CN218974208U - 一种精简的晶圆检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体地说，涉及一种精简的晶圆检测设备。其包括设备主体，设备主体包括第一箱体以及第二箱体；第二箱体内部形成检测空间，检测空间内放置有用于对晶圆表面检测的视觉检测单元；第二箱体处设有进料口；第一箱体的上端面设有沿第一箱体长度方向布置的送料机构，送料机构包括可沿第一箱体长度方向往复滑动且用于伸出或伸入检测空间内的托板，托板上端面形成放置槽，放置槽用于放置晶圆。本实用新型所提供的设备主体在结构形式上较为简单，较佳地实现视觉检测单元对晶圆表面进行检测，进而较佳地检测出晶圆颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕，较佳地方便，故而满足小规模的实验场景。

Description

一种精简的晶圆检测设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体地说，涉及一种精简的晶圆检测设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。为了保证晶圆的质量较优，因而现有会采用如晶圆检测机以检测晶圆表面颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕；但是现有的晶圆检测机多为大型设备，结构复杂，造价昂贵，此外还存在功能过剩的问题，因而在实际使用时，在一些小规模的实验环境如小型实验室内使用，现有的晶圆检测机在放置空间方面往往存在一定的局限性。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决。

一种精简的晶圆检测设备，其包括设备主体，设备主体包括第一箱体以及罩设于第一箱体上端面处的第二箱体；第二箱体内部形成检测空间，检测空间内放置有用于对晶圆表面检测的视觉检测单元；第二箱体设置于第一箱体长度方向的一侧处，且第二箱体近第一箱体中部处的侧壁设有位于第二箱体下方处的进料口；第一箱体的上端面设有沿第一箱体长度方向布置的送料机构，送料机构包括可沿第一箱体长度方向往复滑动且用于伸出或伸入检测空间内的托板，托板上端面形成放置槽，放置槽用于放置晶圆。

本实用新型所提供的设备主体在结构形式上较为简单，在实际使用时，操作人员将待检的晶圆放置于托板处的放置槽内，使得托板带动晶圆运动至检测空间内，进而便于视觉检测单元对晶圆表面进行检测，进而较佳地检测出晶圆颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕，较佳地方便，故而满足小规模的实验场景。

作为优选，检测空间内部设有安装架，安装架包括分别垂直设置于第一箱体上端面且分布在第一箱体宽度方向两侧的两个第一安装板，所述两个第一安装板的上端部之间设有第二连接板；视觉检测单元包括摄像模块，摄像模块包括设置于第二安装板中部处的线扫相机，线扫相机的镜头朝向第一箱体的上端面。

本实用新型中，通过安装架、摄像模块的设置，故而较佳地实现晶圆颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕的检测。

作为优选，第一箱体上端面长度方向的两侧分别设有一条沿第一箱体长度方向布置的导轨，两条导轨处均设有沿对应一条导轨上滑动的两个滑块，同一条导轨上的两个滑块间隔设置且四个滑块的分布呈矩形设置，托板呈矩形且四角分别对应安装于四个滑块上端面处。

本实用新型中，通过导轨、滑块的设置，故而较佳地实现托板带动晶圆至检测空间内，以使视角检测单元对晶圆颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕的检测。

作为优选，放置槽呈圆形凹槽状，且放置槽的内壁设有导向部。

本实用新型中，通过导向部的设置，故而较佳地便于操作人员在安装晶圆时确定放置方向，较佳地方便。

作为优选，放置槽位于托板沿第一箱体宽度的两侧均向外延伸有扣手槽。

本实用新型中，通过扣手槽的设置，故而较佳地便于操作人员放置或拿取放置槽处的晶圆。

作为优选，检测空间的内壁设有补光灯。

本实用新型中，通过补光灯的设置，增加检测空间内的明亮程度，故而较佳地配合于视角检测单元检测晶圆。

作为优选，第二箱体沿第一箱体宽度的两侧的侧壁均设有观察窗口。

本实用新型中，通过观察窗口的设置，故而较佳地便于操作人员观察检测空间内元器件的工作状态。

作为优选，第二箱体的上端面设有显示屏。

本实用新型中，通过显示屏的设置，待视角检测单元检测晶圆后，经图像处理然后输出至显示屏上，以使显示屏显示该晶圆颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕数据，以便于操作人员获知。

作为优选，第一箱体远离第二箱体的一侧设有工作按钮；以及设置于第一箱体侧壁处的开关按钮。

本实用新型中，通过工作按钮、开关按钮的设置，故而较佳地便于操作人员控制设备主体，以及开关按钮用于控制设备主体的启停。

作为优选，第一箱体远离第二箱体的一侧设有抽屉结构，抽屉结构包括抽板，抽板上放置有键盘及鼠标。

本实用新型中，通过键盘、鼠标的设置，故而较佳地便于操作人员控制设备主体。

附图说明

图1为实施例1中的设备主体的示意图。

图2为实施例1中的设备主体的爆炸示意图。

图3为实施例1中的第一箱体的示意图。

图4为图3中的A部分的放大示意图。

图5为实施例1中的托板的示意图。

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。应当理解的是，实施例仅仅是对本实用新型进行解释而并非限定。

实施例1

如图1-5所示，本实施例提供了一种精简的晶圆检测设备，其包括设备主体100，设备主体100包括第一箱体110以及罩设于第一箱体110上端面处的第二箱体120；第二箱体120内部形成检测空间130，检测空间130内放置有用于对晶圆160表面检测的视觉检测单元；第二箱体120设置于第一箱体110长度方向的一侧处，且第二箱体120近第一箱体110中部处的侧壁设有位于第二箱体120下方处的进料口140；第一箱体110的上端面设有沿第一箱体110长度方向布置的送料机构，送料机构包括可沿第一箱体110长度方向往复滑动且用于伸出或伸入检测空间130内的托板150，托板150上端面形成放置槽510，放置槽510用于放置晶圆160。

本实施例所提供的设备主体100在结构形式上较为简单，在实际使用时，操作人员将待检的晶圆160放置于托板150处的放置槽510内，使得托板150带动晶圆160运动至检测空间130内，进而便于视觉检测单元对晶圆160表面进行检测，进而较佳地检测出晶圆160颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕，较佳地方便，故而满足小规模的实验场景。

本实施例中，检测空间130内部设有安装架，安装架包括分别垂直设置于第一箱体110上端面且分布在第一箱体110宽度方向两侧的两个第一安装板210，所述两个第一安装板210的上端部之间设有第二连接板；视觉检测单元包括摄像模块，摄像模块包括设置于第二安装板220中部处的线扫相机230，线扫相机230的镜头朝向第一箱体110的上端面。

本实施例中，通过安装架、摄像模块的设置，故而较佳地实现晶圆160颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕的检测。

本实施例中，第一箱体110上端面长度方向的两侧分别设有一条沿第一箱体110长度方向布置的导轨240，两条导轨240处均设有沿对应一条导轨240上滑动的两个滑块410，同一条导轨240上的两个滑块410间隔设置且四个滑块410的分布呈矩形设置，托板150呈矩形且四角分别对应安装于四个滑块410上端面处。

本实施例中，通过导轨240、滑块410的设置，故而较佳地实现托板150带动晶圆160至检测空间130内，以使视角检测单元对晶圆160颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕的检测。

对于托板150沿第一箱体110长度方向的往复运动，可于其中一条导轨240处设有直线电机模组，直线电机模组用于带动托板150沿第一箱体110长度方向往复滑动，直线电机模组包括驱动电机及丝杠，对应滑块410的侧壁形成有配合部，配合部用于与丝杠配合，故而在驱动电机驱动丝杠作用下，滑动块能够带动托板150沿第一箱体110长度方向往复滑动且能够伸出或伸入检测空间130内，以实现线扫相机230对晶圆160的表面进行检测，较佳地方便。

值得一提的是，线扫相机230配合直线电机模组的方式，能够较佳地实现对晶圆160表面进行检测，同时能够较佳地提高晶圆160图像输出的分辨率，较佳地方便。

本实施例中，放置槽510呈圆形凹槽状，且放置槽510的内壁设有导向部520。

本实施例中，通过导向部520的设置，故而较佳地便于操作人员在安装晶圆160时确定放置方向，较佳地方便。

本实施例中，放置槽510位于托板150沿第一箱体110宽度的两侧均向外延伸有扣手槽530。

本实施例中，通过扣手槽530的设置，故而较佳地便于操作人员放置或拿取放置槽510处的晶圆160。

本实施例中，检测空间130的内壁设有补光灯。

本实施例中，通过补光灯的设置，增加检测空间130内的明亮程度，故而较佳地配合于视角检测单元检测晶圆160。

本实施例中，第二箱体120沿第一箱体110宽度的两侧的侧壁均设有观察窗口180。

本实施例中，通过观察窗口180的设置，故而较佳地便于操作人员观察检测空间130内元器件的工作状态。

本实施例中，第二箱体120的上端面设有显示屏190。

本实施例中，通过显示屏190的设置，待视角检测单元检测晶圆160后，经图像处理然后输出至显示屏190上，以使显示屏190显示该晶圆160颗粒数的数量、污损、晶体缺陷以及划痕数据，以便于操作人员获知。

本实施例中，第一箱体110远离第二箱体120的一侧设有工作按钮112；以及设置于第一箱体110侧壁处的开关按钮111。

本实施例中，通过工作按钮112、开关按钮111的设置，故而较佳地便于操作人员控制设备主体100，以及开关按钮111用于控制设备主体100的启停。

本实施例中，第一箱体110远离第二箱体120的一侧设有抽屉结构，抽屉结构包括抽板170，抽板170上放置有键盘171及鼠标172。

本实施例中，通过键盘171、鼠标172的设置，故而较佳地便于操作人员控制设备主体100。

总之，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应属本实用新型专利的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：包括设备主体(100)，设备主体(100)包括第一箱体(110)以及罩设于第一箱体(110)上端面处的第二箱体(120)；第二箱体(120)内部形成检测空间(130)，检测空间(130)内放置有用于对晶圆(160)表面检测的视觉检测单元；第二箱体(120)设置于第一箱体(110)长度方向的一侧处，且第二箱体(120)近第一箱体(110)中部处的侧壁设有位于第二箱体(120)下方处的进料口(140)；第一箱体(110)的上端面设有沿第一箱体(110)长度方向布置的送料机构，送料机构包括可沿第一箱体(110)长度方向往复滑动且用于伸出或伸入检测空间(130)内的托板(150)，托板(150)上端面形成放置槽(510)，放置槽(510)用于放置晶圆(160)。

2.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：检测空间(130)内部设有安装架，安装架包括分别垂直设置于第一箱体(110)上端面且分布在第一箱体(110)宽度方向两侧的两个第一安装板(210)，所述两个第一安装板(210)的上端部之间设有第二连接板；视觉检测单元包括摄像模块，摄像模块包括设置于第二安装板(220)中部处的线扫相机(230)，线扫相机(230)的镜头朝向第一箱体(110)的上端面。

3.根据权利要求1或2所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：第一箱体(110)上端面长度方向的两侧分别设有一条沿第一箱体(110)长度方向布置的导轨(240)，两条导轨(240)处均设有沿对应一条导轨(240)上滑动的两个滑块(410)，同一条导轨(240)上的两个滑块(410)间隔设置且四个滑块(410)的分布呈矩形设置，托板(150)呈矩形且四角分别对应安装于四个滑块(410)上端面处。

4.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：放置槽(510)呈圆形凹槽状，且放置槽(510)的内壁设有导向部(520)。

5.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：放置槽(510)位于托板(150)沿第一箱体(110)宽度的两侧均向外延伸有扣手槽(530)。

6.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：检测空间(130)的内壁设有补光灯。

7.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：第二箱体(120)沿第一箱体(110)宽度的两侧的侧壁均设有观察窗口(180)。

8.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：第二箱体(120)的上端面设有显示屏(190)。

9.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：第一箱体(110)远离第二箱体(120)的一侧设有工作按钮(112)；以及设置于第一箱体(110)侧壁处的开关按钮(111)。

10.根据权利要求1所述的一种精简的晶圆检测设备，其特征在于：第一箱体(110)远离第二箱体(120)的一侧设有抽屉结构，抽屉结构包括抽板(170)，抽板(170)上放置有键盘(171)及鼠标(172)。

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