KR101772849B1 - 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법 - Google Patents

트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101772849B1
KR101772849B1 KR1020170083634A KR20170083634A KR101772849B1 KR 101772849 B1 KR101772849 B1 KR 101772849B1 KR 1020170083634 A KR1020170083634 A KR 1020170083634A KR 20170083634 A KR20170083634 A KR 20170083634A KR 101772849 B1 KR101772849 B1 KR 101772849B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
unit
trays
camera
defective
Prior art date
Application number
KR1020170083634A
Other languages
English (en)
Inventor
정주평
유강모
Original Assignee
주식회사비오엠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사비오엠 filed Critical 주식회사비오엠
Priority to KR1020170083634A priority Critical patent/KR101772849B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101772849B1 publication Critical patent/KR101772849B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/34—Purifying; Cleaning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N2021/8909—Scan signal processing specially adapted for inspection of running sheets

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 트레이를 다량으로 제공받아 각각의 트레이를 세정하여 이물질을 제거하고 트레이에 불량이 있는지 판단한 다음 불량 트레이와 정상 트레이를 선별하여 각각 분류 배출될 수 있도록 한 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 투입부에서 제공받은 적층된 검사대상 트레이를 낱개로 들어올리는 리프팅부와, 상기 리프팅부에서 상승된 트레이를 흡착하여 후공정으로 전달하는 제1다관절 로봇부와, 상기 제1다관절 로봇부에서 제공받은 트레이를 일정경로로 이송하는 안내이송부와, 상기 안내이송부의 이동경로 상에 설치되어 트레이의 표면에 있는 이물질을 제거하는 세정부와, 상기 안내이송부의 이동경로 상에 설치되어 세정부를 거친 트레이의 전체면을 촬영하는 비전촬영부와, 상기 비전촬영부의 촬영영상을 분석한 검사신호를 제공받아 검사대상 트레이를 불량 또는 정상 트레이로 분류하여 불량배출부와 정상배출부로 각각 적재하는 제2다관절 로봇부;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법{Tray defect inspection device and method for inspection}
본 발명은 트레이를 다량으로 제공받아 각각의 트레이를 세정하여 이물질을 제거하고 트레이에 불량이 있는지 판단한 다음 불량 트레이와 정상 트레이를 선별하여 각각 분류 배출될 수 있도록 한 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 TV, 컴퓨터 모니터, 스마트폰을 비롯한 각종 디스플레이에 적용되는 LCD, OLED 부품을 제조하기 위한 셀(Cell) 공정에서 공정간 제품을 이송하기 위해 수지계열로 이루어진 트레이를 사용하게 된다.
이러한 트레이의 사용과정에서 트레이 자체에 불량이 발생할 경우, 공정 자체가 멈추게 된다. 이때 관리자는 공정이 멈추었다는 신호를 받고나서 불량으로 인식된 트레이를 공정에서 제거하여 공정이 재개될 수 있도록 한다. 트레이가 불량으로 인식되는 경우는 트레이의 일부분이 파손되었거나 변형되는 등의 불량과, 트레이에 묻은 이물질로 인한 불량을 예를 들 수 있다. 그리고 트레이에 이물질이 묻은 경우 작업자가 일일이 제거해야 하는 번거로움이 있으며 이는 자동화 공정설비에 있어서 비효율적인 인력낭비라 할 수 있다.
이와 같이 트레이의 불량문제 하나로 공정설비의 가동이 일시적으로 중단되어 생산성을 크게 떨어뜨리는 문제점이 있으며, 불량 트레이를 인식하고 공정에서 제거하는 과정이 관리자의 수작업으로 이루어지기 때문에 즉각적으로 대응하기 어려울 뿐만 아니라 불량 트레이를 선별하여 제거하는 과정에서 딜레이가 발생하게 된다.
본 발명은 이러한 트레이의 불량을 사전에 파악하여 대처하기 위해 일정횟수의 공정순환 과정을 거쳐서 불량검사가 필요한 트레이를 다량으로 공급받아 불량 트레이가 있는지 검사하여 정상 트레이와 불량 트레이를 분류한 다음 정상 트레이를 다시 공정설비에서 재사용할 수 있도록 한 목적을 둔 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법에 관한 것이다.
종래의 트레이 관련 선행기술로서 공개특허 제10-2016-0144041호(영상 기법을 이용한 트레이 검사 장치)에는 스택커의 상부에 설치되며, 상기 스택커들에 적재되는 트레이들의 영상을 촬영하는 비젼부와, 상기 비젼부와 연결되며, 상기 촬영한 영상을 통해 상기 적재된 트레이들 각각을 검사하는 검사부; 및 상기 검사부와 연결되며, 상기 검사한 결과 상기 적재된 트레이의 적재 상태 또는 종류가 다르게 판단될 경우 이를 작업자에게 알려주는 경보부를 포함하는 영상 기법을 이용한 트레이 검사 장치가 개시되어 있다.
상기 선행기술은 작업공정상에 설치되어 사용되는 것으로, 작업자의 실수로 트레이에 다른 종류의 반도체가 적재될 경우, 이를 감지하여 작업자에게 알려주는기술로서, 트레이 자체의 파손이나 변형과 같은 불량을 검사하는 기술이 아니며 불량과 정상 트레이를 분류하는 기술사상은 선행기술에서 찾아볼 수 없다.
그리고 트레이와 관련된 기술은 아니지만 불량검사에 관련된 선행기술로서, 등록특허 제10-1259346호(단면 불량검사장치)에는 바닥판과, 상기 바닥판의 상부방향에 구비되고, 단면형상을 촬영하고자 하는 피대상물이 상부면에 안착되는 안착부와, 상기 안착부의 상부면에 안착된 피대상물의 단면형상을 촬영하는 카메라부와, 상기 안착부와 상기 바닥판이 평행하도록 상기 안착부의 수평상태를 조절하는 틸팅부와, 상기 카메라부가 촬영한 피대상물의 단면형상을 근거로 피대상물의 불량여부를 판단하는 제어부;를 포함한 구성이 제시되어 있다.
상기 선행기술은 고무 프로파일의 성형이 정확히 이루어졌는지 단면형상을 촬영하여 불량여부를 파악하는 기술로서, 본 발명에서 제시한 트레이의 파손이나 변형과 같은 불량검사에 적용될 수 없으며, 검사대상 트레이를 자동으로 불량 및 정상 트레이로 분류하는 기술사상과는 거리가 멀다고 할 수 있다.
본 발명은 트레이 불량으로 인해 공정설비의 가동이 일시적으로 중단되는 것을 방지하기 위해 트레이의 불량을 검사하고자 한 것으로, 적층된 복수의 트레이를 개별적으로 파손 및 변형 여부를 파악하여 최종적으로 불량 트레이와 정상 트레이로 분류하여 폐기 및 사용될 수 있도록 한 트레이 불량검사 장치를 제공함에 목적이 있다.
또한 트레이의 표면을 묻어있는 부유성 이물질을 제거하여 트레이가 사용되는 공정설비에서 이물질에 의한 문제점이 발생하지 않도록 하고, 트레이의 표면을 청결한 상태로 만들어 비전검사가 용이하게 이루어질 수 있도록 한 트레이 불량검사 장치를 제공함에 또 다른 목적이 있다.
본 발명은 투입부에서 제공받은 적층된 검사대상 트레이를 낱개로 들어올리는 리프팅부와, 상기 리프팅부에서 상승된 트레이를 흡착하여 후공정으로 전달하는 제1다관절 로봇부와, 상기 제1다관절 로봇부에서 제공받은 트레이를 일정경로로 이송하는 안내이송부와, 상기 안내이송부의 이동경로 상에 설치되어 트레이의 표면에 있는 이물질을 제거하는 세정부와, 상기 안내이송부의 이동경로 상에 설치되어 세정부를 거친 트레이의 전체면을 촬영하는 비전촬영부와, 상기 비전촬영부의 촬영영상을 분석한 검사신호를 제공받아 검사대상 트레이를 불량 또는 정상 트레이로 분류하여 불량배출부와 정상배출부로 각각 적재하는 제2다관절 로봇부;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 리프팅부;는 상부에 트레이의 특정 포인트를 감지하는 포토센서가 설치되어 트레이 상승시 트레이의 높이를 비교하여 트레이의 뒤틀림 정도를 측정하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 세정부는 트레이의 정전기를 제거하고 표면상의 이물질이 부유될 수 있도록 한 이온 블로워와, 상기 이온 블로워를 통해 부유된 이물질을 외부로 배출하는 배기부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 비전촬영부는 제1카메라가 트레이의 상부에 설치되어 트레이의 상면을 촬영하는 제1영역부와, 제2카메라가 트레이의 하부에 설치되고 제3카메라는 트레이의 측부에 설치되어 트레이의 상면을 제외한 나머지 표면을 촬영하는 제2영역부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제1영역부는 트레이가 안내이송부에 놓인 상태에서 제1카메라에 의해 상부촬영이 이루어지고, 제2영역부는 제2다관절 로봇부를 통해 트레이를 안내이송부에서 이탈시켜 원하는 방향으로 촬영될 수 있도록 하되, 먼저 제2카메라에 의해 하부촬영이 이루어진 다음, 트레이를 수직으로 세워서 트레이의 테두리부분에 해당하는 좌측면과 하측면을 제2카메라와 제3카메라를 통해 동시에 촬영하고, 이 상태에서 트레이를 180도 회전하여 트레이의 우측면과 상측면을 동시에 촬영하는 것을 특징으로 한다.
아울러 본 발명은 복수의 검사대상 트레이를 적층된 상태로 제공받는 단계(S-1)와, 상기 검사대상 트레이를 낱개로 분리하는 단계(S-2)와, 상기 낱개로 분리된 트레이를 전달받아 트레이의 표면을 세정하는 단계(S-3)와, 상기 세정된 트레이의 전체면을 촬영하는 단계(S-4)와, 상기 촬영된 데이터를 통해 트레이의 불량여부를 판단하는 단계(S-5)와, 상기 불량여부에 따라 불량 및 정상 트레이로 분류 배출하는 단계(S-6);로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 낱개로 분리하는 단계(S-2);에서 트레이 상승시 트레이의 특정포인트에 해당하는 높이를 측정하여 비교함으로써 트레이의 뒤틀림 정도를 측정하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 트레이의 표면을 세정하는 단계(S-3);는 이온이 포함된 가스를 트레이의 표면에 강하게 불어넣어 표면의 이물질이 공기 중에 부유할 수 있도록 한 다음, 부유된 이물질은 외부로 강제 배출시켜 이물질 제거가 이루어질 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다량의 적재된 트레이를 개별적으로 파손 및 변형에 의한 불량 또는 이물질에 의한 불량을 검사하여 불량 트레이와 정상 트레이로 선별하여 각각 분류배출 함으로써, 트레이가 사용되는 설비공정에서 불량 트레이에 의해 가동이 중단되는 문제를 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은 트레이를 검사하는 비전촬영 이전에 트레이이 표면을 먼저 세정함으로써, 제거가능한 이물질 즉, 공기압에 의해 부유하는 이물질을 제거하고 나서 촬영이 진행되기 때문에 트레이의 청소기능을 겸비하면서 비전촬영의 영상신뢰도를 높일 수 있는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 트레이 불량검사 장치의 전체 구성을 나타낸 평면도
도 2는 본 발명의 트레이 불량검사 장치의 전체 구성을 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 리프팅부를 나타낸 도면
도 4는 본 발명의 장치에서 주요 구성을 나타낸 평면도
도 5는 본 발명의 장치에서 세정부를 나타낸 사시도
도 6은 본 발명에 따른 세정부의 작동예시를 나타낸 측단면도
도 7은 본 발명의 세정부 및 비전촬영부를 나타낸 도면
도 8 내지 10은 본 발명에 따른 비전촬영부의 제2영역부에서 트레이의 촬영과정을 나타낸 도면
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법은 디스플레이에 적용되는 LCD, OLED 부품을 제조하기 위한 셀(Cell) 공정에서 공정간 제품을 이송하기 트레이의 불량상태 즉, 트레이의 파손, 변형, 이물질 등과 같은 문제로 인해 공정설비의 가동이 중단되어 생산성을 떨어뜨리는 문제점을 해결하기 위해 트레이의 불량여부를 미리 검사하여 사전에 선별하기 위한 기술이다. 아울러 본 발명은 LCD, OLED 부품에 한정하지 않고 이외에도 각종 전자기기의 부품공정에서 이송역할을 담당하는 트레이라면 얼마든지 적용가능함은 물론이다.
본 발명의 트레이 불량검사 장치는 도 1 내지 2에 도시한 바와 같이, 투입부(10)에서 제공받은 적층된 검사대상 트레이를 낱개로 들어올리는 리프팅부(20)와, 상기 리프팅부(20)에서 상승된 트레이를 흡착하여 후공정으로 전달하는 제1다관절 로봇부(30)와, 상기 제1다관절 로봇부(30)에서 제공받은 트레이를 일정경로로 이송하는 안내이송부(40)와, 상기 안내이송부(40)의 이동경로 상에 설치되어 트레이의 표면에 있는 이물질을 제거하는 세정부(50)와, 상기 안내이송부(40)의 이동경로 상에 설치되어 세정부(50)를 거친 트레이의 전체면을 촬영하는 비전촬영부(60)와, 상기 비전촬영부(60)의 촬영영상을 분석한 검사신호를 제공받아 검사대상 트레이를 불량 또는 정상 트레이로 분류하여 불량배출부(80)와 정상배출부(90)로 각각 적재하는 제2다관절 로봇부(70);로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 투입부(10)는 검사대상 트레이가 다량으로 적층된 상태로 투입되는 곳으로, 이때 검사대상 트레이는 설비공정에서 일정횟수 순환과정을 거쳐서 불량이 유발될 수 있는 트레이 즉, 불량이 의심되는 트레이를 제공받는 것이다. 물론 검사대상 트레이는 상기와 같이 일정량 사용을 거친 트레이가 해당될 수도 있지만, 본 발명에서는 이를 한정하지 않고 사용하지 않은 신품 트레이가 해당되어 불량검사가 이루어질 수도 있다.
상기 리프팅부(20)는 도 3에 도시한 바와 같이 투입부(10)의 적층된 트레이를 낱개로 분리하여 들어올리는 구성이다. 이때 낱개로 들어 올려진 트레이는 제1다관절 로봇부(30)에 의해 다음공정으로 전달되게 된다. 그리고 상기 리프팅부(20)는 단순히 트레이를 들어올리는 역할뿐만 아니라 상부에 트레이의 특정 포인트를 감지하는 포토센서(21)가 설치되어 트레이 상승시 트레이의 높이를 비교하여 트레이의 뒤틀림 정도를 측정하여 불량검사가 이루어질 수 있다.
상기 포토센서(21)는 총 4군데에 동일한 높이에 설치되어 트레이의 모서리와 근접한 지점을 감지하는 것이 바람직하며, 트레이가 상승할 때 트레이에 의해 포토센서(21)의 감지시간 차이를 비교하여 트레이의 높이를 측정하고 높이차이에 따라 트레이의 뒤틀림 정도를 계산할 수 있는 것이다. 좀더 부연설명을 하자면, 각각의 포토센서(21)의 감지신호가 시간차이 없이 동시에 감지될 경우 해당 트레이는 뒤틀림이 발생하지 않은 트레이로 간주하고, 특정 부분의 포토센서(21)가 먼저 감지될 경우 그 부분의 높이가 다른 부분보다 높아진 것으로 인식하여 트레이의 뒤틀림이 발생한 것으로 판단하는 것이다.
상기 제1다관절 로봇부(30)는 리프팅부(20)에서 상승한 낱개의 트레이가 손상되지 않도록 진공 흡착하여 후공정으로 전달하는 것으로, 제1다관절 로봇부(30)는 트레이를 집은 상태에서 자유자재로 트레이를 위치시킬 수 있기 때문에 트레이를 정확하고 빠르게 이동시킬 수 있으며 복잡한 이송장치를 대체할 수 있는 구성이다.
상기 안내이송부(40)는 도 4에 도시한 바와 같이 제1다관절 로봇부(30)에서 전달받은 트레이를 세정부(50)와 비전촬영부(60)를 지날 수 있도록 일정경로로 이송하는 구성이다. 상기 안내이송부(40)는 세정부(50)와 비전찰영부를 따라 직선방향으로 설치되는 가이드레일(41)과, 가이드레일(41) 상부에 이동가능하게 설치되고 모터와 같은 구동수단에 의해 가이드레일(41)을 따라 직선왕복 운동을 하는 작동유닛(42)과, 상기 작동유닛(42)에 연장되어 트레이가 안착될 수 있는 지지대(43);로 이루어져 있다.
상기 세정부(50)는 도 5에 도시한 바와 같이 안내이송부(40)의 이동경로 상에 설치되어 트레이의 표면에 있는 이물질을 제거하는 구성이다. 상기 세정부(50)는 상부와 하부에 각각 설치되되 이격공간을 두어 그 사이로 트레이가 지나면서 이물질제거가 이루어지는 것이다. 즉, 상기 세정부(50)는 이온블로워(51)를 통해 트레이의 표면을 향해 공기를 강하게 불어넣어 표면에 묻어있는 이물질이 부유될 수 있도록 하고, 부유된 이물질은 배기부(52)를 통해 외부로 배출하게 된다.
도 6에 도시한 바와 같이 상기 세정부(50)의 구성을 좀더 살펴보면 상부와 하부에 이온블로워(51)와 배기부(52)가 함께 마련된 구성이 각각 설치된다. 상기 이온블로워는 블로워본체(51a) 내부에 나이프 형태로 길게 형성된 노즐(51b)이 설치되어 트레이가 지나면서 고압의 공기가 트레이 표면에 접촉된다. 그리고 노즐의 진행방향 전후로는 블로워본체(51a)의 개방된 부분으로 이물질이 배출될 수 있도록 석션관로(51c)가 연결되는 구성으로 되어 있다. 아울러 이온블로워(51)의 외측에는 배기커버(53)가 마련되고 배기커버(53)상에 배기부(52)가 설치되어 부유된 이물질을 외부로 배출하게 된다. 따라서 이온블로워(51)의 노즐(51b)을 통해 이물질을 트레이에서 떼어낸 다음 이물질이 공기 중에 떠오르게 되면 배기부(52)와 이온블로워(51)의 석션관로(51c)를 통해 강제로 흡입하여 외부로 배출하는 것이다.
이와 같이 일반적인 공기가 주입되는 블로워를 사용하지 않고 이온블로워(51)를 사용하는 이유는 이온(ION) 성분에 의해 트레이의 정전기를 제거함으로써, 이물질이 쉽게 떨어지도록 하거나 떨어진 이물질이 다시 달라붙지 않게 하기 위함이다.
상기 비전촬영부(60)는 트레이의 전체면에 해당하는 정면, 배면, 좌측면, 우측면, 평면,저면 총 6면 전체를 촬영하는 구성으로, 촬영된 영상을 근거로 트레이의 파손상태 및 이물질이 묻어있는 지 파악할 수 있는 것이다. 아울러 비전촬영부(60)는 영상을 촬영하는 카메라뿐만 아니라 식별력을 높이기 위해 트레이의 표면을 비추는 조명장치가 함께 설치되어야 한다.
이와 같이 본 발명은 트레이가 비전촬영부(60)를 거치기 이전에 세정부(50)를 먼저 거치도록 함으로써, 제거가능한 이물질 즉, 공기압에 의해 부유하는 이물질을 제거하고 나서 촬영이 진행되기 때문에 트레이의 청소기능을 겸비하면서 비전촬영부(60)의 영상신뢰도를 높일 수 있게 되는 것이다. 만약, 세정부(50)에 의해 제거가 되지 않은 이물질(예를 들어 점성을 갖는 이물질)의 경우, 제거가 어려운 이물질로 판단하여 불량 트레이로 분류되는 것이다.
본 발명의 비전촬영부(60)는 도 7에 도시한 바와 같이 제1카메라(61a)가 트레이의 상부에 설치되어 트레이의 상면을 촬영하는 제1영역부(61)와, 제2카메라(62a)가 트레이의 하부에 설치되고 제3카메라(62b)는 트레이의 측부에 설치되어 트레이의 상면을 제외한 나머지 표면을 촬영하는 제2영역부(62)로 구성되는 것에 특징이 있다. 즉, 총 2개의 구역에 촬영이 이루어지며 총 3개의 카메라로 트레이 전체면을 촬영하는 것이다.
상기와 같이 비전촬영부(60)를 제1영역부(61)와 제2영역부(62)로 분할한 이유는, 만일 하나의 영역안에 트레이의 상부를 촬영하는 제1카메라(61a)와 하부를 촬영하는 제2카메라(62a)가 존재할 경우 마주보는 카메라의 위치로 인해 조명의 간섭이 생겨 촬영 영상의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점이 발생하기 때문이다. 그리고 또 다른 이유는 최소한의 카메라 개수로 최대한의 작업효율을 높이기 위한 것인데 구체적인 내용은 아래에 설명하고자 한다.
비전촬영부(60)의 촬영과정을 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도 7에 도시한 바와 같이 제1영역부(61)에서는 트레이가 안내이송부(40)에 놓인 상태에서 제1카메라(61a)에 의해 상부촬영이 이루어진다. 그리고 나서 안내이송부(40)를 통해 제2영역부(62)의 위치에 도달하면 제2다관절 로봇부(70)를 통해 트레이를 안내이송부(40)에서 이탈시켜 원하는 방향으로 전환해서 촬영이 이루어진다.
상기 제2영역부(62)에서는 먼저 도 8에 도시한 바와 같이 제2카메라(62a)에 의해 트레이의 하부를 촬영한다. 그리고 나서 도 9에 도시한 바와 같이 트레이를 수직으로 세워서 트레이의 테두리부분에 해당하는 좌측면과 하측면을 제2카메라(62a)와 제3카메라(62b)를 통해 동시에 촬영한다. 그런 다음 이 상태에서 도 10에 도시한 바와 같이 트레이를 180도 회전하여 트레이의 우측면과 상측면을 동시에 촬영하여 트레이의 전체 촬영이 끝나게 되는 것이다.
도 8 내지 10은 트레이의 촬영과정을 나타낸 것으로 도면상에는 제2다관절 로봇부(70)가 도시되어 있지 않지만, 이 과정에서 트레이는 제2다관절 로봇부(70)에 의해 흡착 고정된 상태에서 촬영 및 방향전환이 순차적으로 이루어지는 것이다.
이와 같이 비전촬영부(60)의 구성과 제2다관절 로봇부(70)에 의해 최소한의 카메라 대수로 작업효율을 높이고, 제2영역부(62)에서 제2카메라(62a)와 제3카메라(62b)가 동시촬영 함으로써 촬영시간을 단축할 수 있는 효과를 가지게 된다.
상기 제2다관절 로봇부(70)는 비전촬영부(60)에서 촬영을 마치고 난 다음 촬영영상을 분석한 검사신호를 제공받아 검사대상 트레이를 불량 또는 정상 트레이로 분류하여 불량배출부(80)와 정상배출부(90)로 각각 적재한 다음 최종적으로 배출될 수 있도록 한다. 이때 불량배출부(80)는 모든 불량 트레이를 적재할 수도 있으며, 필요에 따라 파손 및 변형된 불량 트레이와 이물질에 의한 불량트레이를 분류하여 적재할 수도 있다.
이와 같이 이루어진 본 발명의 트레이 불량검사 방법은 복수의 검사대상 트레이를 적층된 상태로 제공받는 단계(S-1)와, 상기 검사대상 트레이를 낱개로 분리하는 단계(S-2)와, 상기 낱개로 분리된 트레이를 전달받아 트레이의 표면을 세정하는 단계(S-3)와, 상기 세정된 트레이의 전체면을 촬영하는 단계(S-4)와, 상기 촬영된 데이터를 통해 트레이의 불량여부를 판단하는 단계(S-5)와, 상기 불량여부에 따라 불량 및 정상 트레이로 분류 배출하는 단계(S-6);로 이루어진다.
상기 낱개로 분리하는 단계(S-2);에서는 트레이 상승시 트레이의 특정포인트에 해당하는 높이를 측정하여 비교함으로써 트레이의 뒤틀림 정도를 측정할 수 있다. 이때 트레이의 뒤틀림 정도가 허용범위 이상일 경우 불량 트레이로 간주하여 최종단계에서 분류배출이 이루어게 된다.
그리고 상기 트레이의 표면을 세정하는 단계(S-3);는 이온이 포함된 가스를 트레이의 표면에 강하게 불어넣어 표면의 이물질이 공기 중에 부유할 수 있도록 한 다음, 부유된 이물질은 외부로 강제 배출시켜 이물질 제거가 쉽게 이루어질 수 있도록 한다.
이상에서 본 발명은 상기 실시예를 참고하여 설명하였지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형실시가 가능함은 물론이다.
T : 트레이
10 : 투입부 20 : 리프팅부
21 : 포토센서 30 : 제1다관절 로봇부
40 : 안내이송부 41 : 가이드레일
42 : 작동유닛 43 : 지지대
50 : 세정부 51 : 이온블로워
51a : 블로워본체 51b : 노즐
51c : 석션관로 52 : 배기부
53 : 배기커버
60 : 비전촬영부 61 : 제1영역부
61a : 제1카메라 62 : 제2영역부
62a : 제2카메라 62b : 제3카메라
70 : 제2다관절 로봇부 80 : 불량배출부
90 : 정상배출부

Claims (8)

  1. 투입부(10)에서 제공받은 적층된 검사대상 트레이를 낱개로 들어올리는 리프팅부(20)와, 상기 리프팅부(20)에서 상승된 트레이를 흡착하여 후공정으로 전달하는 제1다관절 로봇부(30)와, 상기 제1다관절 로봇부(30)에서 제공받은 트레이를 일정경로로 이송하는 안내이송부(40)와, 상기 안내이송부(40)의 이동경로 상에 설치되어 트레이의 표면에 있는 이물질을 제거하는 세정부(50)와, 상기 안내이송부(40)의 이동경로 상에 설치되어 세정부(50)를 거친 트레이의 전체면을 촬영하는 비전촬영부(60)와, 상기 비전촬영부(60)의 촬영영상을 분석한 검사신호를 제공받아 검사대상 트레이를 불량 또는 정상 트레이로 분류하여 불량배출부(80)와 정상배출부(90)로 각각 적재하는 제2다관절 로봇부(70);로 이루어지고,
    상기 리프팅부(20);는 상부 4군데에 트레이의 특정 포인트를 감지하는 포토센서(21)가 설치되어 트레이 상승시 상기 포토센서(21)의 감지시간 차이를 비교하여 트레이의 높이를 측정하고 높이 차이에 따라 트레이의 뒤틀림 정도를 측정하며,
    상기 세정부(50)는 트레이의 정전기를 제거하고 표면상의 이물질이 부유될 수 있도록 한 이온블로워(51)와, 상기 이온블로워(51)를 통해 부유된 이물질을 외부로 배출하는 배기부(52)로 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 불량 검사 장치
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 비전촬영부(60)는 제1카메라(61a)가 트레이의 상부에 설치되어 트레이의 상면을 촬영하는 제1영역부(61)와, 제2카메라(62a)가 트레이의 하부에 설치되고 제3카메라(62b)는 트레이의 측부에 설치되어 트레이의 상면을 제외한 나머지 표면을 촬영하는 제2영역부(62)로 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 불량 검사 장치
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1영역부(61)는 트레이가 안내이송부(40)에 놓인 상태에서 제1카메라(61a)에 의해 상부촬영이 이루어지고, 제2영역부(62)는 제2다관절 로봇부(70)를 통해 트레이를 안내이송부(40)에서 이탈시켜 원하는 방향으로 촬영될 수 있도록 하되, 먼저 제2카메라(62a)에 의해 하부촬영이 이루어진 다음, 트레이를 수직으로 세워서 트레이의 테두리부분에 해당하는 좌측면과 하측면을 제2카메라(62a)와 제3카메라(62b)를 통해 동시에 촬영하고, 이 상태에서 트레이를 180도 회전하여 트레이의 우측면과 상측면을 동시에 촬영하는 것을 특징으로 하는 트레이 불량 검사 장치


  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
KR1020170083634A 2017-06-30 2017-06-30 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법 KR101772849B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170083634A KR101772849B1 (ko) 2017-06-30 2017-06-30 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170083634A KR101772849B1 (ko) 2017-06-30 2017-06-30 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101772849B1 true KR101772849B1 (ko) 2017-08-29

Family

ID=59760029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170083634A KR101772849B1 (ko) 2017-06-30 2017-06-30 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101772849B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108733008A (zh) * 2017-12-05 2018-11-02 江苏核电有限公司 一种核电站用换料机控制系统及控制方法
KR102081671B1 (ko) * 2018-08-28 2020-02-26 주식회사 폴 2차전지용 리드탭의 2열 자동 검사 시스템
CN112816476A (zh) * 2021-01-13 2021-05-18 太原市玉磊预拌混凝土有限公司 一种基于图像扫描的天然砂含泥量检测装置及其检测方法
KR102448602B1 (ko) * 2021-08-25 2022-09-29 최완해 트레이 선별 시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006272819A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Kubota Matsushitadenko Exterior Works Ltd 検査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006272819A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Kubota Matsushitadenko Exterior Works Ltd 検査装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108733008A (zh) * 2017-12-05 2018-11-02 江苏核电有限公司 一种核电站用换料机控制系统及控制方法
CN108733008B (zh) * 2017-12-05 2024-02-13 江苏核电有限公司 一种核电站用换料机控制系统及控制方法
KR102081671B1 (ko) * 2018-08-28 2020-02-26 주식회사 폴 2차전지용 리드탭의 2열 자동 검사 시스템
CN112816476A (zh) * 2021-01-13 2021-05-18 太原市玉磊预拌混凝土有限公司 一种基于图像扫描的天然砂含泥量检测装置及其检测方法
CN112816476B (zh) * 2021-01-13 2024-04-02 太原市玉磊预拌混凝土有限公司 一种基于图像扫描的天然砂含泥量检测装置及其检测方法
KR102448602B1 (ko) * 2021-08-25 2022-09-29 최완해 트레이 선별 시스템
WO2023027307A1 (ko) * 2021-08-25 2023-03-02 최완해 트레이 선별 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101772849B1 (ko) 트레이 불량검사 장치 및 불량검사 방법
EP1112550B1 (en) An automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection
KR20190013464A (ko) 자동화된 검사 툴
JP2018159705A (ja) 自動光学検査システム及びその操作方法
KR101779974B1 (ko) 글래스 크랙 검사 시스템
KR102405604B1 (ko) 렌즈 어셈블리 검사 장치
CN101327483B (zh) 芯片分类装置与方法
WO2020103310A1 (zh) 一种口罩缺陷检测装置及方法
TWI388816B (zh) Image detection system for semiconductor components
US8256375B2 (en) Method for the production and control of plates for electronics and related apparatus
CN114975195B (zh) 晶圆盒、晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质
JP4767302B2 (ja) ベアチップ用両面検査設備
US20230282504A1 (en) Method and apparatus for continuous substrate cassette loading
KR20070015819A (ko) 편광필름 자동검사기
KR20180051807A (ko) 렌즈 어셈블리 검사 장치
KR20070035783A (ko) 인쇄회로기판 자동 검사장비
CN111522157A (zh) 一种用于检测lcd液晶屏缺陷的分区检验方法
CN110672600B (zh) 一种滤光片在线检测设备及方法
KR101331193B1 (ko) 재활용 아이씨 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템
CN112747788A (zh) 木板检测设备及木板生产线
KR20150014000A (ko) 오염 물질 측정 기판, 이를 이용한 기판 제조 장치 및 제조 방법
KR20070036888A (ko) 정전 대전 이송방식 편광필름 정밀 자동검사기
US20080309928A1 (en) Automatic Optical Inspection Device, Chip Sorting Apparatus and Method
TW201804558A (zh) 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置
JP3795463B2 (ja) バルク包装に用いるセパレートシート清掃装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant