JPH0350210B2 - - Google Patents
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- JPH0350210B2 JPH0350210B2 JP57120435A JP12043582A JPH0350210B2 JP H0350210 B2 JPH0350210 B2 JP H0350210B2 JP 57120435 A JP57120435 A JP 57120435A JP 12043582 A JP12043582 A JP 12043582A JP H0350210 B2 JPH0350210 B2 JP H0350210B2
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- JP
- Japan
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- scanning
- leak
- filter
- test probe
- upper limit
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 23
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクリーンルーム用高性能フイルタの自
動リーク・テスト装置に関する。
動リーク・テスト装置に関する。
半導体、精密機器、電子部分、医薬品などの製
造工程、病院の手術室、治療室などにおいては、
じん埃や微生物が空気中から極力排除されている
ことが必要である。そのため、通常、高度の清浄
空間いわゆるクリーンルームやバイオ・クリーン
ルームなどが使用されている。
造工程、病院の手術室、治療室などにおいては、
じん埃や微生物が空気中から極力排除されている
ことが必要である。そのため、通常、高度の清浄
空間いわゆるクリーンルームやバイオ・クリーン
ルームなどが使用されている。
クリーンルームやバイオ・クリーンルームに
は、天井面に取りつけた高性能フイルタ
(HEPAフイルタ)を吹出口とした垂直層流方式
と壁面の高性能フイルタを吹出口とした水平層流
方式とがある。いづれも、特別に工夫されたフイ
ルタ指示枠と特殊なシーリング方法を採用して最
も理想的なフイルタフレーム・システムを作り、
リークのない最高清浄度のクリーンルームやバイ
オ・クリーンルームが形成されている。
は、天井面に取りつけた高性能フイルタ
(HEPAフイルタ)を吹出口とした垂直層流方式
と壁面の高性能フイルタを吹出口とした水平層流
方式とがある。いづれも、特別に工夫されたフイ
ルタ指示枠と特殊なシーリング方法を採用して最
も理想的なフイルタフレーム・システムを作り、
リークのない最高清浄度のクリーンルームやバイ
オ・クリーンルームが形成されている。
使用される高性能フイルタは、すべて、HOT
DOPテストにより0.3μm単分散DOP(ダイオクチ
ルフタレート)粒子に対する捕集効率99.99%以
上が保証され、さらに、スキヤンテストによりピ
ンホールのないことが確認されたうえで出荷され
る。
DOPテストにより0.3μm単分散DOP(ダイオクチ
ルフタレート)粒子に対する捕集効率99.99%以
上が保証され、さらに、スキヤンテストによりピ
ンホールのないことが確認されたうえで出荷され
る。
しかし、出荷後の輸送、搬入あるいは支持枠へ
の現場での取りつけなどにおいて、このフイルタ
に微小なピンホールの発生するおそれがある。そ
れゆえ、取りつけ後のフイルタについて現場での
リーク・テストが行われる。
の現場での取りつけなどにおいて、このフイルタ
に微小なピンホールの発生するおそれがある。そ
れゆえ、取りつけ後のフイルタについて現場での
リーク・テストが行われる。
従来のリーク・テスト方法は、第1図に示すよ
うに、DOPスモーク(エアロゾール)発生装置
5からDOPスモーク(粒子径0.3〜0.6μm)6か
ら発生させ、これを送風機7などの手段により窒
素ガスや空気流の気流と共にHEPAフイルタ4
の上流側41へ供給する。テスト・プローブ10
0を手動で操作してフイルタ下流側42の面を
全面にわたつて走査する。このとき、テスト・プ
ローブ100により、このDOPスモーク流をフ
イルタ上流側41への供給速度と等線速度で吸引
する。吸引された気体の光透過度をリーク・テス
ター101にて測定し、フイルタ4にピンホール
などが存在するかどうかを確認する。
うに、DOPスモーク(エアロゾール)発生装置
5からDOPスモーク(粒子径0.3〜0.6μm)6か
ら発生させ、これを送風機7などの手段により窒
素ガスや空気流の気流と共にHEPAフイルタ4
の上流側41へ供給する。テスト・プローブ10
0を手動で操作してフイルタ下流側42の面を
全面にわたつて走査する。このとき、テスト・プ
ローブ100により、このDOPスモーク流をフ
イルタ上流側41への供給速度と等線速度で吸引
する。吸引された気体の光透過度をリーク・テス
ター101にて測定し、フイルタ4にピンホール
などが存在するかどうかを確認する。
この従来の方法では、検査作業員がテスト・プ
ローブ100を手に持ち規定の5cm/sec.の速度
(AACC CS−1T規格)で走査する。フイルタの
大きさにもよるが走査にはフイルタ1枚当り約5
〜10分の時間を要する。フイルタの枚数が多い場
合には非常な疲労と忍耐とを要する。通常、多人
数が交代で数日間〜十数日間にわたつてリーク・
テストに従事しているのが実情である。このよう
に走査作業は手作業であり著しく疲労しやすいた
め、規定の速度で走査を継続することは至難であ
る。しかも、フイルタの全面をくまなく正確に走
査することは極めてむづかしい。また、フイルタ
取付け位置は、通常、高所であるため、高い脚立
上で作業を行わねばならず著しく危険である。走
査作業による目の疲労も無視できない。
ローブ100を手に持ち規定の5cm/sec.の速度
(AACC CS−1T規格)で走査する。フイルタの
大きさにもよるが走査にはフイルタ1枚当り約5
〜10分の時間を要する。フイルタの枚数が多い場
合には非常な疲労と忍耐とを要する。通常、多人
数が交代で数日間〜十数日間にわたつてリーク・
テストに従事しているのが実情である。このよう
に走査作業は手作業であり著しく疲労しやすいた
め、規定の速度で走査を継続することは至難であ
る。しかも、フイルタの全面をくまなく正確に走
査することは極めてむづかしい。また、フイルタ
取付け位置は、通常、高所であるため、高い脚立
上で作業を行わねばならず著しく危険である。走
査作業による目の疲労も無視できない。
本発明の目的は、テストすべきフイルタの下流
側をX軸・Y軸方向に可動しフイルタ全面を自動
走査することによりリーク・テストの正確化と合
理化を達成するクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、走査中にピンホールを
検出するとただちに警報を発しその位置をCRT
(シンクロスコープ)に表示するかもしくはプリ
ント・アウトするクリーンルーム用高性能フイル
タの自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、走査中にピンホ
ールを検出するとだたちにその位置で走査を自動
的に停止しうるクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、ピンホール位置
の検出・表示によりその補修作業が迅速かつ確実
に行いうるリーク・テスト装置を提供することに
ある。
側をX軸・Y軸方向に可動しフイルタ全面を自動
走査することによりリーク・テストの正確化と合
理化を達成するクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、走査中にピンホールを
検出するとただちに警報を発しその位置をCRT
(シンクロスコープ)に表示するかもしくはプリ
ント・アウトするクリーンルーム用高性能フイル
タの自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、走査中にピンホ
ールを検出するとだたちにその位置で走査を自動
的に停止しうるクリーンルーム用高性能フイルタ
の自動リーク・テスト装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、ピンホール位置
の検出・表示によりその補修作業が迅速かつ確実
に行いうるリーク・テスト装置を提供することに
ある。
以下に本発明を実施例にもとづき図面を参照し
つつ詳述する。
つつ詳述する。
本発明装置は、フイルタ通過前後の気流中の粒
子をフオトメーターによる光透過によりフイルタ
のリークをテストする例えばHOT DOPテスト
に用いられる。この装置を例えば垂直層流式クリ
ーンルームのフイルタのリーク・テストに採用す
る場合の例を第2図に示す。本発明装置は、第2
図および第3図に示すように、スキヤンニング・
ロボツト1と、これに電気的に接続され該ロボツ
ト1を例えばCPU方式によりコントロールする
コントローラ2と、これに電気的に接続されたス
モークセンサなどのフオトメーター3とを有す
る。
子をフオトメーターによる光透過によりフイルタ
のリークをテストする例えばHOT DOPテスト
に用いられる。この装置を例えば垂直層流式クリ
ーンルームのフイルタのリーク・テストに採用す
る場合の例を第2図に示す。本発明装置は、第2
図および第3図に示すように、スキヤンニング・
ロボツト1と、これに電気的に接続され該ロボツ
ト1を例えばCPU方式によりコントロールする
コントローラ2と、これに電気的に接続されたス
モークセンサなどのフオトメーター3とを有す
る。
上記ロボツト1は、第4図に示すように、矩形
状枠体11と、移動レール12と、テスト・プロ
ーブ13とを有する。この移動レール12は、枠
体11により形成される平面上をこの枠体1の相
対向する一対の二辺、例えばX軸方向の二辺1
4,14に沿つて第1スライド用モーター、例え
ばX軸スライド用モーター120により移動す
る。テスト・プローブ13は、移動レール12上
をこの移動レール12に沿つて例えばY軸方向に
第2スライド用モーター例えばY軸スライド用モ
ーター130により移動する。それゆえ、テス
ト・プローブ13はリーク・テストすべきフイル
タ4の面をX軸・Y軸方向に自在に走査しう
る。
状枠体11と、移動レール12と、テスト・プロ
ーブ13とを有する。この移動レール12は、枠
体11により形成される平面上をこの枠体1の相
対向する一対の二辺、例えばX軸方向の二辺1
4,14に沿つて第1スライド用モーター、例え
ばX軸スライド用モーター120により移動す
る。テスト・プローブ13は、移動レール12上
をこの移動レール12に沿つて例えばY軸方向に
第2スライド用モーター例えばY軸スライド用モ
ーター130により移動する。それゆえ、テス
ト・プローブ13はリーク・テストすべきフイル
タ4の面をX軸・Y軸方向に自在に走査しう
る。
上記コントローラー2は、第5図に示すよう
に、走査デジタル入力手段D,E,F,G,Lと
リーク上限値設定デジタル入力手段Bと警報手段
Cと表示手段であるデジタル・パネル・メータA
とを有する。
に、走査デジタル入力手段D,E,F,G,Lと
リーク上限値設定デジタル入力手段Bと警報手段
Cと表示手段であるデジタル・パネル・メータA
とを有する。
上記走査デジタル入力手段D,E,F,G,L
は、テスト・プローブ13の走査動作および走査
速度を入力する手段である。走査動作には、第6
図aおよびbに示すように、モード1とモード2
の2種類がある。モード1は全周動作であり、フ
イルタの全周を走査してフイルタ取付け枠とフイ
ルタとの間の気密性をチエツクする。入力手段D
はX軸方向の走査を、入力手段EはY軸方向の走
査を担当する。モード2は矩形動作であり。フイ
ルタ面の全面を走査するためのものである、入
力手段FはX軸方向の走査を、入力手段GはY軸
方向の走査を担当する。入力手段Lはプローブ1
3の移動速度を担当する。
は、テスト・プローブ13の走査動作および走査
速度を入力する手段である。走査動作には、第6
図aおよびbに示すように、モード1とモード2
の2種類がある。モード1は全周動作であり、フ
イルタの全周を走査してフイルタ取付け枠とフイ
ルタとの間の気密性をチエツクする。入力手段D
はX軸方向の走査を、入力手段EはY軸方向の走
査を担当する。モード2は矩形動作であり。フイ
ルタ面の全面を走査するためのものである、入
力手段FはX軸方向の走査を、入力手段GはY軸
方向の走査を担当する。入力手段Lはプローブ1
3の移動速度を担当する。
上記リーク上限値設定デジタル入力手段Bは、
フオトメーター3に接続されリーク・テスト合格
範囲の上限値をある値、例えば99.99(%)に入力
する手段である。
フオトメーター3に接続されリーク・テスト合格
範囲の上限値をある値、例えば99.99(%)に入力
する手段である。
上記警報手段Cは、フオトメーター3に接続さ
れ上記上限値を越えたとき警報ランプが点灯して
異常を知らせる。同時に、一時停止手段Kが作動
してテスト・プローブ13をその位置で停止させ
ることができる。自動スタート・スイツチJをオ
ンすることによりプローブ13は再び動作を開始
し、終了後は原点位置に復帰する。
れ上記上限値を越えたとき警報ランプが点灯して
異常を知らせる。同時に、一時停止手段Kが作動
してテスト・プローブ13をその位置で停止させ
ることができる。自動スタート・スイツチJをオ
ンすることによりプローブ13は再び動作を開始
し、終了後は原点位置に復帰する。
上記デジタル・パネル・メータAが表示してい
るフオトメーター3から出力されるフイルタ4の
リーク・データを他の表示手段であるCRTを介
しても表示することができる。
るフオトメーター3から出力されるフイルタ4の
リーク・データを他の表示手段であるCRTを介
しても表示することができる。
その他、モード2における繰り返えし回数を指
定するための回数指定デジタル入力手段Hおよび
モード2における動作順序を指定するための動作
セレクト手段Iがコントローラー2に設けられて
いる。プローブ13を手動操作により指定方向へ
移動させるための移動スイツチは第5図において
M,N,O,Pで示され、Qはプローブ13の原
点復帰スイツチ、Rは電源表示ランプそしてSは
電源スイツチである。
定するための回数指定デジタル入力手段Hおよび
モード2における動作順序を指定するための動作
セレクト手段Iがコントローラー2に設けられて
いる。プローブ13を手動操作により指定方向へ
移動させるための移動スイツチは第5図において
M,N,O,Pで示され、Qはプローブ13の原
点復帰スイツチ、Rは電源表示ランプそしてSは
電源スイツチである。
次に、フイルタのリーク・テスト方法を述べ
る。リーク・テストすべきフイルタ4の面をX
軸・Y軸方向に走査するテスト・プローブ13を
設えたスキヤンニング・ロボツト1を該フイルタ
4の下流側に配置する。上限値設定デジタル入力
手段Bによりフイルタ・リーク・テスト合格範囲
の上限値を入力する。走査デジタル入力手段D,
E,F,G,Lによりテスト・プローブ13の走
査動作および走査速度をコントローラー2に入力
する。その他、所望のリーク・テストがなされる
に必要な情報をコントローラー2に入力する。次
いで、テスト・プローブ13に入力動作と入力速
度にもとづいてリーク・テストすべきフイルタ4
の全周および面全面にわたつて走査させフイル
タのリーク・テストを行う、所定のリーク上限値
を越えたとき警報手段Cが異常を知らせ、同時
に、そのときのフイルタのピンホールなどの位置
がデジタル・パネル・メータAに表示される。
る。リーク・テストすべきフイルタ4の面をX
軸・Y軸方向に走査するテスト・プローブ13を
設えたスキヤンニング・ロボツト1を該フイルタ
4の下流側に配置する。上限値設定デジタル入力
手段Bによりフイルタ・リーク・テスト合格範囲
の上限値を入力する。走査デジタル入力手段D,
E,F,G,Lによりテスト・プローブ13の走
査動作および走査速度をコントローラー2に入力
する。その他、所望のリーク・テストがなされる
に必要な情報をコントローラー2に入力する。次
いで、テスト・プローブ13に入力動作と入力速
度にもとづいてリーク・テストすべきフイルタ4
の全周および面全面にわたつて走査させフイル
タのリーク・テストを行う、所定のリーク上限値
を越えたとき警報手段Cが異常を知らせ、同時
に、そのときのフイルタのピンホールなどの位置
がデジタル・パネル・メータAに表示される。
本発明装置は、それゆえ、前記目的に対応する
優れた効果を奏しうる。
優れた効果を奏しうる。
第1図は従来のフイルタ・リーク・テスト方法
の説明図、第2図は本発明装置の一実施例の正面
図、第3図はその装置のブロツク図、第4図はロ
ボツト1の部分斜視図、第5図はコントローラー
2に設けられた各種入力手段のデジタル・スイツ
チを配列するコントローラー・パネルの正面図、
第6図aおよびbはプローブ13の走査動作のモ
ード1および2をそれぞれ説明する説明図であ
る。 1……スキヤンニング・ロボツト、2……コン
トローラー、3……フオトメーター、4……フイ
ルタ、5……DOPスモーク発生装置、6……
DOPスモーク、7……送風機、11……矩形状
枠体、12……移動レール、13,100……テ
スト・プローブ、14……X軸方向の辺、101
……リーク・テスター、120,130……スラ
イド用モーター、A……デジタル・パネル・メー
タ、B……リーク上限値設定デジタル入力手段、
C……警報手段、D,E,F,G,L……走査デ
ジタル入力手段。
の説明図、第2図は本発明装置の一実施例の正面
図、第3図はその装置のブロツク図、第4図はロ
ボツト1の部分斜視図、第5図はコントローラー
2に設けられた各種入力手段のデジタル・スイツ
チを配列するコントローラー・パネルの正面図、
第6図aおよびbはプローブ13の走査動作のモ
ード1および2をそれぞれ説明する説明図であ
る。 1……スキヤンニング・ロボツト、2……コン
トローラー、3……フオトメーター、4……フイ
ルタ、5……DOPスモーク発生装置、6……
DOPスモーク、7……送風機、11……矩形状
枠体、12……移動レール、13,100……テ
スト・プローブ、14……X軸方向の辺、101
……リーク・テスター、120,130……スラ
イド用モーター、A……デジタル・パネル・メー
タ、B……リーク上限値設定デジタル入力手段、
C……警報手段、D,E,F,G,L……走査デ
ジタル入力手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 リークをテストすべきフイルタを通過した気
流を吸引するテストプローブと、 該テストプローブと接続され、吸引された該気
流の光透過度から、該フイルタのリークデータを
出力するフオトメータと、 該フイルタの面全面に沿つてX軸及びY軸方
向に、該テストプローブをスライド用モーターに
よつて走査させるスキヤニングロボツトと、 該フオトメータ及び該スキヤニングロボツトと
接続されたコントローラーとを備え、 該コントローラーは、該スキヤニングロボツト
の走査動作及び走査速度を入力するための走査入
力手段と、リーク上限値を設定するためのリーク
上限値設定入力手段と、リークデータを表示する
表示手段と、警報手段とを有し、 該コントローラーは、該スキヤニングロボツト
を制御して、入力された走査動作及び走査速度で
該テストプローブを走査させ、 該表示手段は、リークデータ、及びリークデー
タが該リーク上限値を超えたフイルタのリーク箇
所の位置の少なくとも一方を表示し、 該警報手段は、走査中に、リークデータが該リ
ーク上限値を超えた場合に、異常を知らせる、 クリーンルーム用高性能フイルタの自動リークテ
スト装置。 2 前記コントローラーは、走査中に、リークデ
ータが前記リーク上限値を超えた場合に、前記ス
キヤニングロボツトによる前記テストプローブの
走査を一時停止させる一時停止手段を有している
特許請求の範囲第1項に記載の自動リークテスト
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12043582A JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12043582A JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5910831A JPS5910831A (ja) | 1984-01-20 |
JPH0350210B2 true JPH0350210B2 (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=14786135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12043582A Granted JPS5910831A (ja) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | クリ−ンル−ム用高性能フィルタの自動リ−ク・テスト方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5910831A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002243626A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Techno Ryowa Ltd | エアフィルタのリーク検査方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS637820A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-13 | Komatsu Ltd | クリ−ンル−ムの防塵フイルタ検査装置 |
DE3787003T2 (de) * | 1986-05-21 | 1994-03-24 | Komatsu Mfg Co Ltd | Lenkvorrichtung für sich unbemannt bewegende körper. |
JPH01151235U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-19 | ||
US7010960B1 (en) * | 2003-10-10 | 2006-03-14 | Grantham James I | Scan device and method for testing filters for leaks |
JP4443350B2 (ja) | 2004-08-27 | 2010-03-31 | 株式会社大気社 | 空調設備 |
WO2006031791A1 (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Camfil Farr, Inc. | Axial flow scan testable filter system |
US7592178B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-09-22 | Hunter Menufacturing Co. | Filter integrity tester |
DK1949065T3 (da) * | 2005-10-24 | 2019-09-02 | Camfil Usa Inc | Fremgangsmåde og apparat til v-bankfilterlejescanning |
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