JPS5853884A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPS5853884A JPS5853884A JP15267381A JP15267381A JPS5853884A JP S5853884 A JPS5853884 A JP S5853884A JP 15267381 A JP15267381 A JP 15267381A JP 15267381 A JP15267381 A JP 15267381A JP S5853884 A JPS5853884 A JP S5853884A
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- Japan
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- inspected
- moving table
- microscope
- output
- inspection
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- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発Ｉｊ１１は、検査装置に係シ、特にプリント板等の
パターンに生じた欠陥部分を検査するのに好適な検査装
置に関する。
パターンに生じた欠陥部分を検査するのに好適な検査装
置に関する。
プリント基板等のパターン中の欠陥を検査する方法や検
査装置としては種々のものが従来から提案されている。
査装置としては種々のものが従来から提案されている。
これら検査方法又は検査装置のうち最も簡単なものはＸ
−Ｙグロックによってプリント板ノ臂ターン中の欠陥部
分を紙の上にマーキングした検査紙を被検査物のプリン
ト板に重ねて欠陥部分に修正作業を行うようにされたも
のが知られている。
−Ｙグロックによってプリント板ノ臂ターン中の欠陥部
分を紙の上にマーキングした検査紙を被検査物のプリン
ト板に重ねて欠陥部分に修正作業を行うようにされたも
のが知られている。
このような欠陥部分の修正作業を行うためには被検査物
の上に貼着した検査紙を剥離して行なわなくてはならず
、更に被検査物上に検査紙を重畳するときのずれを生ず
る問題があった。
の上に貼着した検査紙を剥離して行なわなくてはならず
、更に被検査物上に検査紙を重畳するときのずれを生ず
る問題があった。
更に、他の検査方法としては、被検査物￥ｒｘ−Ｙステ
ージに載置して、他の検査装置よシ指示された欠陥位置
を自動的に指示するようにしたものが知られている。
ージに載置して、他の検査装置よシ指示された欠陥位置
を自動的に指示するようにしたものが知られている。
仁の検査方法によると、装置上全自動化するために装置
自体が大型化すると共に高価となる欠点を有する。
自体が大型化すると共に高価となる欠点を有する。
本発明は叙上の如き欠点を除くためになされたもので、
その特徴とするところは欠陥場所を表示装置によって表
示することで、Ｘ−Ｙステージ上の被検査物の欠陥位置
にマニアル操作でＸ−Ｙスプーリに取シ付けられ良顕微
鏡等を移動させるようにしたものである。仁の大め本発
ｗＡＫ於てはノ臂ターン検査装置より入力され大欠陥位
置記憶ＷカとＸ−Ｙステージに載置され九被検査物の位
置検出出力との差分出力によってＸ−Ｙステージｔ−ｘ
又ｔｉＹ方向にマニアル操作するように表示装置に表示
を行ない、上記表示装置の表示に従って所定の欠陥位置
に持ち来九され九ｘ−ｙスプージ上のｇ砿鏡１ｘ−ｙス
テージに配設し大制動手一段によシ制動を与えるように
したものである。
その特徴とするところは欠陥場所を表示装置によって表
示することで、Ｘ−Ｙステージ上の被検査物の欠陥位置
にマニアル操作でＸ−Ｙスプーリに取シ付けられ良顕微
鏡等を移動させるようにしたものである。仁の大め本発
ｗＡＫ於てはノ臂ターン検査装置より入力され大欠陥位
置記憶ＷカとＸ−Ｙステージに載置され九被検査物の位
置検出出力との差分出力によってＸ−Ｙステージｔ−ｘ
又ｔｉＹ方向にマニアル操作するように表示装置に表示
を行ない、上記表示装置の表示に従って所定の欠陥位置
に持ち来九され九ｘ−ｙスプージ上のｇ砿鏡１ｘ−ｙス
テージに配設し大制動手一段によシ制動を与えるように
したものである。
以下、本発明の１実施例を第１図及び第２図を参照に詳
記する。
記する。
第１図は、本発明の系統図とＸ−Ｙステージを示すもの
であシ、第２図は第１図のＡ−ム断面矢視図である。Ｘ
−Ｙステージ１９は、基台６を有し、該基台６は、略々
υ字状に形成され、レール部６ ｍ ＋ ６ ｂが形成
されている・更に、腋基台６上に被検査物のプリント板
８が載置され、適宜手段によってクランデフされる。
であシ、第２図は第１図のＡ−ム断面矢視図である。Ｘ
−Ｙステージ１９は、基台６を有し、該基台６は、略々
υ字状に形成され、レール部６ ｍ ＋ ６ ｂが形成
されている・更に、腋基台６上に被検査物のプリント板
８が載置され、適宜手段によってクランデフされる。
９′Ｆｉ基台６のレール部＠ ａ ＋ ６ ｂに摺動自
在にＸ軸方向に載置された移動台であシ、該移動台９上
にはＹ軸方向に摺動自在に顕微鏡移動台１０が配置され
ている・＃顕微鏡移動台１０にはｌｉ！ｇ微鏡１１が載
置されて被検査物８とレンズが対向するように配設され
ている。
在にＸ軸方向に載置された移動台であシ、該移動台９上
にはＹ軸方向に摺動自在に顕微鏡移動台１０が配置され
ている・＃顕微鏡移動台１０にはｌｉ！ｇ微鏡１１が載
置されて被検査物８とレンズが対向するように配設され
ている。
移動台９０両端部Ｋｔｉ、プーリ１２，１３が回動自在
に枢着され、該両プーリ間に糸又は針金尋よシなるベル
ト１４が掛は渡され、顕微鏡移動台１０の下端にベルト
１４が係止されベルトの移動と共ＫＪ８Ｉ微鏡移動台１
０がＹ軸方向に移動するように構成されている。
に枢着され、該両プーリ間に糸又は針金尋よシなるベル
ト１４が掛は渡され、顕微鏡移動台１０の下端にベルト
１４が係止されベルトの移動と共ＫＪ８Ｉ微鏡移動台１
０がＹ軸方向に移動するように構成されている。
更に、基台６のレール部６ｂＫ回動自在に枢着したプー
リ１５．１６間に上記したと同様のベルト２０に一囲繞
させ、該ベルトの一部に移動台９の折シ曲は部９ａの−
Ｓを係止させて移動台９のＸ軸方向の移動と共にプーリ
１６が回動して該プーリと同軸に回転する。ロータリエ
ンコー〆１８１のステータに移動台９の移動に比例した
出力が取ル出される。
リ１５．１６間に上記したと同様のベルト２０に一囲繞
させ、該ベルトの一部に移動台９の折シ曲は部９ａの−
Ｓを係止させて移動台９のＸ軸方向の移動と共にプーリ
１６が回動して該プーリと同軸に回転する。ロータリエ
ンコー〆１８１のステータに移動台９の移動に比例した
出力が取ル出される。
デー１７１３も顕微鏡移動台１０の移動と共に回動し、
該プーリ１３の軸と同軸に配され九ロータリエンコーダ
１７１等よシなる検出手段のステータ側に顕微鏡移動台
１０の移動に比例し良電気的出力が取や出される。
該プーリ１３の軸と同軸に配され九ロータリエンコーダ
１７１等よシなる検出手段のステータ側に顕微鏡移動台
１０の移動に比例し良電気的出力が取や出される。
なお１７ｂ及び１８ｂはプーリ１３及び１６の軸に同軸
に配役し良電磁ブレーキで、該軸の回動をブレーキする
ものである。
に配役し良電磁ブレーキで、該軸の回動をブレーキする
ものである。
電気系は第１図に示すようにｔ４ターン検査装置１から
出力されるプリント板８勢の欠陥部分のＸ座標及びＹ座
標上フォトマスク等から取多田して記憶回路２に欠陥部
分を記憶子る。記憶回路からｊ−次読み出した信号を差
分回路３に加える。Ｘ−Ｙロータリエンコーダ１７ ｍ
＋ １８ ａよりの移動台９と顕微鏡移動台１０の位
置に比例した出力を位置カウンタ回路４に加え、該位置
カウンタ回路出力を差分回路３に加えることで記憶回路
２よりの欠陥位置とＸ−Ｙステージの顕微鏡移動台位置
との差を求めて、表示装置５に移動台９と顕微鏡移動台
１０Ｙｒどの方向に移動させるべきかを指示する。
出力されるプリント板８勢の欠陥部分のＸ座標及びＹ座
標上フォトマスク等から取多田して記憶回路２に欠陥部
分を記憶子る。記憶回路からｊ−次読み出した信号を差
分回路３に加える。Ｘ−Ｙロータリエンコーダ１７ ｍ
＋ １８ ａよりの移動台９と顕微鏡移動台１０の位
置に比例した出力を位置カウンタ回路４に加え、該位置
カウンタ回路出力を差分回路３に加えることで記憶回路
２よりの欠陥位置とＸ−Ｙステージの顕微鏡移動台位置
との差を求めて、表示装置５に移動台９と顕微鏡移動台
１０Ｙｒどの方向に移動させるべきかを指示する。
この表示装置５の指示に従ってマニアル操作によって移
動台９又は顕微鏡移動台１０をＸ又ＦｉＹ方向に移動さ
せる。マニアル操作で移動台９と顕ｆＩｋ鏡移動台１０
が所定の欠陥位置に定められると差分回路３よ〕の出力
は零となるのでこの出力によって電磁ブレーキ１７ｂ、
１８ｂが動作してプーリ１３，１６の回動を祭主するよ
うにする。
動台９又は顕微鏡移動台１０をＸ又ＦｉＹ方向に移動さ
せる。マニアル操作で移動台９と顕ｆＩｋ鏡移動台１０
が所定の欠陥位置に定められると差分回路３よ〕の出力
は零となるのでこの出力によって電磁ブレーキ１７ｂ、
１８ｂが動作してプーリ１３，１６の回動を祭主するよ
うにする。
かくの如き構成によれば、移動台９並に顕微鏡移動台１
０を移動させるモータ勢を必要としないために、これら
の駆動に伴う諸装置も不必要とな）、特にプリント板の
ように欠陥場所が〉ン〆ムに発生するものに適すると共
に欠陥位置で正しく制動が掛ってプリント板の検査位置
や修正位置が極めて容易に検出できるので作業性を大巾
に迅速化し得るものである。
０を移動させるモータ勢を必要としないために、これら
の駆動に伴う諸装置も不必要とな）、特にプリント板の
ように欠陥場所が〉ン〆ムに発生するものに適すると共
に欠陥位置で正しく制動が掛ってプリント板の検査位置
や修正位置が極めて容易に検出できるので作業性を大巾
に迅速化し得るものである。
なお、上記実施例では、記憶回路に入力されるデータを
ノリーンの欠陥位置データで説明したがこれら社被検査
データであればよく、顕微鏡移動台ｌＯ上には顕微鏡１
１を載置する場合を述べたが、該顕微鏡の代りにマーカ
や修正銃或はツール勢を配置してもよいこと明らかであ
る。
ノリーンの欠陥位置データで説明したがこれら社被検査
データであればよく、顕微鏡移動台ｌＯ上には顕微鏡１
１を載置する場合を述べたが、該顕微鏡の代りにマーカ
や修正銃或はツール勢を配置してもよいこと明らかであ
る。
第１図は、本発明の検査装置の系統図とｘ−ｙステージ
の斜視図、１８２図は第１図のムー人断面矢視図である
。 ｌ・・・Δタン検出装置、２・・・記憶回路、３・・・
差分回路、４・・・位置カウンタ回路、５・・・表示装
置、６・・・基台、８・・・被検査物、９・・・移動台
、１０・・・顕微鏡移動台、１１・・・顕微鏡、１２．
１３．ｘｉ、１ｓ・・・プーリ、１７ｍ＋１８ｍ・・・
ｐ−タリエンコー〆、１７ｂ、１８ｂ・・・電磁ブレー
キ、１９・・・ｘ−ｙステージ。
の斜視図、１８２図は第１図のムー人断面矢視図である
。 ｌ・・・Δタン検出装置、２・・・記憶回路、３・・・
差分回路、４・・・位置カウンタ回路、５・・・表示装
置、６・・・基台、８・・・被検査物、９・・・移動台
、１０・・・顕微鏡移動台、１１・・・顕微鏡、１２．
１３．ｘｉ、１ｓ・・・プーリ、１７ｍ＋１８ｍ・・・
ｐ−タリエンコー〆、１７ｂ、１８ｂ・・・電磁ブレー
キ、１９・・・ｘ−ｙステージ。
Claims (1)
- 被検査対象入力装置よｐ欠陥位置を入力すゐ手段と、被
検査物の位置を検出する手段と、前記被検査対象入力装
置より欠陥位置を入力する手段よシの出力と被検査物の
位置音検出する手段の出力との比較出力を取り出す手段
と、該比較出−力によシ被検査物ｌｘ軸又はＹ軸方向に
移動させる方向を指示する手段と、峡比較出力によって
被検査物の欠陥位置が所定範囲内にある時に制動を与え
る手段とを有することｔ％黴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15267381A JPS5853884A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15267381A JPS5853884A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5853884A true JPS5853884A (ja) | 1983-03-30 |
Family
ID=15545599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15267381A Pending JPS5853884A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853884A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60130304A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | セイレイ工業株式会社 | トラクタ作業機の自動耕深制御装置 |
| JPS61241605A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-27 | Yoshiaki Ihara | 画像処理装置 |
| JPS6265013U (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | ||
| JPS62118808A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | 井関農機株式会社 | 乗用農機の電気制御操作装置 |
| JPS62122508U (ja) * | 1986-01-25 | 1987-08-04 | ||
| JPS6410903A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 | Kubota Ltd | Apparatus for controlling plowing depth |
| JPS6410901A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 | Kubota Ltd | Rolling controlling apparatus |
| JPH05199803A (ja) * | 1992-11-17 | 1993-08-10 | Iseki & Co Ltd | 乗用農機の制御部操作装置 |
| JPH05199802A (ja) * | 1992-11-17 | 1993-08-10 | Iseki & Co Ltd | 乗用農機の制御部操作装置 |
-
1981
- 1981-09-26 JP JP15267381A patent/JPS5853884A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60130304A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | セイレイ工業株式会社 | トラクタ作業機の自動耕深制御装置 |
| JPS61241605A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-27 | Yoshiaki Ihara | 画像処理装置 |
| JPS6265013U (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | ||
| JPS62118808A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | 井関農機株式会社 | 乗用農機の電気制御操作装置 |
| JPS62122508U (ja) * | 1986-01-25 | 1987-08-04 | ||
| JPS6410903A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 | Kubota Ltd | Apparatus for controlling plowing depth |
| JPS6410901A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 | Kubota Ltd | Rolling controlling apparatus |
| JPH05199803A (ja) * | 1992-11-17 | 1993-08-10 | Iseki & Co Ltd | 乗用農機の制御部操作装置 |
| JPH05199802A (ja) * | 1992-11-17 | 1993-08-10 | Iseki & Co Ltd | 乗用農機の制御部操作装置 |
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