CN106249085B - 静电放电检测方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种静电放电检测方法及系统，属于显示技术领域。该系统包括：静电枪、载物台、移动支架以及控制箱；该移动支架与该静电枪连接，和/或，该移动支架与该载物台连接；该控制箱与该移动支架电连接，用于根据预先接收到的待检测样品上的测试点的坐标，通过该移动支架调节该静电枪与该载物台之间的相对位置，使该静电枪的枪头对准该待检测样品上的测试点。本发明提供的静电放电检测系统能够自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，使得静电枪的枪头可以精确对准待检测样品上的测试点，避免了人工操作容易出现的误差，有效提高了检测精度和效率。本发明用于检测静电放电性能。

Description

静电放电检测方法及系统

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种静电放电检测方法及系统。

背景技术

由于静电放电(Electro-Static discharge；简称：ESD)会对显示设备造成一定程度的损坏，因此在显示设备出厂前，需要通过静电放电检测系统对显示设备的静电防护能力进行检测。

相关技术中，静电放电检测系统一般由控制箱和静电枪(英文：ESD gun)组成。检测时，操作人员预先获知了测试点的坐标位置，可以在该控制箱中输入测试电压等测试参数，然后由操作人员手持静电枪，通过人眼观察确定该坐标位置所对应的测试点，将静电枪的枪头对准待检测样品上的测试点，使静电枪对该测试点释放静电。之后，操作人员可以通过观察待检测样品上的测试点是否出现异常来判断该待检测样品的静电防护能力是否达标。

但是，由于检测过程中，需要操作人员根据预先获知的坐标位置，通过人眼观察确定待检测样品的测试点，容易出现人工误差，检测的精度较低。

发明内容

为了解决相关技术中静电放电检测精度较低的问题，本发明提供了一种静电放电检测方法及系统。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种静电放电检测系统，所述系统包括：静电枪、载物台、移动支架以及控制箱；

所述载物台用于承载待检测样品；

所述静电枪与所述控制箱电连接，用于在所述控制箱的控制下，向所述待检测样品上的测试点释放静电；

所述移动支架与所述静电枪连接，和/或，所述移动支架与所述载物台连接；所述控制箱与所述移动支架电连接，用于根据预先接收到的所述待检测样品上的测试点的坐标，通过所述移动支架调节所述静电枪与所述载物台之间的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的测试点。

可选的，所述移动支架，包括：分别与所述控制箱电连接的第一活动杆、第二活动杆和第三活动杆；

所述第一活动杆的轴线方向垂直于第一方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第一方向上的相对位移；

所述第二活动杆的轴线方向垂直于第二方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第二方向上的相对位移；

所述第三活动杆的轴线方向垂直于第三方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第三方向上的相对位移；

其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中任意两个方向相互垂直，且所述第二方向平行于重力方向。

可选的，所述移动支架，还包括：与所述控制箱电连接的旋转杆；

所述旋转杆与移动件固定连接，用于在所述控制箱的控制下，带动所述移动件以所述旋转杆为轴心旋转；

其中，所述移动件为载物台或者静电枪，所述旋转杆的轴线方向平行于所述重力方向。

可选的，所述移动支架还包括：第一电机；

所述第一活动杆的一端与移动件固定连接，另一端与所述第一电机固定连接，所述第一电机与第一导轨活动连接，所述第一电机能够在所述控制箱的控制下，带动所述第一活动杆和所述移动件沿所述第一导轨的轴线方向移动，所述第一导轨的轴线方向平行于所述第一方向；所述移动件为载物台或者静电枪。

可选的，所述第一导轨为所述第二活动杆，所述移动支架还包括：第二电机和第三电机；

所述第二活动杆的一端与所述第二电机固定连接，所述第二电机与所述第三活动杆活动连接，所述第二电机能够以所述第三活动杆为导轨，带动所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第三活动杆的轴线方向移动，所述第三活动杆的轴线方向平行于所述第二方向；

所述第三活动杆的一端与所述第三电机固定连接，所述第三电机与第二导轨活动连接，所述第三电机能够带动所述第三活动杆、所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第二导轨的轴线方向移动，所述第二导轨的轴线方向平行于所述第三方向。

可选的，所述移动件为载物台，所述移动支架还包括：第二电机和第三电机；所述第二活动杆的一端与所述静电枪固定连接，另一端与所述第二电机固定连接，所述第二电机与所述第三活动杆活动连接，所述第二电机能够以所述第三活动杆为导轨，带动所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第三活动杆的轴线方向移动，所述第三活动杆的轴线方向平行于所述第二方向；

所述第三活动杆的一端与所述第三电机固定连接，所述第三电机与第二导轨活动连接，所述第三电机能够带动所述第三活动杆、所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第二导轨的轴线方向移动，所述第二导轨的轴线方向平行于所述第三方向。

可选的，所述移动支架还包括：第四电机；

所述旋转杆的另一端与所述第四电机固定连接，所述第四电机用于在所述控制箱的控制下，驱动所述旋转杆和所述移动件以所述旋转杆为轴心旋转。

可选的，所述系统还包括：电荷耦合器件CCD摄像机；

所述CCD摄像机设置在所述静电枪的一侧，且与所述控制箱电连接，所述CCD摄像机用于采集所述待检测样品的图像，并将采集到的所述待检测样品的图像发送至所述控制箱；

所述控制箱还用于确定所述测试点在所述待检测样品的图像中的方位，并根据所述测试点在所述待检测样品的图像中的方位，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

可选的，所述系统还包括：距离传感器；

所述距离传感器设置在所述静电枪的一侧，且与所述控制箱电连接，用于检测所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，并将所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离发送至所述控制箱；

所述控制箱还用于根据所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

第二方面，提供了一种静电放电检测方法，应用于第一方面所述的静电放电检测系统，所述方法包括：

控制箱接收测试参数，所述测试参数包括至少一个测试电压和待检测样品上至少一个测试点的坐标；

所述控制箱在所述至少一个测试点中确定第一测试点；

所述控制箱根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的第一测试点；

所述控制箱在所述至少一个测试电压中确定第一测试电压；

所述控制箱控制所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电。

可选的，所述系统还包括：CCD摄像机，在所述根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，所述方法还包括：

通过所述CCD摄像机采集所述待检测样品的图像；

所述控制箱确定所述第一测试点在所述待检测样品的图像中的方位；

所述控制箱根据所述第一测试点在所述待检测样品的图像中的方位，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

可选的，所述系统还包括：距离传感器，在所述根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，所述方法还包括：

通过所述距离传感器检测所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离；

所述控制箱根据所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

可选的，所述测试参数还包括：所述至少一个测试电压中每个测试电压所对应的放电次数，在所述使所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电之后，所述方法还包括：

所述控制箱记录所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点已释放静电的次数；

所述控制箱判断所述已释放静电的次数是否与所述第一测试电压所对应的放电次数相等；

当所述已释放静电的次数与所述第一测试电压所对应的放电次数不相等时，所述控制箱使所述静电枪按照所述第一测试电压继续对所述第一测试点释放静电；

当所述已释放静电的次数与所述第一测试电压所对应的放电次数相等时，所述控制箱在所述至少一个测试电压中确定第二测试电压，并使所述静电枪按照所述第二测试电压对所述第一测试点释放静电，其中所述第二测试电压与所述第一测试电压不同。

可选的，在所述控制箱控制所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电之后，所述方法还包括：

所述控制箱判断是否完成对所述第一测试点的测试；

当完成对所述第一测试点的测试时，所述控制箱在所述至少一个测试点中确定第二测试点，所述第二测试点与所述第一测试点不同；

所述控制箱根据所述第二测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的第二测试点；

所述控制箱控制所述静电枪对所述第二测试点进行测试。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明提供了一种静电放电检测方法及系统，该系统包括：静电枪、载物台、移动支架以及控制箱；该移动支架与该静电枪连接，和/或，该移动支架与该载物台连接；该控制箱与该移动支架电连接，用于根据预先接收到的待检测样品上的测试点的坐标，通过该移动支架调节该静电枪与该载物台之间的相对位置，使该静电枪的枪头对准该待检测样品上的测试点。本发明提供的静电放电检测系统能够自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，避免了人工操作容易出现的误差，有效提高了检测精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种静电放电检测系统的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的另一种静电放电检测系统的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的又一种静电放电检测系统的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的再一种静电放电检测系统的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种静电放电检测方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

图1是本发明实施例提供的一种静电放电检测系统的结构示意图，如图1所示，该系统可以包括：静电枪01、载物台02、移动支架03以及控制箱04。

该载物台02用于承载待检测样品；该静电枪01与该控制箱04电连接，用于在该控制箱04的控制下，向该待检测样品上的测试点释放静电。

该移动支架03与该静电枪01连接，和/或，该移动支架03与该载物台02连接，例如图1中的移动支架03分别与静电枪01和载物台02连接；该控制箱04与该移动支架03电连接，用于根据预先接收到的该待检测样品上的测试点的坐标，通过该移动支架03调节该静电枪01与该载物台02之间的相对位置，使该静电枪01的枪头对准该待检测样品上的测试点。

综上所述，本发明实施例提供的静电放电检测系统中，移动支架可以在控制箱的控制下，自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，使得静电枪的枪头可以精确对准待检测样品上的测试点，避免了人工操作容易出现的误差，有效提高了检测精度。

可选的，图2是本发明实施例提供的另一种静电放电检测系统的结构示意图，如图2所示，该移动支架可以包括：分别与该控制箱04电连接的第一活动杆31、第二活动杆32和第三活动杆33。

该第一活动杆31的轴线方向垂直于第一方向x，用于在该控制箱04的控制下，调节该静电枪01与该载物台02在第一方向x上的相对位移，例如在图2中，该第一活动杆31的轴线方向为第二方向y，且该第一活动杆31与载物台02连接，可以带动载物台02沿第一方向x来回移动，从而调整静电枪01与载物台02在第一方向x上的相对位移。

该第二活动杆32的轴线方向垂直于第二方向y，用于在该控制箱04的控制下，调节该静电枪01与该载物台02在第二方向y上的相对位移，例如，在图2中，该第二活动杆32的轴线方向为第一方向x，该第二活动杆32与静电枪01固定连接，能够带动该静电枪01沿第二方向y(即平行于重力方向)上下移动。

该第三活动杆33的轴线方向垂直于第三方向z，用于在该控制箱04的控制下，调节该静电枪01与该载物台02在第三方向z上的相对位移，例如，图2中的第三活动杆33的轴线方向为第二方向y，且该第三活动杆33与该第二活动杆32连接，能够带动该第二活动杆32和该静电枪01沿第三方向z移动。

其中，该第一方向x、该第二方向y和该第三方向z中任意两个方向相互垂直，且该第二方向y平行于重力方向。

进一步的，参考图3，该移动支架03还可以包括：旋转杆34。

该旋转杆34与移动件固定连接，用于在该控制箱04的控制下，带动该移动件以该旋转杆34为轴心旋转。该旋转杆34的轴线方向平行于该重力方向。

其中，该移动件可以为载物台02或者静电枪01，示例的，在图3所示的系统中，该移动件为静电枪01，即该旋转杆34可以带动该静电枪01在水平面内旋转。参考图3，该旋转轴34的轴线方向平行于第二方向y。

在本发明实施例中，如图2所示，该移动支架03还可以包括：第一电机3a。该第一活动杆31的一端与移动件固定连接，另一端与该第一电机3a固定连接，该第一电机3a与第一导轨34活动连接，该第一电机3a能够在该控制箱04的控制下，带动该第一活动杆31和该移动件沿该第一导轨34的轴线方向移动，该第一导轨的轴线方向平行于该第一方向x，其中，该移动件为载物台02或者静电枪01，示例的，在图2所示的系统中，该第一活动杆31所连接的移动件为载物台02。

需要说明的是，当该第一活动杆31所连接的移动件为载物台02，且该旋转杆连接的移动件也为载物台时，参考图2，则该旋转杆与该第一活动杆31可以为同一根活动杆，也即是，该第一活动杆31既可以带动该载物台02沿第一方向x来回移动，也可以带动该载物台02以该第一活动杆31为轴心旋转。

在本发明一种可选的实施例中，参考图4，该第一导轨可以为该第二活动杆32，也即是，该第一活动杆31的一端与移动件固定连接，例如图4中第一活动杆31与静电枪01连接，第一活动杆31的另一端与该第一电机3a固定连接，该第一电机3a与该第二活动杆32活动连接。进一步的，如图4所示，该移动支架还可以包括：第二电机3b和第三电机3c。

该第二活动杆32的一端与该第二电机3b固定连接，该第二电机3b与该第三活动杆33活动连接，该第二电机3b能够以该第三活动杆33为导轨，带动该第二活动杆32和该静电枪01沿该第三活动杆33的轴线方向来回移动，该第三活动杆33的轴线方向平行于该第二方向y。

该第三活动杆33的一端与该第三电机3c固定连接，该第三电机3c与第二导轨35活动连接，该第三电机3c能够带动该第三活动杆33、该第二活动杆32和该静电枪01沿该第二导轨35的轴线方向来回移动，该第二导轨35的轴线方向平行于该第三方向z。

在本发明另一种优选的实施例中，参考图2，该第一活动杆31所连接的移动件可以为载物台02，且该旋转杆所连接的移动件也为载物台，也即是，该第一活动杆31即为该旋转杆，参考图2，该移动支架还可以包括：第二电机3b和第三电机3c。

该第二活动杆32的一端与该静电枪01固定连接，另一端与该第二电机3b固定连接，该第二电机3b与该第三活动杆33活动连接，该第二电机3b能够以该第三活动杆33为导轨，带动该第二活动杆32和该静电枪01沿该第三活动杆33的轴线方向移动，该第三活动杆33的轴线方向平行于该第二方向y。

该第三活动杆33的一端与该第三电机3c固定连接，该第三电机3c与第二导轨35活动连接，该第三电机3c能够带动该第三活动杆33、该第二活动杆32和该静电枪01沿该第二导轨35的轴线方向移动，该第二导轨35的轴线方向平行于该第三方向z。

可选的，如图2和图4所示，该移动支架03还可以包括：第四电机3d。

该旋转杆34的另一端与该第四电机3d固定连接，该第四电机3d用于在该控制箱04的控制下，驱动该旋转杆34和该移动件以该旋转杆34为轴心旋转，由于图2所示的系统中，该第一活动杆31即为该旋转杆，因此该第一活动杆31的另一端可以与该第四电机3d固定连接，同时，该第四电机3d与该第一电机3a叠加设置，当该第一电机3a启动时，能够带动该第四电机3d、该第一活动杆31和载物台02沿第一方向x来回移动，当该第四电机3d启动时，能够带动该第一活动杆31和载物台02在水平面内旋转。

需要说明的是，在实际应用中，该移动支架中的每个活动杆可以为滚珠丝杠或者直线导轨等，用于驱动活动杆移动的电机可以为伺服电机或者步进电机等，且移动支架中各个活动杆之间的连接方式除了上述的几种，还可以根据实际情况自由组合，本发明实施例对此不做限定。

进一步的，如图2所示，本发明实施例所提供的静电放电检测系统还可以包括：电荷耦合器件(英文：Charge-coupled Device；简称：CCD)摄像机05和距离传感器06。

该CCD摄像机设置在该静电枪01的一侧，且与该控制箱04电连接，用于采集该待检测样品的图像，并将采集到的该待检测样品的图像发送至该控制箱04；该控制箱04还用于确定该测试点在该待检测样品的图像中的方位，并根据该测试点在该待检测样品的图像中的方位，调节该静电枪01与该载物台02的相对位置。

在本发明实施例中，控制箱预先接收到的该待检测样品上的测试点的坐标是由操作人员输入的，控制箱根据该坐标调整静电枪与载物台之间的相对位置时，由于存在一定的仪器误差，使得该静电枪的枪头所指示的位置与测试点之间存在一定偏移。此时可以由操作人员对该待检测样品上的测试点进行标记，CCD摄像机将采集到的待检测样品的图像发送至控制箱后，控制箱可以根据该标记点在待检测样品的图像上的坐标，进一步调整该静电枪的枪头与载物台之间的相对位置，以保证该静电枪的枪头与测试点精准对位。

参考图2，该距离传感器06可以设置在该静电枪01的一侧，且与该控制箱04电连接，距离传感器06可以检测该静电枪01的枪头与该待检测样品之间的距离，并将该静电枪01的枪头与该待检测样品之间的距离发送至该控制箱04，以便该控制箱04根据该静电枪01的枪头与该待检测样品之间的距离，调节该静电枪01与该载物台02的相对位置。

在本发明实施例中，该距离传感器06中可以存储有初始状态下该距离传感器06与静电枪01的枪头之间的距离x1。在实际检测的过程中，距离传感器所检测的为该距离传感器与该待检测样品之间的距离x2，因此，该距离传感器可以根据该距离x2和x1，确定出该静电枪的枪头与待检测样品之间的距离s，该距离s可以为s＝x2-x1。

在本发明一种可选的实施例中，参考图4，该静电放电检测系统中还可以包括点灯机07和终端08(例如电脑)，当待检测样品为显示面板时，该点灯机07可以通过载物台02与待检测样品连接，点灯机07的另一端接地，该点灯机用于点亮该显示面板，以便静电枪可以对该处于点亮状态的显示面板进行静电放电检测。该终端08与该控制箱04电连接，操作人员可以通过该终端08向该控制箱04输入测试参数，该测试参数可以包括测试点的坐标，测试电压以及放电间隔和放电次数等。

在实际应用中，可以根据待检测样品的类型和具体型号制定不同规格的载物台，并可配有真空吸台用于固定该待检测样品，以便对不同类型的待检测样品，例如薄膜晶体管液晶显示器(英文：Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display；简称：TFT-LCD)、有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)和移动终端等电子产品进行检测，其中，该载物台为绝缘体。

综上所述，本发明实施例提供的静电放电检测系统中，移动支架可以在控制箱的控制下，自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，使得静电枪的枪头可以精确对准待检测样品上的测试点，避免了人工操作容易出现的误差，并且该系统中还可以设置有CCD摄像机和距离传感器，使得控制箱可以根据该CCD摄像机和距离传感器采集的数据，精确调整静电枪与载物台之间的相对位置，有效提高了检测的精度，并且在对不同样品进行检测时，可以保证该不同样品上的测试点坐标之间的差异较小，可以避免对同一批次的样品进行检测时出现检测结果差异较大，导致无法准确评估出该类型样品的静电防护能力的情况。

图5是本发明实施例提供的一种静电放电检测方法的流程图，该方法可以应用于如图1至4任一所示的静电放电检测系统中，参考图5，该方法可以包括：

步骤101、控制箱接收测试参数，该测试参数包括至少一个测试电压和待检测样品上至少一个测试点的坐标。

在本发明实施例中，测试参数可以由操作人员手动输入，例如，可以输入测试点A的坐标：X＝a；Y＝b；Z＝c；测试电压V1＝+5千伏(KV)。此外，该控制箱所接收的测试参数还可以包括静电枪的电容或电阻，每个测试点的放电次数以及间隔放电时间等。

步骤102、控制箱在该至少一个测试点中确定第一测试点。

在本发明实施例中，若该控制箱接收到的测试参数中仅包括待检测样品上一个测试点的坐标，则该控制箱可以直接将该测试点确定为第一测试点；若该测试参数中包括多个测试点的坐标，则可以在该多个测试点中随机选取一个测试点作为第一测试点，或者，也可以根据该多个测试点的预设顺序确定该第一测试点。

步骤103、控制箱根据该第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置，使该静电枪的枪头对准该待检测样品上的第一测试点。

在本发明实施例中，将待检测样品放置在载物台上之后，可以在该待检测样品上确定一个原点，例如，可以将手机显示屏左下角的端点作为原点，使得初始状态下的静电枪的枪头与该待检测样品的原点对准。在检测时，假设该第一测试点的坐标为：X＝a；Y＝b；Z＝c，该检测系统中移动支架的连接方式如图2所示，则控制箱可以使载物台沿第一方向x移动距离a，使静电枪沿第二方向y移动距离b，然后再使该静电枪沿第三方向z移动距离c，即可使得该静电枪的枪头与该第一测试点对准。

步骤104、控制箱在该至少一个测试电压中确定第一测试电压。

在本发明实施例中，若该控制箱接收到的测试参数中仅包括一个测试电压，则该控制箱可以直接将该测试电压确定为第一测试点；若该测试参数中包括多个测试电压，则可以在该多个测试电压中随机选取一个作为第一测试电压，或者，也可以根据该多个测试电压的预设顺序确定该第一测试电压。

步骤105、控制箱控制该静电枪按照该第一测试电压对该第一测试点释放静电。

例如，控制箱可以控制该静电枪按照+5KV的电压对该第一测试点A进行静电放电测试。

综上所述，本发明实施例提供的静电放电检测方法，控制箱可以通过移动支架自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，使得静电枪的枪头精确对准待检测样品上的测试点，避免了人工操作容易出现的误差，不仅有效提高了静电放电检测的精度，还能够节省大量的人力和物力，提高了检测效率。

可选的，参考图2，该系统还可以包括：CCD摄像机05，在该根据该第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，该方法还可以包括：通过该CCD摄像机采集该待检测样品的图像；

该控制箱确定该第一测试点在该待检测样品的图像中的方位；

该控制箱根据该第一测试点在该待检测样品的图像中的方位，调节该静电枪与该载物台的相对位置。

可选的，如图2所示，该系统还包括：距离传感器06，在该根据该第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，该方法还包括：通过该距离传感器检测该静电枪的枪头与该待检测样品之间的距离；

该控制箱根据该静电枪的枪头与该待检测样品之间的距离，调节该静电枪与该载物台的相对位置。

在本发明实施例中，该控制箱所接收到的测试参数还包括：该至少一个测试电压中每个测试电压所对应的放电次数，在上述步骤105之后，该方法还可以包括：

步骤106、该控制箱记录该静电枪按照该第一测试电压对该第一测试点已释放静电的次数。

示例的，假设静电枪按照+5KV的电压对该第一测试点A进行一次静电放电后，控制箱可以记录下该已释放静电的次数：1次。

步骤107、该控制箱判断该已释放静电的次数是否与该第一测试电压所对应的放电次数相等。

当该已释放静电的次数与该第一测试电压所对应的放电次数不相等时，执行步骤108；当该已释放静电的次数与该第一测试电压所对应的放电次数相等时，执行步骤109。

示例的，假设对每个测试点，每个测试电压需要测试10次，因此该第一测试电压+5KV所对应的放电次数为10次，由于控制箱中记录的已释放静电的次数为1次，未达到该要求的放电次数：10次，因此可以执行步骤108；当该控制箱中记录的已释放静电的次数达到10次时，可以执行步骤109。

步骤108、该控制箱使该静电枪按照该第一测试电压继续对该第一测试点释放静电。执行步骤107。

当该已释放静电的次数与该第一测试电压所对应的放电次数不相等时，控制箱可以继续使静电枪按照该第一测试电压继续对该第一测试点释放静电。

步骤109、该控制箱在该至少一个测试电压中确定第二测试电压。执行步骤110。

当该已释放静电的次数与该第一测试电压所对应的放电次数相等时，控制箱可以在该至少一个测试电压中确定第二测试电压，该第二测试电压与该第一测试电压不同。例如，该控制箱确定的第二测试电压可以为-5KV。

步骤110、使该静电枪按照该第二测试电压对该第一测试点释放静电。

示例的，假设在静电放电检测的过程中，该第一测试电压为+5KV，所对应的放电次数为10次，则控制箱控制静电枪按照+5KV的电压对第一测试点放电10次后，既可确定已完成第一测试电压的测试，可以继续对该第一测试点按照第二测试电压(例如-5KV)进行测试。

可选的，在上述步骤105之后，该方法还可以包括：

步骤111、控制箱判断是否完成对该第一测试点的测试。

在本发明实施例中，假设对第一测试点，该输入的测试参数中包括M个测试电压，每个测试电压对应的放电次数为N次，则完成对第一测试点的测试是指，静电枪按照该M个测试电压中的每个测试电压，分别对该第一测试点进行N次静电放电检测。

需要说明的是，在实际应用中，在进行静电放电检测的过程中，测试人员需要对该待检测样品的上的测试点进行观察，若该测试点出现异常，则可以确定该待检测样品的静电防护能力未达标，并结束对该待检测样品的检测。

步骤112、当完成对该第一测试点的测试时，该控制箱在该至少一个测试点中确定第二测试点。该第二测试点与该第一测试点不同。

当对该第一测试点完成M个电压的测试后，控制箱可以从该至少一个测试点中再确定第二测试点，或者也可以由操作人员输入第二测试点的坐标，以便对该待检测样品上的第二测试点继续进行检测。

步骤113、该控制箱根据该第二测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置，使该静电枪的枪头对准该待检测样品上的第二测试点，并控制该静电枪对该第二测试点进行测试。

对该第二测试点的测试过程可以参考上述针对第一测试点的测试过程，本发明实施例对此不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的静电放电检测方法，控制箱可以通过移动支架自动调整静电枪与载物台之间的相对位置，使得静电枪的枪头精确对准待检测样品上的测试点，避免了人工操作容易出现的误差，并且该系统中还可以设置有CCD摄像机和距离传感器，使得控制箱可以根据该CCD摄像机和距离传感器采集的数据，精确调整静电枪与载物台之间的相对位置，有效提高了检测的精度和效率。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的检测方法的具体工作过程，可以参考前述装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。此外，本发明中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种静电放电检测系统，其特征在于，所述系统包括：

静电枪、载物台、移动支架以及控制箱；

所述载物台用于承载待检测样品，所述载物台还配置有真空吸台，用于固定所述待检测样品；

所述静电枪与所述控制箱电连接，用于在所述控制箱的控制下，向所述待检测样品上的测试点释放静电；

所述移动支架分别与所述静电枪连接和所述载物台连接；所述控制箱与所述移动支架电连接，用于根据预先接收到的操作人员输入的所述待检测样品上的测试点的坐标，通过所述移动支架调节所述静电枪与所述载物台之间的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的测试点；

所述系统还包括：电荷耦合器件CCD摄像机；

所述CCD摄像机设置在所述静电枪的一侧，且与所述控制箱电连接，所述CCD摄像机用于采集所述待检测样品的图像，并将采集到的所述待检测样品的图像发送至所述控制箱；

所述控制箱还用于确定所述测试点的标记点在所述待检测样品的图像中的坐标，并根据所述标记点的坐标，再次调节所述静电枪与所述载物台的相对位置，其中，所述标记点为操作人员对所述测试点进行标记得到的点；

所述系统还包括：距离传感器；

所述距离传感器设置在所述静电枪的一侧，且与所述控制箱电连接，用于检测所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，并将所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离发送至所述控制箱；

所述控制箱还用于根据所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述移动支架，包括：

分别与所述控制箱电连接的第一活动杆、第二活动杆和第三活动杆；

所述第一活动杆的轴线方向垂直于第一方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第一方向上的相对位移；

所述第二活动杆的轴线方向垂直于第二方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第二方向上的相对位移；

所述第三活动杆的轴线方向垂直于第三方向，用于在所述控制箱的控制下，调节所述静电枪与所述载物台在所述第三方向上的相对位移；

其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中任意两个方向相互垂直，且所述第二方向平行于重力方向。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述移动支架，还包括：

与所述控制箱电连接的旋转杆；

所述旋转杆与移动件固定连接，用于在所述控制箱的控制下，带动所述移动件以所述旋转杆为轴心旋转；

其中，所述移动件为载物台或者静电枪，所述旋转杆的轴线方向平行于所述重力方向。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述移动支架还包括：第一电机；

所述第一活动杆的一端与移动件固定连接，另一端与所述第一电机固定连接，所述第一电机与第一导轨活动连接，所述第一电机能够在所述控制箱的控制下，带动所述第一活动杆和所述移动件沿所述第一导轨的轴线方向移动，所述第一导轨的轴线方向平行于所述第一方向；

所述移动件为载物台或者静电枪。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一导轨为所述第二活动杆，所述移动支架还包括：第二电机和第三电机；

所述第二活动杆的一端与所述第二电机固定连接，所述第二电机与所述第三活动杆活动连接，所述第二电机能够以所述第三活动杆为导轨，带动所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第三活动杆的轴线方向移动，所述第三活动杆的轴线方向平行于所述第二方向；

所述第三活动杆的一端与所述第三电机固定连接，所述第三电机与第二导轨活动连接，所述第三电机能够带动所述第三活动杆、所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第二导轨的轴线方向移动，所述第二导轨的轴线方向平行于所述第三方向。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述移动件为载物台，所述移动支架还包括：第二电机和第三电机；

所述第二活动杆的一端与所述静电枪固定连接，另一端与所述第二电机固定连接，所述第二电机与所述第三活动杆活动连接，所述第二电机能够以所述第三活动杆为导轨，带动所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第三活动杆的轴线方向移动，所述第三活动杆的轴线方向平行于所述第二方向；

所述第三活动杆的一端与所述第三电机固定连接，所述第三电机与第二导轨活动连接，所述第三电机能够带动所述第三活动杆、所述第二活动杆和所述静电枪沿所述第二导轨的轴线方向移动，所述第二导轨的轴线方向平行于所述第三方向。

7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述移动支架还包括：

第四电机；

所述旋转杆的另一端与所述第四电机固定连接，所述第四电机用于在所述控制箱的控制下，驱动所述旋转杆和所述移动件以所述旋转杆为轴心旋转。

8.一种静电放电检测方法，其特征在于，应用于权利要求1至7任一所述的静电放电检测系统，所述方法包括：

控制箱接收测试参数，所述测试参数包括至少一个测试电压和待检测样品上至少一个测试点的坐标，所述测试点的坐标为操作人员预先输入的坐标；

所述控制箱在所述至少一个测试点中确定第一测试点；

所述控制箱根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架分别调节静电枪和载物台的位置，以调节所述静电枪与所述载物台的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的第一测试点；

所述控制箱在所述至少一个测试电压中确定第一测试电压；

所述控制箱控制所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电；

所述系统还包括：CCD摄像机，在所述根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，所述方法还包括：

通过所述CCD摄像机采集所述待检测样品的图像；

所述控制箱确定所述第一测试点的标记点在所述待检测样品的图像中的坐标，所述标记点为操作人员对所述测试点进行标记得到的点；

所述控制箱根据所述第一测试点的标记点的坐标，再次调节所述静电枪与所述载物台的相对位置；

所述系统还包括：距离传感器，在所述根据所述第一测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置之后，所述方法还包括：

通过所述距离传感器检测所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离；

所述控制箱根据所述静电枪的枪头与所述待检测样品之间的距离，调节所述静电枪与所述载物台的相对位置。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，

所述测试参数还包括：所述至少一个测试电压中每个测试电压所对应的放电次数，在所述使所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电之后，所述方法还包括：

所述控制箱记录所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点已释放静电的次数；

所述控制箱判断所述已释放静电的次数是否与所述第一测试电压所对应的放电次数相等；

当所述已释放静电的次数与所述第一测试电压所对应的放电次数不相等时，所述控制箱使所述静电枪按照所述第一测试电压继续对所述第一测试点释放静电；

当所述已释放静电的次数与所述第一测试电压所对应的放电次数相等时，所述控制箱在所述至少一个测试电压中确定第二测试电压，并使所述静电枪按照所述第二测试电压对所述第一测试点释放静电，其中所述第二测试电压与所述第一测试电压不同。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，在所述控制箱控制所述静电枪按照所述第一测试电压对所述第一测试点释放静电之后，所述方法还包括：

所述控制箱判断是否完成对所述第一测试点的测试；

当完成对所述第一测试点的测试时，所述控制箱在所述至少一个测试点中确定第二测试点，所述第二测试点与所述第一测试点不同；

所述控制箱根据所述第二测试点的坐标，通过移动支架调节静电枪与载物台的相对位置，使所述静电枪的枪头对准所述待检测样品上的第二测试点；

所述控制箱控制所述静电枪对所述第二测试点进行测试。