51b至HEPA过滤器20的其他一个角部P2为止的距离L2、其垂直方向角θ2及水平方向角(未图示)进行检测。相同地，对投影窗51b至HEPA过滤器20的其他两个角部P3、P4为止的距离、其垂直方向角及水平方向角(都未图示)进行检测。
这样，确定出从投影仪51的投影窗51b至HEPA过滤器20的外周部23的四个角部P1、P2、P3、P4(参见图6)的位置为止的距离、其垂直方向角及水平方向角。根据这些检测值，利用搭载于个人计算机52中的程序，对从投影仪51向HEPA过滤器20的表面投影的投影图像53进行修正。这样，在从投影仪51的投影窗51b向HEPA过滤器20的表面投影的投影图像53所示出的扫描线的轮廓(扫描线33b)与HEPA过滤器20的轮廓(安装框21的外周部23)相匹配而被投影的状态下，吸引探测器31的吸引点54以在HEPA过滤器20的表面与沿安装框21平行或者正交的X-Y轴方向以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影(参见图2)。
另外，也可以通过修正了投影图像53，而利用搭载于个人计算机52中的程序修正投影图像53，以使向HEPA过滤器20的表面投影的吸引点54的扫描速度成为恒定。另外，只要和投影仪51的位置与HEPA过滤器20的位置之间的偏移相应的吸引点54的扫描速度为设定值±10％以内的偏差，就无需修正投影图像53。
如以上说明的那样，根据本实施方式，能够提供一种泄漏检查辅助装置及使用了该泄漏检查辅助装置的泄漏检查方法，在无尘室内的过滤器的泄漏检查时，能够使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小，且能够由较少的作业者实施准确的泄漏检查。
附图标记说明
10…无尘室内，11…顶棚壁面，12…下游侧，13…上游侧，14…塑料片材，20…HEPA过滤器，21…安装框，22…滤材，23…外周部，30…泄漏检查装置，31…吸引探测器，32，36…颗粒计数器，33…单箭头(操作方向)，34…双箭头(维持间隔)，33a、33b…扫描线，35…吸引口，31a、35a…配管，40…含有微粒的气雾剂，50…泄漏检查辅助装置，51…投影仪，51a、52a…连接线路，51b…投影窗，52…个人计算机，53…投影图像，53a…外周框，54…吸引点，55…微粒检测信息，55a…过滤器的编号，55b…微粒的数量，56…过滤器位置检测装置，L1、L2…距离，θ1、θ2…方向角，P1～P4…过滤器的外周部的角部，d1～d4…扫描线的角部，F…供气装置，W1、W2…作业者。

Claims (4)

1.一种泄漏检查辅助装置，在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，
所述泄漏检查辅助装置的特征在于，
具有直接或间接地载置于所述作业室的地面上的投影装置，所述投影装置具有的投影修正单元通过以使从所述投影装置的投影窗向所述过滤器的表面投影的投影图像的扫描线的外周部轮廓的各角部移动至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置的方式修正位置关系而成为所述投影图像示出的扫描线的外周部轮廓与所述过滤器的外周部轮廓相匹配而被投影的状态，
所述投影装置将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式基于所述位置关系的修正而修正所述吸引点的移动速度并投影于所述过滤器的表面，并且将由附属于所述泄漏检查装置的微粒检测器检测出的泄漏信息投影于所述过滤器的表面。
2.一种泄漏检查辅助装置，在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，
所述泄漏检查辅助装置的特征在于，
具有直接或间接地载置于所述作业室的地面上的投影装置、过滤器位置检测装置及信息处理装置，
所述过滤器位置检测装置检测从所述投影装置的投影窗至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置为止的距离及其垂直方向角和水平方向角作为位置关系，
所述信息处理装置根据检测出的所述位置关系计算出从所述投影装置的投影窗至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置为止的方向和距离，并对投影图像示出的扫描线的外周部轮廓进行修正而成为所述投影图像示出的扫描线的外周部轮廓与所述过滤器的外周部轮廓相匹配而被投影的状态，
所述投影装置将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式基于所述外周部轮廓的修正而修正所述吸引点的移动速度并投影于所述过滤器的表面，并且将由附属于所述泄漏检查装置的微粒检测器检测出的泄漏信息投影于所述过滤器的表面。
3.根据权利要求1或2所述的泄漏检查辅助装置，其特征在于，
将所述微粒检测器检测出的泄漏信息作为检测出的微粒的数量而实时地投影于所述过滤器的表面，并且在该检测出的微粒的数量超过预定的基准的情况下发出异常警告。
4.一种泄漏检查方法，在作业室中使用泄漏检查装置进行过滤器的泄漏检查，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，
所述泄漏检查方法的特征在于，
所述泄漏检查装置具有微粒检测器及与该微粒检测器连接的吸引探测器，
在使用该吸引探测器扫描所述过滤器的表面时，使用权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查辅助装置，
从而使所述吸引探测器以追踪吸引点的方式进行扫描，所述吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影。
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