JP2896153B2 - 自動検査装置 - Google Patents
自動検査装置Info
- Publication number
- JP2896153B2 JP2896153B2 JP1058166A JP5816689A JP2896153B2 JP 2896153 B2 JP2896153 B2 JP 2896153B2 JP 1058166 A JP1058166 A JP 1058166A JP 5816689 A JP5816689 A JP 5816689A JP 2896153 B2 JP2896153 B2 JP 2896153B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- image processing
- image
- defective
- television camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は自動検査装置に関し、特に、印刷配線板の電
子部品の実装状態の良否の判定等に好適の自動検査装置
に関する。
子部品の実装状態の良否の判定等に好適の自動検査装置
に関する。
(従来の技術) 近時、各種電子機器では印刷配線板が採用されてい
る。この印刷配線板においては、基板自動挿入機及び自
動装着機等の自動機械を使用することにより、抵抗器及
びコンデンサ等の電子部品が基板に実装されている。電
子部品の実装状態はテレビカメラで撮影され、コンピュ
ータによる画像処理が行われてその良否が判断される。
る。この印刷配線板においては、基板自動挿入機及び自
動装着機等の自動機械を使用することにより、抵抗器及
びコンデンサ等の電子部品が基板に実装されている。電
子部品の実装状態はテレビカメラで撮影され、コンピュ
ータによる画像処理が行われてその良否が判断される。
第3図はこのような電子部品の実装状態の良否を自動
的に判定することができる従来の自動検査装置を示すブ
ロック図であり、第4図はその動作を説明するためのフ
ローチャートである。
的に判定することができる従来の自動検査装置を示すブ
ロック図であり、第4図はその動作を説明するためのフ
ローチャートである。
先ず、被検査物(電子部品が実装された印刷配線板)
1をX−Yテーブル2上に載置する。このX−Yテーブ
ル2の上方に固定されたテレビカメラ3により印刷配線
板1の電子部品の実装状態が撮影される。画像分解能は
テレビカメラ3に取り付ける光学レンズ4の拡大率によ
り決定され、画像分解能を向上させるために光学レンズ
4の拡大率を大きくすると、撮影視野が狭くなってしま
う。そこで、印刷配線板1の電子部品の実装状態を検査
する場合のように、比較的検査範囲が広く且つ微細な部
分を検査する必要があるときには、光学レンズ4として
拡大率が大きいものを使用し、テレビカメラ3の撮影視
点を移動させることにより印刷配線板1の全域を撮影す
るようにしている。第3図では、X−Yテーブル2を移
動させて印刷配線板1の各部位を順次撮影するようにし
ている。X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装置5
により移動が制御され、X−Yテーブル制御装置5は主
制御装置6により制御される。
1をX−Yテーブル2上に載置する。このX−Yテーブ
ル2の上方に固定されたテレビカメラ3により印刷配線
板1の電子部品の実装状態が撮影される。画像分解能は
テレビカメラ3に取り付ける光学レンズ4の拡大率によ
り決定され、画像分解能を向上させるために光学レンズ
4の拡大率を大きくすると、撮影視野が狭くなってしま
う。そこで、印刷配線板1の電子部品の実装状態を検査
する場合のように、比較的検査範囲が広く且つ微細な部
分を検査する必要があるときには、光学レンズ4として
拡大率が大きいものを使用し、テレビカメラ3の撮影視
点を移動させることにより印刷配線板1の全域を撮影す
るようにしている。第3図では、X−Yテーブル2を移
動させて印刷配線板1の各部位を順次撮影するようにし
ている。X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装置5
により移動が制御され、X−Yテーブル制御装置5は主
制御装置6により制御される。
第4図のステップS1において、主制御装置6は、印刷
配線板1の検査しようとする部位(検査部位)を示す検
査部位番号Iを1に初期化する。次に、ステップS2にお
いて、主制御装置2は検査部位番号1を示すデータをX
−Yテーブル制御装置5に与え、X−Yテーブル制御装
置5は検査部位番号1で示される検査部位(以下、検査
部位1という)がテレビカメラ3の撮影視野に入るよう
にX−Yテーブル2を移動させる。ステップS3では、X
−Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、終
了した場合には処理をステップS4に移行する。ステップ
S4において、テレビカメラ3は印刷配線板1の検査部位
1を撮影し、撮影によって得られた画像信号をA/D変換
回路7に出力する。A/D変換回路7は画像信号をディジ
タル信号に変換してフレームメモリ8に与え、フレーム
メモリ8は画像データを記憶する。
配線板1の検査しようとする部位(検査部位)を示す検
査部位番号Iを1に初期化する。次に、ステップS2にお
いて、主制御装置2は検査部位番号1を示すデータをX
−Yテーブル制御装置5に与え、X−Yテーブル制御装
置5は検査部位番号1で示される検査部位(以下、検査
部位1という)がテレビカメラ3の撮影視野に入るよう
にX−Yテーブル2を移動させる。ステップS3では、X
−Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、終
了した場合には処理をステップS4に移行する。ステップ
S4において、テレビカメラ3は印刷配線板1の検査部位
1を撮影し、撮影によって得られた画像信号をA/D変換
回路7に出力する。A/D変換回路7は画像信号をディジ
タル信号に変換してフレームメモリ8に与え、フレーム
メモリ8は画像データを記憶する。
フレームメモリ8に記憶された画像データは画像処理
装置9において画像処理されて電位部品の実装状態の良
否が判定される。ところで、前述したように、画像分解
能を向上させていることから、撮影視野が狭く、撮影部
位の視点変更回数(X−Yテーブル2の移動回数)が比
較的多い。従って、X−Yテーブル2の移動に要する時
間が長く、検査に長時間を必要とする。そこで、第3図
の装置では、フレームメモリ8が画像データを記憶した
直後に、画像処理装置9による撮影画像の画像処理と次
の検査部位に対応したX−Yテーブル2の移動とを同時
に行って動作時間の短縮を計っている。
装置9において画像処理されて電位部品の実装状態の良
否が判定される。ところで、前述したように、画像分解
能を向上させていることから、撮影視野が狭く、撮影部
位の視点変更回数(X−Yテーブル2の移動回数)が比
較的多い。従って、X−Yテーブル2の移動に要する時
間が長く、検査に長時間を必要とする。そこで、第3図
の装置では、フレームメモリ8が画像データを記憶した
直後に、画像処理装置9による撮影画像の画像処理と次
の検査部位に対応したX−Yテーブル2の移動とを同時
に行って動作時間の短縮を計っている。
即ち、ステップS5において、主制御装置6は画像処理
装置9に検査部位1の電子部品の実装状態の検査の開始
を指示する。次いで、ステップS6において、検査部位番
号1が最終検査部位を示しているか否かを判断し、最終
検査部位でなければステップS7において検査部位番号2
(=1+1)のデータをX−Yテーブル制御装置5に与
えてX−Yテーブル2の移動を開始させる。これらステ
ップS5〜S7の一連の処理は略同時に行われ、ステップS6
の最終検査部位であるか否かの判断及びステップS7のX
−Yテーブル2の移動開始指令に伴うX−Yテーブル2
の移動動作と並行して、画像処理装置9はフレームメモ
リ8からの画像データを主制御装置6に制御されて画像
処理し、電子部品の実装状態を検査し判定する。
装置9に検査部位1の電子部品の実装状態の検査の開始
を指示する。次いで、ステップS6において、検査部位番
号1が最終検査部位を示しているか否かを判断し、最終
検査部位でなければステップS7において検査部位番号2
(=1+1)のデータをX−Yテーブル制御装置5に与
えてX−Yテーブル2の移動を開始させる。これらステ
ップS5〜S7の一連の処理は略同時に行われ、ステップS6
の最終検査部位であるか否かの判断及びステップS7のX
−Yテーブル2の移動開始指令に伴うX−Yテーブル2
の移動動作と並行して、画像処理装置9はフレームメモ
リ8からの画像データを主制御装置6に制御されて画像
処理し、電子部品の実装状態を検査し判定する。
検査の終了はステップS8で判断される。検査部位1の
検査判定結果は画像処理装置9から主制御装置6に与え
られ、主制御装置6は、ステップS9において検査判定結
果が不良を示している場合には、ステップS10でプリン
タ10に判定結果を印刷させる。次いで、ステップS11で
検査部位番号Iが最終検査部位番号であるか否かが判断
され、最終検査部位番号であれば処理を終了し、最終検
査部位番号でなければ、ステップS12において検査部位
番号Iに1を加えて処理をステップS3に移行する。ステ
ップS3では、ステップS7によるX−Yテーブル2の移動
が終了したか否かが判断され、X−Yテーブル2が検査
部位番号2に対応した位置に移動していれば、ステップ
S4に処理が進む。以下同様の動作を繰り返して、印刷配
線板1の全部位の良否が検査判定される。このように、
第3図の装置では画像処理装置9による良否検査判定と
X−Yテーブル2の移動とを並行して行うことにより動
作時間を短縮している。
検査判定結果は画像処理装置9から主制御装置6に与え
られ、主制御装置6は、ステップS9において検査判定結
果が不良を示している場合には、ステップS10でプリン
タ10に判定結果を印刷させる。次いで、ステップS11で
検査部位番号Iが最終検査部位番号であるか否かが判断
され、最終検査部位番号であれば処理を終了し、最終検
査部位番号でなければ、ステップS12において検査部位
番号Iに1を加えて処理をステップS3に移行する。ステ
ップS3では、ステップS7によるX−Yテーブル2の移動
が終了したか否かが判断され、X−Yテーブル2が検査
部位番号2に対応した位置に移動していれば、ステップ
S4に処理が進む。以下同様の動作を繰り返して、印刷配
線板1の全部位の良否が検査判定される。このように、
第3図の装置では画像処理装置9による良否検査判定と
X−Yテーブル2の移動とを並行して行うことにより動
作時間を短縮している。
ところで、良否検査判定の判定結果によっては、同一
部位を再撮影して画像処理装置9において2次検査(再
検査)を行うことにより判定精度が向上することがあ
る。ところが、画像処理装置9による検査判定動作とX
−Yテーブル2の移動動作とは並行処理されており、画
像処理装置9からの検査判定結果が出力される時点で
は、既にX−Yテーブル2の移動が開始されており、同
一部位を再撮影して2次検査することができないという
問題があった。
部位を再撮影して画像処理装置9において2次検査(再
検査)を行うことにより判定精度が向上することがあ
る。ところが、画像処理装置9による検査判定動作とX
−Yテーブル2の移動動作とは並行処理されており、画
像処理装置9からの検査判定結果が出力される時点で
は、既にX−Yテーブル2の移動が開始されており、同
一部位を再撮影して2次検査することができないという
問題があった。
(発明が解決しようとする課題) このように、上述した従来の自動検査装置において
は、画像処理装置9による被検査物の良否の検査判定と
撮影視点の移動とを並行して行っていることから、同一
部位を再撮影して2次検査することができず、判定精度
を向上させることができないという問題点があった。
は、画像処理装置9による被検査物の良否の検査判定と
撮影視点の移動とを並行して行っていることから、同一
部位を再撮影して2次検査することができず、判定精度
を向上させることができないという問題点があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであっ
て、被検査物の良否検査判定と撮影視点の移動とを並行
して行うことにより検査時間を短縮した場合であって
も、再撮影による2次検査を可能にして高い判定精度を
得ることができる自動検査装置を提供することを目的と
する。
て、被検査物の良否検査判定と撮影視点の移動とを並行
して行うことにより検査時間を短縮した場合であって
も、再撮影による2次検査を可能にして高い判定精度を
得ることができる自動検査装置を提供することを目的と
する。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明に係る自動検査装置は、被検査物が取付けられ
るテーブルと、前記被検査物の各部位を撮影し画像信号
を出力するテレビカメラと、前記被検査物の各部位がテ
レビカメラの撮影視野に入るように前記テーブル及びテ
レビカメラの少なくとも一方を移動させて被検査物の全
部位を撮影可能とする撮影視点移動手段と、前記画像信
号から得られる画像データを画像処理することにより、
被検査物の各部位の良否を検査して判定する画像処理装
置と、前記画像処理装置により不良と判定された部位を
示すデータを記憶する記憶装置と、前記撮影視点移動手
段及び画像処理装置を制御して前記撮影視点の移動と検
査物の各部位の良否の検査判定との並行動作を可能とす
ると共に、前記記憶装置に格納されたデータにより不良
と判定された部位の再検査を可能とする主制御装置とを
具備したものである。
るテーブルと、前記被検査物の各部位を撮影し画像信号
を出力するテレビカメラと、前記被検査物の各部位がテ
レビカメラの撮影視野に入るように前記テーブル及びテ
レビカメラの少なくとも一方を移動させて被検査物の全
部位を撮影可能とする撮影視点移動手段と、前記画像信
号から得られる画像データを画像処理することにより、
被検査物の各部位の良否を検査して判定する画像処理装
置と、前記画像処理装置により不良と判定された部位を
示すデータを記憶する記憶装置と、前記撮影視点移動手
段及び画像処理装置を制御して前記撮影視点の移動と検
査物の各部位の良否の検査判定との並行動作を可能とす
ると共に、前記記憶装置に格納されたデータにより不良
と判定された部位の再検査を可能とする主制御装置とを
具備したものである。
(作用) 本発明においては、主制御装置は撮影視点移動手段を
制御して、被検査物の各部位がテレビカメラの撮影視野
に入るようにテーブル及びテレビカメラの少なくとも一
方を移動させる。テレビカメラは被検査物の各部位を撮
影し、画像処理装置はテレビカメラからの画像信号を基
にして被検査物の各部位の良否を検査判定する。ここ
で、主制御装置は、画像処理装置の各部位の検査判定動
作中に撮影視点移動手段を制御して撮影視点を移動させ
ており、これにより検査時間を短縮している。画像処理
装置により不良と判定された部位を示すデータは記憶装
置に記憶される。主制御装置は、記憶装置のデータを読
み出し、このデータに基づいて撮影視点を移動させる。
これにより、不良と判定された部位は再度テレビカメラ
に撮影され、画像処理装置により検査判定されて再検査
が行われる。
制御して、被検査物の各部位がテレビカメラの撮影視野
に入るようにテーブル及びテレビカメラの少なくとも一
方を移動させる。テレビカメラは被検査物の各部位を撮
影し、画像処理装置はテレビカメラからの画像信号を基
にして被検査物の各部位の良否を検査判定する。ここ
で、主制御装置は、画像処理装置の各部位の検査判定動
作中に撮影視点移動手段を制御して撮影視点を移動させ
ており、これにより検査時間を短縮している。画像処理
装置により不良と判定された部位を示すデータは記憶装
置に記憶される。主制御装置は、記憶装置のデータを読
み出し、このデータに基づいて撮影視点を移動させる。
これにより、不良と判定された部位は再度テレビカメラ
に撮影され、画像処理装置により検査判定されて再検査
が行われる。
(実施例) 以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明す
る。第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示
すブロック図である。第1図において第3図と同一物に
は同一符号を付してある。
る。第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示
すブロック図である。第1図において第3図と同一物に
は同一符号を付してある。
X−Yテーブル2は、固定台11の水平面上に設けられ
ており、図示しない適宜の駆動部材に駆動されてX及び
Y方向に移動自在となっている。電子部品が実装された
印刷配線板等の被検査物1をこのX−Yテーブル2上に
載置するようになっている。X−Yテーブル2の上方に
はテレビカメラ3が適宜の支持部材に支持されて光学レ
ンズ4をX−Yテーブル2側に向けて固定されている。
光学レンズ4の拡大率は比較的大きく、テレビカメラ3
は被検査物1の一部のみを撮影可能である。被検査物1
はこのテレビカメラ3の撮影視野に基づいた各部位毎に
検査され、検査される部位(検査部位)は検査部位番号
Iで指定されるようになっている。
ており、図示しない適宜の駆動部材に駆動されてX及び
Y方向に移動自在となっている。電子部品が実装された
印刷配線板等の被検査物1をこのX−Yテーブル2上に
載置するようになっている。X−Yテーブル2の上方に
はテレビカメラ3が適宜の支持部材に支持されて光学レ
ンズ4をX−Yテーブル2側に向けて固定されている。
光学レンズ4の拡大率は比較的大きく、テレビカメラ3
は被検査物1の一部のみを撮影可能である。被検査物1
はこのテレビカメラ3の撮影視野に基づいた各部位毎に
検査され、検査される部位(検査部位)は検査部位番号
Iで指定されるようになっている。
X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装置5により
その移動が制御されている。即ち、X−Yテーブル制御
装置5は、主制御装置12からの検査部位番号Iのデータ
により制御されて、被検査物1の検査部位Iがテレビカ
メラ4の撮影視野に入るようにX−Yテーブル2の移動
を制御している。このX−Yテーブル2の移動により、
被検査物1の全部位がテレビカメラ3により撮影可能と
なっている。
その移動が制御されている。即ち、X−Yテーブル制御
装置5は、主制御装置12からの検査部位番号Iのデータ
により制御されて、被検査物1の検査部位Iがテレビカ
メラ4の撮影視野に入るようにX−Yテーブル2の移動
を制御している。このX−Yテーブル2の移動により、
被検査物1の全部位がテレビカメラ3により撮影可能と
なっている。
テレビカメラ3は被検査物1を撮影して画像信号をA/
D変換回路7に出力する。A/D変換回路7は画像信号をA/
D変換して画像データを得、この画像データをフレーム
メモリ8に与える。フレームメモリ8は主制御装置12に
より制御されて、A/D変換回路7からの画像データを記
憶すると共に、記憶した画像データを画像処理装置9に
与える。画像処理装置9は、主制御装置12により制御さ
れて、フレームメモリ8からの画像データを読み出して
画像処理することにより、被検査物1の良否、例えば、
印刷配線板の電子部品の実装状態の良否等を検査して判
定し、検査判定結果を主制御装置12に与えるようになっ
ている。プリンタ10は、主制御装置12から検査判定結果
が与えられ、検査判定結果により不良と判定された部位
(以下、不良部位という)についての検査判定結果を印
刷するようになっている。
D変換回路7に出力する。A/D変換回路7は画像信号をA/
D変換して画像データを得、この画像データをフレーム
メモリ8に与える。フレームメモリ8は主制御装置12に
より制御されて、A/D変換回路7からの画像データを記
憶すると共に、記憶した画像データを画像処理装置9に
与える。画像処理装置9は、主制御装置12により制御さ
れて、フレームメモリ8からの画像データを読み出して
画像処理することにより、被検査物1の良否、例えば、
印刷配線板の電子部品の実装状態の良否等を検査して判
定し、検査判定結果を主制御装置12に与えるようになっ
ている。プリンタ10は、主制御装置12から検査判定結果
が与えられ、検査判定結果により不良と判定された部位
(以下、不良部位という)についての検査判定結果を印
刷するようになっている。
本実施例においては、記憶装置13が設けられている。
記憶装置13は一次元配列により構成されており、主制御
装置12から不良部位を示す不良部位番号のデータが与え
られてこのデータを記憶するようになっている。
記憶装置13は一次元配列により構成されており、主制御
装置12から不良部位を示す不良部位番号のデータが与え
られてこのデータを記憶するようになっている。
次に、このように構成された自動検査装置の動作につ
いて第2図のフローチャートを参照して説明する。第2
図の破線Aにて囲った部分は一次検査を示し、破線Bに
て囲った部分は二次検査を示している。第2図において
第4図のステップと同一ステップについては同一符号を
付してある。
いて第2図のフローチャートを参照して説明する。第2
図の破線Aにて囲った部分は一次検査を示し、破線Bに
て囲った部分は二次検査を示している。第2図において
第4図のステップと同一ステップについては同一符号を
付してある。
先ず、電子部品が実装された印刷配線板等の被検査物
1をX−Yテーブル2上に載置する。主制御装置12は、
ステップS13において、一次検査で不良と判定される部
位数を示すカウント値Nを0に初期化する。次いで、ス
テップS1において検査部位番号Iを1に初期化し、ステ
ップS2でX−Yテーブル2を移動させる。主制御装置12
からは検査部位番号1を示すデータがX−Yテーブル制
御装置5に与えられ、X−Yテーブル制御装置5は検査
部位1がテレビカメラ3の撮影視野に入るようにX−Y
テーブル2を移動させる。ステップS3でX−Yテーブル
2の移動が終了したことが判断されると、処理をステッ
プS4に移行する。次のステップS4では、テレビカメラ3
からの画像信号がA/D変換回路7に与えられてA/D変換さ
れ、主制御装置12の指示によりフレームメモリ8に記憶
される。
1をX−Yテーブル2上に載置する。主制御装置12は、
ステップS13において、一次検査で不良と判定される部
位数を示すカウント値Nを0に初期化する。次いで、ス
テップS1において検査部位番号Iを1に初期化し、ステ
ップS2でX−Yテーブル2を移動させる。主制御装置12
からは検査部位番号1を示すデータがX−Yテーブル制
御装置5に与えられ、X−Yテーブル制御装置5は検査
部位1がテレビカメラ3の撮影視野に入るようにX−Y
テーブル2を移動させる。ステップS3でX−Yテーブル
2の移動が終了したことが判断されると、処理をステッ
プS4に移行する。次のステップS4では、テレビカメラ3
からの画像信号がA/D変換回路7に与えられてA/D変換さ
れ、主制御装置12の指示によりフレームメモリ8に記憶
される。
次いで、ステップS5において、主制御装置12は画像処
理装置9に一次検査の開始を指示する。この指示と略同
時に、主制御装置12は、ステップS6で検査部位番号Iが
最終検査部位を示しているか否かを判断し、最終検査部
位を示していない場合には、次のステップS7で検査部位
番号2(=1+1)に対応した位置へのX−Yテーブル
2の移動を指示する。従って、画像処理装置9による一
次検査とX−Yテーブル制御装置5によるX−Yテーブ
ル2の移動とが並行して行われることになり、検査時間
を短縮することができる。
理装置9に一次検査の開始を指示する。この指示と略同
時に、主制御装置12は、ステップS6で検査部位番号Iが
最終検査部位を示しているか否かを判断し、最終検査部
位を示していない場合には、次のステップS7で検査部位
番号2(=1+1)に対応した位置へのX−Yテーブル
2の移動を指示する。従って、画像処理装置9による一
次検査とX−Yテーブル制御装置5によるX−Yテーブ
ル2の移動とが並行して行われることになり、検査時間
を短縮することができる。
画像処理装置9はフレームメモリ8から読み出した画
像データを画像処理し、テレビカメラ3で撮影された検
査部位を検査して良否を判定する。ステップS8では、主
制御装置12は待機状態にあり、画像処理装置9から検査
判定結果が主制御装置12に与えられることにより、処理
をステップS9に移行する。次にステップS9において、主
制御装置12は、検査判定結果が良好であることを示して
いる場合には処理をステップS11に移行し、不良である
ことを示している場合には次のステップS14でカウント
値Nに1を加える。
像データを画像処理し、テレビカメラ3で撮影された検
査部位を検査して良否を判定する。ステップS8では、主
制御装置12は待機状態にあり、画像処理装置9から検査
判定結果が主制御装置12に与えられることにより、処理
をステップS9に移行する。次にステップS9において、主
制御装置12は、検査判定結果が良好であることを示して
いる場合には処理をステップS11に移行し、不良である
ことを示している場合には次のステップS14でカウント
値Nに1を加える。
次に、ステップS15において主制御装置12は記憶装置1
3のN番目の領域に検査部位番号Iを示すデータを不良
部品番号のデータとして記憶させる。次のステップS11
では、検査部位番号Iが最終検査部位を示しているか否
かが判断され、最終検査部位でない場合にはステップS1
2で検査部位番号Iに1が加えられて処理をステップS3
に移行する。ステップS3では、ステップS7によるX−Y
テーブル2の移動が終了したか否かが判断される。以
下、同様にして、被検査物1の全部位が撮影されて一次
検査され良否の判定が行われる。なお、カウント値Nは
一次検査での不良部位の数を示し、記憶装置13には不良
部位番号のデータが格納されている。
3のN番目の領域に検査部位番号Iを示すデータを不良
部品番号のデータとして記憶させる。次のステップS11
では、検査部位番号Iが最終検査部位を示しているか否
かが判断され、最終検査部位でない場合にはステップS1
2で検査部位番号Iに1が加えられて処理をステップS3
に移行する。ステップS3では、ステップS7によるX−Y
テーブル2の移動が終了したか否かが判断される。以
下、同様にして、被検査物1の全部位が撮影されて一次
検査され良否の判定が行われる。なお、カウント値Nは
一次検査での不良部位の数を示し、記憶装置13には不良
部位番号のデータが格納されている。
ステップS11で検査部位番号Iが最終検査部位を示し
ていることが判断されると、処理を二次検査のステップ
S16に移行する。二次検査では、先ず、ステップS16にお
いて実行カウンタのカウント値Jを1に初期化する。実
行カウンタは不良部位の二次検査を行うごとにカウント
アップする。次のステップS17ではカウント値Jがカウ
ント値Nよりも大きいか否かが判断される。これによ
り、二次検査すべき不良部位が残っているか否かが判断
され、N<Jの場合、即ち、二次検査すべき不良部位が
残っていない場合にはステップS27に移行して処理を終
了する。一方、ステップS14において、Nが1以上にな
っていれば、処理をステップS18に移行する。
ていることが判断されると、処理を二次検査のステップ
S16に移行する。二次検査では、先ず、ステップS16にお
いて実行カウンタのカウント値Jを1に初期化する。実
行カウンタは不良部位の二次検査を行うごとにカウント
アップする。次のステップS17ではカウント値Jがカウ
ント値Nよりも大きいか否かが判断される。これによ
り、二次検査すべき不良部位が残っているか否かが判断
され、N<Jの場合、即ち、二次検査すべき不良部位が
残っていない場合にはステップS27に移行して処理を終
了する。一方、ステップS14において、Nが1以上にな
っていれば、処理をステップS18に移行する。
ステップS18において、主制御装置12は、一時検査で
不良とされた部位の部位番号(不良部位番号)を記憶装
置13のJ(=1)番目の領域から読み出して、このデー
タを二次検査の検査部位番号IのデータとしてX−Yテ
ーブル制御装置5に与える。これにより、X−Yテーブ
ル制御装置5は、次のステップS19で被検査物1の検査
部位Iがテレビカメラ3の撮影視野に入るようにX−Y
テーブル2を移動させる。次のステップS20でX−Yテ
ーブル2の移動が終了したか否かが判断され、終了した
場合には、次のステップS21でテレビカメラ3は検査部
位Iを撮影し画像信号をA/D変換回路7に与える。A/D変
換回路7は画像信号をA/D変換してフレームメモリ8に
与え、フレームメモリ8は画像データを記憶する。
不良とされた部位の部位番号(不良部位番号)を記憶装
置13のJ(=1)番目の領域から読み出して、このデー
タを二次検査の検査部位番号IのデータとしてX−Yテ
ーブル制御装置5に与える。これにより、X−Yテーブ
ル制御装置5は、次のステップS19で被検査物1の検査
部位Iがテレビカメラ3の撮影視野に入るようにX−Y
テーブル2を移動させる。次のステップS20でX−Yテ
ーブル2の移動が終了したか否かが判断され、終了した
場合には、次のステップS21でテレビカメラ3は検査部
位Iを撮影し画像信号をA/D変換回路7に与える。A/D変
換回路7は画像信号をA/D変換してフレームメモリ8に
与え、フレームメモリ8は画像データを記憶する。
次いで、ステップS22では、主制御装置12は画像処理
装置9に二次検査の開始を指示する。画像処理装置9は
フレームメモリ8から画像データを読み出し、画像処理
して検査し被検査物1の良否の判定を行う。なお、二次
検査は一次検査の画像処理と同一処理であってもよい。
次のステップS23において、主制御装置12は、画像処理
装置9から二次検査の検査判定結果が与えられることに
より、画像処理装置9による二次検査が終了したことを
判断し、処理をステップS24に移行する。ステップS24に
おいて、二次検査の検査判定結果が不良を示している場
合、即ち、この検査部位が一次及び二次検査において不
良と判断された場合には、主制御装置12はプリンタ10に
検査判定結果を印刷させ、処理をステップS26に移行す
る。一方、二次検査の検査判定結果が良好であることを
示している場合には、ステップS25を経ることなく処理
をステップS26に移行する。
装置9に二次検査の開始を指示する。画像処理装置9は
フレームメモリ8から画像データを読み出し、画像処理
して検査し被検査物1の良否の判定を行う。なお、二次
検査は一次検査の画像処理と同一処理であってもよい。
次のステップS23において、主制御装置12は、画像処理
装置9から二次検査の検査判定結果が与えられることに
より、画像処理装置9による二次検査が終了したことを
判断し、処理をステップS24に移行する。ステップS24に
おいて、二次検査の検査判定結果が不良を示している場
合、即ち、この検査部位が一次及び二次検査において不
良と判断された場合には、主制御装置12はプリンタ10に
検査判定結果を印刷させ、処理をステップS26に移行す
る。一方、二次検査の検査判定結果が良好であることを
示している場合には、ステップS25を経ることなく処理
をステップS26に移行する。
ステップS26では、カウント値J=1に1を加算し
て、処理をステップS17に戻す。ここで、Nが2以上で
ある場合、即ち、一次検査における不良部位の数が2つ
以上であった場合には、ステップS17からステップS18に
処理を移行して、上述した処理を繰り返す。つまり、ス
テップS17では一次検査で不良と判定された全部位につ
いて二次検査が行われたか否かが判断されている。N<
J(=2)であれば、ステップS27で処理を終了する。
て、処理をステップS17に戻す。ここで、Nが2以上で
ある場合、即ち、一次検査における不良部位の数が2つ
以上であった場合には、ステップS17からステップS18に
処理を移行して、上述した処理を繰り返す。つまり、ス
テップS17では一次検査で不良と判定された全部位につ
いて二次検査が行われたか否かが判断されている。N<
J(=2)であれば、ステップS27で処理を終了する。
このように、本実施例においては、一次検査での不良
部位番号を記憶装置13に記憶させ、この不良部位番号を
検査部位番号IとしてX−Yテーブル制御装置5に与え
て不良部位を再度テレビカメラで撮影することにより、
二次検査を可能としている。従って、画像処理装置9か
らの検査判定結果の出力に先行して撮影視点の移動を行
うことにより検査時間を短縮させている場合であって
も、二次検査が可能であり、高い判定精度を得ることが
できる。
部位番号を記憶装置13に記憶させ、この不良部位番号を
検査部位番号IとしてX−Yテーブル制御装置5に与え
て不良部位を再度テレビカメラで撮影することにより、
二次検査を可能としている。従って、画像処理装置9か
らの検査判定結果の出力に先行して撮影視点の移動を行
うことにより検査時間を短縮させている場合であって
も、二次検査が可能であり、高い判定精度を得ることが
できる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、検査時間を短縮
することができ、且つ二次検査を可能とすることによ
り、高い判定精度を得ることができるという効果を有す
る。
することができ、且つ二次検査を可能とすることによ
り、高い判定精度を得ることができるという効果を有す
る。
第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示すブ
ロック図、第2図は実施例の動作を説明するためのフロ
ーチャート、第3図は従来の自動検査装置を示すブロッ
ク図、第4図は従来例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。 1…被検査物、2…X−Yテーブル、3…テレビカメ
ラ、5…X−Yテーブル制御装置、7…A/D変換回路、
8…フレームメモリ、9…画像処理装置、12…主制御装
置、13…記憶装置。
ロック図、第2図は実施例の動作を説明するためのフロ
ーチャート、第3図は従来の自動検査装置を示すブロッ
ク図、第4図は従来例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。 1…被検査物、2…X−Yテーブル、3…テレビカメ
ラ、5…X−Yテーブル制御装置、7…A/D変換回路、
8…フレームメモリ、9…画像処理装置、12…主制御装
置、13…記憶装置。
Claims (1)
- 【請求項1】被検査物が取付けられるテーブルと、 前記被検査物の各部位を撮影し画像信号を出力するテレ
ビカメラと、 前記被検査物の各部位がテレビカメラの撮影視野に入る
ように前記テーブル及びテレビカメラの少なくとも一方
を移動させて被検査物の全部位を撮影可能とする撮影視
点移動手段と、 前記画像信号から得られる画像データを画像処理するこ
とにより、被検査物の各部位の良否を検査して判定する
画像処理装置と、 前記画像処理装置により不良と判定された部位を示すデ
ータを記憶する記憶装置と、 前記撮影視点移動手段及び画像処理装置を制御して前記
撮影視点の移動と検査物の各部位の良否の検査判定との
並行動作を可能とすると共に、前記記憶装置に格納され
たデータにより不良と判定された部位の再検査を可能と
する主制御装置とを具備したことを特徴とする自動検査
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058166A JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058166A JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02236682A JPH02236682A (ja) | 1990-09-19 |
JP2896153B2 true JP2896153B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=13076411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1058166A Expired - Lifetime JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2896153B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2790037B2 (ja) * | 1994-05-31 | 1998-08-27 | 日本電気株式会社 | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JPH10261900A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装部品の検査方法 |
JP6999321B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2022-01-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置、検査方法及び記憶媒体 |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP1058166A patent/JP2896153B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02236682A (ja) | 1990-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5450204A (en) | Inspecting device for inspecting printed state of cream solder | |
JPH04208834A (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
JP2896153B2 (ja) | 自動検査装置 | |
JP3542114B2 (ja) | 工業製品の目視検査支援装置 | |
KR100531336B1 (ko) | 공업제품의 육안검사지원장치 | |
JPH1114552A (ja) | 検査システム及びプリント回路板の外観検査システム並びにプリント回路板の外観検査端末装置 | |
JPH06341960A (ja) | パタ−ンの画像処理方法およびその装置 | |
JPS62180252A (ja) | プリント基板検査装置 | |
JP3136655B2 (ja) | 画像検査装置 | |
JPH01265145A (ja) | X線検査装置 | |
JP6347962B2 (ja) | 外観検査装置、外観検査方法、及びプログラム | |
KR0149715B1 (ko) | 시각인식장치를 채용한 인쇄회로기판 검사시스템 | |
JPS5980965A (ja) | 固体撮像素子検査装置 | |
JP2007071618A (ja) | 画質検査装置 | |
JP3340691B2 (ja) | プリント基板の画像検査装置 | |
JP7287533B2 (ja) | 検査システム、検査方法およびプログラム | |
JP5715554B2 (ja) | 工業製品の目視検査支援装置 | |
JP2005024503A (ja) | 表示用パネルの検査方法及び装置 | |
JPH0899401A (ja) | スクリーン印刷装置 | |
KR100312081B1 (ko) | 프로그램가능한 영역 스캔 비전 검사 시스템 | |
JP2004317330A (ja) | 表示用パネルの検査方法及び装置 | |
JPH06235699A (ja) | 実装部品検査方法 | |
JP2002048677A (ja) | カメラのレンズ性能評価装置 | |
JPH08193958A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JPH04216443A (ja) | 基板検査装置 |