JPH04216443A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板検査装置に関し、
詳しくは集積回路（ＩＣ）その他の素子を実装した基板
の基板上のハンダ付状況等を検査する基板検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＩＣその他の素子を実装した
プリント基板の基板上の状況を検査したい場合がある。 例えば、基板上のＩＣなどの素子のハンダ付けが正常に
なされているか否か、基板上に実装されたＩＣが所定の
正しい種類のものであるか否か、またハンダ付け部でぬ
れ不良（ハンダ量不足、部分無ハンダ、いもハンダ等）
不良あるいは短絡などが発生していないか、などを検査
したい場合があった。

【０００３】これらの検査は簡単には直接人手でルーペ
などを用いて目視することにより行なわれる場合もある
。しかし、生産性が上がらないことおよびプリント基板
上の実装密度が高くなってＩＣその他の素子及び部品の
プリント基板へのハンダ付けの状況などは顕微鏡などを
用いて検査する必要があることなどにより、基板検査装
置が用いられるようになっている。

【０００４】従来の基板検査装置としては、プリント基
板を撮像素子により撮像しその結果をＣＲＴモニタに表
示するものがある。また、いわゆるフラットパッケージ
のＩＣではリード線がＩＣの側面から出ており基板に実
装された場合にそのＩＣの斜めから観察する必要がある
ため、基板上のＩＣの実装状態を全周斜めから観察およ
び検査できるようにした基板検査装置がある。ＩＣの全
周を観察するためには例えば所定の光学系を電動で回転
させ実装されたＩＣの全周を斜め上方から撮像するよう
にしたものがある。

【０００５】このような従来の基板検査装置では、まず
基板検査装置の観察台に検査したいプリント基板を載せ
、人手で検査したい基板上のＩＣなどを目標に観察台を
動かし位置決めを行なう。そして、例えば観察用の光学
系を電動で回転させそのＩＣの全周を斜め上方から撮像
してＣＲＴモニタなどに表示する。検査者はこのＣＲＴ
モニタを目視し、ＩＣのリード線が全周にわたって適切
にハンダづけされているか否かなどの実装の状況を観察
検査する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
の基板検査装置では基板上の検査したいＩＣなどに人手
で位置決めする必要があり、検査の効率が悪く使い難い
という不都合があった。また、人手で位置決めを行なう
ため、繰返し性がなく同種類の複数の基板を繰返し検査
する場合に基板上の同じ箇所を同じ状態で観察すること
が困難であるという欠点があった。さらに検査箇所漏れ
なども少なくなかった。

【０００７】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑み、実装基板の検査装置において、人手による基板の
位置決めを要せず、同じ種類の複数の基板を繰返し検査
する場合であっても常に基板上の検査したい幾つかの部
位を正確にかつ容易に繰り返し高効率で検査することの
できる基板検査装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、集積回路その他の素子を実装した基板の
検査装置であって、上記基板上を撮像する撮像手段と、
該撮像手段による撮像範囲を表示する表示手段と、上記
撮像手段の撮像位置を指定するための位置指定手段と、
該位置指定手段により指定された上記撮像手段の撮像位
置を位置データとして記憶する記憶手段と、該記憶手段
に記憶された撮像手段の位置データに基づいて上記撮像
手段を位置決めする位置決め手段とを具備することを特
徴とする。　　位置指定手段は、撮像手段の撮像位置を
入力するための入力手段を具備するようにするとよい。

【０００９】あるいは位置指定手段は、撮像手段を自由
に動かして所望の位置に設定し、そのときの撮像手段の
位置を指定された位置とするようなものでもよい。

【００１０】

【作用】上記の構成によれば、位置指定手段により撮像
手段が基板上を撮像する際の撮像位置を指定することが
できる。この指定の方式としては例えばキーボードなど
の入力手段を用いて直接撮像手段の位置を入力してもよ
いし、撮像手段を人手で自由に動かして検査を行ないた
い所望の位置に合せそのときの撮像手段の位置を自動的
に読みとってそれを指定された位置とすることもできる
。

【００１１】位置指定手段により指定された撮像手段の
位置は記憶手段に位置データとして記憶される。実際に
基板を検査する場合は、この記憶手段に記憶された位置
データを読出し、この位置データに基づいて位置決め手
段により撮像手段を位置決めする。そして、位置決めさ
れた位置において撮像手段で基板上を撮像し表示手段に
より表示する。

【００１２】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。

【００１３】図１は、本発明の一実施例に係る基板検査
装置の外観図を示す。同図において、１はＣＰＵやメモ
リ等を有するメインボードあるいは電源装置などが配置
されたデスクラック、２はＸＹテーブル、３は観察台で
ある。ＸＹテーブル２を駆動することにより観察台３は
ＸＹ方向（図１の紙面左右方向および紙面に垂直な方向
）に移動可能である。観察台３の上に検査すべきプリン
ト基板２０が載置される。

【００１４】４はプリント基板２０を撮像するＣＣＤカ
メラ、５はＣＣＤカメラ４を基板２０に実装されたＩＣ
の周りで回転させるためのθ軸モータ、６はθ軸モータ
５の回転軸、７はこの回転軸６に固定されたＣＣＤカメ
ラ４の支持棒、８は支持棒７の先端部にＣＣＤカメラを
取付けるためのヒンジ、９はθ軸モータ５を固定するた
めの固定部材、１０は固定部材９を支持する支持具、１
１はデスクに固定された棒状支持具である。

【００１５】θ軸モータ５が回転すると、ＣＣＤカメラ
の支持棒７は軸６のまわりに回転せられ、これによりＣ
ＣＤカメラ４は基板２０の軸６直下の位置付近（検査範
囲となる）の全周を撮像することができる。

【００１６】１２は基板２０の周辺を照明するための光
源、１３はプリント基板２０のＣＣＤカメラ４による撮
像結果を表示するＣＲＴモニタ、１４は検査の結果など
をプリント出力するプリンター、１５はキーボードであ
る。

【００１７】図２は、図１の基板検査装置のＸＹテーブ
ル２およびＣＣＤカメラ４の周辺を詳細に示した外観図
である。

【００１８】図２において、図１と同一の部材は同一の
付番で示す。ＸＹテーブル２はＸ軸方向（矢印Ｘ）に基
板２０を移動するためのＸ軸モータ３１およびＹ軸方向
（矢印Ｙ）に基板２０を移動させるためのＹ軸モータ３
２を有する。なお、この図では基板２０を載置するため
の観察台３は省略して示している。このようなＸＹテー
ブル２の移動によりＩＣ２１などが実装された基板２０
は矢印Ｘおよび矢印Ｙの方向に移動が可能である。

【００１９】θ軸モータ５は、詳細には、エンコーダ５
１、駆動モータ５２およびギヤ５３を有する。ギヤ５３
の回転軸６の先にはヒンジ４１を介して支持棒７の一端
が取付けられている。支持棒７の他端にはヒンジ８を介
してＣＣＤカメラ４が取付けられている。ヒンジ４１お
よびヒンジ８を適当に調整することによりθ軸モータ５
を回転させて基板２０の例えばＩＣ２１の全周をＣＣＤ
カメラ４で撮像するようにできる。

【００２０】図３は、図１および図２に示した基板検査
装置のブロック構成図である。　　図３において、マザ
ーボード１０１にはメインボード１０２が接続されてい
る。メインボード１０２は、ＣＰＵ１０３、数値演算プ
ロセッサ１０４、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）１０
５、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）１０６、バスイ
ンターフェース１０７、フロッピーディスクコントロー
ラ１０８、キーボードインターフェース１１０、パラレ
ルインターフェース１１２、シリアルインターフェース
１１４、クロック１１６を有する。

【００２１】フロッピーディスクコントローラ１０８に
はフロッピーディスク装置１０９が、キーボードインタ
ーフェース１１０にはキーボード装置１１１（図１付番
１５）が、パラレルインターフェース１１２にはプリン
タ装置１１３（図１付番１４）が、シリアルインターフ
ェース１１４にはモデムなど１１５が、それぞれ接続さ
れている。

【００２２】マザーボード１０１には日本語対応ビデオ
ボード１１７を介してＣＲＴモニタ１１８（図１付番１
３）が接続されている。また、マザーボード１０１には
ハードディスクコントローラボード１１９を介してハー
ドディスク装置１２０が接続されている。

【００２３】さらに、マザーボード１０１にはデュアル
ポートメモリ１２１を介して位置決めユニット１４３が
接続されている。位置決めユニット１４３は、デュアル
ポートメモリ１２１に接続された内部バス１２２、マイ
クロプロセッサ１２３、ＲＯＭ１２４、ＲＡＭ１２５、
θ軸サーボドライバ１２６、Ｘ軸サーボドライバ１２７
、Ｙ軸サーボドライバ１２８を有する。

【００２４】θ軸サーボドライバ１２６は、θ軸方向の
サーボモータ１３７（図２付番５２）の位置を制御しつ
つ駆動する。θ軸サーボドライバ１２６は、目標値Ｒを
生成するポジションジェネレータ１３１、偏差カウンタ
１３２、補償回路１３３、およびポジションデコーダ１
３６を有する。θ軸方向のサーボモータ１３７にはロー
タリエンコーダ１３８（図２付番５１）が接続されサー
ボモータ１３７の位置を検出することができるようにな
っている。

【００２５】マイクロプロセッサ１２３からθ軸方向の
位置が指令されるとθ軸サーボドライバ１２６のポジシ
ョンジェネレータ１３１はその指令に対応した目標値Ｒ
を出力する。目標値Ｒは偏差カウンタ１３２および補償
回路（デジタルフィルタＰ．Ｉ．Ｄ．）１３３を介して
ＰＷＭ信号としてアンプ１３４に入力する。アンプ１３
４で増幅された駆動信号はサーボモータ１３７に入力し
、これによりサーボモータ１３７は所定の量だけ回転駆
動する。サーボモータ１３７の回転駆動によりロータリ
エンコーダ１３８はその駆動量を検出し、ポジションデ
コーダ１３６に入力する。ポジションデコーダ１３６は
エンコーダ１３８の出力をデコードし、比較器１３２に
入力する。

【００２６】以上のようにしてマイクロプロセッサ１２
３から指令された位置データ（目標値Ｒ）にしたがって
θ軸方向の位置決めがなされる。

【００２７】Ｘ軸サーボドライバ１２７およびＹ軸サー
ボドライバ１２８の構成はθ軸サーボドライバ１２６と
同様であるので説明は省略する。これらのサーボドライ
バ１２７，１２８によりＸ軸およびＹ軸方向の位置決め
を行うことができる。

【００２８】なお、図３には第１，２図付番４に示した
ＣＣＤカメラが不図示であるが、別系統にＣＣＤカメラ
（コントローラなども含む）を有し、このＣＣＤカメラ
４の撮像結果はＣＲＴモニタ１１８にスーパーインポー
ズされ表示されるようになっている。

【００２９】次に、図４〜図６のフローチャートを参照
して、この基板検査装置の操作および動作の手順を説明
する。

【００３０】この実施例の基板検査装置では位置決めの
位置を指定する方式としてダイレクト入力方式とダイレ
クトティーチング方式との２つの方式を設けている。ダ
イレクト入力方式は基板上の検査すべきＩＣなどの位置
をキーボードなどにより直接入力しその入力データにし
たがって検査を実施するものである。ダイレクトティー
チング方式は人手にて直接観察台３やＣＣＤカメラの方
向を移動させて検査を行いたいＩＣの位置に位置付け、
このときのＸＹテーブルおよびカメラの位置を自動的に
読みとってこれを指定された位置とする方式である。

【００３１】図４は、ダイレクト入力方式による操作お
よび動作手順を示す。同図において、まずステップＳ１
で人手にて基板上または図面より検査したいＩＣの位置
を計算する。次に、ステップＳ２でキーボード１１１か
らそのＩＣ位置（目標値）とそのＩＣの種類を入力し、
ステップＳ３でメモリ１０６にこれらの入力データを記
憶する。そして、ステップＳ４で入力が終了したか否か
を判別し、未だ入力すべきデータがあれば再びステップ
Ｓ２へと戻る。

【００３２】ステップＳ４で入力終了であれば、ステッ
プＳ５でメモリ１０６に記憶されたデータをプログラム
データとして補助記憶装置１２０または１０９に記憶し
処理を終了する。

【００３３】図５は、ダイレクトティーチング方式によ
る位置の指定処理を説明するためのフローチャートであ
る。ダイレクトティーチング方式による位置の指定では
、まずステップＳ１１で人手にて直接プリント基板を載
置した観察台を動かし、ステップＳ１２でプリント基板
上の検査したいＩＣの１つの角がＣＲＴモニタ１１８上
の中央に表示されるようにする。このとき、位置決めユ
ニット１４３のＸＹθ軸の各サーボモータ１３７，１３
９，１４１の駆動軸はモータオフ指令で電気的に切り離
されＣＣＤカメラ４とＸＹテーブル２は自由に動くこと
ができるようになっている。また、エンコーダ１３８，
１４０，１４２は作動しており、その出力からＣＰＵ１
０３はカメラ４の回転軸方向の位置およびＸＹテーブル
２のＸＹ方向の位置を知ることができるようになってい
る。

【００３４】次に、ステップＳ１３でキーボード１１１
上の記憶キーを押下する。ステップＳ１４でエンコーダ
１３８，１４０，１４２の現在値（現在のＸＹステージ
およびθ軸方向の位置を示す）とメカ的なオフセットに
より各軸方向の目標値を計算し、ステップＳ１５でその
目標値をメモリ１０６に記憶する。そして、ステップＳ
１６でＩＣの種類（これによりＩＣのサイズなどが分か
る）を入力し、ステップＳ１７でそのＩＣの種類データ
をメモリ１０６に記憶する。

【００３５】次に、ステップＳ１８で入力終了か否かを
判別し、まだ入力すべき検査位置データがある場合は再
びステップＳ１１に戻り、以上の処理を繰り返す。

【００３６】ステップＳ１８ですべての検査位置を入力
したら、ステップＳ１９でメモリ１０６上に蓄積したデ
ータをプログラムデータとして補助記憶装置１２０また
は１０９に記憶し、処理を終了する。

【００３７】以上のようにして、ダイレクト入力方式あ
るいはダイレクトティーチング方式により位置データを
入力した後、検査を開始する。

【００３８】図６は、検査の際の処理の流れを示すフロ
ーチャートである。実際の検査においては、まずステッ
プＳ３１であらかじめ補助記憶装置１２０または１０９
に記憶してあるプログラムデータを読み込み、ステップ
Ｓ３２でＩＣデータを読み込む。ＩＣデータはＩＣの種
類ごとの大きさなどを記憶したデータである。これらの
読み込みデータに基づいて基板検査を進めていく。

【００３９】ステップＳ３３でプログラムデータ中の１
つの位置データを取り出し目標値の計算を行う。この目
標値計算Ｉは、例えば図７のＩＣ２０１に対しその１つ
の角部分を撮像するようにカメラをＰ点からＡ点に位置
決めする際の目標値を計算する処理である。その後、ス
テップＳ３４でその目標値の位置へＸＹステージおよび
θ軸モータを駆動開始して位置決めを開始する。ステッ
プＳ３５でその位置決め（例えばＰ点からＡ点への位置
決め）が完了したか否かを判別し、完了していなければ
再びステップＳ３５へと戻る。これは位置決めの完了ま
で繰り返される。

【００４０】上記の位置決めが完了したら、ステップＳ
３６で次の目標値の計算を行う。この目標値計算ＩＩは
、例えば図７のＡ点からＢ点へと位置決めする際の目標
値を計算する処理である。その後、ステップＳ３７でそ
の目標値の位置へＸＹステージおよびθ軸モータを駆動
開始して位置決めを開始する。次に、ステップＳ３８で
キーボードのキーの押下を判別する。キーの押下がない
場合は、ステップＳ４０で位置決めが完了したか否かを
判別する。位置決めが完了していない場合はステップＳ
３８に戻ってキーの押下のチェックを繰り返す。このス
テップＳ３８→Ｓ４０→Ｓ３８のループ処理の間、ＣＣ
Ｄカメラ４は例えば図７Ａ点からＢ点へと移動してＩＣ
２０１の辺２０１ａ周辺を撮像し、ＣＲＴモニタに写し
出す。これにより、検査者はＩＣ２０１の一辺２０１ａ
のリード線のハンダ付けの状況などを検査することがで
きる。検査者はＣＲＴモニタに表示された画面を目視し
て確認しハンダ付けなどの異常を発見した場合はＮＧキ
ーを押下する。ＮＧキーが押下されると、ステップＳ３
８からＳ３９に分岐し、ステップＳ３９でＮＧ位置をメ
モリに記憶し、ステップＳ４０へと進む。

【００４１】ステップＳ４０で位置決めが完了したら（
例えばＡ点からＢ点への位置決めの完了）、ステップＳ
４１でθ軸方向にモータを９０°回転させ、次の目標位
置Ｃ点までの検査（ＩＣの一辺２０１ｂの検査）を行う
べく、ステップＳ３６へと戻る。以後、スタートキーが
押下されるまで、Ｃ点からＤ点、Ｄ点からＡ点、Ａ点か
らＢ点、…と同様に検査が繰り返される。

【００４２】ステップＳ３８でスタートキーが押下され
た場合は、ステップＳ４２で読み込んだプログラムデー
タに沿ってすべての位置決めと撮像が終了したか否かす
なわちプログラムエンドか否かを判別する。プログラム
エンドでない場合はステップＳ３３へと戻り、次のＩＣ
について同様の検査を繰り返す。ステップＳ４２でプロ
グラムエンドである場合は、ステップＳ４３でＮＧキー
が一度以上押下されたか否かを判別し、押下されている
場合はステップＳ４４でＮＧリストおよびＮＧファイル
を出力し処理を終了する。ステップＳ４３でＮＧキーの
押下が一度も無かった場合はそのまま処理を終了する。

【００４３】以上のように、まずステップＳ３３の目標
値計算Ｉにおいて、図７の位置決め前の位置Ｐ点からＡ
点に位置決めするために、プログラムデータのＸ，Ｙ，
θ各軸の目標値とメカ的なオフセット値とからＡ点の位
置を計算し、ステップＳ３４，Ｓ３５で位置決めする。 そして、Ａ点からＢ点、Ｂ点からＣ点、Ｃ点からＤ点、
およびＤ点からＡ点へ位置決めするために、ステップＳ
３６の目標値計算ＩＩにおいて、移動前の位置およびそ
のＩＣ２０１のサイズに応じてＡ，Ｂ，ＣおよびＤ点の
位置を計算し、ステップＳ３７，Ｓ４０，Ｓ４１で位置
決めを行う。そして、Ａ点から順次カメラとＸＹテーブ
ルが移動する間に、ＩＣ２０１の各辺２０１ａ，２０１
ｂ，２０１ｃ，２０１ｄをＣＣＤカメラで斜め上から撮
像して、ＣＲＴモニタに表示し、検査者によるＩＣのハ
ンダ付けの状況や取り付けの状況などの基板の状況を検
査することができる。

【００４４】図８は、ＩＣの全周を表示している様子を
示す。

【００４５】なお、上記の実施例ではＩＣの全周を直接
ＣＣＤカメラを移動させて撮像していたが所定の光学系
を用いて撮像するようにしてもよい。

【００４６】図９は、図１の基板検査装置の撮像手段を
変更した実施例を示す。図１０は、図９の基板検査装置
の撮像手段周辺の詳細図である。これらの図において、
図１と共通の部材は同一の付番を付してその説明を省略
する。

【００４７】図９において、７１はＣＣＤカメラを固定
するための固定部材、７２はＣＣＤカメラ、７３は光学
顕微鏡、７４は光学系を回転させるためのθ軸モータ、
７５はプリント基板２０の上のＩＣの全周を撮像するた
めの光学系である。

【００４８】図１０を参照して、図９の撮像手段の周辺
を説明する。図１０において、ＣＣＤカメラ７２は光学
顕微鏡７３の像を撮像する。光学顕微鏡７３はプリント
基板２０上のＩＣ２１の斜めからの像をミラー７８，７
７，７６を介して矢印７９のように進む光を検出するこ
とにより撮像する。８１は光学顕微鏡７３にθ軸モータ
７４を固定するための固定手段、８２はモータ７４の回
転軸である。回転軸８２の先端にはギア８３が設けられ
ており、このギア８３にギア８４が噛合している。ギア
８４は光学顕微鏡７３の中心軸近傍を軸として回動可能
になっておりモータ７４を駆動することによりギア８４
が回転する。ギア８４にミラー７６，７７，７８が固定
されており、モータ７４を駆動することによりこれらの
ミラー７６，７７，７８は顕微鏡７３の中心軸を軸とし
て回転する。このようにしてＩＣ２１の全周を観察する
ことができる。

【００４９】なお、上記の実施例ではＣＣＤカメラを直
接移動し、あるいは所定の光学系を用いてＩＣの全周を
撮像しているが、カメラは固定し、ステージを移動させ
るようにすることもできる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＩＣその他の素子及び部品を実装した基板をあらかじめ
指定された位置に自動的に位置決めして検査するように
しているので、検査すべき箇所に高速にかつ正確に位置
決めでき検査したい箇所の位置決めに手間がかからない
。また、繰り返し性があり、一度位置決めデータを入力
すればその位置データは何度でも使用できるので、同じ
種類の複数のプリント基板で検査を繰り返し行うような
場合に、検査の見落としもなく同じ箇所を同じ状態で観
察することができる。また、位置データの入力方式とし
てはキーボードからのダイレクト入力方式またはダイレ
クトティーチング方式を採用しており入力は非常に容易
である。さらに、プリンタを接続すれば基板の良否の結
果をプリントアウトすることもできる。また、品質の統
計を取ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る基板検査装置の外観図
である。

【図２】図１の基板検査装置の撮像手段の周辺の部材を
示す外観図である。

【図３】この実施例の基板検査装置のブロック構成図で
ある。

【図４】この実施例の基板検査装置のダイレクト入力方
式による位置データの入力の操作および動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図５】この実施例の基板検査装置のダイレクトティー
チング方式による位置データの入力の操作および動作を
説明するためのフローチャートである。

【図６】位置決めをしながら検査を行う際の動作手順を
示すフローチャートである。

【図７】検査するＩＣの回りの位置決めする位置を示す
概念図である。

【図８】ＩＣの全周を観察している画面の一例を示す図
である。

【図９】本発明の第２の実施例に係る基板検査装置の外
観図である。

【図１０】図９の基板検査装置の光学系などを示す概念
図である。

【符号の説明】

２　　ＸＹテーブル ３　　観察台 ４　　ＣＣＤカメラ ５　　θ軸モータ １３　　ＣＲＴモニタ １４　　プリンタ １５　　キーボード ３１　　Ｘ軸モータ ３２　　Ｙ軸モータ ５２　　θ軸モータ １０１　　マザーボード １０２　　メインボード １０３　　中央処理装置（ＣＰＵ） １０５　　ＲＯＭ １０６　　ＲＡＭ １０９　　フロッピディスク装置 １１１　　キーボード １１３　　プリンタ １１８　　ＣＲＴモニタ １２０　　ハードディスク装置 １２３　　マイクロプロセッサ １２４　　ＲＯＭ １２５　　ＲＡＭ １２６　　θ軸サーボドライバ １２７　　Ｘ軸サーボドライバ １２８　　Ｙ軸サーボドライバ １３７，１３９，１４１　　θ，Ｘ，Ｙ軸の各サーボモ
ータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　集積回路抵抗、コンデンサ、コネクタ
   等その他の部品を実装した基板の検査装置であって、上
   記基板上を撮像する撮像手段と、該撮像手段による撮像
   範囲を表示する表示手段と、上記撮像手段の撮像位置を
   指定するための位置指定手段と、該位置指定手段により
   指定された上記撮像手段の撮像位置を位置データとして
   記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された撮像手段
   の位置データに基づいて上記撮像手段を位置決めする位
   置決め手段とを具備することを特徴とする基板検査装置
   。
2. 【請求項２】　　前記位置指定手段は、前記撮像手段の
   撮像位置を入力するための入力手段を具備する請求項１
   に記載の基板検査装置。
3. 【請求項３】　　前記位置指定手段は、撮像手段と撮像
   対象を自由に動かして所望の位置に設定し、そのときの
   撮像手段の位置を指定された位置とする請求項１に記載
   の基板検査装置。