JP4443350B2

JP4443350B2 - 空調設備

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Publication number: JP4443350B2
Application number: JP2004248108A
Authority: JP
Inventors: 靖弘吉留
Original assignee: Taikisha Ltd
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Filing date: 2004-08-27
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Description

本発明は、クリーンルームにおいて室内天井面から室内に吹き出す清浄空気の風速検査や清浄度検査などを容易に行えるようにした空調設備に関し、
詳しくは、室内天井面から空調用空気を均一な状態で下向き平行流的に室内へ吹き出す空調対象室において、室内における一組の対向側壁どうしの対向方向をフレーム長手方向とする姿勢で室内天井面の下方を室内における他の一組の対向側壁どうしの対向方向へ移動動作させる走行フレームを設け、
この走行フレームに、室内天井面から吹き出される空調用空気に対する検査端末部を走行フレーム長手方向に移動動作させる状態に装備する空調設備に関する。

従来、上記の如き空調設備では、図１０に示す如く、検査端末部９を走行フレーム長手方向視で走行フレーム８の上部に位置させる支持状態にして走行フレーム８に装備していた。
また、走行フレーム８と室内側壁との衝突を確実に回避しながら、その室内側壁の極近傍の吹き出し空調用空気に対し検査端末部９を良好に検査機能させることを目的として、検査端末部９を走行フレーム８の直上部ではなく、それよりも走行フレーム移動方向の一方側に若干偏った走行フレーム上部近傍箇所に位置させる支持状態にして走行フレーム８に装備したものもある（特許文献１参照）。

特開平１１−９９２７号

しかし、上記した従来の空調設備では、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査を走行フレーム８の移動動作と走行フレーム８に対する走行フレーム長手方向への検査端末部９の移動動作との組み合わせをもって容易に能率良く行うことができ、この点で所期の目的は達成し得るものの、吹き出し空調用空気に対する検査において正確な検査結果を安定的に得る面で未だ改善の余地があった。

この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、検査端末部を走行フレームに装備するのに合理的な装備形態を採ることにより、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査において正確な検査結果を安定的に得られるようにする点にある。

〔１〕本発明の第１特徴構成は空調設備に係り、その特徴は、
室内天井面から空調用空気を均一な状態で下向き平行流的に室内へ吹き出す空調対象室において、室内における一組の対向側壁どうしの対向方向をフレーム長手方向とする姿勢で室内天井面の下方を室内における他の一組の対向側壁どうしの対向方向へ移動動作させる走行フレームを設け、
この走行フレームに、室内天井面から吹き出される空調用空気に対する検査端末部を走行フレーム長手方向に移動動作させる状態に装備する空調設備において、
室内天井面からの空調用空気の吹き出しに伴い、走行フレーム長手方向視で前記走行フレームの移動方向両側の近傍箇所に室内の他部よりも空気流速が大きくなる流線屈曲域が形成されることに対し、
前記検査端末部を、走行フレーム長手方向視で前記流線屈曲域の走行フレーム移動方向における外縁部又はその近傍で前記流線屈曲域の外側に位置させる張り出し支持状態にして前記走行フレームに装備してある点にある。

つまり、室内天井面から均一な状態で下向き平行流的に室内へ吹き出す空調用空気の流動について研究した結果、図３に示す如く、走行フレーム長手方向視において走行フレーム８の上部及び下部には、室内天井面からの吹き出し空調用空気ＳＡに対して走行フレーム８が障害物となることで空気流が乱れる渦流域Ａ１，Ａ２が形成され、この為、走行フレーム長手方向視で走行フレーム８の上部や上部近傍に検査端末部９を位置させる先述の従来設備では、検査端末部９が上側渦流域Ａ１における空気流の乱れの影響を受け易く、このことが原因で従来設備では、室内天井面からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査において、その検査結果が不正確で不安定なものになり易かった。

また、同図３に示す如く、走行フレーム８の移動方向両側（すなわち、走行フレーム８の移動方向前後部）の近傍箇所には、室内天井面から下向き平行流的に吹き出した空調用空気ＳＡが走行フレーム８を避けることにより流線が屈曲して空気流速が室内の他部Ｃよりも大きくなる流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２が形成されるのが確認され、この為、渦流域Ａ１，Ａ２の影響を回避すべく検査端末部９の支持位置を単に走行フレーム長手方向視で走行フレーム８の側部に変更したとしても、流線屈曲域Ｂ１（ないしＢ２）の影響を受けることで、やはり検査結果が不正確で不安定なものになり易いことも判明した。

これに対し、第１特徴構成によれば（同図３参照）、上記の研究結果に基づき、検査端末部９を走行フレーム長手方向視で上記流線屈曲域Ｂ１（ないしＢ２）の走行フレーム移動方向における外縁部Ｂ１′（ないしＢ２′）、又は、その近傍で流線屈曲域Ｂ１（ないしＢ２）の外側Ｃ１′（ないしＣ２′）に位置させる張り出し支持状態にして走行フレーム８に装備するから、検査端末部９を支持する支持具を極力短尺にして検査端末部９の揺れによる検査精度の低下も回避しながら、検査端末部９を走行フレーム８から遠く離れた室内他部Ｃ（すなわち、吹き出し空調用空気ＳＡが下向き平行流的な状態を安定的に保って流れる部分）に配置するのとほぼ同等の正確な検査結果を、室内天井面からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査において安定的に得ることができる。

因みに、渦流域Ａ１，Ａ２や流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２の影響を回避するのに、別手段として、検査端末部９と走行フレーム８との高さ方向における離間寸法を大きくして、検出端末部９を上側渦流域Ａ１の上縁部又はその近傍で上側渦流域Ａ１の上方外側に位置させる支持状態にして走行フレーム８に装備することも考えられるが、この場合、室内天井面と走行フレーム８との高さ方向における離間寸法を大きく確保することが必要になり、その分、走行フレーム８の室内設置高さが低くなって室内設置物が走行フレーム８の移動動作の障害となり易くなることで検査作業の能率低下を招く問題があり、また、空調対象室の構築条件などから室内天井面と走行フレーム８との高さ方向における離間寸法が制限されることで、検査端末部９と走行フレーム８との高さ方向における離間寸法を大きくすること自体が難しいケース（例えば、後述の図９に示すケース）も多く生じる適用性面での問題もあった。

これに対し、第１特徴構成によれば、走行フレーム長手方向視において検査端末部９を走行フレーム移動方向への張り出し支持状態で走行フレーム８に装備するから、室内天井面と走行フレーム８との高さ方向における離間寸法を上記別手段の如く大きく確保する必要がなく、この点、室内設置物が走行フレーム８の移動動作の支障になり易くなって検査作業の能率が低下するといった上記問題を効果的に回避しながら、また、上記の如き適用性面での問題も回避しながら、室内天井面からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査において正確な検査結果を安定的に得ることができる。

なお、第１特徴構成の実施において、室内天井面とは、図８に示す如く、天井部に並設した多数のフィルタ２から清浄な空調用空気ＳＡを室内に対して直接に下向き平行流的に吹き出す場合などでは、それら並設フィルタ２の出口面（室内に対して直接に臨むフィルタ出口面）を指すが、例えば図１や図９に示す如く、それら並設フィルタ２の下方に通気性の天井仕切り４を設けて、並設フィルタ２からの吹き出し空調用空気ＳＡを天井仕切り４を介して室内に下向き平行流的に吹き出す場合など、その天井仕切り４の下面４ａと並設フィルタ２の出口面とのいずれを室内天井面として扱ってもよい。

すなわち、図１に示す設備は、天井仕切り４の下面４ａを室内天井面として走行フレームを天井仕切り４の下方に配置した例を示し、一方、図９に示す設備は、並設フィルタ２の出口面を室内天井面として走行フレーム８を並設フィルタ２の出口面と天井仕切り４との間に配置した例を示す。

また、第１特徴構成の実施において、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査の具体的な内容は、風速検査や、並設フィルタから吹き出される清浄空気の清浄度検査（換言すれば、並設フィルタに対するリーク検査）、あるいは、吹き出し空調用空気の温度や湿度の検査など、走行フレームに装備した検査端末部をもって検査し得るものであれば、どのようなものであってもよい。

〔２〕本発明の第２特徴構成は、第１特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記検査端末部を走行フレーム長手方向視において前記走行フレームとほぼ同じ高さで前記走行フレームの一側方に位置させる支持状態にして前記走行フレームに装備するとともに、
走行フレーム移動方向における前記検査端末部と前記走行フレームとの離間寸法を７５ｍｍ〜２５０ｍｍにしてある点にある。

つまり、室内天井面から空調用空気を均一な状態で下向き平行流的に室内に吹き出す空調対象室（代表的には電子部品の製造や製薬に用いるクリーンルームなど）の場合、室内天井面からの空調用空気の吹き出し風速は一般的に０．３〜０．６ｍ／ｓ程度に設定されるが、前述の研究では、この吹き出し風速条件の場合、上記第２特徴構成を採れば、検査端末部は走行フレームとほぼ同じ高さの条件下において概ね前述の第１特徴構成で言う張り出し支持状態（すなわち、走行フレーム長手方向視で流線屈曲域の走行フレーム移動方向における外縁部又はその近傍で流線屈曲域の外側に位置する支持状態）になることが判明した。

したがって、この第２特徴構成によれば、室内天井面からの空調用空気の吹き出し風速が０．３〜０．６ｍ／ｓ程度の場合において、検査端末部を前述の張り出し支持状態で走行フレームに装備するのに、精密な風速測定により走行フレーム周りにおける流線屈曲域の位置を特定する付帯作業を不要にすることができ、この点で、第１特徴構成の実施を容易にすることができる。

なお、第２特徴構成の実施において、走行フレーム移動方向における検査端末部と走行フレームとの離間寸法とは、走行フレームにおける検査端末部の側の側面部と検査端末部との走行フレーム移動方向における離間寸法を言う。

また、第２特徴構成の実施においては、走行フレーム移動方向における検査端末部と走行フレームとの離間寸法を１００ｍｍ〜２５０ｍｍにするのが望ましく、さらに、その離間寸法を１５０ｍｍ〜２５０ｍｍにするのが一層望ましい。

〔３〕本発明の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
高さ方向における前記検査端末部と前記室内天井面との離間寸法を１００ｍｍ以上にしてある点にある。

つまり、前述の研究によれば、室内天井面の下方においても室内天井面に極近い箇所では、前述の渦流域や流線屈曲域ほどの強い空気乱れではなく、また、室内天井面を構成する部材の構造によって強さの程度も若干異なるが、空調用空気を下向き平行流的に吹き出す室内天井面の構成部材そのものの存在に原因する弱い空気乱れが定常的にあることが判明した。

そして、前述の如く、室内天井面から空調用空気を均一な状態で下向き平行流的に室内に吹き出す空調対象室では、室内天井面からの空調用空気の吹き出し風速が一般的に０．３〜０．６ｍ／ｓ程度に設定されるが、この吹き出し風速条件の場合、室内天井面の下方における上記の弱い空気乱れは最大で室内天井面の下方８０ｍｍ程度までの範囲において見られることが確認された。

これに対し、第３特徴構成によれば、上記の研究結果に基づき、高さ方向における検査端末部と室内天井面との離間寸法を１００ｍｍ以上にするから、室内天井面を構成する部材そのものの存在に原因する上記の如き弱い空気乱れの影響も回避した状態下で検査端末部を検査機能させることができ、これにより、室内天井面からの吹き出し空気に対する検査において正確な検査結果を安定的に得るという所期の目的を一層効果的に達成することができる。

〔４〕本発明の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記走行フレームにおける前記検査端末部の支持状態を、前記張り出し支持状態と、その張り出し支持状態よりも前記検査端末部を走行フレーム移動方向で前記走行フレームの近くに位置させる引き込み支持状態とに切り換える切換手段を設けるとともに、
走行フレーム長手方向視で前記走行フレームに対して前記検査端末部とは反対側に位置する室内側壁に、前記走行フレームの室内移動方向における延長の移動動作により前記走行フレームを収容するフレーム収容凹部を形成してある点にある。

つまり、検査端末部を前述の張り出し支持状態にして走行フレームに装備した場合、走行フレーム長手方向視で検査端末部とは反対側に位置する一方の室内側壁との近接位置まで走行フレームを移動させ得るようにしても、その一方の室内側壁の側において、検査端末部を室内天井面の直下に位置させることができない検査不可領域（換言すれば、張り出し支持状態の検査端末部を域内に移動させることができない領域）が生じるようになるが、第４特徴構成によれば、切換手段による張り出し支持状態から引き込み支持状態への切り換えにより検査端末部を走行フレームに近付けることと、フレーム収容凹部への走行フレームの収容の際の走行フレームの延長移動分だけ検査端末部を上記一方の室内側壁の側へ近付け得ることとの協働で、検査端末部を上記一方の室内側壁に対する極近傍の位置まで近付けることができる。

また、検査端末部を引き込み支持状態への切り換えにより走行フレームに近付けるにしても、走行フレームをフレーム収容凹部に収容することにより、前述した流線屈曲域及び渦流域の形成そのものを無くすことができて、引き込み支持状態にした検査端末部が流線屈曲域や渦流域の影響を受けることも回避することができる。

すなわち、これらのことにより、基本的には検査端末部を張り出し支持状態で走行フレームに装備する方式を採りながらも、上記検査不可領域を無くすとともに、その検査不可領域に相当する領域（上記一方の室内側壁に近い領域）においても、流線屈曲域や渦流域の影響を回避した状態で、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査において正確な検査結果を安定的に得ることができ、この点で、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査機能に一層優れた空調設備にすることができる。

因みに、上記の検査不可領域を無くすとともに、その検査不可領域に相当する箇所での検査において流線屈曲域や渦流域の影響を回避するのに、別手段として、フレーム収容凹部への走行フレームの収容のみにより、検査端末部を張り出し支持状態のままで上記一方の室内側壁に対する極近傍の位置まで近づけ得るようにすることも考えられるが、この場合、走行フレーム移動方向におけるフレーム収容凹部の奥行き寸法（換言すれば、凹部の深さ寸法）をかなり大きなものにしなければならず、このことが空調対象室を構築する上での大きな制約条件となる。

これに対し、第４特徴構成によれば、引き込み支持状態への切り換えにより検査端末部を走行フレームに近付けることと、フレーム収容凹部への走行フレームの収容により検査端末部を上記一方の室内側壁の側へ近付けることとの協働をもって、検査端末部を上記一方の室内側壁に対する極近傍の位置まで近付けるから、上記の別手段に比べ、走行フレーム移動方向におけるフレーム収容凹部の奥行き寸法を小さくすることができて、空調対象室を構築する上での制約条件を軽減することができ、この点で適用性にも優れたものにすることができる。

〔５〕本発明の第５特徴構成は、第４特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記切換手段として、走行フレーム長手方向視で前記走行フレームから前記フレーム収容凹部とは反対側に延びる姿勢でその先端部を前記検査端末部の取付部とした支持具を、前記検査端末部が張り出し支持状態になる伸長状態と前記検査端末部が引き込み支持状態となる収縮状態とにわたって伸縮自在な構造にするとともに、
前記フレーム収容凹部を形成した室内側壁と対向する室内側壁に対し前記支持具の先端部を前記走行フレームの移動動作により当接させた状態で、さらに、その当接側壁の側へ前記走行フレームを移動動作させることにより、前記支持具を伸長状態から収縮状態に切り換える構造にしてある点にある。

つまり、この第５特徴構成によれば、フレーム収容凹部を形成した室内側壁と対向する室内側壁の側への走行フレームの移動動作と、その対向側壁に対する支持具先端部の当接とをもって上記支持具を伸長状態から収縮状態に切り換えることで、検査端末部を張り出し支持状態から引き込み支持状態に切り換えることができるから、切換手段として、支持具の交換や伸縮自在な支持具の手動操作による収縮状態への切り換えにより、検査端末部を張り出し支持状態から引き込み支持状態に切り換える構造を採るに比べ、検査端末部の引き込み支持状態への切り換えを容易することができる。

なお、第５特徴構成の実施において、検査端末部を引き込み支持状態から張り出し支持状態に切り換える側の操作については、上記支持具を手動操作により収縮状態から伸長状態に切り換える操作形態や、専用アクチュエータにより上記支持具を収縮状態から伸長状態に切り換える操作形態など、種々の操作形態を採ることができる。

因みに、伸縮自在な支持具を伸長状態と収縮状態とに切り換えることで検査端末部を張り出し支持状態と引き込み支持状態とに切り換えるには、支持具の伸長状態への切り換え及び収縮状態への切り換えの双方を専用のアクチュエータにより行う方式も考えられるが、この場合、その双方切り換えの為に専用アクチュエータに対する操作機構が複雑化するのに対し、第５特徴構成によれば、支持具の切り換えに専用アクチュエータを用いる場合にしても、専用アクチュエータによる操作は支持具の伸長状態への切り換えだけですむことから、上記の別手段に比べ専用アクチュエータに対する操作機構を簡略化することができる。

〔６〕本発明の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれかの実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記走行フレームの脱着操作を伴わない状態での前記走行フレームの移動動作と走行フレーム長手方向への前記検査端末部の移動動作とで移動させ得る前記検査端末部の移動範囲が前記室内天井面の全面に及ぶ状態に、単数又は並列配置の複数の前記走行フレームを空調対象室に配設してある点にある。

つまり、この第６特徴構成によれば、走行フレームを脱着操作（一般的には、走行フレームとそれに対する駆動機構などを含めたユニットを脱着操作）して空調対象室における各検査対象域へ順次に配置替えするといったフレーム移設作業を不要にして、単数又は並列配置した複数の走行フレームの移動操作と走行フレームに対する走行フレーム長手方向への検査端末部の移動操作とで、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査を室内天井面の全面について行うことができ、これにより、室内天井面からの吹き出し空調用空気に対する検査を一層容易にして、その作業能率を一層高めることができる。

〔７〕本発明の第７特徴構成は、第１〜第６特徴構成のいずれかの実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
清浄な空調用空気を下向きに吹き出す多数のフィルタを水平方向に並べて空調対象室の天井部に配設するとともに、それらフィルタの下方に着脱自在な通気性の天井仕切りを配置して、前記フィルタから吹き出される空調用空気を前記天井仕切りを介して下向き平行流的に空調対象室の室内に吹き出す構造にし、
この天井仕切りの下面を前記室内天井面として前記走行フレームを前記天井仕切りの下方に配設してある点にある。

つまり、この第７特徴構成によれば、天井仕切りの下方で走行フレーム及び検査端末部を移動動作させて、天井仕切りからの吹き出し空調用空気に対する検査（例えば、風速検査）を行うことに加え、着脱自在な天井仕切りを取り外した状態で走行フレーム及び検査端末部を移動動作させることにより、フィルタからの吹き出し空調用空気に対する検査（例えば、フィルタのリーク検査）も行うことができ、この点で検査機能に一層優れたものにすることができる。

図１、図２は空調対象室としてのクリーンルームを示し、このクリーンルーム１の天井部には、多数の高性能フィルタ２を水平方向に行列配置で並べて天井部の全体に配設し、これらフィルタ並設群ＦＭの上方の天井裏空間を給気チャンバ３として、この給気チャンバ３に対し空調用空気ＳＡを供給することで、その空調用空気ＳＡを高性能フィルタ２により浄化した上で各高性能フィルタ２の出口面から均等な状態で下向き平行流的に吹き出す構成にしてある。

また、クリーンルーム１の天井部においてフィルタ並設群ＦＭの下方には、多孔板からなる通気性の天井仕切り４を水平姿勢で天井部の全体に配設してあり、高性能フィルタ２から吹き出される浄化後の清浄な空調用空気ＳＡは、この天井仕切り４を介してクリーンルーム１の室内全体に対し均等な状態で下向き平行流的に吹き出すようにしてある。

そして、クリーンルーム１の下部には室内の空気ＲＡを室外へ排出する吸気口５を設けてあり、室内天井面に相当する天井仕切り４の下面４ａから均等な状態で下向き平行流的に清浄な空調用空気ＳＡを室内に吹き出すのに併行して、室内下部の吸気口５（望ましくは、床の全面に分散させた吸気口）から室内空気ＲＡを排出することで、クリーンルーム１の室内清浄度を高く保つ。

なお、給気チャンバ３に供給する空調用空気ＳＡについては、吸気口５からの排出空気ＲＡの一部と外気との混合空気を温湿度調整した上で空調用空気ＳＡとして給気チャンバ３に供給する形態、あるいは、温湿度調整した外気のみを空調用空気ＳＡとして給気チャンバ３に供給する形態など、種々の供給形態を採ることができる。

平面視形状が長方形の上記クリーンルーム１において、互いに対向する長辺側の室内側壁１ａ，１ｂ夫々の上部で天井仕切り４よりも少しだけ低い箇所には、短辺側の一方の室内側壁１ｃから短辺側の他方の室内側壁１ｄにわたって天井仕切り４と平行な姿勢で延びる溝状のレール収容凹部６を形成してあり、これらレール収容凹部６夫々の内部には、それら凹部６と同様、短辺側の一方の室内側壁１ｃから短辺側の他方の室内側壁１ｄにわたって天井仕切り４と平行な姿勢で延びるレール７を設けてある。

そして、天井仕切り４の下方には、長辺側の室内側壁１ａ，１ｂどうしの対向方向をフレーム長手方向とする姿勢で両レール７にわたらせて架設した走行フレーム８を配設し、この走行フレーム８を両レール７による案内下で走行フレーム用駆動手段（図示を省略）により天井仕切り４の下方において短辺側の室内側壁１ｃ，１ｄどうしの対向方向に移動動作させるようにしてある。

また、走行フレーム８には、天井仕切り４の下面４ａからの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査端末部９を、端末部用駆動手段（図示を省略）により長辺側の一方の室内側壁１ａから長辺側の他方の室内側壁１ｂにわたって走行フレーム長手方向に移動動作させる状態で装備してあり、これら走行フレーム８の移動動作と走行フレーム８に対する走行フレーム長手方向への検査端末部９の移動動作とで、検査端末部９を室内のほぼ全体にわたって天井仕切り４の下方の各位置に移動させ得るようにしてある。

１０は台車１１に載せた検査実行機器、１２は隠蔽配線を介して走行フレーム用及び端末部用の駆動手段に接続した状態で室内側壁１ａに配設した接続端子部であり、操作線１３を介して検査実行機器１０を接続端子部１２に接続することで、検査実行機器１０による移動制御により走行フレーム用及び端末部用の駆動手段を自動操作して、検査端末部９を設定移動経路に沿わせて自動的に移動動作させるようにしてある。

１４は検査端末部９と検査実行機器１０とを接続する検出信号線又は検出管であり、例えば、風速センサを検査端末部９として吹き出し空調用空気ＳＡの風速を検査する場合には、各検査位置における風速センサ９の検出風速情報を風速センサ９から検出信号線１４を通じて検査実行機器１０に送り、また、空気採取器を検査端末部９として吹き出し空調用空気ＳＡの清浄度を検査する場合には、各検査位置において空気採取器９により採取した吹き出し空調用空気ＳＡのサンプルを検出管１４を通じて検査実行機器１０に送る。

検査端末部９は、天井仕切り４からの空調用空気ＳＡの吹き出しに伴い走行フレーム長手方向視で走行フレーム８の移動方向両側の近傍箇所に形成される流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２（図３参照）のうちの一方のものの走行フレーム移動方向における外縁部Ｂ１′に位置させる、又は、その近傍で流線屈曲域Ｂ１の外側箇所Ｃ１′に位置させる張り出し支持状態にして走行フレーム８に装備してあり、これにより、検査端末部９が流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２の影響及び走行フレーム８の上部及び下部に形成される渦流域Ａ１，Ａ２の影響を受けない状態にして、天井仕切り４からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する風速検査や清浄度検査において正確な検査結果を安定的に得られるようにしてある。

走行フレーム長手方向視で走行フレーム８に対して張り出し支持状態の検査端末部９とは反対側に位置する短辺側の一方の室内側壁１ｃには、走行フレーム８の室内移動方向における延長の移動動作により走行フレーム８を収容する溝状のフレーム収容凹部１５を長辺側の両室内側壁１ａ，１ｂにわたらせて両レール収容凹部６と連続させる状態に形成してあり、また、走行フレーム８において検査端末部９を上記の張り出し支持状態で支持する支持具１６は、図４に示す如く走行フレーム長手方向視で走行フレーム８からフレーム収容凹部１５とは反対側に延びる姿勢でその先端部を検査端末部９の取付部とした構造にするとともに、複数の支持具構成部材１６ａ〜１６ｃの相対摺動により走行フレーム移動方向に伸縮自在な構造にしてある。

そして、この支持具１６を伸長状態にすることで、検査端末部９を前述の張り出し支持状態にし、また、この支持具１６を収縮状態にすることで、検査端末機９を張り出し支持状態よりも走行フレーム移動方向で走行フレーム８の近くに位置させる引き込み支持状態にし得るようにしてある。

つまり、吹き出し空調用空気ＳＡの検査にあたっては、走行フレーム８の移動動作及び走行フレーム８に対する走行フレーム長手方向への検査端末部９の移動動作との組み合わせにより、張り出し支持状態の検査端末部９を例えば図５に示す如き短辺側の一方の室内側壁１ｃから短辺側の他方の室内側壁１ｄに向かう蛇行状の設定移動経路ＳＲに沿って自動移動させながら、その設定移動経路ＳＲ上の各位置において検査端末部９を検査機能させるが、この設定移動経路ＳＲに沿った検査端末部９の自動移動による検査に続いて、図６（ａ）に示す如く走行フレーム８の移動動作により支持具１６の先端部（検査端末部９であってもよい）をフレーム収容凹部１５の形成側壁１ｃとは反対側の短辺側の他方の室内側壁１ｄに当接させるとともに、その状態からさらに走行フレーム８を当接側壁１ｄの側へ移動動作させることで、支持具１６を伸長状態から収縮状態へ収縮させて、検査端末部９の支持状態を張り出し支持状態から引き込み支持状態に切り換える。

また、この切り換えに続き、走行フレーム８をフレーム収容凹部１５の形成側壁１ｃの側へ移動させるとともに、その室内移動に続く延長の移動動作で走行フレーム８を図６（ｂ）に示す如くフレーム収容凹部１５に収容した状態にし、これにより、引き込み支持状態にある検査端末部９をフレーム収容凹部１５の形成側壁１ｃに極近い壁際領域Ｘ（すなわち、張り出し支持状態のままでは検査端末部９を位置させることができない領域）に位置させるとともに、フレーム収容凹部１５への走行フレーム８の収容をもって流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２や渦流域Ａ１，Ａ２の形成を無くすようにして、その状態で検査端末部９を走行フレーム長手方向に移動動作させることにより、上記壁際領域Ｘにおける吹き出し空調用空気ＳＡの検査も流線屈曲域Ｂ１，Ｂ２や渦流域Ａ１，Ａ２の影響を受けない状態で良好に行えるようにする。

なお、支持具１６を収縮状態から伸長状態に切り換えて検査端末部９の支持状態を引き込み支持状態から張り出し支持状態に戻す操作は手動で行う。

本実施形態において検査端末部９の張り出し支持状態（図４参照）は、天井仕切り４の下面４ａからの空調用空気ＳＡの吹き出し風速ｖが０．３〜０．６ｍ／ｓであることに対し、一例として、検査端末部９と走行フレーム８との走行フレーム移動方向における離間寸法ｄを２００ｍｍとした状態で、検査端末部９を走行フレーム長手方向視において走行フレーム８とほぼ同じ高さで走行フレーム８の一側方に位置させる支持状態としてある。また、本実施形態において、天井仕切り４の下面４ａと検査端末部９との高さ方向における離間寸法ｈは１５０ｍｍとしてある。

天井仕切り４はクリーンルーム１の天井部に対して容易に着脱し得る構造にしてあり、また、天井仕切り４に対する支持部材（図示を省略）もクリーンルーム１の天井部に対して容易に着脱し得る構造にしてあり、これにより、必要時には、天井仕切り４及びそれに対する支持部材をクリーンルーム１の天井部から取り外した状態にして、その状態で走行フレーム８の移動動作及び走行フレーム８に対する走行フレーム長手方向への検査端末部９の移動動作により、検査端末部９をフィルタ並設群ＦＭの下方における各位置に移動させることで、高性能フィルタ２からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査（例えば、高性能フィルタ２に対するリーク検査）も容易に行えるようにしてある。

なお、天井仕切り４を取り外した状態で高性能フィルタ２からの吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査を実施する場合は、支持具１６の交換により高性能フィルタ２の出口面（下面）と検査端末部９との高さ方向における離間寸法を適当な寸法に調整するのが望ましい。

吹き出し空調用空気ＳＡに対する検査が終了すると、走行フレーム８はフレーム収容凹部１５に収容し、また、その収容状態で図７に示す如くフレーム収容凹部１５及びレール収容凹部６夫々の開口部を着脱自在な蓋１７，１８により閉塞し、これにより、クリーンルーム１の使用において走行フレーム８、フレーム収容凹部１５、レール収容凹部６の夫々が塵埃滞留の原因となることによる室内清浄度の低下を防止するようにしてある。

両レール収容凹部６に対する蓋１８の夫々には、フレーム収容凹部１５とは反対側の端部に通気孔１８ａを形成してあり、また、フレーム収容凹部１５には、吸引路１９を介して凹部排気ファン２０を接続してあり、これにより、クリーンルーム１に燻蒸処理を施した際には、その燻蒸処理の後、燻蒸ガスを吸気口５を通じて外部に廃棄するのに併行して、凹部排気ファン２０を運転することにより、蓋１７，１８をした状態のフレーム収容凹部１５及びレール収容凹部６の内部に燻蒸ガスが残留するのを防止する。

〔別実施形態〕
天井仕切り４の構成材は多孔板に限られるものではなく、通気性を有するものであれば、網状材やシート状材などであってもよい。

前述の実施形態では、天井仕切り４の下面４ａを室内天井面として走行フレーム８を天井仕切り４の下方に配置する例を示したが、図８や図９に示す如く、天井部に配設したフィルタ２の出口面を室内天井面として走行フレーム８をフィルタ２の下方に配置し、この構成においてフィルタ２の出口面から下向き平行流的に吹き出される空調用空気ＳＡを検査するのに、検査端末部９を走行フレーム長手方向視で流線屈曲域Ｂ１の走行フレーム移動方向における外縁部Ｂ１′、又は、その近傍で流線屈曲域Ｂ１の外側箇所Ｃ１′に位置させる張り出し支持状態にして走行フレーム８に装備するようにしてもよい。

前述の実施形態では、検査端末部９を張り出し支持状態にして走行フレーム８に装備するのに、検査端末部９を走行フレーム８とほぼ同じ高さで流線屈曲域Ｂ１の外縁部Ｂ１′、又は、その近傍で流線屈曲域Ｂ１の外側箇所Ｃ１′に位置させる支持状態にしたが、張り出し支持状態における検査端末部９の高さは走行フレーム８とほぼ同じ高さに限られるものではなく、検査端末部９を張り出し支持状態にして走行フレーム４に装備するのに、検査端末部９を走行フレーム８よりも高い位置あるいは低い位置で流線屈曲域Ｂ１の外縁部Ｂ１′、又は、その近傍で流線屈曲域Ｂ１の外側箇所Ｃ１′に位置させる支持状態にしてもよい。

前述の実施形態では、一本の走行フレーム８を対向する室内側壁１ａ，１ｂどうしにわたらせる状態に配設して、その走行フレーム８の移動動作と、その走行フレーム８に装備した検査端末部９の走行フレーム長手方向への移動動作とで移動させ得る検査端末部９のを移動範囲が室内天井面４の全面に及ぶようにしたが、これに代え、複数の走行フレーム８を並列に配設して、それら走行フレーム８の移動動作と、それら走行フレーム８の各々に装備した検査端末部９の走行フレーム長手方向への移動動作とで移動させ得る複数の検査端末部９の移動範囲が室内天井面４の全面に及ぶようにしてもよい。

なお、前述した本発明の第１特徴構成の実施においては、検査端末部９の移動範囲が必ずしも室内天井面４の全面に及ぶ必要はなく、場合によっては、検査端末部９の移動範囲が室内天井面４の一部にのみ及ぶものであってもよい。

前述の実施形態では、検査端末部９と検査実行機器１０とを検出信号線又は検出管１４で接続する例を示したが、検査端末部９を走行フレーム８に装備するのに、検査端末部９と検査実行機器１０の全部又は一部とを一体化した構造の小型な検査機器を走行フレーム８に装備するようにして、検査信号線や検査管１４を不要化するようにしてもよい。

本発明による空調設備は、クリーンルームを初めとする種々の用途の空調対象室に適用することができる。

クリーンルームの正面図クリーンルームの側面図渦流域及び流線屈曲域の分布を示す側面図検査端末部の支持構造を示す側面図検査端末部の移動経路を示す平面図引退支持状態への切換操作形態を示す側面図レール収容凹部及びフレーム収容凹部に対する排気構造を示す図別実施形態を示す走行フレームの配置図別実施形態を示す走行フレームの配置図従来における検査端末部の支持形態を示す側面図

符号の説明

４ａ室内天井面
ＳＡ空調用空気
１空調対象室
１ａ，１ｂ対向側壁
１ｃ，１ｄ他の対向側壁
８走行フレーム
９検査端末部
Ｂ１，Ｂ２流線屈曲域
Ｂ１′ 流線屈曲域の外縁部
Ｃ１′ 流線屈曲域の外縁部の近傍における流線屈曲域の外側箇所
ｄ走行フレーム移動方向における離間寸法
ｈ高さ方向における離間寸法
８，１６切換手段
１６支持具
１５フレーム収容凹部
２フィルタ

Claims

室内天井面から空調用空気を均一な状態で下向き平行流的に室内へ吹き出す空調対象室において、室内における一組の対向側壁どうしの対向方向をフレーム長手方向とする姿勢で室内天井面の下方を室内における他の一組の対向側壁どうしの対向方向へ移動動作させる走行フレームを設け、
この走行フレームに、室内天井面から吹き出される空調用空気に対する検査端末部を走行フレーム長手方向に移動動作させる状態に装備する空調設備であって、
室内天井面からの空調用空気の吹き出しに伴い、走行フレーム長手方向視で前記走行フレームの移動方向両側の近傍箇所に室内の他部よりも空気流速が大きくなる流線屈曲域が形成されることに対し、
前記検査端末部を、走行フレーム長手方向視で前記流線屈曲域の走行フレーム移動方向における外縁部又はその近傍で前記流線屈曲域の外側に位置させる張り出し支持状態にして前記走行フレームに装備してある空調設備。
前記検査端末部を走行フレーム長手方向視において前記走行フレームとほぼ同じ高さでで前記走行フレームの一側方に位置させる支持状態にして前記走行フレームに装備するとともに、
走行フレーム移動方向における前記検査端末部と前記走行フレームとの離間寸法を７５ｍｍ〜２５０ｍｍにしてある請求項１記載の空調設備。
高さ方向における前記検査端末部と前記室内天井面との離間寸法を１００ｍｍ以上にしてある請求項１又は２記載の空調設備。
前記走行フレームにおける前記検査端末部の支持状態を、前記張り出し支持状態と、その張り出し支持状態よりも前記検査端末部を走行フレーム移動方向で前記走行フレームの近くに位置させる引き込み支持状態とに切り換える切換手段を設けるとともに、
走行フレーム長手方向視で前記走行フレームに対して前記検査端末部とは反対側に位置する室内側壁に、前記走行フレームの室内移動方向における延長の移動動作により前記走行フレームを収容するフレーム収容凹部を形成してある請求項１〜３のいずれか１項に記載の空調設備。
前記切換手段として、走行フレーム長手方向視で前記走行フレームから前記フレーム収容凹部とは反対側に延びる姿勢でその先端部を前記検査端末部の取付部とした支持具を、前記検査端末部が張り出し支持状態になる伸長状態と前記検査端末部が引き込み支持状態となる収縮状態とにわたって伸縮自在な構造にするとともに、
前記フレーム収容凹部を形成した室内側壁と対向する室内側壁に対し前記支持具の先端部を前記走行フレームの移動動作により当接させた状態で、さらに、その当接側壁の側へ前記走行フレームを移動動作させることにより、前記支持具を伸長状態から収縮状態に切り換える構造にしてある請求項４記載の空調設備。
前記走行フレームの脱着操作を伴わない状態での前記走行フレームの移動動作と走行フレーム長手方向への前記検査端末部の移動動作とで移動させ得る前記検査端末部の移動範囲が前記室内天井面の全面に及ぶ状態に、単数又は並列配置の複数の前記走行フレームを空調対象室に配設してある請求項１〜５のいずれか１項に記載の空調設備。
清浄な空調用空気を下向きに吹き出す多数のフィルタを水平方向に並べて空調対象室の天井部に配設するとともに、それらフィルタの下方に着脱自在な通気性の天井仕切りを配置して、前記フィルタから吹き出される空調用空気を前記天井仕切りを介して下向き平行流的に空調対象室の室内に吹き出す構造にし、
この天井仕切りの下面を前記室内天井面として前記走行フレームを前記天井仕切りの下方に配設してある請求項１〜６のいずれか１項に記載の空調設備。