JPH0350210B2

JPH0350210B2 -

Info

Publication number: JPH0350210B2
Application number: JP57120435A
Authority: JP
Inventors: Koji Nokai
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1982-07-10
Filing date: 1982-07-10
Publication date: 1991-08-01
Also published as: JPS5910831A

Description

【発明の詳細な説明】本発明はクリーンルーム用高性能フイルタの自
動リーク・テスト装置に関する。

半導体、精密機器、電子部分、医薬品などの製
造工程、病院の手術室、治療室などにおいては、
じん埃や微生物が空気中から極力排除されている
ことが必要である。そのため、通常、高度の清浄
空間いわゆるクリーンルームやバイオ・クリーン
ルームなどが使用されている。

クリーンルームやバイオ・クリーンルームに
は、天井面に取りつけた高性能フイルタ
（HEPAフイルタ）を吹出口とした垂直層流方式
と壁面の高性能フイルタを吹出口とした水平層流
方式とがある。いづれも、特別に工夫されたフイ
ルタ指示枠と特殊なシーリング方法を採用して最
も理想的なフイルタフレーム・システムを作り、
リークのない最高清浄度のクリーンルームやバイ
オ・クリーンルームが形成されている。

使用される高性能フイルタは、すべて、HOT
DOPテストにより0.3μｍ単分散DOP（ダイオクチ
ルフタレート）粒子に対する捕集効率99.99％以
上が保証され、さらに、スキヤンテストによりピ
ンホールのないことが確認されたうえで出荷され
る。

しかし、出荷後の輸送、搬入あるいは支持枠へ
の現場での取りつけなどにおいて、このフイルタ
に微小なピンホールの発生するおそれがある。そ
れゆえ、取りつけ後のフイルタについて現場での
リーク・テストが行われる。

従来のリーク・テスト方法は、第１図に示すよ
うに、DOPスモーク（エアロゾール）発生装置
５からDOPスモーク（粒子径0.3〜0.6μｍ）６か
ら発生させ、これを送風機７などの手段により窒
素ガスや空気流の気流と共にHEPAフイルタ４
の上流側４１へ供給する。テスト・プローブ１０
０を手動で操作してフイルタ下流側４２の面を
全面にわたつて走査する。このとき、テスト・プ
ローブ１００により、このDOPスモーク流をフ
イルタ上流側４１への供給速度と等線速度で吸引
する。吸引された気体の光透過度をリーク・テス
ター１０１にて測定し、フイルタ４にピンホール
などが存在するかどうかを確認する。

この従来の方法では、検査作業員がテスト・プ
ローブ１００を手に持ち規定の５cm／sec.の速度
（AACC CS−1T規格）で走査する。フイルタの
大きさにもよるが走査にはフイルタ１枚当り約５
〜10分の時間を要する。フイルタの枚数が多い場
合には非常な疲労と忍耐とを要する。通常、多人
数が交代で数日間〜十数日間にわたつてリーク・
テストに従事しているのが実情である。このよう
に走査作業は手作業であり著しく疲労しやすいた
め、規定の速度で走査を継続することは至難であ
る。しかも、フイルタの全面をくまなく正確に走
査することは極めてむづかしい。また、フイルタ
取付け位置は、通常、高所であるため、高い脚立
上で作業を行わねばならず著しく危険である。走
査作業による目の疲労も無視できない。

本発明の目的は、テストすべきフイルタの下流
側をＸ軸・Ｙ軸方向に可動しフイルタ全面を自動
走査することによりリーク・テストの正確化と合
理化を達成するクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、走査中にピンホールを
検出するとただちに警報を発しその位置をCRT
（シンクロスコープ）に表示するかもしくはプリ
ント・アウトするクリーンルーム用高性能フイル
タの自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、走査中にピンホ
ールを検出するとだたちにその位置で走査を自動
的に停止しうるクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、ピンホール位置
の検出・表示によりその補修作業が迅速かつ確実
に行いうるリーク・テスト装置を提供することに
ある。

以下に本発明を実施例にもとづき図面を参照し
つつ詳述する。

本発明装置は、フイルタ通過前後の気流中の粒
子をフオトメーターによる光透過によりフイルタ
のリークをテストする例えばHOT DOPテスト
に用いられる。この装置を例えば垂直層流式クリ
ーンルームのフイルタのリーク・テストに採用す
る場合の例を第２図に示す。本発明装置は、第２
図および第３図に示すように、スキヤンニング・
ロボツト１と、これに電気的に接続され該ロボツ
ト１を例えばCPU方式によりコントロールする
コントローラ２と、これに電気的に接続されたス
モークセンサなどのフオトメーター３とを有す
る。

上記ロボツト１は、第４図に示すように、矩形
状枠体１１と、移動レール１２と、テスト・プロ
ーブ１３とを有する。この移動レール１２は、枠
体１１により形成される平面上をこの枠体１の相
対向する一対の二辺、例えばＸ軸方向の二辺１
４，１４に沿つて第１スライド用モーター、例え
ばＸ軸スライド用モーター１２０により移動す
る。テスト・プローブ１３は、移動レール１２上
をこの移動レール１２に沿つて例えばＹ軸方向に
第２スライド用モーター例えばＹ軸スライド用モ
ーター１３０により移動する。それゆえ、テス
ト・プローブ１３はリーク・テストすべきフイル
タ４の面をＸ軸・Ｙ軸方向に自在に走査しう
る。

上記コントローラー２は、第５図に示すよう
に、走査デジタル入力手段Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｌと
リーク上限値設定デジタル入力手段Ｂと警報手段
Ｃと表示手段であるデジタル・パネル・メータＡ
とを有する。

上記走査デジタル入力手段Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｌ
は、テスト・プローブ１３の走査動作および走査
速度を入力する手段である。走査動作には、第６
図ａおよびｂに示すように、モード１とモード２
の２種類がある。モード１は全周動作であり、フ
イルタの全周を走査してフイルタ取付け枠とフイ
ルタとの間の気密性をチエツクする。入力手段Ｄ
はＸ軸方向の走査を、入力手段ＥはＹ軸方向の走
査を担当する。モード２は矩形動作であり。フイ
ルタ面の全面を走査するためのものである、入
力手段ＦはＸ軸方向の走査を、入力手段ＧはＹ軸
方向の走査を担当する。入力手段Ｌはプローブ１
３の移動速度を担当する。

上記リーク上限値設定デジタル入力手段Ｂは、
フオトメーター３に接続されリーク・テスト合格
範囲の上限値をある値、例えば99.99（％）に入力
する手段である。

上記警報手段Ｃは、フオトメーター３に接続さ
れ上記上限値を越えたとき警報ランプが点灯して
異常を知らせる。同時に、一時停止手段Ｋが作動
してテスト・プローブ１３をその位置で停止させ
ることができる。自動スタート・スイツチＪをオ
ンすることによりプローブ１３は再び動作を開始
し、終了後は原点位置に復帰する。

上記デジタル・パネル・メータＡが表示してい
るフオトメーター３から出力されるフイルタ４の
リーク・データを他の表示手段であるCRTを介
しても表示することができる。

その他、モード２における繰り返えし回数を指
定するための回数指定デジタル入力手段Ｈおよび
モード２における動作順序を指定するための動作
セレクト手段Ｉがコントローラー２に設けられて
いる。プローブ１３を手動操作により指定方向へ
移動させるための移動スイツチは第５図において
Ｍ，Ｎ，Ｏ，Ｐで示され、Ｑはプローブ１３の原
点復帰スイツチ、Ｒは電源表示ランプそしてＳは
電源スイツチである。

次に、フイルタのリーク・テスト方法を述べ
る。リーク・テストすべきフイルタ４の面をＸ
軸・Ｙ軸方向に走査するテスト・プローブ１３を
設えたスキヤンニング・ロボツト１を該フイルタ
４の下流側に配置する。上限値設定デジタル入力
手段Ｂによりフイルタ・リーク・テスト合格範囲
の上限値を入力する。走査デジタル入力手段Ｄ，
Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｌによりテスト・プローブ１３の走
査動作および走査速度をコントローラー２に入力
する。その他、所望のリーク・テストがなされる
に必要な情報をコントローラー２に入力する。次
いで、テスト・プローブ１３に入力動作と入力速
度にもとづいてリーク・テストすべきフイルタ４
の全周および面全面にわたつて走査させフイル
タのリーク・テストを行う、所定のリーク上限値
を越えたとき警報手段Ｃが異常を知らせ、同時
に、そのときのフイルタのピンホールなどの位置
がデジタル・パネル・メータＡに表示される。

本発明装置は、それゆえ、前記目的に対応する
優れた効果を奏しうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフイルタ・リーク・テスト方法
の説明図、第２図は本発明装置の一実施例の正面
図、第３図はその装置のブロツク図、第４図はロ
ボツト１の部分斜視図、第５図はコントローラー
２に設けられた各種入力手段のデジタル・スイツ
チを配列するコントローラー・パネルの正面図、
第６図ａおよびｂはプローブ１３の走査動作のモ
ード１および２をそれぞれ説明する説明図であ
る。１……スキヤンニング・ロボツト、２……コン
トローラー、３……フオトメーター、４……フイ
ルタ、５……DOPスモーク発生装置、６……
DOPスモーク、７……送風機、１１……矩形状
枠体、１２……移動レール、１３，１００……テ
スト・プローブ、１４……Ｘ軸方向の辺、１０１
……リーク・テスター、１２０，１３０……スラ
イド用モーター、Ａ……デジタル・パネル・メー
タ、Ｂ……リーク上限値設定デジタル入力手段、
Ｃ……警報手段、Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｌ……走査デ
ジタル入力手段。

Claims

【特許請求の範囲】１リークをテストすべきフイルタを通過した気
流を吸引するテストプローブと、該テストプローブと接続され、吸引された該気
流の光透過度から、該フイルタのリークデータを
出力するフオトメータと、該フイルタの面全面に沿つてＸ軸及びＹ軸方
向に、該テストプローブをスライド用モーターに
よつて走査させるスキヤニングロボツトと、該フオトメータ及び該スキヤニングロボツトと
接続されたコントローラーとを備え、該コントローラーは、該スキヤニングロボツト
の走査動作及び走査速度を入力するための走査入
力手段と、リーク上限値を設定するためのリーク
上限値設定入力手段と、リークデータを表示する
表示手段と、警報手段とを有し、該コントローラーは、該スキヤニングロボツト
を制御して、入力された走査動作及び走査速度で
該テストプローブを走査させ、該表示手段は、リークデータ、及びリークデー
タが該リーク上限値を超えたフイルタのリーク箇
所の位置の少なくとも一方を表示し、該警報手段は、走査中に、リークデータが該リ
ーク上限値を超えた場合に、異常を知らせる、クリーンルーム用高性能フイルタの自動リークテ
スト装置。２前記コントローラーは、走査中に、リークデ
ータが前記リーク上限値を超えた場合に、前記ス
キヤニングロボツトによる前記テストプローブの
走査を一時停止させる一時停止手段を有している
特許請求の範囲第１項に記載の自動リークテスト
装置。