JPS61241605A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JPS61241605A JPS61241605A JP8262785A JP8262785A JPS61241605A JP S61241605 A JPS61241605 A JP S61241605A JP 8262785 A JP8262785 A JP 8262785A JP 8262785 A JP8262785 A JP 8262785A JP S61241605 A JPS61241605 A JP S61241605A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging device
- image
- zoom ratio
- imaging
- controlling section
- Prior art date
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
この発明は画像処理装置に関づる。
［従来の技４ｆｉ］
従来、例えばＴ Ｃ（Ｉ ｎｔｅｏｒａｔｅｄ Ｃ１
ｒｃｕ口）のパターンを検査する際には、所定の検査台
にＩＣを位置決めし、このＩＣを、ＩＣに対して一定の
位置に固定され所定の画像精度に設定されたカメラによ
り撮像し、この画像をＴＶモニタにＪ、り確認するよう
にしていた。この型の画像処理５ｉｉｉ置（ま、ＩＣの
ように小さな被写体をある 定の精亀で・検査したい場
合には大変イ］ Ｉｌｌ ’（”あり、各種分野で多様
に使用されている。 しかしながら、このＪ、うイ「ものにおい（ｉ、Ｌ、被
写体が、広い検査領域を＄Ｉ−Ｌ Ｕおり、大部分の検
査領域は粗い！／１ ｌｉｔぐ検査りればＪ、いが一部
検査の領域（１，Ｌ細い粘１褪でパ検査する必散がある
ｂのて′ある場合には、膨大な検査肋間を必要どし、従
っ（実質１−使用（Ｊることがでさイにいという問題点
かあつＩこ。例えば、９１５ Ｘ １８３制■の人きさ
の銀金に施されｌこ加−１粕石０．０５ｍｍの銀金加−
［の良否を検査りる場合には（９１５１０，０ミ））Ｘ
（１８３１０，０５）−８１，７６Ｍムの画素数が必要
と’ＣＬるが、これ稈の膨大な情報は通常のンイク１１
］１ンビ１−タのＣＰ Ｕでは実際１処即不０Ｊ能ｅあ
る。 ［発明のｌｉｌ的１ この発明の］−１的番よ、前記従来の画像処理装置の問
題点を解決りることであり、人さな搬像領域をイ］して
いるにしかかわら！Ｊ′イの一部の撮像領域については
高精曵の画像を要求される被′ｑ体を確実かつ迅速に搬
像り゛ることができる画像処理装置を提供することぐあ
る。 ［発明の構成１ この発明は、前記［１的を達成りるため、被′ｑ体を搬
像する踊像装置ど、前記撮像装置を予め設定し／、：
Ｍ ｔｍ ４０ ＩＩ￥１情報に基づいて前６１：被写
体
ｒｃｕ口）のパターンを検査する際には、所定の検査台
にＩＣを位置決めし、このＩＣを、ＩＣに対して一定の
位置に固定され所定の画像精度に設定されたカメラによ
り撮像し、この画像をＴＶモニタにＪ、り確認するよう
にしていた。この型の画像処理５ｉｉｉ置（ま、ＩＣの
ように小さな被写体をある 定の精亀で・検査したい場
合には大変イ］ Ｉｌｌ ’（”あり、各種分野で多様
に使用されている。 しかしながら、このＪ、うイ「ものにおい（ｉ、Ｌ、被
写体が、広い検査領域を＄Ｉ−Ｌ Ｕおり、大部分の検
査領域は粗い！／１ ｌｉｔぐ検査りればＪ、いが一部
検査の領域（１，Ｌ細い粘１褪でパ検査する必散がある
ｂのて′ある場合には、膨大な検査肋間を必要どし、従
っ（実質１−使用（Ｊることがでさイにいという問題点
かあつＩこ。例えば、９１５ Ｘ １８３制■の人きさ
の銀金に施されｌこ加−１粕石０．０５ｍｍの銀金加−
［の良否を検査りる場合には（９１５１０，０ミ））Ｘ
（１８３１０，０５）−８１，７６Ｍムの画素数が必要
と’ＣＬるが、これ稈の膨大な情報は通常のンイク１１
］１ンビ１−タのＣＰ Ｕでは実際１処即不０Ｊ能ｅあ
る。 ［発明のｌｉｌ的１ この発明の］−１的番よ、前記従来の画像処理装置の問
題点を解決りることであり、人さな搬像領域をイ］して
いるにしかかわら！Ｊ′イの一部の撮像領域については
高精曵の画像を要求される被′ｑ体を確実かつ迅速に搬
像り゛ることができる画像処理装置を提供することぐあ
る。 ［発明の構成１ この発明は、前記［１的を達成りるため、被′ｑ体を搬
像する踊像装置ど、前記撮像装置を予め設定し／、：
Ｍ ｔｍ ４０ ＩＩ￥１情報に基づいて前６１：被写
体
【こ対しＣ所定の位置に移動さＵる撮像装置移動手段
と、前記−像装謬が読み込んだ画像信号を処理Ｊる画像
信号処理手段と、前記１［１ａ像装置、前記戯像装隨移
動手段及び前記画像信号処理手段を相Ｌ）に関連さＩて
制御ｌリルＩＩＩＩＩｔａＩ１部トヲ備工た。 ［実施例］ 以ト、図面を参照し／丁がらこの発明の一実施例を詳細
に説明する。第１図乃至第４図はこの実施例の構成を示
りｂのであり、第１図は画像処理装置の斜視図、第２図
は画像処理装置のブロック図、第３図は画像処理装置に
設【ノられたｍ像装置の説明図、第４図はこの層像装置
に設置ノられＩこズーミング機構のズーミング動作の説
明図である。 第１図に示−ｔ Ｊ、うに、この画像処理装置１は、被
写体Ｃあるワーク３を位繭決めするための検査台５ど、
この検査台５５に固定して設ＧＪられた固定枠７ど、固
定枠７にＹ！１ＩＩｌｌｈ向移動−６１能に受持された
ｎ１動枠９ど、可動枠９にＸ軸り向移仙可能に支持され
た撮像装置１１ど、固定枠７及び可動枠９に設置され撮
像装置１１をＸ軸、Ｙ ＠ ｌ／’ｊ向に移動ざＵるｌ
ｌｌ１像装置移動川を一タ１３ａ及び１３ｂと、ｍ像装
置１１の側部にＢＱ ｉＪられ撮像装置１１のズーミン
グを実行するズーミングモータ１７と、撮像装置′１１
に関連した制御を行う各種制御手段を内＃ｌｉ？Ｊる視
覚検に装置１９とで構成されている。 検査台５の内８１１には光＋１ｉ（第１図に図示Ｉ！ｆ
、第２図参照）か設置−Ｊられ、１ノ一ク３合賃後より
照射しり−ク３の画像に強い二１ントラス１−をりえる
ようにしている。 より詳細に説明すると、画像処理装置１は、第２図に示
すＪ、うに、ｍ像装置１１と、ｌｌ！像装置１１が画像
した画像信号を処理する画像１８月処理手段２１と、ｌ
ｌｉ像装置１１のズーム比を所望のズム比に調整Ｊるズ
ーミング機構２３ど、撮像装置１１を検査台５の所望位
置に移動させる撮像装置移動手段２５と、これら各装置
・手段等を相ｎに関連さローＵ Ｍｉｌｌ ｔｉｌｌり
る主制御部２７とから成っている。 撮像装置１１は、第３図に示ずように、ＣＣＤラインセ
ンサ３９をステッピングモータ２９ぺび減速機３１によ
りボールネジ３３及びガイド３５に沿って移動さけると
共に、ワーク３から到来する光をカメラ３７のカメラレ
ンズ３７ａを介してＣＣＤラインセンサ３９で受光し、
ＣＯＤライセン勺３９内部でワーク３の画像を画像信号
を交換する構成である。前記ステッピングモータ２９は
、第２図に示すように、第３接点出力ドライバ４１゜第
３タイミング４３を介してステッピングモータ制御ａ１
１４５に接続され、ＣＯＤライセンナ３９をステッピン
グモータ１Ｉ１１１１部４５の制御の下に駆動するよう
になっている。 画像信号処即部２１は、前記ｍｓ装置１１からワーク３
の画像信号を受は取ると、この画像信号を画像イご号制
御部４７の制御のトにＣ（’； ｌ）ドライバ７１９．
ＣＣＩ’）タイミング５１．ル−１８メ七り？）３及び
ｌ’Ｖタイ：：：／１５５ｔｒ介り、 で’＋ ｖ ’
ｔ＝’−タ５７に表示りる６のＣある。なお、ル−ムメ
ｔす５）３の肉寄は画像情弓制御ｆｆ部４７ 、 Ｊ’
ｌｌ、ＩＩ御郡部２７介して通信にＪ、リホス１〜−−
１ンピ１−タ（図示ｔ！ｆ）に転送りることも司能Ｃあ
る、。 １１１ｉ録装置賀移動手段２５は、−像装置１１を×軸
又はＹ軸り向へ移動さｌる撮像装置移動用を一夕（第２
図Ｃ１，ＬＸ軸り向ｌ＼のＩｌｉ像装像装置移動用台１
３１１どＹ軸り向へのｌ１ｌｌ像装置移動用を−９１３
ａどを 括しＣ撮像装置移動田七−夕と表わしでいる一
以下それぞれ対応りる胤像装置荀置決めソレノイド、接
点用カドライバ、タイミングについ（もＩｎｌじ〉１３
ど、撮像装置１１を搬像（ｔｌ置（・位置決めりる１ｌ
Ｉｉ像装置位置決めソレノイド６１ど、踊ｆ！！Ｉ装置
移動用七−夕１３及び−像装圓ｉｌｌ置決めソレノイド
６１を駆＃ｒ ＋Ｊる第１接点出ノＪドーノイバ６３及
び第１タイミング６５ど、撮像装置１１の現イ１位置を
検出りるリミッ］−スイッｆ６７と、リミットスイッｆ
６７の信号を通貨調整りる接点人ノ１６９ど、予め設定
された撮像装置１１のｆｉ４ ｍ （＜＋置を記憶する
搬像Ｗ装置記憶部７１と、リミツトスイッ”ｆ ６７及
びｍ像（◇置記憶部７１からの信ＨにＶづい（前記ｌｈ
ｉ像装詔移仙川［用タ１３及び穎像装問位置決めソレノ
イド６１を制御する撮像装圓移ｖｊ用アクチコ■−−タ
制御部７３と）】冒ろ構成されている。そして主１１１
１＋御部２７からｌＩｉ＠装置移動指令が入力されると
、搬像装圃移動用アクチーｔ 、ｉ−、−全制御ｎ１１
７３が、ｍ像位置記憶部７１から予め設定された１ｌｔ
ｌ像位賄を読み出りと共に、リミット−スイッチ６７か
らの信Ｈぐ―像装置１１の現在イ１°Ｉ＋Ｓを検出し、
両位置テータＪ、す、撮像装置１１を現合（＋７１ｅＷ
から撮像イ装置に移動さＵる駆動データを作成し、この
駆動データを、第１タイミング６５及び第１接点出力ド
ライバ６３を介してｍｉ像装置移動川用−夕５９に出力
する。ＩＭ像装置移Ｏ」用アク１」Ｔ−タ制ｆｉ１１部
７３は又、撮像装置１１が撮像位置にｒ−１１達したこ
とをリミツＩ・スイツ−ｆ ６７からのイハ号ｅ検知す
−ると、撮像装置４ｉ１置決めソレノイ７一 ド６１の駆動指令を出力し、撮像装置１１を前記撮像１
０置にＩｆ／蘭決めりる。 なＪ３、撮像装置移動用）ｌり゛１１■−タ制御部７３
には検査台５の内部に設（Ｊられｌこ光諒７５が接続さ
れ、−像装置が撮像を開始りると光澱７５を点燈するよ
うにしＣいる。 ズーミング機構２３は、撮像装置１１をワーク３に対し
Ｃ垂直り向（第１図におい（／軸り向）に−１：上移動
させることによりズーミングを□行うズーミングモータ
１７ど、撮像装置１１を７軸方向に位置決め覆ることに
より１ｌＩＪ像装置１１のズーム比固定を行うズーム比
固定用ソレノイド７９と、ズーミング七−夕１７及びズ
ーム比固定用ソレノイド７９を適宜側ｌＩＪ？ｌる第２
接点出力ドライバ８１及σ第２タイミング８３ど、予め
Ｍ１ｍＫＩＪｆｌｌ’１のｌｌｉ ｆ＆ ＜１／ＷＲに
λ・１応して設定されたズームＩＬを記憶しておく設定
ズーム化記憶ｉ８７と、ズーム比記憶部８７及び図示さ
れていない現在ズーム比検出手段Ｊ、りの信号に基づい
てズーミング七−夕１７及びズーム比固定用ソレノイド
７９の動作を１．ＩＩ ａｌｌ−〇− するズーミングアクチ１−１−−タ制御部Ｂ ５と、て
・構成され、１」１１御部２７かＩう駆動信号が人力さ
れると、ズーミングアクチコーＩ−タ制御部８５）が設
定ズーム比記憶部８７から設定ズーｌ＼比を読み出ずど
共に、図示され（いない現在ズーム比検出手段により現
在ズーム比を検出し、この設定ズーム比及び現（１ズー
ム比からズーミングを一タフ７の駆動ｉ−タを作成し、
この駆動ｆ−夕を第２接白出ｊＪドライバ８１．第２タ
イミング８３を介しくズーミング七−９１７に出力し、
ズーミングし一夕１７を所望のｈ向に回転ざｕｌ例えば
第４図に承りように、ズーミングを１１い、撮像装置１
１のズー１１比を予め段、定したズーム比に等しくりる
。 ズーミングアクｆ １．１−夕飼御部８５１．Ｌ前述し
ｌこ図示されていない現在ズーム比検出１段からの入力
４：５＠により現在ズーム比が設定ズーム比に等しくな
ったことを検出づるとグー１１比固定用ソレノイド７９
に作動指令を出ツノし、ｍｍｂｍｉｌのズーム比を設定
ズーム比に固定する。 次に、前ｋｉＩＩ像処理＠賄１を使用しＣツー９３Ａ
−Ｉｎ− に施された加■の良否を検査する過程を第５図乃至第７
図を参照しながら説明する。第５図は搬像装謬１１の撮
像位置Ｐｌ 、・・・、Ｐ５を示′ＩＪ説明図、第６図
は前記搬像位＠ＰＩ、・・・、Ｐ５に対応して予め設定
されたズーム比７を示Ｊ説明図、第７図は前記検査過程
の処理フローチャー１〜である。 まずワーク３に施された加二「の加工状態について説明
すると、ワーク３は、検査台５と同程度の拡がりを有り
る・ｂのであり、第５図において、その下半分には中粘
度の検査を要する加工が施されており、Ｐ３ 、Ｐ４
、Ｐ５で示ず位置の周囲には高精度の検査を要する加工
が施されているものとりる。 この事情に対応して、搬像位置記憶部７１には、第５図
に示す撮像位＠Ｐ１、・・・、Ｐ５のＸ、Ｙ座標が記憶
されており、設定ズーム比記憶部８７には、第６図に示
すように、撮像位置Ｐ＋・・・Ｐ５に対応づ番プて後述
Ｊる作業カラン１〜Ｎを介してこの設定ズーム比Ｚが記
憶されている。すなわち、撮像位置Ｐ１に対しては撮像
装置１１が検査台５の全体を１Ｊ−ボートするＭｑ！ズ
ーム比Ｚｏが、１ｉＨ６１１位置Ｐ２に対しては基準ズ
ーム比Ｚｏの２倍のズーム比２Ｚｏが、撮像位置Ｐ３
、Ｐ４ 、Ｐ５に対しては基準ズーム比Ｚｏの８倍のズ
ーム比８Ｚｏがそれぞれ記憶されている。 さて、ワーク３が検査台５に位置決めされ、第７図にお
いてステップ７０１で画像処理開始の指令が入力される
と、主制御部２７が、ステップ７０２で作業カウントを
Ｎ＝０とセット１″ると共にステップ７０３でこれを１
だけ増加させ（即ちＮ−１とし）、撮像装置移動用アク
チュエータ制御部７３へ制御開始命令を出力する。 この命令により撮像装置移動用アクチュエータ制御部が
起動し、ステップ７０４で、ｌｌｉ像位置記憶部７１か
ら撮像装置１１の最初の撮像位置Ｐ１の座標を読み出し
、ステップ７０５でリミットスイッチ６７等からの信号
により撮像装＠１１の現在位置を検出する。そしてステ
ップ７０６で上記現在位置は撮像位置Ｐ１に等しいか否
かを判断し、両位置座標が等しくなければ、当該両位置
座標から撮像に置１１の移動データを作成し、ステップ
７０７でこの移動データに基づき撮像装置移動用モータ
５９を駆動して撮像装置１１を撮像位置Ｐ１の方へ移動
させ、ステップ７０５で再び現在位置を検出し、ステッ
プ７０６でこの新しい現在位置とＶａ像位置Ｐ１とを比
較し両位置座標が等しいか否かを再び判断する。 ｖａ像像装置移動用アクチュー夕制御部７３は、この動
作をくり返し、現在位置が撮像位置Ｐ１に等しくなると
、ステップ７０８で撮像位置位置決めソレノイド６１を
駆動し、撮像装置１１を搬像位置Ｐ１に位置決めする。 撮像装置１１が撮像位置Ｐ＋ に位置決めされると、主
制御部２７がこんどはズーミングアクチュエータ制御部
８５に制御開始命令を出力する。ズーミングアクチュエ
ータ制御部８５は、前記開始命令を受は取ると、ステッ
プ７０９で設定ズーム比記憶部８７をアクヒスし、その
内部から最初の設定ズーム比ＺＯを読み出し、ステップ
７１０で図示されていない現在ズーム比検出手段からの
信号により現在ズーム比を検出する。 そしてステップ７１１で現在ズーム比が設定ズーム比７
ｏに等しいか否かを判断し、等しくなければ、ステップ
７１２で現在ズーム比を設定ズーム比Ｚ＝Ｚｏに近づけ
るようにズーミングモータ５９を駆動する。 ズーミングモータ５９が駆動され、ズーム比が変更され
ると、再びステップ７１０に戻り現在ズーム比を検出し
、ステップ７１１でこの検出された新しい現在ズーム比
が設定ズーム比Ｚｏと比較され、両ズーム比が等しいか
否かが判断される。 この動作をくり返して―像装置１１の現在ズーム比が設
定ズーム比７ｏに等しくされると、ズーミングアクチュ
エータ制御部８５がズーム比固定用位置決めソレノイド
７９・を作動させ、撮像装置１１のズーム比を設定ズー
ム比Ｚｏに固定する。 撮像装置１１が検査台上の位置Ｐ１に位置決めされ、そ
のズーム比がＺｏに固定されると、主制御部２７が撮像
装置１１のステッピングモータ制御部２９及び画像信号
処理部の画像信号制御部４７に始動信号を出力する。 撮像８置１１のステッピング′［−夕制御部２９は、１
記始動信号を受信すると、ステップ７１５で第３タイミ
ング４３及び第３ドライバ４１を介してステッピングモ
ータ２９を駆動し、ＣＣＤライ［ン１）３９をボールネ
ジ３３．ガイド３５に沿って移動さＩ、ワーク３の像の
ｒｌ像を開始する。 前記ステップ７０４か６７１３の処理により撮像装置１
１の現在ズーム比は基準ズーム比Ｚｏ となっているの
で、このＣＣｒ）ライ［ン号３９にはり−ク３全体から
の光がカメラレンズ３７ａを介して入射されている。従
ってこの場合ＣＣｌ）ライレンサ３９はワーク３の全体
像を捕捉し、これを画像信号に変換りる。 画像信号制御部４７は、ＣＯＤライセン１１３９がワー
ク３の全体像を画像信号に変換りるど、ステップ７１６
でこの画像信号をＣＯＤドライバ４９、ＣＯＤタイミン
グ５１．フレームメモリ５３及びＴＶタイミング５５を
介してＴＶモニタ５７上に表示する。 ワーク３の全体像がＴＶ七ニタ５７上に表示されると、
ステップ７１７で作業者がＴＶモニタの画像を見てワー
クに施された加工の良否を検査する。 この検査が終わるとステップ７１８で例えば主制御部２
７がワーク３の検査作業を全て終了したか（即らＮ２２
となったか）否かを判断し、作業を終了していなければ
、ステップ７０３にジャンプし、作業カウントをＮ＝２
どして始めの状態に戻る。 そして再びステップ７０４からステップ７１５の動作を
実行し、ステップ７１６でワークの画像をＴＶモニタ５
７Ｆに表示する。ただし、今回の作業では作業カウント
がＮ＝２となっているから撮像装置１１は第４図の点Ｐ
２に位置きめされ、そのズーム比は第６図かられかるよ
うにＺ＝２ＺＯとされている。従ってＴＶモニタ５７−
［にはワーク３の（第５図に於て）下半分の画像が最初
の作業時の２倍精度で表示されるから、ステップ７１７
で作業者がこの表示を確認することにより、−］ ｂ
− ワーク３の下半分に施された加工がその加工精度に対応
したやや高精度の解像度で検査される。 ワーク３の下半分をズーム比２Ｚｏで検査する作業が終
了すると、再びステップ７１８（”、検査作業が終了し
たかどうかを判断し、終了していなければステップ７０
３にジャンプし、作業カウントをＮ＝３とし第３番目の
作業を開始する。 そして再度ステップ７０４から７１６の動作を実行し、
こんどは点Ｐ３の周辺領域を最初の作業時の８倍精度で
撮像し、この画像をＴＶモニタ５７上に表示する。この
８倍精度の画像が表示されると、作業者がステップ７１
７で−ｉ Ｖモニタを観察して、ワーク３上の点１３周
辺に施された加工の良否を当初の８倍精度で検査する。 以下、蹟像装置１１が点Ｐ４ 、Ｐ５に移動され、点Ｐ
３ど同様に、その周辺領域が最初作業時の８倍精度で検
査されると、ステップ７１８で全検査作業の終了（Ｎ２
２）を判断し、ステップ７１９で全検査作業を終了する
。 このように、本実施例によれば、ワーク３の各−１７−
Ｍ １６一 部分に施された各加工について、それぞれ必要とされる
検査精度に応じて撮像装置１１のズーム比７を調整する
ようにしたため、広い検査領域を持つにもかかわらず高
精度で検査すべき加工を有するワーク３を確実かつ迅速
に検査覆ることができる。 なお、前記実施例においては、撮像装置１１をＺ軸方向
に移動することによりズーミングを行ったが、通常のカ
メラ等に用いられるレンズ系の調整によりズーミングす
るようにしてもよい。 又、前記実施例においては、撮像装置１１の各撮像位置
に応じたズーム比を予め設定ズーム比記憶部に記憶して
おき、実際撮像時には、この記憶内容を逐次読み出して
ズーミング動作を行うようにしたが、必ずしもこのにう
にする必要はなく、作業者が、撮像装置１１を各撮像位
置に移動させる度にＴＶモニタを参照して、操作ターミ
ナル８９より必要なズーム比データを入力するようにし
てもよい。 又、ズーム比調整手段２３を全く設けず、撮像装置１１
をワーク３に施されＩこ加−「の近傍に移動し、これら
の加工を加［位置によらない一定精度で銅像づるだ【Ｊ
ζ・ｂ−１分く【効果が得られる。このような場合に於
ても、例えば加工データに基づいて゛、加−丁が施され
るべき位置のイ；１置庫標を撮像位置記憶部７１に記憶
しておくのがよい。 ［発明の効果１ 以１μ２明したＪ、うに、この発明の画像処理装置は、
前記のように構成したことにより、大きな―像領域をｈ
″）にもかかわらずその一部の撮像領域については高精
１良の画像を廿求される被写体を確定かつ迅速に１する
ことが（°きる。
と、前記−像装謬が読み込んだ画像信号を処理Ｊる画像
信号処理手段と、前記１［１ａ像装置、前記戯像装隨移
動手段及び前記画像信号処理手段を相Ｌ）に関連さＩて
制御ｌリルＩＩＩＩＩｔａＩ１部トヲ備工た。 ［実施例］ 以ト、図面を参照し／丁がらこの発明の一実施例を詳細
に説明する。第１図乃至第４図はこの実施例の構成を示
りｂのであり、第１図は画像処理装置の斜視図、第２図
は画像処理装置のブロック図、第３図は画像処理装置に
設【ノられたｍ像装置の説明図、第４図はこの層像装置
に設置ノられＩこズーミング機構のズーミング動作の説
明図である。 第１図に示−ｔ Ｊ、うに、この画像処理装置１は、被
写体Ｃあるワーク３を位繭決めするための検査台５ど、
この検査台５５に固定して設ＧＪられた固定枠７ど、固
定枠７にＹ！１ＩＩｌｌｈ向移動−６１能に受持された
ｎ１動枠９ど、可動枠９にＸ軸り向移仙可能に支持され
た撮像装置１１ど、固定枠７及び可動枠９に設置され撮
像装置１１をＸ軸、Ｙ ＠ ｌ／’ｊ向に移動ざＵるｌ
ｌｌ１像装置移動川を一タ１３ａ及び１３ｂと、ｍ像装
置１１の側部にＢＱ ｉＪられ撮像装置１１のズーミン
グを実行するズーミングモータ１７と、撮像装置′１１
に関連した制御を行う各種制御手段を内＃ｌｉ？Ｊる視
覚検に装置１９とで構成されている。 検査台５の内８１１には光＋１ｉ（第１図に図示Ｉ！ｆ
、第２図参照）か設置−Ｊられ、１ノ一ク３合賃後より
照射しり−ク３の画像に強い二１ントラス１−をりえる
ようにしている。 より詳細に説明すると、画像処理装置１は、第２図に示
すＪ、うに、ｍ像装置１１と、ｌｌ！像装置１１が画像
した画像信号を処理する画像１８月処理手段２１と、ｌ
ｌｉ像装置１１のズーム比を所望のズム比に調整Ｊるズ
ーミング機構２３ど、撮像装置１１を検査台５の所望位
置に移動させる撮像装置移動手段２５と、これら各装置
・手段等を相ｎに関連さローＵ Ｍｉｌｌ ｔｉｌｌり
る主制御部２７とから成っている。 撮像装置１１は、第３図に示ずように、ＣＣＤラインセ
ンサ３９をステッピングモータ２９ぺび減速機３１によ
りボールネジ３３及びガイド３５に沿って移動さけると
共に、ワーク３から到来する光をカメラ３７のカメラレ
ンズ３７ａを介してＣＣＤラインセンサ３９で受光し、
ＣＯＤライセン勺３９内部でワーク３の画像を画像信号
を交換する構成である。前記ステッピングモータ２９は
、第２図に示すように、第３接点出力ドライバ４１゜第
３タイミング４３を介してステッピングモータ制御ａ１
１４５に接続され、ＣＯＤライセンナ３９をステッピン
グモータ１Ｉ１１１１部４５の制御の下に駆動するよう
になっている。 画像信号処即部２１は、前記ｍｓ装置１１からワーク３
の画像信号を受は取ると、この画像信号を画像イご号制
御部４７の制御のトにＣ（’； ｌ）ドライバ７１９．
ＣＣＩ’）タイミング５１．ル−１８メ七り？）３及び
ｌ’Ｖタイ：：：／１５５ｔｒ介り、 で’＋ ｖ ’
ｔ＝’−タ５７に表示りる６のＣある。なお、ル−ムメ
ｔす５）３の肉寄は画像情弓制御ｆｆ部４７ 、 Ｊ’
ｌｌ、ＩＩ御郡部２７介して通信にＪ、リホス１〜−−
１ンピ１−タ（図示ｔ！ｆ）に転送りることも司能Ｃあ
る、。 １１１ｉ録装置賀移動手段２５は、−像装置１１を×軸
又はＹ軸り向へ移動さｌる撮像装置移動用を一夕（第２
図Ｃ１，ＬＸ軸り向ｌ＼のＩｌｉ像装像装置移動用台１
３１１どＹ軸り向へのｌ１ｌｌ像装置移動用を−９１３
ａどを 括しＣ撮像装置移動田七−夕と表わしでいる一
以下それぞれ対応りる胤像装置荀置決めソレノイド、接
点用カドライバ、タイミングについ（もＩｎｌじ〉１３
ど、撮像装置１１を搬像（ｔｌ置（・位置決めりる１ｌ
Ｉｉ像装置位置決めソレノイド６１ど、踊ｆ！！Ｉ装置
移動用七−夕１３及び−像装圓ｉｌｌ置決めソレノイド
６１を駆＃ｒ ＋Ｊる第１接点出ノＪドーノイバ６３及
び第１タイミング６５ど、撮像装置１１の現イ１位置を
検出りるリミッ］−スイッｆ６７と、リミットスイッｆ
６７の信号を通貨調整りる接点人ノ１６９ど、予め設定
された撮像装置１１のｆｉ４ ｍ （＜＋置を記憶する
搬像Ｗ装置記憶部７１と、リミツトスイッ”ｆ ６７及
びｍ像（◇置記憶部７１からの信ＨにＶづい（前記ｌｈ
ｉ像装詔移仙川［用タ１３及び穎像装問位置決めソレノ
イド６１を制御する撮像装圓移ｖｊ用アクチコ■−−タ
制御部７３と）】冒ろ構成されている。そして主１１１
１＋御部２７からｌＩｉ＠装置移動指令が入力されると
、搬像装圃移動用アクチーｔ 、ｉ−、−全制御ｎ１１
７３が、ｍ像位置記憶部７１から予め設定された１ｌｔ
ｌ像位賄を読み出りと共に、リミット−スイッチ６７か
らの信Ｈぐ―像装置１１の現在イ１°Ｉ＋Ｓを検出し、
両位置テータＪ、す、撮像装置１１を現合（＋７１ｅＷ
から撮像イ装置に移動さＵる駆動データを作成し、この
駆動データを、第１タイミング６５及び第１接点出力ド
ライバ６３を介してｍｉ像装置移動川用−夕５９に出力
する。ＩＭ像装置移Ｏ」用アク１」Ｔ−タ制ｆｉ１１部
７３は又、撮像装置１１が撮像位置にｒ−１１達したこ
とをリミツＩ・スイツ−ｆ ６７からのイハ号ｅ検知す
−ると、撮像装置４ｉ１置決めソレノイ７一 ド６１の駆動指令を出力し、撮像装置１１を前記撮像１
０置にＩｆ／蘭決めりる。 なＪ３、撮像装置移動用）ｌり゛１１■−タ制御部７３
には検査台５の内部に設（Ｊられｌこ光諒７５が接続さ
れ、−像装置が撮像を開始りると光澱７５を点燈するよ
うにしＣいる。 ズーミング機構２３は、撮像装置１１をワーク３に対し
Ｃ垂直り向（第１図におい（／軸り向）に−１：上移動
させることによりズーミングを□行うズーミングモータ
１７ど、撮像装置１１を７軸方向に位置決め覆ることに
より１ｌＩＪ像装置１１のズーム比固定を行うズーム比
固定用ソレノイド７９と、ズーミング七−夕１７及びズ
ーム比固定用ソレノイド７９を適宜側ｌＩＪ？ｌる第２
接点出力ドライバ８１及σ第２タイミング８３ど、予め
Ｍ１ｍＫＩＪｆｌｌ’１のｌｌｉ ｆ＆ ＜１／ＷＲに
λ・１応して設定されたズームＩＬを記憶しておく設定
ズーム化記憶ｉ８７と、ズーム比記憶部８７及び図示さ
れていない現在ズーム比検出手段Ｊ、りの信号に基づい
てズーミング七−夕１７及びズーム比固定用ソレノイド
７９の動作を１．ＩＩ ａｌｌ−〇− するズーミングアクチ１−１−−タ制御部Ｂ ５と、て
・構成され、１」１１御部２７かＩう駆動信号が人力さ
れると、ズーミングアクチコーＩ−タ制御部８５）が設
定ズーム比記憶部８７から設定ズーｌ＼比を読み出ずど
共に、図示され（いない現在ズーム比検出手段により現
在ズーム比を検出し、この設定ズーム比及び現（１ズー
ム比からズーミングを一タフ７の駆動ｉ−タを作成し、
この駆動ｆ−夕を第２接白出ｊＪドライバ８１．第２タ
イミング８３を介しくズーミング七−９１７に出力し、
ズーミングし一夕１７を所望のｈ向に回転ざｕｌ例えば
第４図に承りように、ズーミングを１１い、撮像装置１
１のズー１１比を予め段、定したズーム比に等しくりる
。 ズーミングアクｆ １．１−夕飼御部８５１．Ｌ前述し
ｌこ図示されていない現在ズーム比検出１段からの入力
４：５＠により現在ズーム比が設定ズーム比に等しくな
ったことを検出づるとグー１１比固定用ソレノイド７９
に作動指令を出ツノし、ｍｍｂｍｉｌのズーム比を設定
ズーム比に固定する。 次に、前ｋｉＩＩ像処理＠賄１を使用しＣツー９３Ａ
−Ｉｎ− に施された加■の良否を検査する過程を第５図乃至第７
図を参照しながら説明する。第５図は搬像装謬１１の撮
像位置Ｐｌ 、・・・、Ｐ５を示′ＩＪ説明図、第６図
は前記搬像位＠ＰＩ、・・・、Ｐ５に対応して予め設定
されたズーム比７を示Ｊ説明図、第７図は前記検査過程
の処理フローチャー１〜である。 まずワーク３に施された加二「の加工状態について説明
すると、ワーク３は、検査台５と同程度の拡がりを有り
る・ｂのであり、第５図において、その下半分には中粘
度の検査を要する加工が施されており、Ｐ３ 、Ｐ４
、Ｐ５で示ず位置の周囲には高精度の検査を要する加工
が施されているものとりる。 この事情に対応して、搬像位置記憶部７１には、第５図
に示す撮像位＠Ｐ１、・・・、Ｐ５のＸ、Ｙ座標が記憶
されており、設定ズーム比記憶部８７には、第６図に示
すように、撮像位置Ｐ＋・・・Ｐ５に対応づ番プて後述
Ｊる作業カラン１〜Ｎを介してこの設定ズーム比Ｚが記
憶されている。すなわち、撮像位置Ｐ１に対しては撮像
装置１１が検査台５の全体を１Ｊ−ボートするＭｑ！ズ
ーム比Ｚｏが、１ｉＨ６１１位置Ｐ２に対しては基準ズ
ーム比Ｚｏの２倍のズーム比２Ｚｏが、撮像位置Ｐ３
、Ｐ４ 、Ｐ５に対しては基準ズーム比Ｚｏの８倍のズ
ーム比８Ｚｏがそれぞれ記憶されている。 さて、ワーク３が検査台５に位置決めされ、第７図にお
いてステップ７０１で画像処理開始の指令が入力される
と、主制御部２７が、ステップ７０２で作業カウントを
Ｎ＝０とセット１″ると共にステップ７０３でこれを１
だけ増加させ（即ちＮ−１とし）、撮像装置移動用アク
チュエータ制御部７３へ制御開始命令を出力する。 この命令により撮像装置移動用アクチュエータ制御部が
起動し、ステップ７０４で、ｌｌｉ像位置記憶部７１か
ら撮像装置１１の最初の撮像位置Ｐ１の座標を読み出し
、ステップ７０５でリミットスイッチ６７等からの信号
により撮像装＠１１の現在位置を検出する。そしてステ
ップ７０６で上記現在位置は撮像位置Ｐ１に等しいか否
かを判断し、両位置座標が等しくなければ、当該両位置
座標から撮像に置１１の移動データを作成し、ステップ
７０７でこの移動データに基づき撮像装置移動用モータ
５９を駆動して撮像装置１１を撮像位置Ｐ１の方へ移動
させ、ステップ７０５で再び現在位置を検出し、ステッ
プ７０６でこの新しい現在位置とＶａ像位置Ｐ１とを比
較し両位置座標が等しいか否かを再び判断する。 ｖａ像像装置移動用アクチュー夕制御部７３は、この動
作をくり返し、現在位置が撮像位置Ｐ１に等しくなると
、ステップ７０８で撮像位置位置決めソレノイド６１を
駆動し、撮像装置１１を搬像位置Ｐ１に位置決めする。 撮像装置１１が撮像位置Ｐ＋ に位置決めされると、主
制御部２７がこんどはズーミングアクチュエータ制御部
８５に制御開始命令を出力する。ズーミングアクチュエ
ータ制御部８５は、前記開始命令を受は取ると、ステッ
プ７０９で設定ズーム比記憶部８７をアクヒスし、その
内部から最初の設定ズーム比ＺＯを読み出し、ステップ
７１０で図示されていない現在ズーム比検出手段からの
信号により現在ズーム比を検出する。 そしてステップ７１１で現在ズーム比が設定ズーム比７
ｏに等しいか否かを判断し、等しくなければ、ステップ
７１２で現在ズーム比を設定ズーム比Ｚ＝Ｚｏに近づけ
るようにズーミングモータ５９を駆動する。 ズーミングモータ５９が駆動され、ズーム比が変更され
ると、再びステップ７１０に戻り現在ズーム比を検出し
、ステップ７１１でこの検出された新しい現在ズーム比
が設定ズーム比Ｚｏと比較され、両ズーム比が等しいか
否かが判断される。 この動作をくり返して―像装置１１の現在ズーム比が設
定ズーム比７ｏに等しくされると、ズーミングアクチュ
エータ制御部８５がズーム比固定用位置決めソレノイド
７９・を作動させ、撮像装置１１のズーム比を設定ズー
ム比Ｚｏに固定する。 撮像装置１１が検査台上の位置Ｐ１に位置決めされ、そ
のズーム比がＺｏに固定されると、主制御部２７が撮像
装置１１のステッピングモータ制御部２９及び画像信号
処理部の画像信号制御部４７に始動信号を出力する。 撮像８置１１のステッピング′［−夕制御部２９は、１
記始動信号を受信すると、ステップ７１５で第３タイミ
ング４３及び第３ドライバ４１を介してステッピングモ
ータ２９を駆動し、ＣＣＤライ［ン１）３９をボールネ
ジ３３．ガイド３５に沿って移動さＩ、ワーク３の像の
ｒｌ像を開始する。 前記ステップ７０４か６７１３の処理により撮像装置１
１の現在ズーム比は基準ズーム比Ｚｏ となっているの
で、このＣＣｒ）ライ［ン号３９にはり−ク３全体から
の光がカメラレンズ３７ａを介して入射されている。従
ってこの場合ＣＣｌ）ライレンサ３９はワーク３の全体
像を捕捉し、これを画像信号に変換りる。 画像信号制御部４７は、ＣＯＤライセン１１３９がワー
ク３の全体像を画像信号に変換りるど、ステップ７１６
でこの画像信号をＣＯＤドライバ４９、ＣＯＤタイミン
グ５１．フレームメモリ５３及びＴＶタイミング５５を
介してＴＶモニタ５７上に表示する。 ワーク３の全体像がＴＶ七ニタ５７上に表示されると、
ステップ７１７で作業者がＴＶモニタの画像を見てワー
クに施された加工の良否を検査する。 この検査が終わるとステップ７１８で例えば主制御部２
７がワーク３の検査作業を全て終了したか（即らＮ２２
となったか）否かを判断し、作業を終了していなければ
、ステップ７０３にジャンプし、作業カウントをＮ＝２
どして始めの状態に戻る。 そして再びステップ７０４からステップ７１５の動作を
実行し、ステップ７１６でワークの画像をＴＶモニタ５
７Ｆに表示する。ただし、今回の作業では作業カウント
がＮ＝２となっているから撮像装置１１は第４図の点Ｐ
２に位置きめされ、そのズーム比は第６図かられかるよ
うにＺ＝２ＺＯとされている。従ってＴＶモニタ５７−
［にはワーク３の（第５図に於て）下半分の画像が最初
の作業時の２倍精度で表示されるから、ステップ７１７
で作業者がこの表示を確認することにより、−］ ｂ
− ワーク３の下半分に施された加工がその加工精度に対応
したやや高精度の解像度で検査される。 ワーク３の下半分をズーム比２Ｚｏで検査する作業が終
了すると、再びステップ７１８（”、検査作業が終了し
たかどうかを判断し、終了していなければステップ７０
３にジャンプし、作業カウントをＮ＝３とし第３番目の
作業を開始する。 そして再度ステップ７０４から７１６の動作を実行し、
こんどは点Ｐ３の周辺領域を最初の作業時の８倍精度で
撮像し、この画像をＴＶモニタ５７上に表示する。この
８倍精度の画像が表示されると、作業者がステップ７１
７で−ｉ Ｖモニタを観察して、ワーク３上の点１３周
辺に施された加工の良否を当初の８倍精度で検査する。 以下、蹟像装置１１が点Ｐ４ 、Ｐ５に移動され、点Ｐ
３ど同様に、その周辺領域が最初作業時の８倍精度で検
査されると、ステップ７１８で全検査作業の終了（Ｎ２
２）を判断し、ステップ７１９で全検査作業を終了する
。 このように、本実施例によれば、ワーク３の各−１７−
Ｍ １６一 部分に施された各加工について、それぞれ必要とされる
検査精度に応じて撮像装置１１のズーム比７を調整する
ようにしたため、広い検査領域を持つにもかかわらず高
精度で検査すべき加工を有するワーク３を確実かつ迅速
に検査覆ることができる。 なお、前記実施例においては、撮像装置１１をＺ軸方向
に移動することによりズーミングを行ったが、通常のカ
メラ等に用いられるレンズ系の調整によりズーミングす
るようにしてもよい。 又、前記実施例においては、撮像装置１１の各撮像位置
に応じたズーム比を予め設定ズーム比記憶部に記憶して
おき、実際撮像時には、この記憶内容を逐次読み出して
ズーミング動作を行うようにしたが、必ずしもこのにう
にする必要はなく、作業者が、撮像装置１１を各撮像位
置に移動させる度にＴＶモニタを参照して、操作ターミ
ナル８９より必要なズーム比データを入力するようにし
てもよい。 又、ズーム比調整手段２３を全く設けず、撮像装置１１
をワーク３に施されＩこ加−「の近傍に移動し、これら
の加工を加［位置によらない一定精度で銅像づるだ【Ｊ
ζ・ｂ−１分く【効果が得られる。このような場合に於
ても、例えば加工データに基づいて゛、加−丁が施され
るべき位置のイ；１置庫標を撮像位置記憶部７１に記憶
しておくのがよい。 ［発明の効果１ 以１μ２明したＪ、うに、この発明の画像処理装置は、
前記のように構成したことにより、大きな―像領域をｈ
″）にもかかわらずその一部の撮像領域については高精
１良の画像を廿求される被写体を確定かつ迅速に１する
ことが（°きる。
図面Ｇ、Ｌいずれ−ｂ本発明の実施例を承りもので・あ
り、第１図（よｌｌ！ｉｉ像処Ｉｌｌ装薗の斜視図、第
２図は画像処理装置の／１１ツク図、第３図は画像処理
装置に設置−ＪられＩ、：撮像装置の説明図、第４図は
この撮像装置に＃Ｑ １１ ／こスーミング機横のズー
ミング動作の説明図、第１５図はこの撮像装置の搬像位
置の説明図、第６図ｔ、Ｌこの―＊装詔の設定ズーム比
の説明図、第７図はワークに施されＩご加工の検査を実
行り−る処理−ノローチ１７−ト図である。 １１・・・撮像装置 １３・・・撮像装置移動用し−
９２１・・・画ｆｉｌ（、ｊ号処理手段 ２３・・・ズ
ーミングｉ構２５・・・胤像装闇移動丑ｆ段 ２７・
・・主制御部２９・・・スデツビングモータ ３９・・・ＣＯＤライ［ンリ ７１・・・囮像位置記憶部 ７３・・・―像装置移動用アクチコＪ−タ制御部８５・
・・ズーミングアクチ１エータｌ１ｔｌｌ ６１１部８
７・・・設定ズーム比記憶部 ■ −１−の ９１Ｌ−
り、第１図（よｌｌ！ｉｉ像処Ｉｌｌ装薗の斜視図、第
２図は画像処理装置の／１１ツク図、第３図は画像処理
装置に設置−ＪられＩ、：撮像装置の説明図、第４図は
この撮像装置に＃Ｑ １１ ／こスーミング機横のズー
ミング動作の説明図、第１５図はこの撮像装置の搬像位
置の説明図、第６図ｔ、Ｌこの―＊装詔の設定ズーム比
の説明図、第７図はワークに施されＩご加工の検査を実
行り−る処理−ノローチ１７−ト図である。 １１・・・撮像装置 １３・・・撮像装置移動用し−
９２１・・・画ｆｉｌ（、ｊ号処理手段 ２３・・・ズ
ーミングｉ構２５・・・胤像装闇移動丑ｆ段 ２７・
・・主制御部２９・・・スデツビングモータ ３９・・・ＣＯＤライ［ンリ ７１・・・囮像位置記憶部 ７３・・・―像装置移動用アクチコＪ−タ制御部８５・
・・ズーミングアクチ１エータｌ１ｔｌｌ ６１１部８
７・・・設定ズーム比記憶部 ■ −１−の ９１Ｌ−
Claims (4)
- （１）被写体を撮像する撮像装置と、前記撮像装置を予
め設定した撮像位置情報に基づいて前記被写体に対して
所定の位置に移動させる撮像装置移動手段と、前記撮像
装置が読み込んだ画像信号を処理する画像信号処理手段
と、前記撮像装置、前記撮像装置移動手段及び前記画像
信号処理手段を相互に関連させて制御する制御部とを備
えたことを特徴とする画像処理装置。 - （２）前記撮像装置はズーミング用アクチュエータを備
え、前記制御部は前記撮像装置が前記撮像装置移動手段
により所定位置に移動されたときズーム比情報に基づい
て前記撮像装置のズーミング用アクチュエータを制御す
るズーミング用アクチュエータ制御部を備えたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の画像処理装置。 - （３）前記ズーム比情報は、予じめ記憶手段に記憶され
、前記撮像装置の撮像位置への位置決めに伴って前記記
憶手段から読み出されるものであることを特徴とする特
許請求の範囲第２項に記載の画像処理装置。 - （４）前記撮像装置は、ＣＣＤライセンサと、前記ＣＣ
Ｄライセンサを該ＣＣＤライセンサに設けられた画素の
列と垂直方向に定速度で移動させるアクチュエータとを
備えたことを特徴とする特許請求の範囲第２項又は第３
項に記載の画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8262785A JPS61241605A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8262785A JPS61241605A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 画像処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61241605A true JPS61241605A (ja) | 1986-10-27 |
Family
ID=13779682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8262785A Pending JPS61241605A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61241605A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62180252A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-07 | Omron Tateisi Electronics Co | プリント基板検査装置 |
| JP2020518832A (ja) * | 2017-04-03 | 2020-06-25 | ミュールバウアー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 光学的なコンポーネント検出システム及び少なくとも１つのコンポーネントを検出する方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167651A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Inspecting device for surface of semiconductor wafer |
| JPS5853884A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | 富士通株式会社 | 検査装置 |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP8262785A patent/JPS61241605A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167651A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Inspecting device for surface of semiconductor wafer |
| JPS5853884A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | 富士通株式会社 | 検査装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS62180252A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-07 | Omron Tateisi Electronics Co | プリント基板検査装置 |
| JP2020518832A (ja) * | 2017-04-03 | 2020-06-25 | ミュールバウアー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 光学的なコンポーネント検出システム及び少なくとも１つのコンポーネントを検出する方法 |
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