JPS63296815A

JPS63296815A - フィルタの点検方法およびその装置

Info

Publication number: JPS63296815A
Application number: JP63110296A
Authority: JP
Inventors: ウォルフ　ツイーマー
Original assignee: UK Secretary of State for Defence
Current assignee: UK Secretary of State for Defence
Priority date: 1987-05-07
Filing date: 1988-05-06
Publication date: 1988-12-02
Also published as: US4875360A; EP0289989A2; DE3715214A1; EP0289989A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、フィルタの片面に濾過により除かれるべき粒
子を含む空気または気体をあて、反対側の面を粒子の通
過を信号で知らせる指示システムで監視する、透過性、
特に、空気または気体の流れから除かれるべき前記粒子
に関し、漏れ、または他のフィルタ部分に比べて透過性
が高いその他の領域がないかどうかについて、フィルタ
を点検する方法に関する。

さらに、本発明は、この方法を実施する装置にも関する
。

クリーン作業室およびその他のクリーン室は、特に高程
度に、埃その他の汚染浮遊粒子が存在しない状態でなけ
ればならない。このクリーン室用に空気を濾過するには
、マイクロ・ガラス繊維から成る濾紙が用いられる。こ
の種の紙は、ＨＥＰＡ紙およびＵＬＰＡ紙という名称で
知られている。これらの紙の製造の際、一方では細孔が
残存して、濾過される媒質が通過できるようになってい
なければならず、しかし他方ではいわゆるピンホールと
いう非常に直径の小さい孔は避けるべきであるという問
題が存在する。

濾過された媒質の純度の要求が厳しくなればなるほど、
前記ピンホールは使用者にとって受入れ難くなるのであ
る。

従って前記用途に用いる濾紙は、使用前に点検し、ピン
ホールがなく、表面全体にわたってフィルタ特性に関し
ては必要な品質を備えていることを確認しなければなら
ない。

濾紙にピンホールがないかを点検するためには、導入部
に述べた、ピンホールを検知する指示器としてエアゾー
ル光度計を使用する方式の方法がすでに知られている。

しかし、この方法では、最小直径３００から５００ミク
ロンまでのピンホールの検知しかできない。実質上さら
に小さいピンホールを識別するためにはこの方法【よ用
いることができず、従って、きわめて小さな漏れまたは
その他の欠陥領域がないかについて濾紙を点検するため
の要求に適合しない。

また、いわゆる油繊維試験というものも知られており、
この方法によれば最小＋００から　２００ミクロンの大
きｙまでピンホールを検知できる。しかしこの方法は時
間がかかり、また、厳しい要求を満足しない。

従って、本発明はきわめて小さい直径のピンホールを検
知できる方法および装置を提供することを目的としてい
る。

（課題を解決するための手段）この目的は、請求項１又は請求項９に記載の特徴により
達成される。

より具体的にその構成を述べると、本発明は透過性、特
に漏れ、あるいは空気または気体の流れから濾過される
べき粒子しこ関して他のフィルタ部分に比べて透過性の
高いその他の領域が存在するかについてのフィルタの点
検方法であり、前記粒子を含んだ空気または気体がフィ
ルタの片面にあてられ、フィルタの反対側が、粒子の通
過を表示する表示システムで走査される。この方法は、
反対側のフィルタ表面の帯状走査が吸入ノズルによって
行われ、吸入ノズルに粒子の流れが入ると流路内に配置
された測定装置が走査された各部分について粒子の流れ
に個別に影響され、粒子の流れを放出している走査され
た各部分についての結果が個別に表示されるような方式
で配置される。この方法を実施するための装置は、エア
ゾール室ならびに表面の帯状走査に適していてエアゾー
ルの流れに応答する走査ユニットを有する走査部を含み
、両者の間に点検されるフィルタ用のフィルタ受けが配
置されていることを特徴としている。

（作　用）このような構成から濾紙の中の直径がわずか数ミクロン
しかないピンホールさえも検知することができる。

（実施例）本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図に示したフィルタ点検装置は、外形状を規定するアル
ミニウム部分の安定したねじれにくいフレームとアルコ
ボンド板のタラッディングから形作られている戸棚のよ
うなハウジング１で構成される。このハウジングは、ピ
ボットまたは滑動により開けることのできる覗き窓２を
前面パネルに具備している。

ハウジング１のほぼテーブルの高さに、点検されるフィ
ルタ用の水平コンベヤベルト３が備えである。第１図の
左のコンベヤベル］・３の端には、入口４が位置してお
り、この人口４には、ローラ６．７の上を動き、図に示
されていない運転用の駆動ユニットに接続されている継
目なしコンベヤベルｌ＝　５が備えられている。第１図
のコンベヤベルト３の右端には、出口８が設けられ、こ
の出口８は、入口４に対して類似の形態で構成される。

また同様に接続された回転コンベヤベルト９が駆動ユニ
ッＩ・に備えらえている。入口４と出口８の間には、コ
ンベヤベルトの通路中に、窓のようなフィルタ受け１１
を備えた感知部１０が位置している。

検査されるフィルタ１３は、両側が開いているフィルタ
枠１２に挿入される。フィルタ枠１２の内部寸法は、マ
ウントを用いるなどして、挿入きれた各フィルタ１３の
大きさに合わせる。

フィルタ１３を装填したフィルタ枠１２′は、人［１４
のコンヘヤベルＩ・５の上に乗せられ、機器内に入れら
れる。フィルタ枠１２を感知部ｌＯのフィルタ受け１１
までｙらに運搬し、感知段階用に正確に位置を定めるた
め、運搬・引張ユニット１４．１５は直流モータ１８で
駆動される継目なし回転コンベヤヘルｌ−１ｆｔ、＋７
を其備している。運搬・引・張ユニットは＠１１を中心
に８０度回転させることができ、フィルタ受け１１を横
切る位置に到達した後で、フィルタ枠１２をこの上に下
げることかできるようになっている。図には示されてい
ないか窓状フィルタ受け１１の周囲にあるゴムシールに
より、ｔ゛げた後の点検ｙれるフィルタは確実に、フィ
ルタ受け１１１−で気密状態となる。

感知部ｌＯのフィルタ受け１１の下には、エアゾール供
給路２０を備え゛たエアゾール室１８が位置している。

エアゾール供給路２０は供給システムに接続されている
。供給システムは、空気吸入パイプ２１と、圧力側の粒
子フィルタ２２と、図には示されていないが回転速度を
調整できる既知の種類の無段階ラジアル通風機とから成
る。この供給システムの中へ、エアゾール流入Ｌ−１２
３か放出を行い、これにより、通過された空気がエアツ
ール発生器２４からのエアゾールと混合される。

フィルタ受け１１の平面を横切って、従って各フィルタ
の平面を横切って、排気室２５が位置し、ここから空気
を含むエアゾールが、フィルタ受け１１を、そしておそ
らくそこに配置されたフィルタを通過した後で、ラジア
ル通風機２６により粒子フィルタ２７を経て、点検装置
の外へ戻される。フィルタ移動の間、すなわちフィルタ
受け１１にフィルタが入っていない時、供給空気を含む
エアゾールは、供給システム内の転換フラップ２８によ
り、放出室へ直接供給することができる。これにより、
フィルタ２の移動中もエアソール発生器の連続運転が可
能となり、フィルタ受け１１からは、時間的に安定した
エアゾールの配給およびエアゾール濃度を保つことがで
きる。

さらに、感知部１０は、調整ｆ＋７能な感知ユニット２
８で構成されている。これはノズル板３０（第２図）を
含み図に示した典型的な実施例では、その１．に７７い
に等しい１８個の吸入ノズル３１がフィルタ移動方向を
横断する列になってｑいに隣り合って固定されている。

各吸入ノズルは幅３０ｍｍで、１８個のノズルから成る
ノズル組マｆ体の全体の幅は５４０ｍｍとなるようにし
である。

第３図からさらに詳しくわかるように、各吸入ノズル３
１は、屯なり合い、互いに結合ネれたＡｔ阿ｇＳｉ　０
．５の３枚の薄片状の板、３２，３３．３４から成って
いる。中央の板３３は、流入口側の放出ノズル３５と流
出「１側のパイプ部材３６との間に、次第に細くなって
パイプ部材３６の方へ向かう指叡曲線の形となる流路３
７が存在する。

指数的な流路としての形成により、ノズル内の流れか確
実に連続的に加速され、境界層での故障や乱流、すなわ
ち流路内での粒子の損失を防ぐことができる。覆い板３
２　、３４は、粒子がノズルのパラシータにり−える影
響を最小限にするために、ノズル口（半径Ｑ’、１ｍｍ
未満）の外の片側で１５度未満の鋭い角度ですっである
。

ノズル板３２　、３３　、３４の素材の選枳によって静
電中立性が確保されており、表面は機械により研磨され
、電解研磨され、当然、陽極処理される。

図に示されていない導管を介して真空ポンプ３８に接続
されている吸入ノズル３１は等速になっており、図に示
した典型的実施例では、毎秒２５Ｃｍ’の試料量の流れ
用に設計されている。ノズル「１での等速な流速は、約
０．５２ｍ　／秒である。

吸入ノズル３１はそれぞれタイボンチューブ３８を介し
て粒子カウンタ４０に接続される。このチューブはなめ
らかで、拡散を制限し、静電防１１−効果を有して柔軟
性があり、関連するパイプ部材３６に取伺けられている
。

粒子カウンタ４０は既知の方法で構成されるので、特に
図面中に詳細を示すことはしていない。

粒子カウンタとして、例えば米国セントボールのＴＳＩ
社、およびアーヘンのＴＳＩ　Ｇｍｂ）１社により　Ｔ
Ｓ　Ｉ　−ＣＲ／　Ｃ，ｎＣモデル３７６０という型式
名で販売されているような凝結核（ｃｏｎｄｅｎｓａｔ
　１ｏｎｎｕｃｌｅｕｓ）カウンタが用いられることが
好ましい。これらの粒子カウンタは直径の範囲が０．０
１から０．０２　ミクロンの粒子を、密度が非常に高く
ても逆に非常に低くても同じ信頼性を有し、高い計数効
率で測定できる。

粒子カウンタ４０はフレーム４１内に、各ケースにつき
３×３ユニットを配置し、互いに正しい面を向かい合わ
せて取イ１ける。フレーム４１は、ハウジング１の」一
部にフィルタ移動方向を横断する向きに配置した２本の
管状ランナー４４．４５」−の中空の円筒形ベアリング
４２　、４３でつり下げられている。電気モータ４６に
より、フｌ／−ム４１をレール４４　、４５上で移動さ
せることができる。

他方、レール４４．４５は直流モータ手段により、図に
は示されていない、ハウジングｌ内にフィルタ移動方向
と平行に配置されたレール４７．４８」−で移動が可能
である。従ってフレーム４１は、２つの座標方向につい
て調整することができる。

吸入ノズル３１を取イ」けであるノズル板３０は、フレ
ーム４１」−に吊り下げられており、垂直ガイド４８　
、５０により、フィルタ移動経路３の平面に対して垂直
に調整できる。このため、ノズル３１と粒子カウンタ４
０との管接続３４は、自在に曲がるようになっている。

感知ユニット２θは感知ノズル３１とこれに結合された
粒子カウンタ４０とから構成され、従って全体として、
フィルタ移動方向に平行（Ｘ軸）にも、これに交差する
方向（Ｙ軸）にも調整でき、感知部１０内に位置するフ
ィルタ１３を横切って走査運動を行う。

粒子カウンタ４０の放出システムは、真空ポンプ３８の
共通放出導管内に放出を行う。同様に図に示されていな
いこの導管および電気的接続部と粒子カウンタ４０のデ
ータケーブルとは、詳細に示されていない保護導管５１
により感知ユニット２９の走査運動の中に固定されてい
る。

本発明の図示した実施例では、感知できる最大フィルタ
面積は９００Ｘ　１．８００ｍｍである。この大きさの
フィルタはこの接続で、二重通路法により走査される。

すなわち、ノズル板３０がまず開始位置Ｘ＝Ｏｍｍから
、感知部１０内に位置するフィルタ１３を横切ってｘ　
＝　１８００Ｉｌ＋ｎの位置まで移動し、その間ｙ＝Ｏ
ｍｍの位置は複数の走査ノズル３１に対して保持される
。この後、ノズル板３０は、ｘ　＝　１８００ｍｍの位
置で、ｙ　＝　Ｏｍｍの位置からｙ　＝　３００ｍｍの
位置へと移動し、この位置で複数の走査ノズル３１はｘ
　＝　１８００ｍｎ＋の位置からＸ＝Ｏｍｍの位置へ戻
る。

これと対照的に、フィルタの大きさが幅８００ｍｍであ
れば、感知ユニット２９をＸ方向にだけ動かせば、引き
続いてＸ方向で調整を行わなくとも充分である。

Ｘ方向での走査速度は、図示した典型的実施例では、毎
秒１から２０ｍｍの間で調整することができる。位置精
度は１００ミクロン以下である。

自動または半自動の、フィルタコンベヤ３からのフィル
タ移動のための駆動制御は、制御卓５２により行われる
。

フィルタ走査での粒子カウンタ４０により決定された測
定結果の評価は、記憶システムを含むコンピュータ５３
により達成される。これはＰＣとして構成されているこ
とが好ましく、データ入力部には、粒子カウンタ４０の
データ出力が、図に示されていないケーブルを介して接
続される。粒子カウンタ４０の測定結果をコンピュータ
５３に転送するために、粒子カウンタ４０とコンピュー
タ５３との間に単一のデータラインのみか具備されるよ
うに、それ自体既知である多重回路が設けられる。

測定結果に加えて、コンピュータ５３は、粒子カウンタ
４０の応答により示される、走査されたフィルタ３０の
漏れ領域のそれぞれの位置の報告も受取る。Ｘ位置は、
Ｘ方向での感知ユニット２９ｍ整用の直流モータの増分
回転発生器により決定され、一方ｙ位置はそれぞれの応
答する粒子カウンタ４０の吸入ノズル３１の中央により
規定され、前進ストロークと後退ストロークとの間での
感知ユニット２９の横方向調整におそらく関係する。

こうして決定され、コンピュータ５３により記憶された
、走査されたフィルタの漏れの位置は、表示用に表示ユ
ニット５４に供給される。表示ユニット５４は、描かれ
ている典型的実施例では、レーザ表示器５５により形成
されている。

レーザ表示器５５は直線スタンド５Ｂ」二にＸ方向に取
伺けられ、感知ユニット２９も取付けられている同じレ
ール４？　、　４８Ｊ−をＸ方向に移動できるように配
置されている。レーザ表示器５５は感知ユニット２９と
同し方法で、ＸおよびＸ方向に調整することができる。

第１図で、表示ユニット５４は停止位置に位置している
。表示工程のため、このユニットは貫通レール４７　、
４８」−を、感知部ｌＯに留まっているフィルタを横切
る位置へと移動させることができる。しかしこのために
は、感知ユニットな第１図に破線で示した停止位置２８
ａに、レール４７．４８４−で事前に動かしておく必要
がある。

そうではなく、感知ユニフト２９および表示ユニット５
４を、第１図に図示した位置に保っておくこともできる
。これは、感知部１０の後の運搬通路内に点検されるフ
ィルタ用に分離表示部５７が設けてあって、この分離表
示部５７が、第１図に示した位置の表示ユニット５４の
下方にある場合である。この場合、表示ユニットの第１
図に示した位置はこのユニットの動作位置であり、この
ためこの実施例ではコンピュータ５３はフィルタコンベ
ヤベルト３の隣りに突出したハウジング内に配置される
。

システムにより決定された不良領域の表示のため、コン
ピュータ５３により制御されるレーザライタ５５は、感
知ユニット２９により決定された走査されたフィルタの
不良位置に対応する位置を連続的に推定する。こうした
位置は、レーザ表示器５５からのド方に向けたレーザ光
線によりフィルタ」二に光学的に表示される。

レーザ表示器５５のレーザ光線のエネルギーおよび直径
は、表示工程中にピンホールが不注意によりフィルタに
焼イリけられることがない適切な方法で、漏れがないか
走査されるフィルタの濾紙の特性に合わせて設定するこ
とができる。

適切なレーザの一例は、５ｍＷで光線直径が０．７５ｍ
ｍのヘリウムネオン装置である。

感知ユニット２９の感知連動用、およびコンピュータ５
３用、およびレーザ表示器５５用の制御ユニットは、コ
ンピュータ５３およびその端末（ディスプレイ画面、プ
リンタ等）と共に、ハウジングｌ内のもう一つの制御卓
５８の中、または１−に取イζｊけられる。

本発明に従ったこの装置の操作方法は、次の通りである
。

通常、目視では識別できない漏れ領域の存在、特にピン
ホールの存在についてフィルタが点検される場合、フィ
ルタはフィルタ枠１２に挿入され、この枠と共に入口４
を経て感知部１０へと卯ばれて、ここでフィルタは下側
を、フィルり受け１１により形作られるエアゾール室１
９（７）開いた窓の」−に乗せて置かれる。この位置で
、エアゾール室１９からのエアゾールを豊富に含む空気
は、フィルタにピンホールによる漏れ、またはその他の
通過の多い部分がある位置では顕著にフィルタを通して
押し進む。対照的に、フィルタ表面の残りの部分を通し
ては、エアゾール粒子はフィルタの働きの結呆、低い程
度にしか流れることはできず、こうした部分では通常エ
アゾール粒子の非常に低い貫通しか起らない。

従って、漏れのある領域は明らかに強いエアゾール粒子
の流れを生ずる。

感知ユニット２９の感知運動が開始されると、ノズル板
３０の吸入ノズル３１は、フィルタの漏れのある領域の
上を通過する際、エアゾール室からのエアゾール粒子を
比較的高い比率で吸入し、一方、フィルタ表面の残りの
すべての位置では、エアゾール粒子の比率が明らかに低
い空気が、エアゾール室１８から濾紙を通して吸入され
る。

このようにして、フィルタの漏れのある領域は、例えば
、走査中に１１１１１定値が、欠陥のないフィルタ部分
の走査中に検知された数値の倍に増加するように定める
ことができる。対応するしきい値は、粒子カウンタ４０
、またはこれに接続された処理用電子機器内に設定する
ことができる。

こうして、各吸入ノズル３１に割当てられた粒子カウン
タ４０は、フィルタ内の漏れのある領域の感知中のみ応
答し、それぞれの位置データと共に、記憶システムを具
備しているコンピュータ５３に自動的に報告される。こ
うしたデータは、表示ユニット５４による引き続いての
表示に適する方法で、コンピュータ５３内で処理され、
記憶される。

走査ユニット２９による点検されるフィルタの走査の終
了後、表示ユニット５４がフィルタを横切って通される
（第１の形式）か、あるいは２番目の形式に従って、フ
ィルタがフィルタ枠１２に入った状態で表示ユニットの
下方を表示部５７へと移動させられる場合、表示ユニッ
ト５４は有効となることができる。この接続ではコンピ
ュータ５３がレーザ表示器５５を制御し、これに先立っ
て決定したフィルタ内の漏れのある領域に対応する位置
を連続的に採用する。こうして漏れのある領域は、それ
ぞれの周辺部分がレーザ光線で照らされるような形でレ
ーザ表示器の調整区域の下に置かれたフィルタの表面上
にレーザ表示器５５のレーザ光線により使用者に対して
光学的に表示される。この時、照らされた漏れのある領
域に、例えば一時的に小さなフラッグをはさむか、また
は他の目印を使用することにより、使用者が印をつけて
おくことができる。レーザ表示器５５の光線は、コンピ
ュータ５３に適切なコマンドを入力することによりコン
ピュータ５３内に位置が記憶されている次の漏れのある
領域へと使用者がレーザ表示器５５を自動前進させるま
で、表示されている漏れのある領域のそれぞれの」−に
残る。

表示工程の完了後、検知された漏れのある領域に目印フ
ラッグまたはその他の目印をつけた点検済みのフィルタ
は、出口８を通って装置を離れる。この後、事前に印が
つけられ、従って容易に位置がわかる、フィルタ内の漏
れのある領域は、例えばピンホールを含む表面部分を接
着したり鋳造したりすることにより、修正される。ある
いは、検知された漏れのある領域があまりにも多い場合
には、このフィルタを以降の使用から除外することがで
きる。

粒子カウンタ４０により送られる測定結果が、漏れを定
める設定しきい値の一ヒまたは下にある、　ＹＥＳ／　
Ｎｏの通常デジタル信号であれば適切である。アナログ
信号により提供される正確な決定は、必ずしも必要とさ
れない。

しかし、本発明に従った配置は、おそらくしきい値を設
定することなく、アナログ信号を評価するようにも配置
できる。これは、フィルタの点検の際、」−記の定義の
意味での漏れのある領域を検知するばかりでなく、透過
率の数値およびフィルタ１３の表面にわたってのこの数
値の分布を検知してさらに正確に決定される効率測定に
用いたり、堆積の程度の決定に用いたりする場合である
。

吸入ノズル３１により連続的に走査されるフィルタ領域
の大きさは、各吸入ノズルのノズル口３５の断面積によ
って異なる。ノズル口３５の寸法が対応して小さくなれ
ば、フィルタ表面をほぼ１点１点走査することができる
。

本発明の他の実施例も可能なのは自明のことである。特
に、感知ユニット２９内でフィルタ１３との間に感知運
動を行わせる際は、フィルタを感知ユニットどの関係で
調整することもできる。

（発明の効果）本発明は空気または気体の流れから濾過される粒子が複
数の吸入ノズルに吸入され、フィルタの表面の帯状走査
によりフィルタ各部分の透過率を測定し、粒子の通過を
表示するので、濾紙にピンホールがあるかどうかを正確
にかつ迅速に点検できる。また本発明の方法によればコ
ンピュータによりデジタル的にＸ　＋　ｙ位置における
フィルタの漏れを検出するので濾紙に発生した数ミクロ
ンしかないピンホールでさえも正しく検出することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はフィルタの点検装置全体の長手方向に関する断
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿って見た拡大横断面図、第３図は第１図および第２図に示す装置の吸入ノズルの
拡大図である。 ■・・・ハウジング３．５．９・・・コンベヤベルト４・・・入口　　　　　　　　８・・・出口１０・・・
感知部（走査部）　　１１・・・フィルタ受け１２・・
・フィルタ枠　　　　１３・・・フィルタ１９・・・エ
アゾール室　　　２２・・・粒子フィルタ２９・・・感
知ユニット（走査ユニット）３０・・・ノズル板　　　
　　３１・・・吸入ノズル４０・・・粒子カウンタ　　
　５３・・・コンピュータＦＩＧ、２ＦＩＧ、３手続補正書昭和６３年　６月　９日１、事件の表示昭和６３年　特　許　願　第１１０２９６号２、発明の
名称フィルタの点検方法およびその装置３、補正する者事件との関係　　特許出願人名称　フレークト　アクテポラーク４、代　理　人住所　東京都千代田区神田駿河台１の６５、補正命令の
日付「自　発」６、補正の対象（１）明細書全文。７、補正の内容（１）明細書の浄書（内容に変更なし）。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）透過性、特に漏れ、あるいは空気または気体の流
れから濾過されるべき粒子に関して他のフィルタ部分に
比べ透過性の高いその他の領域が存在するかについての
フィルタの点検方法であって、前記粒子を含んだ空気ま
たは気体がフィルタの一方の面に当てられ、そしてフィ
ルタの反対側の面で粒子の通過を示す表示システムを走
査するようになっており、反対側のフィルタ面の帯状の
走査が１個以上の吸入ノズル（３１）手段によって行わ
れ、粒子の流れが吸入ノズル内に入る際に流路の外方に
配置された測定装置（４０）が走査された各部分につい
て粒子の流れにより個別に影響され、さらに、粒子の流れを放出する走査された各部分に
ついての結果が個別に表示されることを特徴とするフィ
ルタの点検方法。
（２）走査部分がおおむね点状であることを特徴とする
請求項１記載の方法。
（３）粒子の流れを放出する走査された部分についての
結果が、走査された部分に関係する位置データと共に表
示器に接続されたメモリに供給されることを特徴とする
請求項１または請求項２に記載の方法。
（４）粒子の流れを放出する個別の走査された点におけ
る記憶された結果およびデータが連続して表示器に送ら
れることを特徴とする請求項３記載の方法。
（５）粒子の流れを放出する走査された部分の表示が、
測定結果および位置データにより制御される光表示器（
５５）によって達成されることを特徴とする請求項１〜
４のいずれかに記載の方法。
（６）走査されたフィルタ面上に光表示器により表示が
行われることを特徴とする請求項４記載の方法。
（７）フィルタ面の走査に複数の吸入ノズルが同時に使
用されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記
載の方法。
（８）粒子の流れを生ずるため、それ自体は知られてい
る方法でエアゾールが用いられることを特徴とする請求
項１〜７のいずれかに記載の方法。
（９）エアゾール室（１９）と、エアゾールの流れに応
答する、表面の帯状の走査に適した走査ユニット（２９
）とを有する走査部を含み、両者の間に点検されるフィ
ルタ（１３）用にフィルタ受け（１１）が配置されてい
ることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の方
法を実施するための装置。
（１０）走査ユニットが少なくとも１個以上の吸入ノズ
ル（３１）と、これに接続された粒子カウンタ（４０）
とを含んでいることを特徴とする請求項９記載の装置。
（１１）フィルタ板（３０）に複数の吸入ノズル（３１
）が備えられ、各吸入ノズル（３１）がそれぞれの粒子
カウンタ（４０）に接続されていることを特徴とする請
求項１０記載の装置。
（１２）吸入ノズル（３１）および粒子カウンタ（４０
）が自由に２つの段階に調整できる共通のキャリヤ（４
１）上に配置されていることを特徴とする、請求項９〜
１１のいずれかに記載の装置。
（１３）粒子カウンタ（４０）が、それ自体は既知であ
る凝結核カウンタとして構成されることを特徴とする請
求項９〜１２のいずれかに記載の装置。
（１４）粒子カウンタ（４０）のデータ出力部が位置検
知器と共にメモリ（５３）のデータ入力部に接続されて
いることを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載
の装置。
（１５）表示ユニット（５４）が設けられ、これがメモ
リ（５３）で制御されることを特徴とする請求項９〜１
４記載の装置。
（１６）表示ユニット（５４）がレーザ表示器（５５）
からなることを特徴とする請求項１５記載の装置。
（１７）表示ユニット（５４）がフィルタ（１３）の表
面上に表示を出すことを特徴とする請求項１５記載の装
置。
（１８）走査ユニット（２９）と表示ユニット（５４）
が、交互に走査部内のフィルタを横切って位置すること
が可能であることを特徴とする請求項１７記載の装置。
（１９）走査ユニット（２０）と表示ユニット（５４）
が動作位置と停止位置の間を交互に移動可能であること
を特徴とする請求項１８記載の装置。
（２０）フィルタ（１３）が、光表示器（５５）の光線
の通路内を通って表示部（５７）へと移動しうること特
徴とする請求項１７記載の装置。
（２１）フィルタ（１３）がフィルタ枠（１２）内に、
走査部および／または表示部を通っての運搬のために取
付けられることを特徴とする請求項９〜２０のいずれか
に記載の装置。